FI89746B - Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet - Google Patents

Description

89746

LAITE KOHTEEN PINNAN MUODON MÄÄRITTÄMISEKSI -ANORDNING FÖR BESTÄMNING AV VTFORMEN AV FÖREMÄLET

Keksinnön kohteena on patenttivaatimuksen 1 5 johdanto-osassa määritelty laite.

Entuudestaan tunnetaan julkaisusta US 4 764 016 laite pinnan muodon mittaamiseksi. Laitteeseen kuuluu valonlähde, joka on järjestetty lähettämään valokeila kohteen pintaan. Edelleen laitteeseen kuuluu 10 optiset välineet, joilla valokeila fokusoidaan kohteen pinnalle. Laitteeseen kuuluu edelleen paikkaherkkä ilmaisin, jolla pinnasta siroavan valokeilan kuvan paikka voidaan ilmaista. Toiset optiset välineet on järjestetty siroavan keilan suuntaamiseksi ilmaisimeen. 15 Valonlähde, optiset välineet ja ilmaisin on kiinnitetty runkoon, jota siirtolaite on järjestetty siirtämään eri mittauspisteisiin pinnan suhteen siten, että siroavan keilan kuva aina on esim. ilmaisimen kuva-alan keskellä, jolloin rungon siirtymät ovat suoraan verrannol-20 lisiä pinnan muotoon. Vielä laitteeseen kuuluu tieto-jenkäsittelylaite rungon siirtymien rekisteröimiseksi pinnan muodon määrittämistä varten. Mittaaminen tapahtuu perättäisesti kussakin kohteen pinnan kohdassa ja siirtolaitteella siirretään runkoa ja siihen kiinnitet-25 tyjä komponentteja pinnan suhteen. Julkaisun mukaisessa laitteessa on vain yksi valoherkkä ilmaisin. Mittalait-• teen karkea kohdistus suoritetaan mittalaitteen okulaa- rin avulla.

Ongelmana entuudestaan tunnetussa laitteessa 30 on, että haluttaessa hyvin tarkkaa pinnan muodon mit-..." tausta laite on vietävä hyvin lähelle mitattavaa pin taa, koska em. toisissa optisissa välineissä on käytettävä suurta suurennussuhdetta. Tunnetuissa tarkkaan mittaukseen soveltuvissa laitteissa mittausetäisyys - 35 pinnasta on tavallisesti vain muutamien millimetrien suuruusluokkaa. Pieni mittausetäisyys ja suuri suuren-nussuhde muodostuu ongelmaksi myös sen vuoksi, että 2 S 9 7 4 6 kuvan etsiminen paikkaherkän ilmaisimen kuva-alaan on hankalaa ja vaatii sen vuoksi suuren kuva-alan ilmaisimeen tai sitten okulaarin, jonka avulla kohdetta tähystetään ihmissilmällä ja jonka avulla karkeapaikoitus 5 suoritetaan. Näin ollen karkeapaikoitusta ei voida suorittaa automaattisesti. Edelleen pieni mittausetäi-syys aiheuttaa laitteen ja mitattavan pinnan keskinäisen törmäämisen vaaran.

Lisäksi ongelmana tunnetuilla hyvin tarkoilla 10 mittalaitteilla on, että niiden profiilisyvyyden mittausalue on hyvin kapea.

Keksinnön tarkoituksena on poistaa edellä mainitut epäkohdat.

Erityisesti keksinnön tarkoituksena on tuoda 15 esiin laite, jolla voidaan mitata pinnan muoto hyvin tarkasti suhteellisen suuren etäisyyden päästä pinnasta .

Lisäksi keksinnön tarkoituksena on tuoda esiin laite, jolla pinnan muodon mittaus voidaan suorittaa 20 hyvin tarkasti ja automaattisesti.

Keksinnön mukaiselle laitteelle on tunnusomaista se, mitä on esitetty patenttivaatimuksessa 1.

