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EP0093125B1 - Spannungsteiler in dünn- oder dickschichttechnik - Google Patents

Spannungsteiler in dünn- oder dickschichttechnik Download PDF

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Publication number
EP0093125B1
EP0093125B1 EP82903234A EP82903234A EP0093125B1 EP 0093125 B1 EP0093125 B1 EP 0093125B1 EP 82903234 A EP82903234 A EP 82903234A EP 82903234 A EP82903234 A EP 82903234A EP 0093125 B1 EP0093125 B1 EP 0093125B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
voltage divider
resistance zone
resistance
tap
region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
EP82903234A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0093125A1 (de
Inventor
Lothar Schmidt
Ulrich Goebel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of EP0093125A1 publication Critical patent/EP0093125A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0093125B1 publication Critical patent/EP0093125B1/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material

Definitions

  • the invention relates to a voltage divider according to the preamble of the independent claims 1 and 12.
  • Such thin-film or thick-film technology voltage dividers are already known from the document DE-B-25 18 969, in which the current-carrying ohmic voltage divider resistor consists of two through metallization connected individual resistors. At the same time, the metallization forms the tap used to tap the desired divider voltage.
  • these voltage dividers have the disadvantage that they can only be adjusted to a desired value by increasing the individual resistors that make up the voltage divider resistor, so that the total resistance of the divider and the current and potential distribution in the voltage divider resistor itself, to be changed.
  • the voltage divider according to the invention with the characterizing features of claim 1 has the advantage that a certain equipotential line can be selected at the tap electrode of the tap by moving the change required for the adjustment into the second resistance area belonging to the tap, without the actual voltage divider resistance and its potential distribution must be changed significantly. Further advantageous developments of the invention result from subclaims 2 to 11.
  • Claim 12 provides, as an alternative to claim 1, a second advantageous solution to the adjustment problem with a single, contiguous voltage divider resistor, which is also used as a tap.
  • the voltage divider shown in FIGS. 1 and 2 contains a current-carrying ohmic voltage divider resistor R, (FIG. 2), which consists of a single coherent, first layer of resistance 10, which is constructed using layer technology, a connecting conductor 11 serving for current supply and a connecting conductor 12 serving for current dissipation, wherein the connecting conductors 11 and 12 are designed as conductor tracks (Fig. 1).
  • the first resistance region 10 forms a rectangular region whose length is greater than its width.
  • the connecting conductors 11 and 12 are attached to the narrow sides of this rectangular region and overlap with the first resistance region 10 along these narrow sides.
  • a tap is also provided for tapping off the desired divider voltage.
  • This tap consists of a second resistance region 13, which is implemented using layer technology, and of a removal electrode 14 attached to it, which is designed as a conductor track.
  • the two resistance regions 10 and 13 abut one another in a region 15 which is located on one of the two long sides of the resistance layer 10 in such a way that good electrical contact is established in this region 15 between these two resistance regions 10 and 13.
  • a first laser or sandblast cut 16 and a second laser or sandblast cut 17 are introduced into the second resistance region 13.
  • the two cuts 16 and 17 run parallel to the long side of the first resistance region 10, that is to say cut the equipotential lines formed during operation of the voltage divider.
  • the two cuts 16 and 17 are carried out until the potential at the pick-up electrode 14 of the tap has reached the desired value.
