FI89746B - Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet - Google Patents

Claims (8)

1. Anordning för bestämning av formen av ett mälobjekts yta, tili vilken anordning hör en ljuskälla 5 (1), vilken är anordnad att sända en ljuskägla mot malobjektets yta; första optiska medel (2) för fo-kusering av ljuskäglan väsentligen punktformigt mot malobjektets yta; en positionskänslig detektor (3) för detektering av den frän ytan spridda ljuskäglans bilds 10 position; andra optiska medel (4) för riktande av den spridda käglan tili detektorn; en ram (5), vid vilken ljuskällan, de optiska medlen och detektorn är fästa; och en överföringsanordning (6), vilken är anordnad att i var och en mätpunkt överföra den frän ljuskällan 15 utsända ljuskägglans fokus till ytans pian och att inställa den spridda ljuskäglans bild pä detektorns bildyta inom ett pä förhand bestämt omräde, fördelak-tigt mitt i bildomrädet, varvid förskjutningarna av fokus är direkt proportionella mot ytans form; och en 20 databehandlingsanordning (7) för registrering av förskjutningarna av fokus för bestämning av ytans form, kännetecknad därav, att tili den positions-känsliga detektorn (3) hör en första positionskänslig detektor (31; 18) och en andra positionskänslig detektor 25 (3Z; 19), vilken är tvädimensionell; att tili anordnin- gen hör en strälfördelare (10) för delande av den frän malobjektets yta spridda käglan i en första kägla (11) tili den första detektor (31; 18) och en andra kägla (12) tili den andra detektorn (32; 19); en för- s-30 toringsoptik (13) för förstoring av den andra käglans bild (22) och för den andra detektorns bildomrädes (21) utformning tili en av förstoringsoptikens förstoring bestämd del av den första detektorns bildomräde (20); i ·'· ) 7 ' c 13 att den första detektorn (31; 18) är anordnad för grov-positionsbestämning för den andra käglans (12) bilds fokusering i den andra detektorns (32; 19) bildomräde i samverkan med överföringsanordningen (6; 17); och att 5 en databehandlingsanordning (7) har anordnats att ur den andra detektorns (3Z; 19) bildomräde (21) bestämma den andra käglans (12) bilds (22) position, och att pä grund härav genom kalkylering vidare precisera bestäm-ningens resultat noggrannare än det frän överförings-10 anordningen (6; 17) erhällna värdet.

2. Anordning enligt patentkrav 1, kanne-t e c k n a d därav, att överföringsorganet är anord-nat att förskjuta anordningens ram (5) vinkelrätt mot ytan sä, att ramens förskjutningar är direkt proportio- 15 neliä mot ytans form och de registreras för bestämning av ytans form.

3. Anordning enligt patentkrav 1, känne-t e c k n a d därav, att tili de första optiska medlen (2) hör en strälfördelare (15) och optik (16), med vil- 20 ken strälfördelares (15) hjälp ljuskäglans optiska axel (8) är anordnad att träffa ytan, som skall undersökas, i förhällande tili ytans normal (N) i en liten vinkel (a) sä, att ljuskäglans fokus framträder i ett genom iakttagelseriktningens optiska axel (9) gäende pian, 25 och vilken optik (16) är förenad med överföringsanordningen (17) sä, att optiken (16) i vertilalriktning är förskjutbar mot ytan för förskjutning av ljuskäglans fokus sä, att optikens (16) förskjutningar är direkt proportionella mot ytans form och de registreras för 30 bestämning av ytans form.

4. Anordning enligt patentkrav 1, 2 eller 3, kännetecknad därav, att tili överföringsanordningen (6; 17) hör en eller flere förskjutnings-organ.

5. Anordning enligt nägot av patentkraven 1 - 4, kännetecknad därav, att den första detektorn (31) utgörs av en radkamera (18). r' il < C 14

6. Anordning enligt nägot av patentkraven 1 -4, kännetecknad därav, att den första detektorn (31) utgörs av en matriskamera.

7. Anordning enligt nägot av patentkraven 1 - 5 6, kännetecknad därav, att ljuskällan (1) utgörs av en laser, säsom en halvledarlaser.

8. Anordning enligt nägot av patentkraven 1 - 7, kännetecknad därav, att strälfördelaren (10; 15) är en semipermeabel spegel, ett strälfördel- 10 ningsprisma eller liknande, varifrän en del av sträl-ningen reflekteras och en del tränger igenom. i