HK1218167B

HK1218167B - Exposure method and apparatus and device manufacturing method

Info

Publication number: HK1218167B
Application number: HK16106139.1A
Authority: HK
Inventors: Yuichi Shibazaki
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2006-09-01
Filing date: 2016-05-31
Publication date: 2018-07-20

Claims

Belichtungsvorrichtung zum Belichten eines Objekts (W) über ein optisches Projektionssystem (PL) mit einem Energiestrahl (IL), wobei die Vorrichtung aufweist:
ein Rahmenelement zum Unterstützen des optischen Projektionssystems;

einen bewegbaren Körper (WST), der einen Halter zum Halten des Objekts aufweist und der zumindest in einer ersten Richtung und einer zweiten Richtung bewegbar ist, die in einer vorbestimmten Ebene (XY) senkrecht zueinander sind, wobei die vorbestimmte Ebene senkrecht zu einer optischen Achse (AX) des optischen Projektionssystems ist;

ein Antriebssystem (124), das eingerichtet ist, den bewegbaren Körper zu bewegen;

ein Encodersystem, bei dem ein Gitterabschnitt (39X₁, 39X₂, 39Y₁, 39Y₂) oder Köpfe (62A, 62B, 62C, 62D) an dem bewegbaren Körper vorgesehen ist und das jeweils andere des Gitterabschnitts und der Köpfe so an dem Rahmenelement vorgesehen ist, das es den bewegbaren Körper an einer unteren Endseite des optischen Projektionssystems zugewandt ist, und das eingerichtet ist, eine Positionsinformation des bewegbaren Körpers mit einer Vielzahl der Köpfe zu messen, die dem Gitterabschnitt zugewandt sind; und

eine Steuerung (20), die eingerichtet ist, das Antriebssystem basierend auf einer Messinformation des Encodersystems und einer Korrekturinformation zum Kompensieren eines Messfehlers des Encodersystems zu steuern, dadurch gekennzeichnet, dass der Messfehler des Encodersystems aufgrund einer Verlagerung in einer Richtung parallel zu der vorbestimmten Ebene des für eine Messung durch das Encodersystem verwendeten Kopfes auftritt.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Steuerung eingerichtet ist, ferner einen Messvorgang des Encodersystems zu kompensieren, der aufgrund einer optischen Eigenschaft des Kopfes auftritt.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der das jeweils andere des Gitterabschnitts und der Köpfe auf einer über ein Stützelement aufgehängte Weise von dem Rahmenelement unterstützt wird.
Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner mit:
einem Erfassungssystem (AL1), das durch das Rahmenelement bei einer Position weg von dem optischen Projektionssystem unterstützt wird und eingerichtet ist, durch Bestrahlen des Objekts mit einem Messstrahl eine Positionsinformation des Objekts zu erfassen, wobei

das Encodersystem eingerichtet ist, die Positionsinformation des bewegbaren Körpers jeweils bei einem Belichtungsvorgang des Objekts und einem Erfassungsvorgang des Objekts zu messen.
Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, ferner mit:
einer Düseneinheit (32), die so bereitgestellt ist, dass sie einen unteren Endteil des optischen Projektionssystems umgibt und eingerichtet ist, mit einer Flüssigkeit (Lq) unter dem optischen Projektionssystem einen Flüssigkeitsimmersionsbereich (14) auszubilden, wobei

das jeweils andere des Gitterabschnitts und der Köpfe in Bezug auf das optische Projektionssystem an einer Außenseite der Düseneinheit bereitgestellt ist, und