  • the effective value of the resistance R is influenced to a relatively great extent by the adjustment. If this effect interferes, the material of the second resistance region 13 according to the invention becomes more high-resistance than the material of the first Resistance region 10 is selected so that the effective voltage divider resistance formed by the first resistance region 10 and its potential conversion by the adjustment are not be changed significantly.
  • FIG. 3 shows a second exemplary embodiment of a voltage divider according to the invention, in which a tap 13, 14 is attached to one of the two long sides of the first resistance region 10 and two taps 13, 14 are attached to the other long side of the first resistance region 10. The adjustment is carried out in the same way as in the exemplary embodiment according to FIGS. 1 and 2.
  • the first resistance region 10 is designed as an elongated rectangle, as in the exemplary embodiments according to FIGS. 1 and 3.
  • the second resistance region 13 is designed in the form of a strip.
  • the second resistance region 13 runs parallel to the first resistance region 10 and is connected to the first resistance region 10 via a contact zone 15.
  • the contact zone 15 extends over the entire length of the first resistance region 10.
  • a laser or sandblast cut 16 is provided in the second resistance region 13, which runs parallel to the longitudinal direction of the two resistance regions 10, 13.
  • the take-off electrode 14 for the divider voltage to be tapped is designed differently in the exemplary embodiments according to FIGS. 4 to 6.
  • the depth of the laser cut 16 mainly determines the level of the divider voltage to be picked up at the removal electrode 14.
  • the divider voltage tapped at the take-off electrode 14 can be between 0 and 100% of the voltage applied to the connecting conductors 11 and 12.
  • the different choice of the geometry of the removal electrode 14 enables the adjustment characteristic curve to be adapted to the respective requirement.
  • the exemplary embodiment according to FIG. 7 is used to generate arbitrarily selectable, monotonous adjustment characteristic curves and to compensate for the non-linearities of a circuit.
  • This exemplary embodiment differs from the exemplary embodiments according to FIGS. 4 to 6 in that the first resistance region 10 forming the ohmic voltage divider resistor R, deviates from the range widened its first connecting conductor 11 to the area of its second connecting conductor 12.
  • the delimitation of both resistance areas 10 and 13 is rectilinear in the contacting zone 15 and the second resistance area 13 is in the form of a strip.
  • the laser cut 16 runs in the second resistance region 13 parallel to its longitudinal direction.
  • the second resistance region 13 extends over the full length of the first resistance region 10 and at the upper end a little further, a voltage between 0 and 100% of the voltage between the connecting conductors 11 and 12 can also be picked up at the take-off electrode 14 .
  • the entire voltage divider consists of a single resistance layer 110.
  • This resistance layer 110 also forms the current-carrying ohmic voltage divider resistor R 1 and the tap 114. 112 connected area.
  • the connecting conductors 111, 112 can be designed as bond wires.
  • a cut 116 is made in the coherent resistance layer 110, which runs between the part of the layer forming the tap 114 and the region of this layer which serves to supply or discharge current, and so on is carried far until the potential at tap 114 has reached the desired value.
  • the divider voltage tapped at the tap 114 can also be between 0 and 100% of the voltage applied to the connecting conductors 111 and 112.
  • the invention is not limited to the exemplary embodiments described with reference to the drawing.
  • the two resistance regions 10 and 13 can form a single, coherent region if the two regions 10 and 13 consist of the same material. In this case, the contact zone 15 can be omitted.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Adjustable Resistors (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Description

