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EP1141611B1 - System zur pulsationsfreien förderung von flüssigkeiten - Google Patents

System zur pulsationsfreien förderung von flüssigkeiten Download PDF

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Publication number
EP1141611B1
EP1141611B1 EP99957334A EP99957334A EP1141611B1 EP 1141611 B1 EP1141611 B1 EP 1141611B1 EP 99957334 A EP99957334 A EP 99957334A EP 99957334 A EP99957334 A EP 99957334A EP 1141611 B1 EP1141611 B1 EP 1141611B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
pressure
tanks
storage tank
small
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP99957334A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1141611A1 (de
Inventor
Claus Dusemund
Klaus Freissler
Wilfried Jammer
Michael Poth
Alberto Dix
Eberhard Tempel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BASF SE
Original Assignee
Merck Patent GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Merck Patent GmbH filed Critical Merck Patent GmbH
Publication of EP1141611A1 publication Critical patent/EP1141611A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1141611B1 publication Critical patent/EP1141611B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B9/00—Piston machines or pumps characterised by the driving or driven means to or from their working members
    • F04B9/08—Piston machines or pumps characterised by the driving or driven means to or from their working members the means being fluid
    • F04B9/12—Piston machines or pumps characterised by the driving or driven means to or from their working members the means being fluid the fluid being elastic, e.g. steam or air
    • F04B9/129—Piston machines or pumps characterised by the driving or driven means to or from their working members the means being fluid the fluid being elastic, e.g. steam or air having plural pumping chambers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/0318—Processes
    • Y10T137/0396—Involving pressure control
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2278—Pressure modulating relays or followers
    • Y10T137/2365—Plural series units
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/4673—Plural tanks or compartments with parallel flow

Definitions

  • the present invention relates to a liquid delivery system for pulsation-free delivery of liquids used for high purity, liquid chemicals in the Semiconductor industry can be used.
  • a liquid delivery system which shows the features of the preamble of claim 1 and which an arrangement for damping vibrations in closed liquid conveying systems having. It has a flow line in a circulation system, a consumer, a return line and a circulation pump on. To absorb pressure surges if the circulation pump fails are outside the actual circulation system in front of the circulation pump series-connected, with check valves Damper tank connected. In this system the real one Pumping of liquids is effected by the circulation pump.
  • the object of the present invention was therefore to provide a system to provide which as few moving parts as possible, such.
  • the task is solved by a liquid delivery system pulsation-free delivery, which liquids in a recirculation cycle promotes and has at least one intermediate container.
  • the object of the invention is achieved by a liquid delivery system for the pulsation-free delivery of liquids according to claim 1.
  • the present invention relates to such a pulsation-free Liquid delivery system in its special configurations, like it characterized by claims 2 to 7, as well as a method to operate a liquid circuit in this conveyor system, which characterized by claims 8 to 14.
  • At least two are parallel switched small pressure vessels integrated, which by means of a Pressure difference to the storage tank convey the liquid chemicals and replace a pump.
  • the one of the small containers (D1 or D2) connected in parallel in the filled one Condition a pressure on, which results from a height difference of at least 0.5 m between the storage tank (B1) and the height of the small one Containers are located at a lower level than the storage tank.
  • Each one of the small pressure vessels becomes the storage vessel connected to it filled, because of a pressure difference resulting from a height difference of at least 0.5 m between the storage container and the parallel pressure vessels, which are on a lower level located as the storage tank, while the other small pressure vessel is pressurized and the liquid from it is promoted starting in the circulation, with the regulation of the liquid flow done by electronically controllable valves.
  • the one of the connected in parallel small container is pressurized from a Height difference of 1 m between the storage tank and the two parallel switched containers results.
  • the pressure containers can be filled from the storage container be done by passing the liquid through a slight positive pressure communicating pipelines is conveyed into the pressure vessel.
  • the Pressure is reduced to the internal pressure of the storage container (B1).
  • This pressure reduction can be done by a valve, an orifice plate or a Pipe narrowing.
  • a development of the invention can in particular done by a conveyor system, the storage container one Has overpressure greater than or equal to 0.05 bar, the small pressure vessel are designed as containers for high pressure.
  • the pressure drops depending on the flow rate.
  • the residual pressure can, as stated above, by a Valve, an orifice or a pipe constriction on the internal pressure of the Storage or storage container can be reduced.
