[go: up one dir, main page]

FI20000032A7 - Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi - Google Patents

Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi Download PDF

Info

Publication number
FI20000032A7
FI20000032A7 FI20000032A FI20000032A FI20000032A7 FI 20000032 A7 FI20000032 A7 FI 20000032A7 FI 20000032 A FI20000032 A FI 20000032A FI 20000032 A FI20000032 A FI 20000032A FI 20000032 A7 FI20000032 A7 FI 20000032A7
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
imaging areas
checking
arrangement
different imaging
irradiations
Prior art date
Application number
FI20000032A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI20000032A0 (fi
Inventor
Martti Karppinen
Heimo Keränen
Pekka Juntunen
Original Assignee
Spectra Physics Visiontech Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Spectra Physics Visiontech Oy filed Critical Spectra Physics Visiontech Oy
Priority to FI20000032A priority Critical patent/FI20000032A7/fi
Publication of FI20000032A0 publication Critical patent/FI20000032A0/fi
Priority to US09/754,214 priority patent/US20010015414A1/en
Priority to EP01660002A priority patent/EP1114993A3/en
Priority to JP2001001777A priority patent/JP2001242091A/ja
Publication of FI20000032A7 publication Critical patent/FI20000032A7/fi

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles

Landscapes

  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

Keksinnön kohteena on menetelmä ja menetelmän toteuttava järjestely kohteen (106) pinnan tarkistamiseksi, jossa menetelmässä kohteen ja järjestelyn kohteen pinnan tarkistamiseksi välillä on liike ja kohteen pintaa säteilytetään optisella säteilyllä. Edellä mainittu säteilytys suoritetaan kohteen pinnan eri kuvausalueille (108, 110) siten, että säteilytykset poikkeavat toisistaan ainakin yhdeltä ominaisuudeltaan eri kuvausalueiden kesken. Kuvausalueet kuvataan kuvainformaatioiden muodostamiseksi samasta kohteen pinta-alueesta toisistaan poikkeavissa säteilytyksissä ja eri kuvausalueilta saatuja saman pinta-alueen kuvainformaatioita verrataan ja/tai yhdistellään toisiinsa pinnan tarkistusinformaation muodostamiseksi.&sr;(Kuvio 1)
FI20000032A 2000-01-07 2000-01-07 Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi FI20000032A7 (fi)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20000032A FI20000032A7 (fi) 2000-01-07 2000-01-07 Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi
US09/754,214 US20010015414A1 (en) 2000-01-07 2001-01-05 Method and arrangement for inspection of surfaces
EP01660002A EP1114993A3 (en) 2000-01-07 2001-01-05 Method and arrangement for inspection of surfaces
JP2001001777A JP2001242091A (ja) 2000-01-07 2001-01-09 表面検査のための方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20000032A FI20000032A7 (fi) 2000-01-07 2000-01-07 Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FI20000032A0 FI20000032A0 (fi) 2000-01-07
FI20000032A7 true FI20000032A7 (fi) 2001-10-26

Family

ID=8556992

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20000032A FI20000032A7 (fi) 2000-01-07 2000-01-07 Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20010015414A1 (fi)
EP (1) EP1114993A3 (fi)
JP (1) JP2001242091A (fi)
FI (1) FI20000032A7 (fi)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1620711A4 (en) * 2003-04-24 2007-04-04 Odyssey Developments Ltd MEASURING ROAD REFLECTANCE AND ROAD LIGHTING
US7122819B2 (en) * 2004-05-06 2006-10-17 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for imager die package quality testing
US7285767B2 (en) * 2005-10-24 2007-10-23 General Electric Company Methods and apparatus for inspecting an object
WO2007057993A1 (ja) * 2005-11-21 2007-05-24 Daihatsu Motor Co., Ltd. 圧延材識別方法およびその装置
US7834991B2 (en) * 2006-07-13 2010-11-16 Byk Gardner Gmbh Determining surface properties with angle offset correction
FI121151B (fi) * 2007-11-22 2010-07-30 Valtion Teknillinen Menetelmä ja laitteisto liikkuvan pinnan topografian ja optisten ominaisuuksien määrittämiseksi
FI20075975L (fi) * 2007-12-31 2009-07-01 Metso Automation Oy Rainan mittaus
JP5621178B2 (ja) * 2009-10-24 2014-11-05 株式会社第一メカテック 外観検査装置及び印刷半田検査装置
JP2011242176A (ja) * 2010-05-14 2011-12-01 Bridgestone Corp 帯状部材の形状測定方法とその装置及び変位センサー
US8416409B2 (en) * 2010-06-04 2013-04-09 Lockheed Martin Corporation Method of ellipsometric reconnaissance
RU2483295C2 (ru) * 2011-02-02 2013-05-27 Николай Александрович Кравцов Способ диагностирования качества поверхностной структуры металлопроката
JP2013096784A (ja) * 2011-10-31 2013-05-20 Toppan Printing Co Ltd 表面特性測定装置及びコンピュータプログラム
JP5882730B2 (ja) * 2011-12-28 2016-03-09 株式会社ブリヂストン 外観検査装置及び外観検査方法
CN104297162A (zh) * 2014-09-17 2015-01-21 宁波高新区晓圆科技有限公司 一种多波长多方位视觉检测方法
JP6686569B2 (ja) * 2016-03-14 2020-04-22 東芝三菱電機産業システム株式会社 表面疵撮影装置
US10290113B2 (en) 2016-04-08 2019-05-14 Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation Surface state monitoring apparatus for metallic body and surface state monitoring method for metallic body
WO2017207115A1 (en) * 2016-05-30 2017-12-07 Bobst Mex Sa Surface inspection system and inspection method
KR102484352B1 (ko) * 2016-08-18 2023-01-04 한화정밀기계 주식회사 부품 실장기의 카메라 모듈
JP6149990B2 (ja) * 2016-09-02 2017-06-21 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置
JP6683088B2 (ja) * 2016-09-23 2020-04-15 日本製鉄株式会社 表面性状検査装置、表面性状検査方法及びプログラム
CN113310441B (zh) * 2021-06-01 2022-06-10 湖南大学 一种对金属表面粗糙度加工进行探测的偏振关联成像方法
DE102022002963B4 (de) * 2022-08-16 2024-08-22 Baumer lnspection GmbH Optische Prüfvorrichtung und Prüfverfahren