    Stand der Technik
  • Die Erfindung betrifft einen Spannungsteiler nach dem Oberbegriff der unabhängiger Patentansprüche 1 und 12. Es sind bereits aus der Druckschrift DE-B-25 18 969 derartige, in Dünn-oder Dickschichttechnik ausgeführte Spannungsteiler bekannt, bei denen der stromdurchflossene ohmsche Spannungsteilerwiderstand aus zwei durch eine Metallisierung verbundenen Einzelwiderständen besteht. Die Metallisierung bildet dabei gleichzeitig den zum Abgreifen der gewünschten Teilerspannung dienenden Abgriff. Diese Spannungsteiler haben aber den Nachteil, daß bei ihnen ein Abgleich des Teilerwiderstandes auf einen gewünschten Wert nur durch Erhöhen der Einzelwiderstände möglich ist, aus denen der Spannungsteilerwiderstand besteht, so daß dadurch der Gesamtwiderstand des Teilers und die Strom- und Potentialverteilung im Spannungsteilerwiderstand selbst mit, verändert werden.
    • Vorteile der Erfindung
  • Der erfindungsgemäße Spannungsteiler mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentansprüers 1 hat demgegenüber den Vorteil, daß durch das Verlegen der für den Abgleich erforderlichen Veränderung in das zum Abgriff gehörende zweite Widerstandsgebiet eine bestimmte Äquipotentiallinie an der Abnahmeelektrode des Abgriffs ausgewählt werden kann, ohne daü dadurch der eigentliche Spannungsteilerwiderstand und seine Potentialverteilung wesentlich verändert werden müssen. Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 11. Der Patentansprüch 12 liefert alternativ zum Anspruch 1 eine zweite vorteilhafte Lösung des Abgleichproblems mit einem einzigen zusammenhängenden Spannungsteilerwiderstand, der zugleich als Abgriff mit herangezogen wird.
    • Zeichnung
  • Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Spannungsteilers sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
    • Figur 1 die Grundvariante eines in Dickschichttechnik ausgeführten erfindungsgemäßen Spannungsteilers in der Draufsicht,
    • Figur 2 das Ersatzschaltbild des in Figur 1 gezeigten Spannungsteilers,
    • Figur 3 bis Figur 8 weitere Varianten von in Dickschichttechnik ausgeführten erfindungsgemäßen Spannungs teilern in de; Draufsicht.
    Beschreibung der Erfindung
  • Der in den Figuren 1 und 2 dargestellte Spannungsteiler enthält einen stromdurchflossenen ohmschen Spannungsteilerwiderstand R, (Fig. 2),der aus einer einzigen zusammenhängenden, in Schichttechnik ausgeführten ersten Widerstandsschicht 10, einem zur Stromzufuhr dienenden Anschlußleiter 11 und einem zur Stromabfuhr dienenden Anschlußleiter 12 besteht, wobei die Anschlußleiter 11 und 12 als Leiterbahnen ausgebildet sind (Fig. 1). Das erste Widerstandsgebiet 10 bildet einen rechteckförmigen Bereich, dessen Länge größer als dessen Breite ist. Die Anschlußleiter 11 und 12 sind an den Schmalseiten dieses rechteckförmigen Bereichs angebracht und überlampen sich entlang diesen Schmalseiten mit dem ersten Widerstandsgebiet 10.
  • Ferner ist ein zum Abgreifen der gewünschten Teilerspannung dienender Abgriff vorgesehen. Dieser Abgriff besteht aus einem in Schichttechnik ausgeführten zweiten Widerstandsgebiet 13 und aus einer daran angebrachten Abnahmeelektrode 14, die als Leiterbahn ausgebildet ist. Die beiden Widerstandsgebiete 10 und 13 stoßen in einem Bereich 15, der sich an einer der beiden Längsseiten der Widerstandsschicht 10 befindet, derart aneinander, daß in diesem Bereich 15 zwischen diesen beiden Widerstandsgebieten 10 und 13 ein guter elektrischer Kontakt hergestellt wird.
  • Zum Abgleich des Spannungsteilers ist in das zweite Widerstandsgebiet 13 ein erster Laseroder Sandstrahlschnitt 16 und ein zweiter Laseroder Sandstrahlschnitt 17 eingebracht. Die beiden Schnitte 16 und 17 verlaufen parallel zur Längsseite des ersten Widerstandsgebiets 10, schneiden also die beim Betrieb des Spannungsteilers gebildeten Äquipotentiallinien. Die beiden Schnitte 16 und 17 werde beim Abgleich des Spannungsteilers R" R2 so weit geführt, bis an der Abnahmeelektrode 14 des Abgriffs das Potential den gewünschten Wert erreicht hat.
  • Wenn das Material des ersten Widerstandsgebiets 10 und das Material des zweiten Widerstandsgebiets 13 gleich sind, wird der Effektivwert des Widerstandes R, durch den Abgleich relativ stark beeinflußt Falls dieser Effekt stört, wird erfindungsgemäß das. Material des zweiten Widerstandsgebiets 13 hochohmiger als das Material des ersten Widerstandsgebiets 10 gewählt, damit der durch das erste Widerstandsgebiet 10 gebildete wirksame Spannungsteilerwiderstand und seine Potentialvertelung durch den Abgleich nicht wesentlich verändert werden.