  • the liquid delivery system according to the invention enables the delivery of liquids in a recirculation circuit, with only one larger storage container or storage container (day tank) is required.
  • a particular advantage of this conveyor system is that a pump can two small pressure vessels connected in parallel is replaced.
  • the other promotes by applying a higher overpressure (2 -6 bar) to the storage tank the liquid in the circuit.
  • This can be done by appropriately switching electronically controllable valves accomplish.
  • the pressure to the internal pressure of the storage container B1 by means of a valve, a Aperture or pipe constriction reduced. Filling the storage tank from the outside by means of pumps (semi-pump system) or by Printing (printing system done).
  • the system combines the advantages of pumping systems through the one larger pressure vessels can be saved with those of the pressure systems.
  • the latter are characterized by a continuous flow and due to the lack of moving wear parts.
  • This system is advantageous when used as a supply system for electronic chemicals, since there are significant improvements compared to particle reduction Pump systems were found.
  • Another essential one The advantage over known supply systems is the low pulsation Driving style of the entire system.
  • the pumps When using pump systems with a recirculation circuit, the pumps are in the semiconductor industry around the clock in operation (typical value: 99.9% up-time a year). Through this continuous use, often in addition In the presence of very aggressive chemicals, the pumps need more and more Maintenance. In order to avoid interruptions in the chemical supply, the pumps must always be designed redundantly, d. H. to have to in the event of a malfunction, pumps can be installed in parallel, which automatically replace them be switched on.
  • the semipump system according to the invention has a significant impact fewer wear parts and the maintenance effort is corresponding lower.
  • the inventive one System compared to vacuum pressure systems, the inventive one System the following advantages:
  • B1 represents a storage container or mixing container which can be filled by pumping or pressure.
  • B1 and the pressure vessels D1 and D2 are on different levels, so that there is a minimal static height difference between the level of D1 max (D2) max and that of the vessel B1 min , which is sufficient to fill the pressure vessel.

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Flüssigkeitsförderssystem zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten, das für hochreine, flüssige Chemikalien in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden kann.
In Produktionsverfahren der Halbleiterindustrie werden üblicherweise hochreine Chemikalien eingesetzt, an die sehr hohe Anforderungen bezüglich der Partikelfreiheit gestellt werden. Da es sich bei den verwendeten Chemikalien häufig um stark ätzende oder oxidierende Substanzen handelt werden entsprechend hohe Ansprüche an die Reinheit bzw. Resistenz der mit den Chemikalien in Berührung kommenden Materialien gestellt. Besonders kritisch bezüglich der Partikelfreisetzung sind in diesem Zusammenhang Stellen, an denen die Chemikalien mit beweglichen Teilen im System in Berührung kommen. Die Anforderungen an die Partikelfreiheit wachsen ständig und bisher bekannte Vorrichtungen können diese neuen Anforderungen nicht in zufriedenstellender Weise erfüllen.
Aus WO86/03263 ist ein Flüssigkeitsfördersystem bekannt, das die Merkmale des Oberbegriffs von Anspruch 1 zeigt und das eine Anordnung zur Dämpfung von Schwingungen in geschlossenen Flüssigkeitsfördersystemen aufweist. Es weist in einem Zirkulationssystem eine Vorlaufleitung, einen Verbraucher, eine Rücklaufleitung und eine Umwälzpumpe auf. Zum Auffangen von Druckstößen beim Ausfall der Umwälzpumpe sind außerhalb des eigentlichen Zirkulationssystems vor der Umwälzpumpe in Reihe geschaltete, mit Rückschlagventilen versehene Dämpfungsbehälter angeschlossen. In diesem System wird die eigentliche Förderung der Flüssigkeiten durch die Umwälzpumpe bewirkt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es daher, ein System zur Verfügung zu stellen, welches möglichst wenige bewegliche Teile, wie z. B. Pumpen aufweist.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt durch ein Flüssigkeitsfördersystem zur pulsationsfreien Förderung, welches Flüssigkeiten in einem Rezirkulationskreislauf fördert und mindestens einen Zwischenbehälter aufweist.
