FI120407B - Kristalldragningsanläggning - Google Patents
Kristalldragningsanläggning Download PDFInfo
- Publication number
- FI120407B FI120407B FI20020074A FI20020074A FI120407B FI 120407 B FI120407 B FI 120407B FI 20020074 A FI20020074 A FI 20020074A FI 20020074 A FI20020074 A FI 20020074A FI 120407 B FI120407 B FI 120407B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- boiler
- component
- furnace
- crystal drawing
- crystal
- Prior art date
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 32
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000002054 inoculum Substances 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Claims (10)
1. Kristalldragningsanläggning med en panna som ska tömmas, vil-ken bildas av en dragpanna med öppning, en bottenpanna och minst en ugns-pannakomponent och tili vilken kan föras en degel, vilken kristalldragnings- 5 anläggning uppvisar en spärrkammare, som ska förenas med dragpannan, ovanför öppningen för att motta en dragen kristall och en lyftanordning för att kunna lyfta spärrkammaren, kännetecknad av att lyftanordningen (20) uppvisar ätminstone ett gripverktyg (33), som ska kopplas vid varje tiilfälle tili en ugnspannakomponent (5), för att lyfta ugnspannakomponenten med spärr- 10 kammaren (9).
2. Kristalldragningsanläggning enligt patentkrav 1, kännetecknad av att lyftanordningen (20) uppvisar en vertikalt intill pannan (3) place-rade pelare (21) försedd med en därpä fiyttbar glidhylsa (22), som är koppiad tili en drivanordning.
3. Kristalldragningsanläggning enligt patentkrav 2, känneteck nad av att för glidhylsan (22) har lagrats ätminstone tva vridhylsor (23, 24) vridbart, varvid den Övre vridhyisan (23) kan kopplas tili spärrkammaren (9) och en eller flera nedre vridhylsor (24) tili ugnspannakomponenten eller ugns-pannakomponenterna (5, 5a, 5b).
4. Kristalldragningsanläggning enligt patentkrav 2 eller 3, känne tecknad av att drivanordningen bestär av en spiral (27) och ätminstone ett fast med glidhylsan (22) förenat drivhjul (28, 29),
5. Kristalldragningsanläggning enligt patentkrav 3, kännetecknad av att lyftanordningens (20) koppling med spärrkammaren (9) och med 25 ugnspannakomponenten eller ugnspannakomponenterna (5, 5a, 5b) sker vid varje tiilfälle via ett fritt melianrum, varvid det fria mellanrummet för spärrkammaren (9) är mindre än det fria utrymmet för varje ugnspannakomponent (5, 5a, 5b).
6. Kristalldragningsanläggning enligt patentkrav 5, känneteck- 30. a d av att det finns ätminstone tvä pä varandra anordnade ugnspannakom- ponenter (5, 5a, 5b), varvid varje övre ugnspannakomponents fria utrymme är mindre än varje under den anordnad komponents fria utrymme.
7. Kristalldragningsanläggning enligt patentkrav 5, kännetecknad av att gripverktyget eller gripverktygen (33, 33a, 33b) är rörliga utät bort 35 frän ugnspannakomponenten (5).
8. Kristalldragningsanläggning enligt patentkrav 5, känneteck-n a d av att en tallriksventil (8) är anordnad mellan spärrkammaren (9) och dragpannan (6) och ätminstone löstagbart förenad med spärrkammaren (9).
9. Kristalldragningsanläggning enligt nägot av de föregäende pa-5 tentkraven, k ä n n e t e c k n a d av att vid dragpannans (6) fläns kan fästas lyftdelar (41, 42) för att motta degeln (48).