  • In Figur 3 ist ein zweites Ausführungsbeispiel eines er-findungsgemäßen Spannungsteilers dargestellt, bei dem an einer der beiden Längsseiten des ersten Widerstandsgebiets 10 ein Abgriff 13, 14 und an der anderen Längsseite des ersten Widerstandsgebiets 10 zwei Abgriffe 13, 14 angebracht sind. Der Abgleich ist in der selben Weise ausgeführt wie beim Ausführungsbeispiel nach den Figuren 1 und 2.
  • Bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4 bis 6 ist das erste Widerstandsgebiet 10 wie bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 1 und 3 als langgestrecktes Rechteck ausgebildet. Das zweite Widerstandsgebiet 13 ist wie das erste Widerstandsgebiet 10 streifenförmig ausgebildet. Das zweite Widerstandsgebiet 13 verläuft parallel zum ersten Widerstandsgebiet 10 und steht über eine Kontaktierzone 15 mit dem ersten Widerstandsgebiet 10 in Verbindung. Die Kontaktierzone 15 erstreckt sich dabei über die ganze Länge, des ersten Widerstandsgebiets 10. Zum Abgleich ist im zweiten Widerstandsgebiet 13 ein Laseroder Sandstrahlschnitt 16 vorgesehen, der parallel zur Längsrichtung der beiden Widerstandsgebiete 10, 13 verläuft. Die Abnahmeelektrode 14 für die abzugreifende Teilerspannung ist bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4 bis 6 verschieden ausgebildet. Bei allen drei Ausführungsbeispielen bestimmt aber in der Hauptsache die Tiefe des Laserschnitts 16 die Höhe der an der Abnahmelektrode 14 abzugreifenden Teilerspannung. Die an der Abnahmeelektrode 14 abgenommene Teilerspannung kann dabei zwischen 0 und 100 % der an den Anschlußleitern 11 und 12 angelegten Spannung betragen. Bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4 bis 6 ermöglicht die verschiedene Wahl der Geometrie der Abnahmeelektrode 14 eine Anpassung der Abgleichkennlinie an den jeweiligen Bedarf.
  • Zum Erzeugen beliebig wählbarer, monotoner Abgleichkennlinien und zum Ausgleich der Nichtlinearitäten einer Schaltung dient das Ausführungsbeispiel nach Figur 7. Dieses Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4 bis 6 dadurch, daß sich das den ohmschen Spannungsteilerwiderstand R, bildende erste Widerstandsgebiet 10 vom Bereich seines ersten Anschlußleiters 11 bis zum Bereich seines zweiten Anschlußleiters 12 verbreitert. Die Begrenzung beider Widerstandsgebiete 10 und 13 ist jedoch in der Kontaktierzone 15 geradlinig und das zweite Widerstandsgebiet 13 streifenförmig ausgebildet. Der Laserschnitt 16 verläuft im zweiten Widerstandsgebiet 13 parallel zu dessen Längsrichtung. Da auch hier das zweite Widerstandsgebiet 13 sich über die volle Länge des ersten Widerstandsgebiets 10 und am oberen Ende noch etwas darüber hinaus erstreckt, ist auch hier an der Abnahmeelektrode 14 eine Spannung zwischen 0 und 100 % der zwischen den Anschlußleitern 11 und 12 liegenden Spannung abgreifbar.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 8 besteht der gesamte Spannungsteiler aus einer einzigen Widerstandsschicht 110. Diese Widerstandsschicht 110 bildet zugleich den stromdurchflossenen ohmschen Spannungsteilerwiderstand R1 und den Abgriff 114. Die Widerstandsschicht 110 weist einen zur Stromzufuhr und einen zur Stromabfuhr dienenden, mit je einem Anschlußleiter 111, 112 verbunden Bereich auf. Die Anschlußleiter 111, 112 können dabei als Bonddrähte ausgebildet sein. Zum Erzeugen einer Teilerspannung am Abgriff 114, der Bestandteil der Widerstandsschicht 110 ist, ist ein Schnitt 116 in die zusammenhängende Widerstandsschicht 110 eingebracht, der zwischen dem den Abgriff 114 bildenden Teil dieser Schicht und dem zur Stromzufuhr oder zur Stromabfuhr dienenden Bereich dieser Schicht verläuft und so weit geführt ist, bis am Abgriff 114 das Potential den gewünschten Wert erreicht hat. Die am Abgriff 114 abgenommene Teilerspannung kann je nach Tiefe des Laserschnitts 116 auch hier zwischen 0 und 100 % der an den Anschlußleitern 111 und 112 angelegten Spannung betragen. Die Erfindung ist nicht auf die anhand der Zeichnung beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Insbesondere können bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 1 und 3 bis 7 die beiden Widerstandsgebiete 10 und 13 ein einziges, zusammenhängendes Gebiet bilden, wenn die beiden Gebiete 10 und 13 aus demselben Material bestehen. In diesem Falle kann also die Kontaktierzone 15 entfallen.