Insbesondere erfolgt die Lösung der erfindungsgemäßen Aufgabe durch ein Flüssigkeitsfördersystem zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten nach Anspruch 1.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein solches pulsationsfreies Flüssigkeitsfördersystem in seinen besonderen Ausgestaltungen, wie es durch die Ansprüche 2 bis 7 charakterisiert ist, ebenso wie ein Verfahren zum Betrieb eines Flüssigkeitskreislaufs in diesem Fördersystem, welches durch die Ansprüche 8 bis 14 charakterisiert ist.
In diesem erfindungsgemäßen System sind also mindestens zwei parallel geschaltete kleine Druckbehälter eingebunden, welche mittels einer Druckdifferenz zum Speicherbehälter die flüssigen Chemikalien fördern und eine Pumpe ersetzen.
Von diesen zwei parallel geschalteten kleinen Druckbehältern (D1, D2) wird der eine mittels einer Pumpe befüllt, während der andere mit einem Überdruck im Vergleich zum Lagerbehälter (B1) beaufschlagt wird und die Flüssigkeit von ihm ausgehend im Kreislauf fördert, wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch elektrisch steuerbare Ventile erfolgt.
Charakteristisch ist für dieses Fördersystem, daß der kleine Behälter (D1 oder D2), welcher den höheren Druck aufweist, einen Überdruck von 2 bis 6 bar besitzt, und daß die beiden kleinen Behälter der Anlage im Betrieb abwechselnd mit Druck beaufschlagt werden, wodurch ein kontinuierlicher Flüssigkeitsstrom erzeugt wird.
In einer Ausgestaltung der Erfindung weist der eine der parallel geschalteten kleinen Behälter (D1 oder D2) im befüllten Zustand einen Druck auf, welcher sich aus einer Höhendifferenz von mindestens 0,5 m zwischen dem Lagertank (B1) und der Höhe der kleinen Behälter ergibt, die sich auf einer tieferen Ebene befinden als der Lagertank. Jeweils einer der kleinen Druckbehälter wird aus dem mit ihm verbundenen Lagerbehälter befüllt, und zwar aufgrund einer Druckdifferenz, die sich aus einer Höhendifferenz von mindestens 0,5 m zwischen dem Lagerbehälter und den parallel geschalteten Druckbehältern, welche sich auf einer tieferen Ebene befinden als der Lagertank, ergibt, während der andere kleine Druckbehälter mit einem Überdruck beaufschlagt wird und die Flüssigkeit von ihm ausgehend im Kreislauf gefördert wird, wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch elektronisch steuerbare Ventile erfolgt.
In einer besonderen Ausführungsform ist der eine der parallel geschalteten kleinen Behälter mit einem Druck beaufschlagt, der sich aus einer Höhendifferenz von 1 m zwischen dem Lagertank und den beiden parallel geschalteten Behältern ergibt.
Gemäß einer Weiterbildung kann die Befüllung der Druckbehälter aus dem Lagerbehälter erfolgen, indem die Flüssigkeit mittels leichtem Überdruck durch kommunizierende Rohrleitungen in die Druckbehälter gefördert wird.
Am Ende des Rezirkulationskreislaufs (RK) des Fördersystems wird der Druck auf den Innendruck des Lagerbehälter (B1) reduziert wird.
Diese Druckreduzierung kann durch ein Ventil, eine Blende oder eine Rohrverengung erfolgen.
Eine Weiterbildung der Erfindung kann insbesondere durch ein Fördersystem erfolgen, dessen Lagerbehälter einen Überdruck von größer gleich 0,05 bar aufweist, wobei die kleinen Druckbehälter als Behälter für hohen Druck ausgelegt sind.
Im gesamten Rezirkulationskreislauf fällt der Druck in Abhängigkeit von dem Förderstrom ab. Der Restdruck kann, wie oben gesagt, durch ein Ventil, eine Blende oder eine Rohrverengung auf den Innendruck des Speicher- oder Lagerbehälters reduziert werden.
Das erfindungsgemäße Flüssigkeitsfördersystem ermöglicht die Förderung von Flüssigkeiten in einem Rezirkulationskreislauf, wobei nur ein größerer Speicherbehälter oder Lagerbehälter (Day-Tank) benötigt wird.