die Steuerung so eingerichtet ist, dass das Objekt über das optische Projektionssystem und die Flüssigkeit des Flüssigkeitsimmersionsbereichs belichtet wird.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 5, bei der die Düseneinheit an dem Rahmenelement vorgesehen ist.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 5, bei der die Düseneinheit an einem weiteren zu dem Rahmenelement unterschiedlichen Rahmenelement vorgesehen ist.
Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei welcher der bewegbare Körper mit den Köpfen bereitgestellt ist und bei einem Belichtungsvorgang des Objekts für eine Bewegung unter dem Gitterabschnitt eingerichtet ist.
Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei der die Steuerung eingerichtet ist, einen Kopf der Vielzahl von Köpfen, die für eine Messung durch das Encodersystem verwendet wird, während einer Bewegung des bewegbaren Körpers zu einem weiteren Kopf umzuschalten, und nach dem Umschalten die Positionsinformation des bewegbaren Körpers durch eine Vielzahl von Köpfen gemessen wird, welche übrige Köpfe und den weiteren Kopf aufweist, wobei die übrigen Köpfe den einen vor dem Umschalten verwendeten Kopf der Vielzahl von Köpfen ausschließen.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 9, bei der das Umschalten ausgeführt wird, während die vor dem Umschalten verwendeten Köpfe und die nach dem Umschalten zu verwendenden Köpfe jeweils dem Gitterabschnitt zugewandt sind.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, bei der die Positionsinformation zum Steuern einer Bewegung des bewegbaren Körpers basierend auf einer Positionsinformation, die durch die Vielzahl von vor dem Umschalten verwendeten Köpfen gemessen wird, unter Verwendung des weiteren Kopfes nach dem Umschalten erfasst wird.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 11, bei der das Erfassen der Positionsinformation ausgeführt wird, während die Vielzahl von vor dem Umschalten verwendeten Köpfen und der weitere Kopf dem Gitterabschnitt zugewandt sind.
Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, bei der vor dem Umschalten die Positionsinformation des bewegbaren Körpers durch drei der Köpfe gemessen wird, das Umschalten ausgeführt wird, während vier Köpfe einschließlich der vor dem Umschalten verwendeten drei Köpfe und dem weiteren Kopf dem Gitterabschnitt zugewandt sind, und nach dem Umschalten die Positionsinformation des bewegbaren Körpers durch drei Köpfe einschließlich zweier übriger Köpfe und dem weiteren Kopf gemessen wird, wobei die zwei übrigen Köpfe den einen vor dem Umschalten verwendeten Kopf der drei Köpfe ausschließen.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 13, bei der zumindest bei einem Belichtungsvorgang des Objekts die drei Köpfe oder die vier Köpfe dem Gitterabschnitt zugewandt sind, und während einer Bewegung des bewegbaren Körpers die Köpfe, die dem Gitterabschnitt zugewandt sind, von den drei Köpfen oder den vier Köpfen zu dem jeweils weiteren geändert werden.
Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, bei welcher der Gitterabschnitt vier Skalenelemente aufweist, wobei jedes der vier Skalenelemente an sich ein reflektierendes Gitter (RG) ausgebildet aufweist, und bei zumindest einem Belichtungsvorgang des Objekts die Positionsinformation des bewegbaren Körpers durch die drei Köpfe oder die vier Köpfe gemessen wird, die respektive drei oder vier der Skalenelemente zugewandt sind.
Belichtungsverfahren mit einem Belichten eines Objekts (W) über ein optisches Projektionssystem (PL) mit einem Energiestrahl (IL), wobei das Verfahren umfasst:
Bewegen eines bewegbaren Körpers (WST), der einen Halter zum Halten des Objekts aufweist und der zumindest in einer ersten Richtung und einer zweiten Richtung bewegbar ist, die in einer vorbestimmten Ebene (XY) senkrecht zueinander sind, wobei die vorbestimmte Ebene senkrecht zu einer optischen Achse (AX) des optischen Projektionssystems ist;

in einem Encodersystem, das einen Gitterabschnitt (39X₁, 39X₂, 39Y₁, 39Y₂) oder Köpfe (62A, 62B, 62C, 62D), die an dem bewegbaren Körper vorgesehen sind, und das jeweils andere des Gitterabschnitts und der Köpfe an einem Rahmenelement vorgesehen ist, um so dem bewegbaren Körper an einer unteren Endseite des optischen Projektionssystems zugewandt zu sein, Messen einer Positionsinformation des bewegbaren Körpers mit einer Vielzahl der Köpfe, die dem Gitterabschnitt zugewandt ist, wobei das Rahmenelement das optische Projektionssystem unterstützt; und