Claims (12)

1. In Dünnschichttechnik oder Dickschichttechnik ausgeführter abgleichbarer Spannungsteiler mit einem stromdurchflossenen, ohmschen Spannungsteilerwiderstand (R1), mit mindestens einem zum Abgreifen einer gewünschten Teilerspannung dienenden Abgriff, mit einem zur Stromzufuhr und einem zur Stromabfuhr dienenden und mit je einem Anschlußleiter (11, 12) verbundenen Bereich am ohmschen Spannungsteilerwiderstand (R1), dadurch gekennzeichnet, daß der ohmsche Spannungsteilerwiderstand (R1) ein einziges, zusammenhängendes Widerstandsgebiet (10) enthält, der Abgriff aus einem zwischen diesen beiden Bereichen an das erste Widerstandsgebiet (10) anstossenden zweiten Widerstandsgebiet (13) und aus einer daran angebrachten Abnahmeelektrode (1.1) besteht und daß an diesem zweiten Widerstandsgebiet (13) mittels eines - die beim Betrieb des Spannungsteilers (R1, R2) gebildeten Aquipotentiallinien schneidenden - Laserschnitts oder Sandstrahlschnitts (16, 17) so lange eine Veränderung durchgeführt wird, bis die Länge des Schnitts zum gewünschten Wert des Potentials an der Abnahmeelektrode (14) des Abgriffs geführt hat.
2. Spannungsteiler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Stromzufuhr bzw. zur Stromabfuhr dienenden Bereiche des ersten Widerstandsgebiets (10) einander gegenüberliegende Endabschnitte dieses Widerstandsgebiets(10) sind und daß die mit diesen Bereichen verbundenen Anschlußleiter (11, 12) Leiterbahnen sind.
3 .Spannungsteiler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die mit den Endabschnitten des ersten Widerstandsgebiets(10) verbundenen Leiterbahnen (11, 12) sich über diese ganzen Endabschnitte erstrecken.
4. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Material des zweiten Widerstandsgebiets(13) hochohmiger als das Material des ersten Widerstandsgebiets (10) gewählt ist, um den wirksamen Spannungsteilerwiderstand (R1) des ersten Widerstandsgebiets(10) und seine Potentialverteilung durch den Abgleich nicht wesentlich zu verändern.
5. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Widerstandsgebiet (10) und das zweite Widerstandsgebiet (13) aus verschiedenen Materialien bestehen und dadurch miteinander in Verbindung stehen, daß sie sich gegenseitig geringfügig überlappen.
6. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das den ohmschen Spannungsteilerwiderstand (R1) bildende erste Widerstandsgebiet (10) einen von dem Bereich seines ersten Anschluß-leiters (11) bis zum Bereich seines zweiten Anschluß-leiters (12) sich erstreckenden, vorzugsweise rechteckig ausgebildetet Streifen bildet.
7. Spannungsteiler nach Anspruch 6 mit mindestens einem Abgriff, dadurch gekennzeichnet, daß der mit dem ersten Widerstandsgebiet (10) in Verbindung stehende Bereich (15) des zweiten Widerstandsgebiets (13) jedes Abgriffs sich nur über einen Teil der Länge des ersten Widerstandsgebiets (10) erstreckt.
8. Spannungsteiler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß an jeder der beiden Längsseiten des ersten Widerstandsgebiets (10) mindestens ein Abgriff (13, 14) angebracht ist.