Ein besonderer Vorteil dieses Fördersystems ist, daß eine Pumpe durch zwei parallel geschaltete, kleine Druckbehälter ersetzt wird. Diese Druckbehälter besitzen, ein Volumen von 1-200 l. Während der eine Druckbehälter durch die Druckdifferenz, die sich aus der statische Höhendifferenz (> 0,5 m) des Speicher- oder Lagerbehälters (B1) zu den Druckbehältern (D1, D2) ergibt, oder mittels einer Pumpe befüllt wird, fördert der andere durch Anlegen eines höheren Überdrucks (2 -6 bar) zum Speicherbehälter die Flüssigkeit im Kreislauf. Dies läßt sich durch entsprechendes Schalten von elektronisch steuerbaren Ventilen bewerkstelligen. Am Ende des Rezirkulationskreislaufes wird der Druck auf den Innendruck des Lagerbehälter B1 mittels eines Ventils, einer Blende oder Rohrverengung vermindert. Die Befüllung des Lagertanks von außen kann mittels Pumpen (Semi-Pumpsystem) oder auch durch Druck (Drucksystem erfolgen).
Die Befüllung der Druckbehälter D1 bzw. D2 aus dem Speicherbehälter B1 läßt sich auch durch einen leichten Überdruck in B1 (>0.05 bar) bewerkstelligen (s.o.). In diesem Fall muß aber B1 der Druckbehälterverordnung genügen.
Durch den hier beschriebenen Aufbau des erfindungsgemäßen Fördersystems ergeben sich folgende Vorteile gegenüber herkömmlichen Systemen:
Das System kombiniert die Vorteile von Pumpsystemen, durch die ein größerer Druckbehälter eingespart werden kann, mit denen der Drucksysteme. Letztere zeichnen sich durch einen kontinuierlichen Fluß und durch das Fehlen von beweglichen Verschleißteilen aus. Dieses System ist vorteilhaft im Einsatz als Versorgungssystem von Elektronikchemikalien, da besonders bei der Partikelreduktion deutliche Verbesserungen gegenüber Pumpsystemen gefunden wurden. Ein anderer wesentlicher Vorteil gegenüber bekannten Versorgungssystemen ist die pulsationsarme Fahrweise des gesamten Systems.
Weiterhin ist dieses System erheblich preisgünstiger als andere übliche Drucksysteme, bei denen z. B. mit zwei größeren Lagerbehältern (Druckbehältern, > 3 bar) gearbeitet wird, da hier nur ein druckloser Lagerbehälter und zwei kleine Druckbehälter ( >2 bar) benötigt werden.
Der durch das System erzeugte kontinuierliche, gleichmäßige Flüssigkeitsfluß ist mit einer Partikelreduktion verbunden. Dadurch arbeiten in den Kreislauf eingebaute Filter effektiver, weil dieses System im Gegensatz zu mit Membran- oder Faltenbalgpumpen aufgebauten System pulsationsfrei läuft. Es unterliegt auch der Druck an den Entnahmestellen (POU) keiner Pulsation und läßt sich sehr stabil halten.
Ein ganz besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Systems besteht in der Reduktion mechanisch beweglicher Teile:
  • Das Fördersystem besitzt außer den Ventilen keine beweglichen Teile. Auf Pumpen wird innerhalb des Rezirkulationskreislaufes verzichtet. Auf diese Weise ist das System im Betrieb deutlich sicherer in Bezug auf Störungsanfälligkeit. Es ist weniger Service notwendig und es ergeben sich geringere Standzeiten, in denen Verschleißteile wie z.B. Pumpenteile ausgetauscht werden müssen
  • Da die Flüssigkeit nicht durch die mechanisch beweglichen Teile der Pumpe gefördert wird , wie z.B. beim Faltenbalg-, beziehungsweise bei Membran- oder Kreiselpumpen, werden weniger Partikel in die Flüssigkeit abgegeben, was bei der Förderung von Elektronikchemikalien von besonderem Vorteil ist.
Vergleicht man das erfindungsgemäße System mit herkömmlichen Pumpsystemen, ergeben sich demnach folgende Vorteile:
Bei Einsatz von Pumpsystemen mit Rezirkulationskreislauf sind die Pumpen in der Halbleiterindustrie rund um die Uhr im betrieb (typischer Wert: 99,9 % up-time im Jahr). Durch diesen Dauereinsatz, oft noch dazu in Gegenwart sehr aggressiver Chemikalien bedürfen die Pumpen ständiger Wartung. Um Unterbrechungen bei der Chemikalienförderung zu vermeiden, müssen die Pumpen immer redundant ausgelegt sein, d. h. es müssen im Störfall parallel Pumpen vorhanden sein, die automatisch ersatzweise eingeschaltet werden.
