[go: up one dir, main page]

GR1008175B - Χωρητικος αισθητηρας πιεσης και μεθοδος κατασκευης του - Google Patents

Χωρητικος αισθητηρας πιεσης και μεθοδος κατασκευης του

Info

Publication number
GR1008175B
GR1008175B GR20130100097A GR20130100097A GR1008175B GR 1008175 B GR1008175 B GR 1008175B GR 20130100097 A GR20130100097 A GR 20130100097A GR 20130100097 A GR20130100097 A GR 20130100097A GR 1008175 B GR1008175 B GR 1008175B
Authority
GR
Greece
Prior art keywords
pressure sensor
manufacture method
variable capacity
capacity pressure
plates
Prior art date
Application number
GR20130100097A
Other languages
English (en)
Inventor
Θεοδωρα-Αικατερινη Χαραλαμπου Σπυροπουλου
Αθανασιος Θεοδωρου Κολλιας
Γεωργιος Παναγιωτη Μαζαρακης
Original Assignee
Θεων Αισθητηρες Α.Ε.Β.Ε.,
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Θεων Αισθητηρες Α.Ε.Β.Ε., filed Critical Θεων Αισθητηρες Α.Ε.Β.Ε.,
Priority to GR20130100097A priority Critical patent/GR1008175B/el
Publication of GR1008175B publication Critical patent/GR1008175B/el

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0073—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Ένας χωρητικός αισθητήρας πίεσης σχηματίζεται από μια παράλληλη διάταξη πλακών όπου το ένα ηλεκτρόδιο είναι πακτωμένο και το άλλο είναι μία αιωρούμενη, παραμορφούμενη μεμβράνη. Οι δύο πλάκες είναι αγώγιμες καθώς αποτελούνται από πυρίτιο εμφυτευμένο με βόριο. Η αιωρούμενη μεμβράνη μπορεί να έχει σχήμα κυκλικό ή δακτυλίου. Παράλληλες διευθετήσεις κύκλων ή δακτυλίων κατασκευάζονται έτσι ώστε να αυξηθεί η συνολική μεταβολή της χωρητικότητας. Μία άλλη επιλογή αναφορικά με το σχεδιασμό του αισθητήρα είναι ο σχηματισμός ομόκεντρων δακτυλίων. Διαφορετικές αρχιτεκτονικές του αισθητήρα πίεσης μπορούν να πραγματοποιηθούν. Ένας πυκνωτής αναφοράς μπορεί να ενσωματωθεί έτσι ώστε να ελαχιστοποιηθούν τα θερμικά φαινόμενα αλλά και τα φαινόμενα που δημιουργούνται από τις παραλλαγές της διαδικασίας.
GR20130100097A 2013-02-19 2013-02-19 Χωρητικος αισθητηρας πιεσης και μεθοδος κατασκευης του GR1008175B (el)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GR20130100097A GR1008175B (el) 2013-02-19 2013-02-19 Χωρητικος αισθητηρας πιεσης και μεθοδος κατασκευης του

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GR20130100097A GR1008175B (el) 2013-02-19 2013-02-19 Χωρητικος αισθητηρας πιεσης και μεθοδος κατασκευης του

Publications (1)

Publication Number Publication Date
GR1008175B true GR1008175B (el) 2014-04-17

Family

ID=50732366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
GR20130100097A GR1008175B (el) 2013-02-19 2013-02-19 Χωρητικος αισθητηρας πιεσης και μεθοδος κατασκευης του

Country Status (1)

Country Link
GR (1) GR1008175B (el)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080053236A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Evigia Systems, Inc. Capacitive pressure sensor and method therefor
US7737514B1 (en) * 2008-02-21 2010-06-15 Yee-Chung Fu MEMS pressure sensor using area-change capacitive technique
WO2012040211A2 (en) * 2010-09-20 2012-03-29 Fairchild Semiconductor Corporation Microelectromechanical pressure sensor including reference capacitor
EP2520917A1 (en) * 2011-05-04 2012-11-07 Nxp B.V. MEMS Capacitive Pressure Sensor, Operating Method and Manufacturing Method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080053236A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Evigia Systems, Inc. Capacitive pressure sensor and method therefor
US7737514B1 (en) * 2008-02-21 2010-06-15 Yee-Chung Fu MEMS pressure sensor using area-change capacitive technique
WO2012040211A2 (en) * 2010-09-20 2012-03-29 Fairchild Semiconductor Corporation Microelectromechanical pressure sensor including reference capacitor
EP2520917A1 (en) * 2011-05-04 2012-11-07 Nxp B.V. MEMS Capacitive Pressure Sensor, Operating Method and Manufacturing Method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BR112016028045A2 (pt) Biopolímeros modificados, e seus métodos de produção
HUE053607T2 (hu) Hõsugárzó lemez és eljárás elõállítására
CA151679S (en) Cooktop
TW201612079A (en) Packaging body of micro needle sheet and its manufacture method thereof
TN2014000533A1 (en) Portion capsule having an identification on the inner periphery thereof
HUE058982T2 (hu) Gyártási eljárás szilícium nanoszálak elõállítására szénalapú porokon, akkumulátorokban való felhasználásra
MX2015013014A (es) Granulos de harina de microalgas y proceso de preparacion de estos.
MX372963B (es) Reordenamiento del virus de influenza b.
MX2023006415A (es) Anticuerpos, usos y metodos.
HUE055176T2 (hu) Mikrobiális olaj, eljárás mikrobiális olaj elõállítására, töményített mikrobiális olaj és eljárás töményített mikrobiális olaj elõállítására
EP3370744A4 (en) CELL CYCLE BLOCK FOR IMPROVING EFFICIENCY IN THE MANUFACTURE OF INDUCED PLURIPOTENTER STEM CELLS
MX2015009330A (es) Reordenamiento del virus de influenza.
MY185184A (en) Cold-adapted temperature sensitive strains of enterovirus 71 and processes of developing cold-adapted temperature sensitive virus strains
GR1008175B (el) Χωρητικος αισθητηρας πιεσης και μεθοδος κατασκευης του
PL2997604T3 (pl) Nanostrukturalne komorki wytworzone wewnątrz materiału krzemowego i produkcyjny proces ich wytwarzania
MX2015011881A (es) Proceso para la preparacion de 3,7-dimetilnonan-1-ol.
UA99250U (ru) эКОРАТОР
FR2996554B1 (fr) Nouveaux azotures, procedes de fabrication et leurs applications
PH12015502554A1 (en) Novel sucrose unassimilating flocculent yeast
RU2013123067A (ru) Способ биоинкапсуляции
RU2012145810A (ru) Штамм культивируемых клеток cho-il7/13 - продуцент интерлейкина-7 человека
炎武 Good News and Bad News
CA154515S (en) Bottom filtration header
CO6790234A1 (es) Filtro circular con fotobiopelicula de cultivos celulares cromáticos microalgales traslucidos generados a partir de la infusión fría y hojas de brownea ariza benth
TH152036B (th) แผ่นติดกันรั่ว

Legal Events

Date Code Title Description
PG Patent granted

Effective date: 20140515