Keksinnön mukaiseen laitteeseen kuuluu valonlähde, joka on järjestetty lähettämään valokeila koh-25 teen pintaan; ensimmäiset optiset välineet valokeilan fokusoimiseksi kohteen pinnalle olennaisesti pistemäiseksi; paikkaherkkä ilmaisin pinnasta siroavan valokeilan kuvan paikan ilmaisemiseksi; toiset optiset välineet siroavan keilan suuntaamiseksi ilmaisimeen; 30 runko, johon valonlähde, optiset välineet ja ilmaisin on kiinnitetty; ja siirtolaite, joka on järjestetty siirtämään valonlähteen lähettämän valokeilan fokus aina kussakin mittauspisteessä pinnan tasolle ja asettamaan siroavan keilan kuva ilmaisimen kuva-alan ennal-35 tamäärätylle alueelle, edullisesti kuva-alan keskelle, jolloin fokuksen siirtymät ovat suoraan verrannollisia pinnan muotoon; ja tietojenkäsittelylaite fokuksen 3 89746 siirtymien rekisteröimiseksi pinnan muodon määrittämistä varten. Keksinnön mukaisesti paikkaherkkään ilmaisimeen kuuluu ensimmäinen paikkaherkkä ilmaisin ja toinen paikkaherkkä ilmaisin, joka on kaksiulotteinen; 5 että laitteeseen kuuluu säteenjakaja kohteen pinnasta siroavan keilan jakamiseksi ensimmäiseksi keilaksi ensimmäiselle ilmaisimelle ja toiseksi keilaksi toiselle ilmaisimelle; suurennusoptiikka toisen keilan kuvan suurentamiseksi ja toisen ilmaisimen kuva-alan muodos-10 tamiseksi suurennusoptiikan suurennuksen määräämäksi osaksi ensimmäisen ilmaisimen kuva-alasta; että ensimmäinen ilmaisin on järjestetty karkeapaikantimeksi toisen keilan kuvan kohdistamiseksi toisen ilmaisimen kuva-alaan yhteistoiminnassa siirtolaitteen kanssa; ja 15 että tietojenkäsittelylaite on järjestetty määrittämään toisen ilmaisimen kuva-alasta toisen keilan kuvan paikka, ja sen perusteella laskennallisesti edelleen tarkentamaan mittauksen tulosta siirtolaitteesta saatua arvoa tarkemmaksi.

20 Laitteen eräässä sovellutuksessa siirtolaite on järjestetty siirtämään laitteen runkoa kohtisuoraan pintaa vastaan siten, että rungon siirtymät ovat suoraan verrannollisia pinnan muotoon ja ne rekisteröidään pinnan muodon määrittämistä varten.

25 Laitteen eräässä sovellutuksessa ensimmäisiin optisiin välineisiin kuuluu säteenjakaja ja optiikka, jonka säteenjakajan avulla valokeilan optinen akseli on järjestetty kohtaamaan tutkittava pinta pinnan normaa-.*··. liin nähden pienessä kulmassa siten, että valokeilan 30 fokus esiintyy havainnointisuunnan optisen akselin kautta kulkevassa tasossa, ja joka optiikka on yhdistetty siirtolaitteeseen siten, että optiikka on siirrettävissä pystysuunnassa pintaa vastaan valokeilan fokusen siirtämiseksi siten, että optiikan siirtymät 35 ovat suoraan verrannollisia pinnan muotoon ja ne rekis-teröidään pinnan muodon määrittämistä varten.

Laitteen eräässä sovellutuksessa siirtolait- 4 S 9 7 4 6 teeseen kuuluu yksi tai useampi siirrin.

Laitteen eräässä sovellutuksessa ensimmäinen ilmaisin on rivikamera.

Laitteen eräässä sovellutuksessa ensimmäinen 5 ilmaisin on rnatriisikamera.

Laitteen eräässä sovellutuksessa valonlähde on laser, kuten puolijohdelaser. Valonlähde voi luonnollisesti olla mikä tahansa muukin soveltuva säteilylähde.

10 Laitteen eräässä sovellutuksessa säteenjakaja on puoliläpäisevä peili, säteenjakoprisma tai sen tapainen, josta osa säteilystä heijastuu ja osa pääsee läpi.

Keksinnön etuna on, että voidaan käyttää suur-15 ta, esim. senttimetrien suuruusluokkaa olevaa mittaus-etäisyyttä, mitattavaan kohteeseen ja samalla kuitenkin päästään hyvin suureen mittaustarkkuuteen.

Edelleen keksinnön etuna on, että pinnan muodon mittaus voidaan suorittaa täysin automaattisesti.

20 Lisäksi keksinnön etuna on, että toisten op tisten välineiden suurennus voidaan muodostaa suhteellisen suureksi.

Lisäksi keksinnön etuna on, että laitteen mittausalue on hyvin laaja, ts. laitteella voidaan mitata 25 sekä karkeahkoja että hyvin pieniä pinnan muodon muutoksia, mikä soveltuu erityisesti konepajaolosuhteissa tehtäviin erilaisten työkalujen pintojen muotojen mittauksiin.

