EA036035B1 - Способ лазерного отжига неметаллических материалов - Google Patents
Способ лазерного отжига неметаллических материалов Download PDFInfo
- Publication number
- EA036035B1 EA036035B1 EA201892466A EA201892466A EA036035B1 EA 036035 B1 EA036035 B1 EA 036035B1 EA 201892466 A EA201892466 A EA 201892466A EA 201892466 A EA201892466 A EA 201892466A EA 036035 B1 EA036035 B1 EA 036035B1
- Authority
- EA
- Eurasian Patent Office
- Prior art keywords
- pulse
- laser
- laser annealing
- laser pulse
- annealing
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 11
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 8
- 238000004901 spalling Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
- B23K26/402—Removing material taking account of the properties of the material involved involving non-metallic material, e.g. isolators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B25/00—Annealing glass products
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/06—Surface hardening
- C21D1/09—Surface hardening by direct application of electrical or wave energy; by particle radiation
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
Изобретение относится к технологическим процессам и может быть использовано для лазерного отжига полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов. Техническим результатом изобретения является повышение выхода годной продукции в процессе лазерного отжига неметаллических материалов за счет уменьшения термоупругих напряжений и области возможного откольного разрушения материала. Технический результат достигается тем, что в способе лазерного отжига неметаллических материалов, заключающемся в облучении их поверхности лазерным импульсом прямоугольной временной формы с требуемой плотностью энергии, диэлектрическим зеркалом исходный лазерный импульс делят на два импульса и осуществляют временную задержку второго импульса на время действия первого импульса. При этом плотность мощности в первом импульсе составляет 60% от плотности мощности в первоначальном лазерном пучке.
Description
Изобретение относится к технологическим процессам и может быть использовано для лазерного отжига полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов.
Известен способ обработки неметаллических материалов, применяемый для аморфизации кремния и заключающийся в облучении их импульсом лазерного излучения [Боязитов P.M. и др. Аморфизация и кристаллизация кремния субнаносекундными лазерными импульсами. Тезисы докладов Всесоюзной конференции по взаимодействию оптического излучения с веществом. Ленинград, 11-18 марта 1988 г., с. 24].
Известен также способ лазерной обработки [Кузменченко Т.А. и др. Лазерный отжиг ионнолегированного кремния излучением с длиной волны 2,94 мкм. Тезисы докладов Всесоюзной конференции по взаимодействию оптического излучения с веществом. Ленинград, 11-18 марта 1988 г., с. 29].
Недостатком указанных способов является то, что возникающие в материалах термоупругие напряжения могут привести к откольному разрушению материала со стороны облучаемой поверхности.
Известен также способ лазерной обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности импульсом лазерного излучения, временная форма которого описывается соотношением:
где q(t) - плотность потока энергии лазерного излучения, Вт/м2;
τ - длительность импульса лазерного излучения, с;
b| и b2 - константы, характеризующие фронт и спад лазерного импульса;
t - текущее время от начала воздействия, с.
Лазерный импульс, описываемый уравнением (1), создает минимальные термоупругие напряжения в поглощающем слое материала (патент Российской Федерации на изобретение № 2211753, МПК B23K 26/00, 10.09.2003). Недостатком способа является то, что указанный лазерный импульс формируется при реализации схемы задающий генератор - многокаскадный усилитель. Задающий генератор должен работать в режиме модулированной добротности. Причем последний каскад усилителя должен работать в режиме, близком к насыщению. Такой режим работы неблагоприятно сказывается на долговечности активной среды твердотельных лазеров. Как правило, ресурс активных стержней последнего каскада усилителя ограничивается несколькими сотнями выстрелов. Кроме того, подобные установки не выпускаются промышленностью, требуется их специальное проектирование и штучное изготовление. Промышленно выпускаемые твердотельные лазеры, работающие в режиме модулированной добротности, имеют колоколообразную форму импульса, близкую к полуволне синусоиды, когда для модуляции добротности лазера применяют электрооптические или пассивные модуляторы добротности, или близкую к прямоугольной, когда для модуляции добротности применяют акустооптические затворы [Макогон М.М. и др. Лазеры на гранате с модуляцией добротности кристаллами LiF: F2-. Оптика атмосферы и океана. 1996. Том 9, № 2 - С. 239-242]. Длительность импульса лазерного излучения при пассивной модуляции добротности или при применении электрооптических затворов составляет 10-50 нс, при применении акустооптических затворов - 100-150 нс и даже до 300 нс [Мюллер С. Лазеры с модуляцией добротности для обработки поверхностей. Фотоника. 2011. - № 2. - С. 26-28]. Применение лазеров с акустооптическими затворами для отжига неметаллических материалов является предпочтительнее, так как эти лазеры имеют большую длительность импульса, что способствует уменьшению термоупругих напряжений.
