HK1165661B - Pulsed plasma device - Google Patents
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Claims (11)
- Vorrichtung zur Erzeugung von Plasmapulsen, umfassend:eine Anode (1);eine Kathodenbaugruppe (5), umfassend(i) eine oder mehrere Kathoden (5a, 5b, 5c) und(ii) einen Kathodenhalter (74);einen sich längs zwischen der Kathodenbaugruppe und durch die Anode (1) erstreckenden Plasmakanal (62), und aufweisend eine Auslassöffnung am Anodenende, wobei ein Teil des Plasmakanals (62) von zwei oder mehreren Zwischenelektroden (2, 3, 4) gebildet wird, die voneinander und von der Anode (1) elektrisch isoliert sind, wobei der Plasmakanal (62) ein der Kathodenbaugruppe nächstgelegenes Heizteil (84), ein Anodenteil (83) und ein Anodenausdehnungsteil (82) zwischen dem Heizteil und dem Anodenteil umfasst, wobei der Ausdehnungsteil zwei oder mehrere Abschnitte (86, 88, 90) aufweist und der Durchmesser der aufeinanderfolgenden Abschnitte des Ausdehnungsteils jeweils in Richtung der Anode (1) zunimmt;gekennzeichnet durch eine Verlängerungsdüse (15), die mit dem Anodenende des Plasmakanals (62) verbunden ist und einen Verlängerungskanal (18) aufweisend einen röhrenförmigen Isolator (17) bildet, der einen Teil der Innenfläche des Verlängerungskanals bedeckt; und wobei die Vorrichtung ferner einen oder mehrere Saugkanäle (94, 96) umfasst.
- Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend eine Plasmakammer (26).
- Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Kathodenbaugruppe zwei oder mehrere Kathoden (5a, 5b, 5c) umfasst.
- Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei ein Abschnitt des Ausdehnungsteils (82)(i) einen Durchmesser hat, der nicht mehr als 0,6 mm größer als der Durchmesser des benachbarten Abschnitts in Richtung der Kathodenbaugruppe ist, und(ii) eine Länge hat, die gleich seinem Durchmesser oder größer als sein Durchmesser ist.
- Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei der Abschnitt des der Kathodenbaugruppe nächstgelegenen Ausdehnungsteils (82)(i) einen Durchmesser hat, der nicht mehr als 0,6 mm größer als der Durchmesser des Heizteils ist, und(ii) eine Länge hat, die gleich seinem Durchmesser oder größer als sein Durchmesser ist.
- Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei der Durchmesser des Heizteils (84) 1,0-1,5 mm beträgt; und die Länge der den Heizteil bildenden Elektroden dem 1,0 - 2,0-fachen des Durchmessers des Heizteils entspricht.
- Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei der Durchmesser des Anodenteils (83) nicht mehr als 0,6 mm größer als der Durchmesser des Abschnitts des der Anode (1) nächstgelegenen Ausdehnungsteils (82) ist; und die Länge des Anodenteils dem 2,0 - 5,0-fachen seines Durchmessers entspricht.
- Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Innendurchmesser des röhrenförmigen Isolatorelements (17) dem 1,0 - 1,3-fachen des Durchmessers des Anodenteils entspricht; und die Länge des Verlängerungskanals (18) dem 2,0 - 3,0-fachen des Innendurchmessers des röhrenförmigen Isolators entspricht.
- Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei Teile von zwei benachbarten Abschnitten des Ausdehnungsteils (82) von einer Zwischenelektrode gebildet werden.
- Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei mindestens ein Abschnitt des Ausdehnungsteils (82) von einer einzelnen Zwischenelektrode gebildet wird.
- Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Verlängerungsdüse einen oder mehrere sauerstofftragende Gaseinlässe (16) zum Verlängerungskanal aufweist.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/EP2007/006939 WO2009018837A1 (en) | 2007-08-06 | 2007-08-06 | Pulsed plasma device and method for generating pulsed plasma |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HK1165661A1 HK1165661A1 (en) | 2012-10-05 |
| HK1165661B true HK1165661B (en) | 2017-06-09 |
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