Seuraavassa keksintöä selostetaan yksityiskoh-30 taisesti viittaamalla oheiseen piirustukseen, jossa kuva 1 esittää kaaviomaisesti sivulta keksinnön mukaisen laitteen erästä sovellutusta; kuva 2 esittää kuvan 1 sovellutuksen ensimmäisen ilmaisimen kuva-alaa; ja 35 kuva 3 esittää kuvan 1 sovellutuksen toisen ilmaisimen kuva-alaa.

kuva 4 esittää kaaviomaisesti sivulta erästä i 5 59746 toista keksinnön mukaista sovellutusta.

kuva 5 esittää kuvan 4 sovellutuksen ensimmäisen ilmaisimen kuva-alaa; ja kuva 6 esittää kuvan 4 sovellutuksen toisen 5 ilmaisimen kuva-alaa.

Kuvassa 1 on laite kohteen pinnan muodon mittaamiseksi. Laitteeseen kuuluu valonlähde 1, joka on esim. puolijohdelaser, joka on järjestetty lähettämään valokeila kohteen pintaan. Kohteena voi luonnollisesti 10 olla mikä tahansa pinta, jota halutaan tarkastella.

Laitteeseen kuuluu myös ensimmäiset optiset välineet 2, joiden tehtävänä on fokusoida valokeilan kohteen pinnalle olennaisesti pistemäiseksi täpläksi. Laitteeseen kuuluu edelleen paikkaherkkä ilmaisin 3. Ilmaisin 3 on 15 järjestetty ilmaisemaan pinnasta siroavan valokeilan kuvan paikka. Vielä laitteeseen kuuluu toiset optiset välineet 4 siroavan keilan suuntaamiseksi ilmaisimeen 3. Valonlähde 1, optiset välineet 2 ja ilmaisin 3 on kiinnitetty yhteiseen runkoon 5.

20 Siirtolaite 6 on järjestetty tässä sovellutuk sessa siirtämään runkoa 5 ja pitämään kohteen pinnan ja rungon 5 keskinäinen etäisyys vakiona eri mittauspisteissä ja siirtämään runkoa 5 pinnan suhteen siten, että pinta on kussakin mittauspisteessä aina valonläh-25 teen 1 lähettämän valokeilan fokuksessa ja siroavan keilan kuva on ilmaisimen kuva-alan ennaltamäärätyllä alueella, edullisesti kuva-alan keskellä, jolloin rungon siirtymät ovat suoraan verrannollisia pinnan muotoon.

30 Siirtolaitteeseen 6 kuuluu runkoa 5 kolmidi- mensionaalisesti siirtävät siirtimet, jotka siirtävät hyvin pienin askelin, suuruusluokkaa esim. 1 pm. Laitteeseen kuuluu vielä tietojenkäsittelylaite 7 rungon 5 siirtymien rekisteröimiseksi pinnan muodon määrittä-35 mistä varten. Valokeilan optinen akseli 8 ja havain-nointisuunnan optinen akseli 9 ovat suorassa kulmassa toisiinsa nähden.

6 Ο .Λ »"> r ' Η ^ / '·' c

Paikkaherkkään 3 ilmaisimeen kuuluu ensimmäinen paikkaherkkä ilmaisin 31 ja toinen paikkaherkkä ilmaisin 3 . Laitteeseen kuuluu säteenjakaja 10, joka on puoliläpäisevä peili tai säteenjakoprisma, kohteen pin-5 nasta siroavan keilan jakamiseksi ensimmäiseksi keilaksi 11 ensimmäiselle ilmaisimelle 31 ja toiseksi keilaksi 12 toiselle ilmaisimelle 32.

Laitteeseen kuuluu edelleen suurennusoptiikka 13, joka on järjestetty suurentamaan toisen keilan kuva 10 ja muodostamaan toisen ilmaisimen kuva-ala suurennusop-tiikan 13 suurennuksen määräämäksi osaksi ensimmäisen ilmaisimen 31 kuva-alasta. Ensimmäinen ilmaisin 31 ja toinen ilmaisin 32, säteenjakaja 10 ja suurennusoptiikka 13 on kaikki kiinnitetty runkoon 5.