9 . Spannungsteiler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Widerstandsgebiet (13) einen Streifen bildet, der über die ganze Länge des streifenförmigen ersten Widerstandsgebiets (10) mit diesem in Verbindung steht, und daß zum Abgleich ein Laseroder Sandstrahlschnitt (16) im zweiten Widerstandsgebiet (13) vorgesehen ist, der parallel zur Längsrichtung des ersten Widerstandsgebiets (10) verläuft.
10. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 bis 5
Figure imgb0001
ohmschen Spannungsteilerwiderstand (R,) bildende erste Widerstandsgebiet (10) sich vom Bereich seines ersten
Figure imgb0002
(11) bis zum Bereich seines zweiten Anschlußleiters (12) in seiner Breite verändert.
11. Spannungsteiler nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Widerstandsgebiet (10) an einer vom Bereichseines ersten Anschlußleiters (11) bis zum Bereichseines zweiten Anschlußleiters (12) reichenden Seite geradlinig begrenzt ist, daß das zweite Widerstandsgebiet (13) streifenförmig ausgebildet ist und entlang dieser ganzen Seite mit dem ersten Widerstandsgebiet (10) in Verbindung steht und daß zum Abgleich ein Schnitt (16) im zweiten Widerstandsgebiet (13) vorgesehen ist, der parallel zu dessen Längsrichtung verläuft.
12. In Dünnschichttechnik oder Dickschichttechnik ausgeführter abgleichbarer Spannungsteiler mit einem stromdurchflossenen ohmschen Spannungsteilerwiderstand (R1), mit mindestens einem zum Abgreifen einer gewünschten Teilerspannung dienenden Abgriff (114) mit einem zur Stromzufuhr und einem zur Stromabfuhr dienenden und mit je einem Anschlußleiter (111, 112) verbundenen Bereich am omschen Spannungsteilerwiderstand (R1) dadurch gekennzeichnet, daß der ohmshe Spannungsteilerwiderstand R eine einzige zusammenhängende Widerstandsschicht (110) bildet, daß der Abgriff (114) Bestandteil der den Spannungsteilerwiderstand (R1) bildenden zusammenhängenden Widerstandsschicht (110) ist und daß zum Erzeugen einer Teilerspannung am Abgriff (114) ein Laser- oder Sandstrahlschnitt (116) in die zusammenhängende Widerstandsschicht (110) eingebracht ist, der zwischen dem den Abgriff (114) bildenden Teil dieser Schicht (110) und dem zur Stromzufuhr oder Stromabfuhr dienenden Bereich dieser Schicht (110) verläuft und so weit geführt ist, bis am Abgriff (114) das Potential den gewünschten-Wert erreicht hat (Fig. 8).
EP82903234A 1981-11-07 1982-10-28 Spannungsteiler in dünn- oder dickschichttechnik Expired EP0093125B1 (de)

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DE19813144252 DE3144252A1 (de) 1981-11-07 1981-11-07 Spannungsteiler in duenn- oder dickschichttechnik
DE3144252 1981-11-07

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Publication Number Publication Date
EP0093125A1 EP0093125A1 (de) 1983-11-09
EP0093125B1 true EP0093125B1 (de) 1986-02-26

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EP82903234A Expired EP0093125B1 (de) 1981-11-07 1982-10-28 Spannungsteiler in dünn- oder dickschichttechnik

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EP (1) EP0093125B1 (de)
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