Известен также способ обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности лазерным импульсом с плотностью энергии, определяемой по уравнению:
(2) где Tf - температура отжига;
Т0 - начальная температура;
c и ρ - удельная теплоемкость и плотность материала соответственно;
R - коэффициент отражения материала;
χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения [Бакеев А.А., Соболев А.П., Яковлев В.И. Исследования термоупругих напряжений, возникающих в поглощающем слое вещества под действием лазерного импульса. ПМТФ. 1982. - № 6. - С. 92-98]. Недостатком способа является то, что возникающие в материале термоупругие напряжения могут привести к разрушению материала вследствие откола со стороны облучаемой поверхности.
Известен также способ лазерного отжига неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности лазерным импульсом прямоугольной временной формы с плотностью энергии, определяемой по уравнению (2), при этом диэлектрическим зеркалом с коэффициентом отражения 50% исходный лазерный импульс делят на два импульса равной мощности и осуществляют временную задержку второго импульса на время действия первого импульса. При этом временная форма лазерного импульса, воздействующего на поверхность обрабатываемого материала, будет описываться уравнением:
- 1 036035 ί0,56/,0 < t < 2τ;
(3) где q - плотность мощности в исходном лазерном импульсе [патент Российской Федерации № 2633860, МПК B23K 26/402, 18.10.2017]. Данное техническое решение принято в качестве прототипа.
Недостатком прототипа является то, что возникающие в материале термоупругие напряжения могут привести к разрушению материала вследствие откола со стороны облучаемой поверхности.
Техническим результатом изобретения является повышение выхода годной продукции в процессе лазерного отжига неметаллических материалов за счет уменьшения термоупругих напряжений и области возможного откольного разрушения материала.
Технический результат достигается тем, что в способе лазерного отжига неметаллических материалов, заключающемся в облучении их поверхности лазерным импульсом прямоугольной временной формы с плотностью энергии, определяемой по уравнению:
где Tf - температура отжига;
Т0 - начальная температура;
c и ρ - удельная теплоемкость и плотность материала соответственно;
R - коэффициент отражения материала;
χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения, при этом диэлектрическим зеркалом исходный лазерный импульс делят на два импульса и осуществляют временную задержку второго импульса на время действия первого импульса, плотность мощности в первом импульсе составляет 60% от плотности мощности исходного лазерного импульса.
Сущность способа поясняется чертежами.
На фиг. 1 представлена установка для лазерной обработки, позволяющая реализовать заявленный способ, где 1 - лазер с модулятором добротности на основе акустооптического затвора, 2 - диэлектрическое зеркало с коэффициентом отражения 40%, 3 - диэлектрическое зеркало с коэффициентом отражения 99,9%, 4 - обрабатываемый материал, 5 и 6 - фокусирующие линзы, создающие на поверхности обрабатываемого материала 4 требуемую плотность энергии.
Диэлектрическим зеркалом 2 лазерный импульс делится на два импульса с плотностью мощности 0,6q и 0,4q (q - плотность мощности в лазерного излучения в первоначальном импульсе). Прошедший через зеркало 2 первый импульс с плотностью мощности 0,6q линзой 5 фокусируется на поверхность обрабатываемого материала 4 в пятно требуемого диаметра. Отраженный зеркалом 2 второй импульс с плотностью мощности 0,4q направляют на диэлектрическое зеркало 3 с коэффициентом отражения 99,9%, которое совмещает отраженный импульс на поверхности обрабатываемого материала 4 с импульсом, прошедшим через зеркало 2. Линзой 6 второй импульс фокусируется в пятно требуемого диаметра. Разница длин путей первого и второго лазерных импульсов обеспечивает задержку второго импульса на время воздействия первого импульса на поверхность обрабатываемого материала. В результате на поверхность обрабатываемого материала воздействует лазерный импульс, временная форма которого описывается уравнением:
0,6q,0(t < τ;
q(t) = <
0,4<у; τ(ί < 2r;
0;t)2r (4)
Сравним воздействие на поверхность обрабатываемого материала двух лазерных импульсов равной плотности энергии, временная форма которых описывается уравнениями (3) и (4).