15 Ensimmäinen ilmaisin 31 on järjestetty karkea- paikantamaan toisen keilan 12 kuva toisen ilmaisimen 32 kuva-alaan yhteistoiminnassa siirtolaitteen 6 kanssa. Tietojenkäsittelylaite 7 on järjestetty määrittämään toisen ilmaisimen 32 kuva-alasta toisen keilan 12 kuvan 20 paikka kuvatasossa, ja sen perusteella laskennallisesti edelleen tarkentamaan muodon mittauksen tulosta siirtolaitteesta saatua arvoa tarkemmaksi.

Kuvassa 2 on ensimmäisen paikkaherkän ilmaisimen 31 kuva-ala 20. Ilmaisin 31 on kaksiulotteinen il-25 maisin eli esim. CCD-kenno tai muu sopiva matriisi-ilmaisin. Kuvassa näkyy tilanne, jossa kohteen pinnasta CCD-kennolle kuvautuva pistemäinen täplä on siirto-laitteen avulla runkoa 5 siirtämällä asetettu CCD-ken-non keskelle. Valokeilan kuva eli täplä 22 säädetään 30 kuva-alan 20 keskelle, jolloin pinnasta siroavan valon-sädekimpun kuvan intensiteettipiikki on kapeimmillaan ja terävimmillään. Ilmaisin 31 on karkeapaikannin, jonka keskiosaan katkoviivoilla piirretty suorakaiteenmuotoinen pieni alue 21 vastaa toisen ilmaisimen 32 kuva-alaa, 35 joka on esitetty kuvassa 3. Kun täplä 22 on asetettu ko. alueelle niin se näkyy myös toisen ilmaisimen 32 kuva-alassa 21 suurennettuna kuvana, jonka suurennuksen 7 O .O ·· 1 > / 4· t· määrää suurennusoptiikan 13 suurennussuhde. Ensimmäisen ilmaisimen 31 kuva-alassa 20 olevan täplän 22 koko on vain muutaman pikselin suuruusluokkaa, joten siitä sen keskipisteen tarkkaa paikkaa ja täplän muotoa on mahdo-5 tonta analysoida millään kuvankäsittelytekniikalla. Sen sijaan ko. analysointi suoritetaan toisen ilmaisimen 32 avulla, josta digitaalisilla kuvankäsittelytekniikoilla kuvaa 22 voidaan halutusti analysoida ja täplän keskipisteen tarkka paikka ja täplän muoto voidaan määrit-10 tää. Voidaan myös tutkia onko mitattavan kohteen pinnalle muodostunut kuva kelvollinen tarkkoihin mittauksiin. Kuvankäsittelymenetelmät voivat olla hyvinkin monipuolisia, sillä ilmaisimelle 32 saadun kuvan suuri suurennus antaa tähän erinomaiset mahdollisuudet.

15 Kuvassa 4 on toinen laite kohteen pinnan muo don mittaamiseksi. Tämän laitteen yhteydessä käytetään samoja viitenumeroita samoista laitteen osista kuin kuvassa 1. Laitteeseen kuuluu valonlähde 1, joka on esim. puolijohdelaser tai muu sopiva laser, joka on 20 järjestetty lähettämään valokeila kohteen pintaan. Laitteeseen kuuluu myös ensimmäiset optiset välineet 2, joiden tehtävänä on fokusoida valokeila 8 kohteen pinnalle olennaisesti pistemäiseksi täpläksi.

Laitteeseen kuuluu myös säteenjakaja 10 koh-25 teen pinnasta siroavan keilan 9 jakamiseksi ensimmäi-‘ seksi keilaksi 11 ensimmäiselle ilmaisimelle 31 ja toiseksi keilaksi 12 toiselle ilmaisimelle 32 sekä suurennusoptiikka 13 toisen keilan kuvan 22 suurentamiseksi ja toisen ilmaisimen kuva-alan 21 muodostamiseksi 30 suurennusoptiikan suurennuksen määräämäksi osaksi ensimmäisen ilmaisimen kuva-alasta 20.