Steuern einer Bewegung des bewegbaren Körpers basierend auf einer Messinformation des Encodersystems und einer Korrekturinformation zum Kompensieren eines Messfehlers des Encodersystems, der aufgrund einer Verlagerung in einer Richtung parallel zu der vorbestimmten Ebene des durch das Encodersystem für eine Messung verwendeten Kopfes auftritt.
Belichtungsverfahren nach Anspruch 16, bei dem die Korrekturinformation auch verwendet wird, um einen Messfehler des Encodersystems zu kompensieren, der aufgrund einer optischen Eigenschaft des Kopfes auftritt.
Belichtungsverfahren nach Anspruch 16 oder 17, bei dem das jeweils andere des Gitterabschnitts und der Köpfe über ein Stützelement auf eine aufgehängte Weise von dem Rahmenelement unterstützt wird, ein Messstrahl durch ein Erfassungssystem an das Objekt abgestrahlt wird, das durch das Rahmenelement weg von dem optischen Projektionssystem unterstützt wird, um eine Positionsinformation des Objekts zu erfassen, und jeweils bei einem Belichtungsvorgang des Objekts und einem Erfassungsvorgang des Objekts die Positionsinformation des bewegbaren Körpers durch das Encodersystem gemessen wird.
Belichtungsverfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18, bei dem ein Flüssigkeitsimmersionsbereich (14) mit einer Flüssigkeit (Lq) durch eine Düseneinheit (32) unter dem optischen Projektionssystem ausgebildet wird, die so bereitgestellt ist, dass sie einen unteren Endteil des optischen Projektionssystems umgibt, das Objekt über das optische Projektionssystem und die Flüssigkeit des Flüssigkeitsimmersionsbereichs belichtet wird, das jeweils andere des Gitterabschnitts und der Köpfe in Bezug auf das optische Projektionssystem an einer Außenseite der Düseneinheit vorgesehen ist, und die Düseneinheit bei dem Rahmenelement oder einem zu dem Rahmenelement unterschiedlichen weiteren Rahmenelement vorgesehen ist.
Belichtungsverfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 19, bei dem während einer Bewegung des bewegbaren Körpers ein Kopf der Vielzahl von Köpfen, die durch das Encodersystem zum Messen verwendet werden, zu einem weiteren Kopf umgeschaltet wird, und nach dem Umschalten die Positionsinformation des bewegbaren Körpers durch eine Vielzahl von Köpfen gemessen wird, die übrige Köpfe und den weiteren Kopf aufweist, wobei die übrigen Köpfe den einen vor dem Umschalten verwendeten Kopf der Vielzahl von Köpfen ausschließen.
Belichtungsverfahren nach Anspruch 20, bei dem das Umschalten ausgeführt wird, während die vor dem Umschalten verwendeten Köpfe und die nach dem Umschalten zu verwendenden Köpfe jeweils dem Gitterabschnitt zugewandt sind.
Belichtungsverfahren nach Anspruch 20 oder 21, bei dem eine Positionsinformation zum Steuern einer Bewegung des bewegbaren Körpers nach dem Umschalten basierend auf einer Positionsinformation, die durch die vor dem Umschalten verwendete Vielzahl von Köpfen gemessen wird, unter Verwendung des weiteren Kopfes erfasst wird.
Belichtungsverfahren nach Anspruch 22, bei dem das Erfassen der Positionsinformation ausgeführt wird, während die Vielzahl vor dem Umschalten verwendeter Köpfe und der weitere Kopf dem Gitterabschnitt zugewandt sind.
Belichtungsverfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 23, bei dem vor dem Umschalten die Positionsinformation des bewegbaren Körpers durch drei der Köpfe gemessen wird, und das Umschalten ausgeführt wird, während vier Köpfe einschließlich der drei vor dem Umschalten verwendeten Köpfe und dem weiteren Kopf dem Gitterabschnitt zugewandt sind, und nach dem Umschalten die Positionsinformation des bewegbaren Körpers durch drei Köpfe einschließlich zweier übriger Köpfe und des weiteren Kopfs gemessen wird, wobei die zwei übrigen Köpfe den einen vor dem Umschalten verwendeten Kopf der drei Köpfe ausschließen.
Bauelementherstellungsverfahren, das umfasst:
Belichten eines Substrats (W) unter Verwendung des Belichtungsverfahrens nach einem der Ansprüche 16 bis 24; und

Entwickeln des Substrats, das belichtet worden ist.