В соответствии с [Бакеев А.А. и др. Исследования термоупругих напряжений, возникающих в поглощающем слое вещества под действием лазерного импульса. ПМТФ. 1982. - № 6. - С. 92-98.], максимальные растягивающие напряжения в поглощающем слое материала рассчитывают по уравнению:
(5) где σm - максимальные растягивающие напряжения в поглощающем слое материала;
K - модуль всестороннего сжатия;
α - коэффициент линейного расширения материала;
e - основание натурального логарифма;
sh(xx) - функция гиперболический синус;
χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения;
x - координата, отсчитываемая от поверхности материала вглубь;
- 2 036035 c0 - скорость звука в материале;
Ti - длительность лазерного импульса.
Подставив уравнения (3) и (4) в (5) и выполнив интегрирование, получим уравнения для расчета максимальных растягивающих напряжений в поглощающем слое обрабатываемого материала:
3Ka(l-R)q(l-e ^)(1- е~2хс°т) гт . =---------------------------------------------------· I П I m2
3^(1 - R)q(l- е ^)(0,4 + 0,2в /С|/ - 0,6е 2/с°г) 2рсс0
V) где σω1 - максимальные растягивающие напряжения в поглощающем слое материала при воздействии лазерного импульса с временной формой, описываемой уравнением(3);
σ^ - максимальные растягивающие напряжения в поглощающем слое материала при воздействии лазерного импульса с временной формой, описываемой уравнением(4).
Разделив (7) на (6) и проведя математические преобразования, получим:
σ. 2(0,4 + 0,2^ ZQ'r-0,6p 2/Q'r) λ — =----λ—Ξ7Ε77----= Я») (8) — = /(W)
На фиг. 2 показан график зависимости , построенный по соотношению (8). Видно, &т2 < | что отношение . Причем по мере возрастания параметра /с0т отношение уменьшается и стремит ся к 0,8. Это доказывает, что лазерный импульс, описываемый уравнением (4), создает в материале мак симальные растягивающие напряжения меньше, чем лазерный импульс, описываемый уравнением (3).
Из уравнений (6) и (7) определим плотность энергии лазерного излучения, вызывающую откольное разрушение материала со стороны облучаемой поверхности для воздействия лазерных импульсов, описываемых уравнениями (3) и (4) соответственно:
w _ 4рсс,таР n 3Ka{\-R){l-e~2%c°TY (9) _____________2рссрхгр_____________
ЗКа(\ - R)(0,4 + 0,2е z'r - 0,6е 2/f r ) ’ где σΡ - предел прочности материала на разрыв.
Уравнения (9) и (10) получены для минимальных значений плотностей энергии, когда е - 0.
Плотность энергии лазерного излучения, необходимую для достижения поверхностью материала температуры отжига, определяют по уравнению (2). Разделив (6) и (7) соответственно на (2), получим . ζΠχ
Wf 3Ka(Tf-T0)(l-e-2xc°TY V 7
Wf ~ 3Ka(Tf - Го )(0,4 + 0,2e’zc°T - 0,6e’2^) ’ 17
Поставив условие
^1>1 w ’ , после математических преобразований получим:
2оу > i-g-2^
3Ka(Tf-T0)~ 2%c0r
2σΡ 0,4 + 0,2^ /С|Г-0,6g 2/ί Γ
ЗКаЩ-Т/Г χβοτ (14)
Проведем анализ неравенств (13) и (14). Левая часть неравенств является характеристикой материала, показывающей отношение предела прочности материала на разрыв к максимальным растягивающим напряжениям, возникающим при импульсном нагреве материала до температуры отжига. Правые части неравенств (13) и (14) являются функциями безразмерного параметра /с0т Если неравенства (13) и (14) выполняются, то возможен лазерный отжиг материала. В противном случае произойдет откольное разрушение материала. Анализ неравенств (13) и (14) необходимо проводить для конкретных материалов. Например, для стекла СЗС-21, у которого K=4x1010 Па, α=8,6χ10-6 К-1, σΡ=6χ107 Па, Tf=700 К, Т0=300 К, левая часть неравенств (13) и (14) равна 0,29. Показатель поглощения стекла СЗС-21 на длине волны 1,06
- 3 036035 мкм составляет 22,4 см-1, скорость звука в материале - 5,7х103 м/с.