Optiset välineet 2 on tässä sovellutuksessa toteutettu siten, että niihin kuuluu reikäsuodin so. pinhole-suodin 14 ja säteenjakaja 15, joka on puolilä-35 pälsevä peili tai säteenjakoprisma. Optisiin välineisiin 2 kuuluu lisäksi optiikka 16, joka on yhdistetty .··· siirtolaitteeseen 17. Säteenjakajan 15 avulla valokei- 8 r . rt / J A /A«~ lan optinen akseli 8 on järjestetty kohtaamaan tutkittava pinta likipitäen kohtisuorasti. Tällöin valokeilan optisella akselilla on pinnan normaaliin N nähden pieni kulma a. Lisäksi valokeila on suunnattu siten, että 5 valokeilan fokus esiintyy havainnointisuunnan optisen akselin 9 kautta kulkevalla tasolla. Havainnointisuunnan eli toisten optisten välineiden 4 yhteinen optinen akseli kulkee tällöin säteenjakajan 15 läpi. Tällä järjestelyllä valokeilan fokuspiste siirtyy pinnan etäi-10 syyden mukaan siten, että laitetta lähellä oleva pinta aihettaa valokeilan fokuksen siirtymisen yhteen suuntaan, kuten vasemmalle kuvassa 4, ja vastaavasti etäällä oleva pinta siirtymisen vastakkaiseen suuntaan, kuten oikealle kuvassa 4.

15 Valokeilan fokuspistettä tutkitaan paikkaherk- kään ilmaisimeen 3 kuuluvien ensimmäisen paikkaherkän ilmaisimen 31, joka on tässä tapauksessa rivikamera 18, ja toisen paikkaherkän ilmaisimen 32, joka on esim. mat-· riisikamera 19 siihen yhdistettyine suurennusoptiikkoi-20 neen 13, avulla periaatteessa samalla tavalla kuin kuvan 1 sovellutuksessa. Valokeilan fokuspiste asetetaan optiikaa 16 siirtolaitteen 17 avulla pystysuunnassa pintaa vastaan siirtämällä siten, että valokeilan fokus esiintyy rivikameran 18 kuva-alan 20 keskellä, 25 kuten kuvasta 5 käy ilmi. Mitattava pinta on tällöin siirrettävän optiikan 16 polttovälin etäisyydellä laitteesta. Optiikan 16 tarkka paikka mitataan ja rekisteröidään tässä kohdassa tietojenkäsittelylaitteen 7 avulla. Fokuspiste sijaitsee nyt matriisikameran 19 30 kuva-alalla 21, kuten kuvasta 6 voidaan havaita. Mat-riisikamerassa 19 on voimakkaasti suurentava optiikka 13, jolloin halkaisijaltaan suuruusluokkaa 10 pm oleva fokuspiste näkyy matriisikameran kuva-alalla 21 täplänä 22, joka on enemmän tai vähemmän säännöllisen ympyrän 35 tai ellipsin muotoinen pinta-alan omaava alue, kuten kuvassa 6 on havainnollisesti esitetty. Digitaalisilla kuvankäsittelytekniikoilla fokuspisteen kuvaa 22 voi- /·, —. r? « S β i L\ t 9 daan halutusti analysoida ja täplän keskipisteen tarkka paikka ja täplän muoto voidaan määrittää, kuten edellä kuvien 1-3 yhteydessä selostettiin. Kuvan 22 muotoa tutkimalla voidaan arvioida myös mittauksen luotetta-5 vuutta.

Tutkittavan pinnan muoto saadaan selville mittaamalla kussakin mittauspisteessä pinnan etäisyys laitteesta. Etäisyys määritetään tietojenkäsittelylait-teella 7 yhdistämällä siirrettävän optiikan 16 asema-10 tieto ja valokeilan fokuksen kuvan keskipisteen sijainti matriisikameran 19 kuva-alalla. Viittaamme kuvan 1 sovellutuksen selitykseen. Kuvan 4 sovellutuksessa runko 5 on pintaa vasten kohtisuorassa suunnassa paikallaan ja optiikkaa 16 liikutetaan siirtolaitteella 15 17, kun taas kuvan 1 sovellutuksessa runkoa 5 liiku tetaan siirtolaitteella 6 ko. suunnassa.

Keksintöä ei rajata pelkästään edellä esitettyjä sovellutusesimerkkejä koskevaksi, vaan monet muunnokset ovat mahdollisia pysyttäessä patenttivaatimusten 20 määrittelemän keksinnöllisen ajatuksen puitteissa.

