HK1126035B

HK1126035B - Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method

Info

Publication number: HK1126035B
Application number: HK09104287.5A
Authority: HK
Inventors: Yuichi Shibazaki
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2006-02-21
Filing date: 2007-02-21
Publication date: 2013-11-15

Claims

Appareil d'exposition (100) configuré pour exposer un objet avec un faisceau énergétique (IL) via un système optique (PL), l'appareil comprenant :
un premier (WST) et un deuxième (MST) corps mobiles, qui peuvent être déplacés indépendamment dans un plan prédéterminé, et

une unité de détection (30, 36, 44) pour détecter le faisceau énergétique,

caractérisé en ce que l'unité de détection comprend des premier (36) et deuxième (44) éléments respectivement agencés sur les premier et deuxième corps mobiles, l'unité de détection étant agencée pour détecter le faisceau énergétique via les premier et deuxième éléments, et où les premier et deuxième éléments sont agencés de telle sorte que lorsque l'unité de détection détecte le faisceau énergétique, le faisceau énergétique du système optique est dirigé vers le deuxième élément sur le deuxième corps mobile via le premier élément sur le premier corps mobile.
Appareil d'exposition selon la revendication 1, où le premier corps mobile des premier et deuxième corps mobiles est capable de maintenir l'objet.
Appareil d'exposition selon la revendication 2, où le deuxième corps mobile a un élément de mesure (94, 98) qui est séparé du deuxième élément et qui est utilisé pour une opération différente de l'exposition.
Appareil d'exposition selon la revendication 3, où au moins une partie de l'élément de mesure est agencé sur une surface du deuxième corps mobile qui est sensiblement parallèle au plan.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, où une partie du premier élément est agencée sur une surface du premier corps mobile qui est sensiblement parallèle au plan.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, où l'unité de détection est configurée pour mesurer une image de motif qui est formée via le système optique.
Appareil d'exposition selon la revendication 6, où le premier élément comprend un motif d'ouverture (30) qui est agencé pour être placé en face du système optique, et l'unité de détection est configurée pour mesurer l'image de motif via le motif d'ouverture.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, comprenant en outre :
un système de mesure (20) qui comprend une première unité de mesure (70A...70D) qui est configurée pour mesurer une information de position du premier corps mobile et une deuxième unité de mesure (118) qui est configurée pour mesurer une information de position du deuxième corps mobile, où une valeur de mesure de la première unité de mesure a une stabilité à court terme supérieure à celle de la deuxième unité de mesure.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, où le premier corps mobile se déplace dans des première et deuxième directions maintenant l'objet dans le plan, et également sur lequel se trouve une première partie de grillage (39X₁, 39X₂) qui présente un grillage s'étendant périodiquement dans la première direction, et la première unité de mesure comprend un système d'encodeur qui est configuré pour mesurer l'information de position du premier corps mobile dans la première direction par une première unité de tête (62B, 62D) qui présente une plage de détection plus large qu'une largeur de la première partie de grillage dans la deuxième direction.
Appareil d'exposition selon la revendication 9, où la première partie de grillage est agencée par paires avec l'objet intercalé dans la deuxième direction, et la première unité de tête a la plage de détection sur chacun des deux côtés d'une position d'irradiation du faisceau énergétique dans la deuxième direction.
Appareil d'exposition selon la revendication 10, où la première unité de tête a des plages de détection qui sont distantes dans la deuxième direction, d'une distance qui est sensiblement la même que ou plus large que la largeur de la première partie de grillage.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, où la première unité de tête a une série de premières têtes (62B, 62D) dont les positions sont différentes dans la deuxième direction et le système d'encodeur est configuré pour mesurer l'information de position du premier corps mobile dans la première direction par la première tête qui fait face à la première partie de grillage dans la plage de détection.
Appareil d'exposition selon la revendication 12, où la série de premières têtes est disposée à une distance qui est plus petite que la largeur de la première partie de grillage dans la deuxième direction.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, où sur le premier corps mobile, se trouve une deuxième partie de grillage (39Y₁, 39Y₂) qui présente un grillage s'étendant périodiquement dans la deuxième direction, et le système d'encodeur est configuré pour mesurer l'information de position du premier corps mobile dans la deuxième direction par une deuxième unité de tête (62A, 62C) qui présente une plage de détection plus large qu'une largeur de la deuxième partie de grillage dans la première direction.
Appareil d'exposition selon la revendication 14, où la deuxième partie de grillage est agencée par paires avec l'objet intercalé dans la première direction, et la deuxième unité de tête a la plage de détection sur chacun des deux côtés d'une position d'irradiation du faisceau énergétique dans la première direction.
Appareil d'exposition selon l'une des revendications 14 et 15, où la deuxième unité de tête a une série de deuxièmes têtes (62A, 62C) dont les positions sont différentes dans la première direction et le système d'encodeur est configuré pour mesurer l'information de position du premier corps mobile dans la deuxième direction par la deuxième tête qui fait face à la deuxième partie de grillage dans la plage de détection.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 9 à 16, où l'appareil est configuré de sorte que l'information de position mesurée par le système d'encodeur est utilisée dans au moins une opération d'exposition de l'objet.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 9 à 17, où l'appareil est configuré de telle sorte que l'information de position mesurée par le système d'encodeur est utilisée dans au moins une opération de détection des marques sur l'objet.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, où le premier corps mobile est agencé pour se déplacer dans les première et deuxième directions maintenant l'objet dans le plan, et sur lequel une paire de premières parties de grillage (39X₁, 39X₂), qui ont chacune un grillage s'étendant périodiquement dans la première direction, est agencée avec l'objet intercalé dans la deuxième direction et une paire de deuxièmes parties de grillage (31Y₁, 31Y₂), qui ont chacune un grillage s'étendant périodiquement dans la deuxième direction, est agencée avec l'objet intercalé dans la première direction, et l'appareil d'exposition comprend en outre, un système de mesure (70A...70D) qui comprend un système d'encodeur configuré pour mesurer une information de position du premier corps mobile dans la première direction par une série de premières têtes (62B, 62D) dont les positions sont différentes dans la deuxième direction, qui font face à la paire de premières parties de grillage, et également pour mesurer une information de position du premier corps mobile dans la deuxième direction par une série de deuxième têtes dont les positions sont différentes dans la première direction (62A, 62C), qui font face à la paire de deuxièmes parties de grillage.
Appareil d'exposition selon la revendication 19, où la série de premières têtes est disposée à une distance qui est inférieure à la largeur de la première partie de grillage dans la deuxième direction, et la série de deuxièmes têtes est disposée à une distance qui est inférieure à la largeur de la deuxième partie de grillage dans la première direction.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 9 à 20, où la deuxième unité de mesure comprend un interféromètre (18) configuré pour mesurer l'information de position du deuxième corps mobile.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 9 à 21, où la première unité de mesure comprend un système d'interféromètre (118) configuré pour mesurer l'information de position du premier corps mobile, et une direction de mesure de l'information de position du premier corps mobile par le système d'interféromètre comprend une direction qui est différente d'une direction de mesure de l'information de position du premier corps mobile par le système d'encodeur.
Appareil d'exposition selon la revendication 22, où le système d'interféromètre est configuré pour mesurer l'information de position du premier corps mobile dans une direction différente des directions dans le plan.
Appareil d'exposition selon l'une des revendications 22 et 23, où le système d'interféromètre est configuré pour mesurer l'information de position du premier corps mobile dans au moins une direction de mesure de l'information de position du premier corps mobile par le système d'encodeur.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 22 à 24, où la deuxième unité de mesure comprend un système d'interféromètre (118) configuré pour mesurer l'information de position du deuxième corps mobile, et l'appareil d'exposition comprend en outre un contrôleur (20) configuré pour contrôler le mouvement du premier corps mobile sur base de l'information de mesure de la première unité de mesure, qui comprend l'information de position mesurée par le système d'interféromètre.
Appareil d'exposition selon la revendication 25, où l'information de mesure comprend l'information de position du premier corps mobile par le système d'interféromètre dans une direction qui est différente d'une direction de mesure de l'information de position du premier corps mobile par le système encodeur.
Appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 26, comprenant en outre :
un élément optique (191) en face duquel l'objet est placé, et qui est agencé pour émettre le faisceau énergétique, et