Im Vergleich dazu weist das erfindungsgemäße Semipumpsystem wesentlich weniger Verschleißteile auf und der Wartungsaufwand ist entsprechend geringer.
Desweiteren werden von der Halbleiterindustrie fast nur noch Druckluftpumpen, d. h. Membran- und Faltenbalgpumpen, aus Kunststoff (meist PTFE) eingesetzt. Diese Pumpen verursachen mehr oder weniger starke Pulsationen in der zu fördernden Flüssigkeit (Druckschwankungen), was die Filtrationsleistung von Membranfiltern deutlich mindert. Außerdem geben, wie oben schon erwähnt, mechanisch bewegliche Teile der Pumpen (Ventile, Membran, Faltenbalg) unerwünschte Partikel in das zu fördernde Medium ab.
im Vergleich zu Vakuum-Druck-Systemen weist das erfindungsgemäße System folgende Vorteile auf:
Zum Befüllen der Druckbehälter in Vakuum-Druck-Systemen ist das Anlegen eines Vakuums notwendig, wodurch die flüssige Chemikalie von einem Speicherbehälter in die Druck- bzw. Vakuumbehälter befördert wird. Dieses Prinzip ist begrenzt durch die Förderleistung der Vakuumpumpenleistung. Auch kann bei Verwendung von gesättigten Lösungen von Gasen (z. B. NH4OH 28 %, HCI 36 % usw.) nur ein sehr schwacher Unterdruck angelegt werden, da die sonst ein Ausgasen verursacht wird, was mit einer Konzentrationsänderung verbunden wäre.
Zum besseren Verständnis und zur Verdeutlichung wird im folgenden beispielhaft ein Fließschema eines solchen Fördersystems gegeben.
Fig. 1 zeigt eine Skizze eines Chemikalienförder- bzw. Chemikalienversorgungssystems mit Chemikalienrezirkulationseinheit, worin B1 einen Speicherbehälter oder Mischbehälter darstellt, der durch Pumpen oder Druck befüllt werden kann. B1 und die Druckbehälter D1 und D2 befinden sich auf verschiedenen Ebenen, so daß sich zwischen dem Füllstandsniveau von D1 max (D2)max und dem des Behälters B1min eine minimale statische Höhendifferenz ergibt, die ausreicht um den Druckbehälter zu befüllen.
Fig. 2 zeigt eine Pumpeneinheit, mit der das erfindungsgemäße Fördersystem versehen sein kann. Es handelt sich um einen Ausschnitt der Fig 1.
C1
Chemikalienzuleitung (aus Misch- und Transportbehälter)
RK
Rezirkulationskreislauf
B1
Lagerbehälter (Day-Tank)
D1, D2
Druckbehälter (5 bis 200 I, bis 6 bar)
V1.1, V1.2
Befüllungsventile
V2.1, V2.2
Ventile auf Druckseite
V3.1, V3.2
N2-Einlaßventile
V4.1, V4.2
N2-Entlüftungsventile
V5
Ventil zum Steuern der Durchflußmenge oder des Durchflusses
V6
Ventil zum POU
POU
Chemikalienabnahmestelle (point of use)
F
Filtrationselemente
S
Füllstandssensor (optional)

Claims (13)

  1. Flüssigkeitsfördersystem zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten mit einem Rezirkulationskreislauf, einem Speicher- oder Lagerbehälter (B1) und mit mindestens zwei parallel geschalteten Druckbehältern (D1, D2), dadurch gekennzeichnet, dass der Rezirkulationskreislauf (RK)
    a) den Speicher- oder Lagerbehälter (B1) sowie
    b) die mindestens zwei parallel geschalteten kleinen Druckbehälter (D1, D2), welche ein Volumen von 1-200 l aufweisen und welche mittels einer Druckdifferenz zum Speicher- oder Lagerbehälter die Flüssigkeit fördern und eine Pumpe ersetzen, wobei die beiden kleinen Druckbehälter im Betrieb abwechselnd mit Druck beaufschlagt werden, wodurch ein kontinuierlicher Flüssigkeitsstrom erzeugt wird und wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch elektrisch steuerbare Ventile (V 1.1, V 1.2, V 2.1, V 2.2, V 5 , V 6) erfolgt,
    enthält.