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2612482A1 (de) * 1976-03-24 1977-10-06 Hoesch Werke Ag Verfahren und einrichtung zur optischen beobachtung der oberflaeche von schnell bewegtem walzmaterial
DE19720308C2 (de) * 1997-05-15 1999-05-20 Parsytec Computer Gmbh Vorrichtung zur kontinuierlichen Detektion von Fehlern nach Größe und Art auf der Oberfläche eines bewegten Materials
ES2153150T3 (es) * 1997-08-22 2001-02-16 Fraunhofer Ges Forschung Metodo y aparato para la inspeccion automatica de superficies en movimiento.
AT406528B (de) * 1998-05-05 2000-06-26 Oesterr Forsch Seibersdorf Verfahren und einrichtung zur feststellung, insbesondere zur visualisierung, von fehlern auf der oberfläche von gegenständen

Also Published As

Publication number Publication date
FI20000032A0 (fi) 2000-01-07
EP1114993A3 (en) 2002-06-05
US20010015414A1 (en) 2001-08-23
EP1114993A2 (en) 2001-07-11
JP2001242091A (ja) 2001-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI20000032A7 (fi) Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi
FI20001568A7 (fi) Pinnan muotojen määrittäminen
ATE498124T1 (de) Off-center-tomosynthese
Koenig et al. Optical smoothing techniques for shock wave generation in laser-produced plasmas
ATE227434T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur objektabbildung
WO2000021114A8 (en) X-ray scanning method and apparatus
WO2000022566A8 (en) Method and apparatus for extended depth of field imaging
DE59106941D1 (de) Verfahren, bei dem mehrere, in einer oder mehreren Reihen angeordnete Strahlungsquellen abgebildet werden und Vorrichtung hierzu.
NZ506896A (en) Solid-state magnetic resonance imaging using RF pulses
WO2005015189A3 (en) X-ray fluorescence system with apertured sample mask for analyzing patterned surfaces
DE69736818D1 (de) Verfahren und System zur Aufnahme eines Objekts oder Musters
DE69832107D1 (de) Bilderzeugungsgerät für Bilderzeugung durch Elektronenbestrahlung
EP0814334A3 (en) Method and apparatus for obtaining three-dimensional information of samples
BR9909005A (pt) Dispositivo e processo para analisar uma amostra
JPS5642205A (en) Focus detecting method
TW368714B (en) Method and apparatus for inspecting high-precision patterns
ATE264199T1 (de) Verfahren zum aufbringen von farbigen informationen auf einen gegenstand
KR910019132A (ko) 영상 노출 시스템 및 방법
GB2249843A (en) Image production
DE60133090D1 (de) Verfahren zur bildgebung des kopfbereiches
KR980005342A (ko) 전자빔 노광장치용 마스크 데이터 작성방법 및 마스크
GB2041639B (en) Electron beam lithography
HUP0100340A2 (hu) Eljárás alkatrészek megmunkálására elektromágneses sugárzással, valamint berendezés az alkatrészek egyesítéséhez, különösen forrasztásához
KR950701741A (ko) 스캐닝 대물렌즈(scanning object lens)
WO2005004188A3 (en) Far-field imaging in electron microscopy