un système d'immersion dans un liquide (8) agencé pour former une zone d'immersion dans un liquide en remplissant de liquide un espace entre l'élément optique et l'objet, où l'appareil est configuré de telle sorte que

la zone d'immersion dans un liquide est maintenue dans un espace situé entre l'élément optique et le deuxième corps mobile qui est placé en face de l'élément optique en replaçant le premier corps mobile.
Procédé de fabrication d'un dispositif, comprenant :
l'exposition d'un objet à l'aide de l'appareil d'exposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 27, et

le développement de l'objet exposé.
Procédé d'exposition d'un objet avec un faisceau énergétique via un système otique (PL), le procédé comprenant :
la détection du faisceau énergétique (IL)- en utilisant une unité de détection (30, 36, 44) qui comprend des premier et deuxième éléments (36, 44) agencés respectivement sur des premier et deuxième corps mobiles (WST, MST) qui peuvent être déplacés indépendamment dans un plan prédéterminé, où

au moment de la détection, le faisceau énergétique du système optique est dirigé vers le deuxième élément sur le deuxième corps mobile via le premier élément sur le premier corps mobile.
Procédé d'exposition selon la revendication 29, où le premier corps mobile entre les premier et deuxième corps mobiles peut supporter l'objet.
Procédé d'exposition selon la revendication 30, où le deuxième corps mobile présente un élément de mesure (94, 98) qui est séparé du deuxième élément et qui est utilisé pour une opération différente de l'exposition.
Procédé d'exposition selon la revendication 31, où au moins une partie de l'élément de mesure est agencée sur une surface du deuxième corps mobile, qui est sensiblement parallèle au plan.
Procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 29 à 32, où une partie du premier élément est agencée sur une surface du premier corps mobile, qui est sensiblement parallèle au plan.
Procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 29 à 33, où une image de motif qui est formée via le système optique est mesurée à l'aide de l'unité de détection.
Procédé d'exposition selon la revendication 34, où le premier élément comprend un motif d'ouverture (30) qui est placé en face du système optique, et l'image de motif est mesuré via le motif d'ouverture.
Procédé de fabrication d'un dispositif, comprenant :
l'exposition d'un objet à l'aide du procédé d'exposition selon l'une quelconque des revendications 29 à 35, et

le développement de l'objet exposé.