  2. Fördersystem gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet dass der Rezirkulationskreislauf (RK) ein Mittel zur Druckreduzierung im Rücklauf zum Speicher- oder Lagerbehälter (B1) aufweist.
  3. Fördersystem gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß sich zur Reduzierung des Drucks im Rezirkulationskreislauf (RK) ein Ventil, eine Blende oder eine Rohrverengung im Rücklauf zum Speicher- oder Lagerbehälter (B1) befindet.
  4. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 - 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Speicher- oder Lagerbehälter (B1) für einen Überdruck größer gleich 0,1 bar ausgelegt ist und die Druckbehälter (D1 und D2) als Behälter zum Betrieb bei Überdruck von 2 bis 6 bar ausgelegt sind.
  5. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 - 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Rezirkulationskreislauf (RK) Filter (F) eingebaut sind.
  6. Fördersystem gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Speicher- oder Lagerbehälter (B1) auf einer höheren Ebene steht als die parallel geschalteten Behälter (D1 und D2), so dass sich zwischen dem Speicher- oder Lagerbehälter (B1) und den parallel geschalteten Behältern (D1 und D2) eine Höhendifferenz ergibt.
  7. Verfahren zum Betrieb eines Flüssigkeitskreislaufs in dem Flüssigkeitsfördersystem gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass von den mindestens zwei parallel geschalteten kleinen Druckbehältem (D1, D2) ein Druckbehälter befüllt wird, während der andere mit einem Überdruck im Vergleich zum Speicher- oder Lagerbehälter (B1) beaufschlagt wird und die Flüssigkeit im Kreislauf fördert, wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch die elektrisch steuerbaren Ventile erfolgt.
  8. Verfahren gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die kleinen Druckbehälter (D1 und D2) abwechselnd mit Druck beaufschlagt werden, wodurch ein kontinuierlicher Flüssigkeitsstrom erzeugt wird.
  9. Verfahren gemäß der Ansprüche 7, bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die kleinen Behälter (D1 und D2) abwechselnd mit einem Überdruck von 2 bis 6 bar beaufschlagt werden.
  10. Verfahren gemäß der Ansprüche 7 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der in einem der parallel geschalteten kleinen Behälter (D1 oder D2) einen Druck eingestellt wird, der sich aus einer Höhendifferenz zwischen dem Speicher- oder Lagerbehälter (B1) und der Höhe der kleinen Behälter ergibt, welche sich auf einer tieferen Ebene befinden als der Lagertank.
  11. Verfahren gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass in einem der parallel geschalteten kleinen Behälter (D1 oder D2) ein Druck eingestellt wird, der sich aus einer Höhendifferenz von mindestens 0,5 m ergibt.
  12. Verfahren gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der eine der parallel geschalteten kleinen Behältern (D1 oder D2) einen Druck aufweist, der sich aus einer Höhendifferenz von bis zu 1 m ergibt.
  13. Verfahren gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Befüllung der Druckbehälter (D1, D2) aus dem Speicher- oder Lagerbehälter (B1) erfolgt, indem die Flüssigkeit mittels leichtem Überdruck durch kommunizierende Rohrleitungen in die Druckbehälter gefördert wird.
EP99957334A 1998-12-14 1999-12-02 System zur pulsationsfreien förderung von flüssigkeiten Expired - Lifetime EP1141611B1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19857593A DE19857593A1 (de) 1998-12-14 1998-12-14 System zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten
DE19857593 1998-12-14
PCT/EP1999/009408 WO2000036329A1 (de) 1998-12-14 1999-12-02 System zur pulsationsfreien förderung von flüssigkeiten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1141611A1 EP1141611A1 (de) 2001-10-10
EP1141611B1 true EP1141611B1 (de) 2003-11-05

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ID=7891006

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP99957334A Expired - Lifetime EP1141611B1 (de) 1998-12-14 1999-12-02 System zur pulsationsfreien förderung von flüssigkeiten

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Country Link
US (1) US6623248B1 (de)
EP (1) EP1141611B1 (de)
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