HK1218167B

HK1218167B - Exposure method and apparatus and device manufacturing method

Info

Publication number: HK1218167B
Application number: HK16106139.1A
Authority: HK
Inventors: Yuichi Shibazaki
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2006-09-01
Filing date: 2016-05-31
Publication date: 2018-07-20

Claims

Appareil d'exposition pour exposer un objet (W) avec un faisceau d'énergie (IL) via un système optique de projection (PL), l'appareil comprenant :
un élément de cadre pour supporter le système optique de projection ;

un corps mobile (WST) qui possède un élément de maintien pour maintenir l'objet, et qui est mobile au moins dans une première direction et une seconde direction qui sont orthogonales l'une par rapport à l'autre dans un plan (XY) prédéterminé, le plan prédéterminé étant perpendiculaire à un axe optique (AX) du système optique de projection ;

un système d'entraînement (124) configuré pour déplacer le corps mobile ;

un système codeur dans lequel l'une d'une section de réseau (39X₁, 39X₂, 39Y₁, 39Y₂) et de têtes (62A, 62B, 62C, 62D) est prévue sur le corps mobile et l'autre de la section de réseau et des têtes est prévue sur l'élément de cadre de sorte à faire face au corps mobile sur un côté d'extrémité inférieure du système optique de projection, et qui est configuré pour mesurer des informations de position du corps mobile avec une pluralité des têtes qui font face à la section de réseau ; et

une unité de commande (20) configurée pour commander le système d'entraînement, sur la base d'informations de mesure du système codeur, et des informations de correction pour compenser une erreur de mesure du système codeur, caractérisé en ce que l'erreur de mesure du système codeur survient en raison d'un déplacement, dans une direction parallèle au plan prédéterminé, de la tête utilisée pour la mesure par le système codeur.
Appareil d'exposition selon la revendication 1, dans lequel l'unité de commande est configurée pour compenser en outre une erreur de mesure du système codeur qui survient en raison d'une propriété optique de la tête.
Appareil d'exposition selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'autre de la section de réseau et des têtes est supportée d'une manière suspendue à partir de l'élément de cadre via un élément de support.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant en outre :
un système de détection (AL1) supporté par l'élément de cadre à une position à l'écart du système optique de projection et configuré pour détecter des informations de position de l'objet en irradiant l'objet avec un faisceau de mesure, dans lequel

le système codeur est configuré pour mesurer les informations de position du corps mobile dans chacun d'une opération d'exposition de l'objet et d'une opération de détection de l'objet.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant en outre :
une unité formant buse (32) prévue pour entourer une partie d'extrémité inférieure du système optique de projection et configurée pour former une zone d'immersion liquide (14) avec un liquide (Lq) en dessous du système optique de projection, dans lequel

l'autre de la section de réseau et des têtes est prévue sur un côté externe de l'unité formant buse par rapport au système optique de projection, et

l'unité de commande est configurée de telle sorte que l'objet est exposé via le système optique de projection et le liquide de la zone d'immersion liquide.
Appareil d'exposition selon la revendication 5, dans lequel l'unité formant buse est prévue sur l'élément de cadre.
Appareil d'exposition selon la revendication 5, dans lequel l'unité formant buse est prévue sur un autre élément de cadre différent de l'élément de cadre.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le corps mobile est pourvu des têtes et est agencé pour se déplacer en dessous de la section de réseau dans une opération d'exposition de l'objet.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel l'unité de commande est configurée pour commuter d'une tête de la pluralité de têtes utilisées pour la mesure par le système codeur à une autre tête lors d'un mouvement du corps mobile, et après la commutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par une pluralité de têtes qui comportent des têtes restantes et ladite autre tête, les têtes restantes excluant la tête de la pluralité de têtes utilisée avant la commutation.
Appareil d'exposition selon la revendication 9, dans lequel la commutation est effectuée alors que les têtes utilisées avant la commutation et les têtes devant être utilisées après la commutation font toutes face à la section de réseau.
Appareil d'exposition selon la revendication 9 ou 10, dans lequel des informations de position pour commander un mouvement du corps mobile sont acquises au moyen de l'autre tête après la commutation, sur la base d'informations de position mesurées par la pluralité de tête utilisées avant la commutation.
Appareil d'exposition selon la revendication 11, dans lequel l'acquisition des informations de position est effectuée alors que la pluralité de têtes utilisées avant la commutation et l'autre tête font face à la section de réseau.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 9 à 12, dans lequel avant la commutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par trois des têtes, la commutation est effectuée alors que quatre têtes comportant les trois têtes utilisées avant la commutation et l'autre tête font face à la section de réseau, et après la commutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par trois têtes comportant deux têtes restantes et l'autre tête, les deux têtes restantes excluant la tête des trois têtes utilisée avant la commutation.
Appareil d'exposition selon la revendication 13, dans lequel dans au moins une opération d'exposition de l'objet, les trois têtes ou les quatre têtes font face à la section de réseau, et pendant un mouvement du corps mobile, les têtes qui font face à la section de réseau passent d'une des trois têtes et des quatre têtes à l'autre.
Appareil d'exposition selon la revendication 13 ou 14, dans lequel la section de réseau comporte quatre éléments d'échelle, chacun des quatre éléments d'échelle ayant un réseau de type à réflexion (RG) formé sur celui-ci, et dans au moins une opération d'exposition de l'objet, les informations de position du corps mobile sont mesurées par les trois têtes ou les quatre têtes qui font face à trois ou quatre des quatre éléments d'échelle, respectivement.
Procédé d'exposition consistant à exposer un objet (W) avec un faisceau d'énergie (IL) via un système optique de projection (PL), le procédé comprenant :
le déplacement d'un corps mobile (WST) qui possède un élément de maintien pour maintenir l'objet et qui est mobile au moins dans une première direction et une seconde direction orthogonales l'une par rapport à l'autre dans un plan (XY) prédéterminé, le plan prédéterminé étant perpendiculaire à un axe optique (AX) du système optique de projection ;