На фиг. 3 показано графическое решение неравенств (13) и (14) для цветного оптического стекла СЗС-21. Видно, что при воздействии лазерного импульса, временная форма которого описывается уравнением (3), неравенство (13) выполняется при χο0τ>1,7, что соответствует длительности лазерного импульса т>1,33х10-7с. Неравенство (14) для лазерного импульса, временная форма которого описывается уравнением (4), выполняется при χο0τ>1,4, что соответствует длительности лазерного импульса т>1,1х10-7с.
Таким образом, предложенное техническое решение позволяет уменьшить максимальные растягивающие напряжения в поглощающем слое материала и область изменения безразмерного параметра хсот, в которой возможно откольное разрушение материала, примерно на 20%, что позволит увеличить выход годной продукции при лазерном отжиге неметаллических материалов.
Пример реализации способа.
Необходимо произвести лазерный отжиг поверхности оптического цветного стекла СЗС-21 импульсным лазером с длиной волны 1,06 мкм и длительностью импульса 120 нс. Требуемая плотность энергии на поверхности материала составляет 36,9 Дж/см2. Расчет проведен при c=0,76x103 Дж/(кг-К) и р=2,5х103 кг/м3 по уравнению (2). При этом плотность энергии, вызывающая откольное разрушение материала со стороны облучаемой поверхности лазерным импульсом, описываемым уравнением (3), составит 33 Дж/см2. Следовательно, лазерный отжиг невозможен, так как произойдет разрушение материала. Расчеты проведены по уравнению (9). Для осуществления лазерного отжига при помощи диэлектрического зеркала 2 (см. фиг. 1) с коэффициентом отражения 40% осуществляют разделение лазерного импульса на два импульса. Первый импульс воздействует на поверхность материала. Зеркалом 3 отраженный импульс направляется на поверхность обрабатываемого материала и совмещается с площадью первого импульса. Второй импульс должен пройти путь на 36 м больше, чем первый импульс для задержки на 120 нс. После прохождения дополнительного пути второй импульс воздействует на поверхность материала.
Таким образом, осуществляется воздействие лазерным импульсом, временная форма которого описывается уравнением (4). При этом плотность энергии, вызывающая откольное разрушение материала со стороны облучаемой поверхности, составляет 38 Дж/см2. Следовательно, можно осуществлять лазерный отжиг материала. Расчеты проведены по уравнению (10). Как правило, лазеры с модуляцией добротности акустооптическими затворами работают в частотном режиме. Частота повторения импульсов составляет 1-8 кГц. Это позволяет производить лазерный отжиг поверхностей большой площади за счет перемещения заготовки после каждого импульса на требуемое расстояние.