Claims (8)

10 r% r\ t~* / ' y c

1. Laite kohteen pinnan muodon mittaamiseksi/ johon laitteeseen kuuluu valonlähde (1), joka on jär-5 jestetty lähettämään valokeila kohteen pintaan; ensimmäiset optiset välineet (2) valokeilan fokusoimiseksi kohteen pinnalle olennaisesti pistemäiseksi; paikka-herkkä ilmaisin (3) pinnasta siroavan valokeilan kuvan paikan ilmaisemiseksi; toiset optiset välineet (4) 10 siroavan keilan suuntaamiseksi ilmaisimeen; runko (5), johon valonlähde, optiset välineet ja ilmaisin on kiinnitetty; ja siirtolaite (6), joka on järjestetty siirtämään valonlähteen lähettämän valokeilan fokus aina kussakin mittauspisteessä pinnan tasolle ja asettamaan 15 siroavan keilan kuva ilmaisimen kuva-alan ennaltamäärä-tylle alueelle, edullisesti kuva-alan keskelle, jolloin fokuksen siirtymät ovat suoraan verrannollisia pinnan muotoon; ja tietojenkäsittelylaite (7) fokuksen siirtymien rekisteröimiseksi pinnan muodon määrittämistä 20 varten, tunnettu siitä, että paikkaherkkään ilmaisimeen (3) kuuluu ensimmäinen paikkaherkkä ilmaisin (31; 18) ja toinen paikkaherkkä ilmaisin (32; 19), joka on kaksiulotteinen; että laitteeseen kuuluu sä-teenjakaja (10) kohteen pinnasta siroavan keilan jaka-25 miseksi ensimmäiseksi keilaksi (11) ensimmäiselle ilmaisimelle (31; 18) ja toiseksi keilaksi (12) toiselle ilmaisimelle (32; 19); suurennusoptiikka (13) toisen keilan kuvan (22) suurentamiseksi ja toisen ilmaisimen kuva-alan (21) muodostamiseksi suurennusoptiikan suu-30 rennuksen määräämäksi osaksi ensimmäisen ilmaisimen kuva-alasta (20); että ensimmäinen ilmaisin (31; 18) on järjestetty karkeapaikantimeksi toisen keilan (12) kuvan kohdistamiseksi toisen ilmaisimen (32; 19) kuva-alaan yhteistoiminnassa siirtolaitteen (6; 17) kanssa; 35 ja että tietojenkäsittelylaite (7) on järjestetty määrittämään toisen ilmaisimen (32; 19) kuva-alasta (21) toisen keilan (12) kuvan (22) paikan, ja sen perusteel- 11 · y / 4 c la laskennallisesti edelleen tarkentamaan mittauksen tulosta siirtolaitteesta (6; 17) saatua arvoa tarkemmaksi .

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laite, 5 tunnettu siitä, että siirtolaite (6) on järjestetty siirtämään laitteen runkoa (5) kohtisuoraan pintaa vastaan siten, että rungon siirtymät ovat suoraan verrannollisia pinnan muotoon ja ne rekisteröidään pinnan muodon määrittämistä varten.

3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laite, tunnettu siitä, että ensimmäisiin optisiin välineisiin (2) kuuluu säteenjakaja (15) ja optiikka (16), jonka säteenjakajan (15) avulla valokeilan optinen akseli (8) on järjestetty kohtaamaan tutkittava 15 pinta pinnan normaaliin (N) nähden pienessä kulmassa (a) siten, että valokeilan fokus esiintyy havainnoin-tisuunnan optisen akselin (9) kautta kulkevassa tasossa, ja joka optiikka (16) on yhdistetty siirtolaitteeseen (17) siten, että optiikka (16) on siirrettävissä 20 pystysuunnassa pintaa vastaan valokeilan fokusen siirtämiseksi siten, että optiikan (16) siirtymät ovat suoraan verrannollisia pinnan muotoon ja ne rekisteröidään pinnan muodon määrittämistä varten.

4. Patenttivaatimuksen 1, 2 tai 3 mukainen 25 laite, tunnettu siitä, että siirtolaitteeseen (6; 17) kuuluu yksi tai useampi siirrin.

5. Jonkin patenttivaatimuksista 1-4 mukainen laite, tunnettu siitä, että ensimmäinen ilmaisin (31) on rivikamera (18).

6. Jonkin patenttivaatimuksista 1-4 mukainen laite, tunnettu siitä, että ensimmäinen ilmaisin (31) on matriisikamera.

7. Jonkin patenttivaatimuksista 1-6 mukainen laite, tunnettu siitä, että valonlähde (1) on 35 laser, kuten puolijohdelaser.

8. Jonkin patenttivaatimuksista 1-7 mukai-nen laite, tunnettu siitä, että säteenjakaja 12 f—> I '> -J / ' z (10; 15) on puoliläpäisevä peili, säteenjakoprisma tai sen tapainen, josta osa säteilystä heijastuu ja osa pääsee läpi.