dans un système codeur ayant l'une d'une section de réseau (39X₁, 39X₂, 39Y₁, 39Y₂) et de têtes (62A, 62B, 62C, 62D) prévue sur le corps mobile et l'autre de la section de réseau et des têtes prévue sur un élément de cadre de sorte à faire face au corps mobile sur un côté d'extrémité inférieure du système optique de projection, la mesure d'informations de position du corps mobile avec une pluralité de têtes qui font face à la section de réseau, l'élément de cadre supportant le système optique de projection ; et

la commande d'un mouvement du corps mobile, sur la base d'informations de mesure du système codeur, et des informations de correction pour compenser une erreur de mesure du système codeur qui survient en raison d'un déplacement, dans une direction parallèle au plan prédéterminé, de la tête utilisée pour la mesure par le système codeur.
Procédé d'exposition selon la revendication 16, dans lequel les informations de correction sont également utilisées pour compenser une erreur de mesure du système codeur qui survient en raison d'une propriété optique de la tête.
Procédé d'exposition selon la revendication 16 ou 17, dans lequel l'autre de la section de réseau et des têtes est supportée d'une manière suspendue à partir de l'élément de cadre via un élément de support, pour détecter des informations de position de l'objet, un faisceau de mesure est irradié sur l'objet par un système de détection supporté par l'élément de cadre, à l'écart du système optique de projection, et dans chacune d'une opération d'exposition de l'objet et d'une opération de détection de l'objet, les informations de position du corps mobile sont mesurées par le système codeur.
Procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 16 à 18, dans lequel une zone d'immersion liquide (14) est formée avec un liquide (Lq) en dessous du système optique de projection par une unité formant buse (32) prévue autour d'une partie d'extrémité inférieure du système optique de projection, l'objet est exposé via le système optique de projection et le liquide de la zone d'immersion liquide, l'autre de la section de réseau et des têtes est prévu sur un côté externe de l'unité formant buse par rapport au système optique de projection, et l'unité formant buse est prévue au niveau de l'élément de cadre ou d'un autre élément de cadre différent de l'élément de cadre.
Procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 16 à 19, dans lequel pendant un mouvement du corps mobile, une tête de la pluralité de têtes utilisées pour la mesure par le système codeur est commutée sur une autre tête, et après la commutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par une pluralité de têtes qui comportent des têtes restantes et l'autre tête, les têtes restantes excluant la tête de la pluralité de têtes utilisée avant la commutation.
Procédé d'exposition selon la revendication 20, dans lequel la commutation est effectuée alors que les têtes utilisées avant la commutation et les têtes devant être utilisées après la commutation font toutes face à la section de réseau.
Procédé d'exposition selon la revendication 20 ou 21, dans lequel des informations de position pour commander un mouvement du corps mobile sont acquises au moyen de l'autre tête après la commutation, sur la base d'informations de position mesurées par la pluralité de têtes et avant la commutation.
Procédé d'exposition selon la revendication 22, dans lequel l'acquisition des informations de position est effectuée alors que la pluralité de têtes utilisées avant la commutation et l'autre tête font face à la section de réseau.
Procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 20 à 23, dans lequel avant la commutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par trois des têtes, la commutation est effectuée alors que quatre têtes comportant les trois têtes utilisées avant la commutation et l'autre tête font face à la section de réseau, et après la commutation, les informations de position du corps mobile sont mesurées par trois têtes comportant deux têtes restantes et l'autre tête, les deux têtes restantes excluant la tête des trois têtes utilisée avant la commutation.
Procédé de fabrication de dispositif, comportant :
l'exposition d'un substrat (W) au moyen du procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 16 à 24; et

le développement du substrat qui a été exposé.