10. Kristalldragningsanläggning enligt patentkrav 9, känne-t e c k n a d av att lyftdelarna (41, 42) bestär av ätminstone tvä krokar (41), vilka är fästa löstagbart vid dragpannans (6) kant och kan svängas runt en axel 10 (44), som löper tangentiait i förhällande tili dragpannans kant.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10102081 | 2001-01-18 | ||
| DE10102081A DE10102081A1 (de) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | Kristallziehanlage |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI20020074A0 FI20020074A0 (sv) | 2002-01-15 |
| FI20020074L FI20020074L (sv) | 2002-07-19 |
| FI120407B true FI120407B (sv) | 2009-10-15 |
Family
ID=7670941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI20020074A FI120407B (sv) | 2001-01-18 | 2002-01-15 | Kristalldragningsanläggning |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE10102081A1 (sv) |
| FI (1) | FI120407B (sv) |
| IT (1) | ITMI20020072A1 (sv) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2418109C1 (ru) * | 2009-11-09 | 2011-05-10 | Инновационно-технический центр Общество с ограниченной ответственностью "СИТИС" | Установка для получения монокристаллов |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2975036A (en) * | 1956-10-05 | 1961-03-14 | Motorola Inc | Crystal pulling apparatus |
| US3650701A (en) * | 1970-07-22 | 1972-03-21 | Commissariat Energie Atomique | Apparatus for growing crystalline bodies |
| US5944892A (en) * | 1996-02-28 | 1999-08-31 | General Signal Technology Corporation | Multiple station crystal growing system and method of using same |
| US6019841A (en) * | 1997-03-24 | 2000-02-01 | G.T. Equuipment Technologies Inc. | Method and apparatus for synthesis and growth of semiconductor crystals |
| JPH11171688A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-06-29 | Komatsu Koki Kk | 単結晶引上げ装置 |
-
2001
- 2001-01-18 DE DE10102081A patent/DE10102081A1/de not_active Ceased
-
2002
- 2002-01-15 FI FI20020074A patent/FI120407B/sv not_active IP Right Cessation
- 2002-01-16 IT IT2002MI000072A patent/ITMI20020072A1/it unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FI20020074A0 (sv) | 2002-01-15 |
| ITMI20020072A0 (it) | 2002-01-16 |
| FI20020074L (sv) | 2002-07-19 |
| ITMI20020072A1 (it) | 2003-07-16 |
| DE10102081A1 (de) | 2002-07-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107215665B (zh) | 一种管式分离机转鼓抓取车 | |
| CN114345854B (zh) | 一种用于管道清理的直径可调式前盘组件及管道清理机 | |
| JP2012509188A (ja) | 取瓶シュラウドを取り扱うための支持ヘッド | |
| FI120407B (sv) | Kristalldragningsanläggning | |
| CN214830757U (zh) | 一种高效下料的电镀挂具 | |
| CN114166032A (zh) | 中频炉自动清渣系统 | |
| TW202344721A (zh) | 用於清潔拉錠器設備之提拉纜線之清潔工具及方法 | |
| EP1844895A2 (en) | Braze/weld manipulator and method of manipulating nozzles | |
| CN110527841B (zh) | 可移动晶析设备及金属提纯系统 | |
| US20220298671A1 (en) | Crystal growing assembly with combination lift arm and winch | |
| JP2003002777A (ja) | 半導体単結晶引上げ装置及びそのライン構成 | |
| EP1193317B1 (fr) | Installation pour le traitement thermique de charges de pièces métalliques | |
| US6010569A (en) | Device for handling heavy components of a crystal puller according to the Czochralski method which is supported in a supporting frame | |
| KR100257696B1 (ko) | 단결정의 드로잉 장치를 위한 상승장치 | |
| KR970043342A (ko) | 단결정인상장치의 부재취급방법,단결정인상장치의 부재취급기구, 및 단결정인상장치의 부재취급지그 | |
| US6115903A (en) | Purge tube removal and replacement | |
| KR20100053884A (ko) | 래들장치과 탈착장치 및 이를 이용한 래들 커버의 탈착시스템 | |
| JP4775343B2 (ja) | 石英ルツボ及び多結晶シリコンの回収方法およびその装置 | |
| KR100227460B1 (ko) | 무거운 장비를 상승, 선회 및 회전시키기 위한 장치 | |
| KR101453661B1 (ko) | 코크스 오븐 상승관에 부착된 카본 제거장치 | |
| JP6109724B2 (ja) | 高設式栽培用作業装置 | |
| RU2031460C1 (ru) | Камера разделки двухпучковой топливной сборки ядерного реактора | |
| GB2426752A (en) | Lifting apparatus for immersing articles in a tank of cleansing fluid | |
| CN115572799A (zh) | 一种耐磨合金材料热处理用对流淬火池 | |
| JP2015112091A (ja) | 作業用搬送台車 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG | Patent granted |
Ref document number: 120407 Country of ref document: FI |
|
| MM | Patent lapsed |