Claims (1)
- ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯСпособ лазерного отжига неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности лазерным импульсом прямоугольной временной формы с плотностью энергии, определяемой по уравнению w _(Tf-TQeP f O-R)x ’ где Tf - температура отжига;Т0 - начальная температура;c и ρ - удельная теплоемкость и плотность материала соответственно;R - коэффициент отражения материала;χ - показатель поглощения материала на длине волны лазерного излучения, при этом диэлектрическим зеркалом исходный лазерный импульс делят на два импульса и осуществляют временную задержку второго импульса на время действия первого импульса, отличающийся тем, что плотность мощности в первом импульсе составляет 60% от плотности мощности исходного лазерного импульса.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018122446A RU2692004C1 (ru) | 2018-06-20 | 2018-06-20 | Способ лазерного отжига неметаллических материалов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| EA201892466A1 EA201892466A1 (ru) | 2019-12-30 |
| EA036035B1 true EA036035B1 (ru) | 2020-09-16 |
Family
ID=66947496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| EA201892466A EA036035B1 (ru) | 2018-06-20 | 2018-11-28 | Способ лазерного отжига неметаллических материалов |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EA (1) | EA036035B1 (ru) |
| RU (1) | RU2692004C1 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2763362C1 (ru) * | 2020-11-05 | 2021-12-28 | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» (ФГУП «ВНИИА») | Способ лазерного отжига неметаллических материалов |
| RU2757537C1 (ru) * | 2021-03-29 | 2021-10-18 | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» (ФГУП «ВНИИА») | Способ лазерного отжига неметаллических пластин |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020134765A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Semiconductor Enery Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiating apparatus |
| US20030196996A1 (en) * | 2002-04-18 | 2003-10-23 | Applied Materials, Inc. | Thermal flux processing by scanning |
| WO2010071202A1 (ja) * | 2008-12-18 | 2010-06-24 | 日本板硝子株式会社 | ガラス及びガラスの処理方法 |
| US20100297856A1 (en) * | 2007-11-08 | 2010-11-25 | Stephen Moffatt | Pulse train annealing method and apparatus |
| RU2566138C2 (ru) * | 2014-02-13 | 2015-10-20 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военная академия Ракетных войск стратегического назначения имени Петра Великого" Министерства обороны Российской Федерации | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
| RU2633860C1 (ru) * | 2016-06-24 | 2017-10-18 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерного отжига неметаллических материалов |
-
2018
- 2018-06-20 RU RU2018122446A patent/RU2692004C1/ru active
- 2018-11-28 EA EA201892466A patent/EA036035B1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020134765A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Semiconductor Enery Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiating apparatus |
| US20030196996A1 (en) * | 2002-04-18 | 2003-10-23 | Applied Materials, Inc. | Thermal flux processing by scanning |
| US20100297856A1 (en) * | 2007-11-08 | 2010-11-25 | Stephen Moffatt | Pulse train annealing method and apparatus |
| WO2010071202A1 (ja) * | 2008-12-18 | 2010-06-24 | 日本板硝子株式会社 | ガラス及びガラスの処理方法 |
| RU2566138C2 (ru) * | 2014-02-13 | 2015-10-20 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военная академия Ракетных войск стратегического назначения имени Петра Великого" Министерства обороны Российской Федерации | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
| RU2633860C1 (ru) * | 2016-06-24 | 2017-10-18 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерного отжига неметаллических материалов |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EA201892466A1 (ru) | 2019-12-30 |
| RU2692004C1 (ru) | 2019-06-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Lahav et al. | Long-lived waveguides and sound-wave generation by laser filamentation | |
| RU2566138C2 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
| Potemkin et al. | Laser control of filament-induced shock wave in water | |
| RU2583870C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических пластин | |
| EA036035B1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических материалов | |
| Gregg et al. | Kinetic energies of ions produced by laser giant pulses | |
| RU2633860C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических материалов | |
| RU2634338C1 (ru) | Способ и устройство для лазерной резки материалов | |
| RU2630197C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических пластин | |
| Osipov et al. | Effect of pulses from a high-power ytterbium fiber laser on a material with a nonuniform refractive index. I. Irradiation of yttrium oxide targets | |
| Sun et al. | Power dependent filamentation of a femtosecond laser pulse in air by focusing with an axicon | |
| RU2582849C1 (ru) | Способ лазерной пробивки сквозного отверстия в неметаллической пластине | |
| Shulyatyev et al. | Generation of a laser beam with a high peak brightness in a CO2 laser with continuous pumping and mechanical Q-switching | |
| RU2763362C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических материалов | |
| RU2785420C1 (ru) | Способ лазерного отжига неметаллических материалов | |
| Tarasova et al. | Study of the filamentation phenomenon of femtosecond laser radiation | |
| Efimkov et al. | Investigation of systems for obtaining short high-power pulses by wavefront reversal of the radiation in a stimulated Brillouin scattering mirror | |
| Gornyi et al. | Specific features of metal surface processing by nanosecond laser pulse trains | |
| Khorkov et al. | Experimental study of the filaments parameters at the focusing with cylindrical lens | |
| RU2646177C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
| RU2695440C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
| RU2773255C2 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
| RU2624989C1 (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических пластин | |
| Donnelly et al. | The role of near time coherent contrast on ultrafast laser driven radiation sources | |
| JP2012023171A (ja) | レーザアニール方法及びレーザアニール装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s) |
Designated state(s): AM AZ KZ KG TJ TM RU |