DE966014C - In einer Vakuumbedampfungs- oder Kathodenzerstaeubungsanlage angeordneter Traeger fuer die zu beschichtenden Gegenstaende - Google Patents

Description

Der Gegenstand des Hauptpatents 962 488 ist ein in einer Vakuumbedampfungs- oder Kathodenzerstäubungsanlage angeordneter Träger für die Gegenstände, die durch Verdampfung oder Kathodenzerstäubung mit dünnen Schichten überzogen werden sollen. Er ist gekennzeichnet dadurch, daß er sowohl um seine polare Achse, d. h. in seiner eigenen, in normalem Betriebszustand waagerechten Ebene stetig gedreht, als auch um eine seiner äquatorialen Achsen geschwenkt werden kann, so daß eine im Zeitmittel gleichmäßige*Beschicktmg der zu vergütenden Gegenstände und eine Ausnutzung beider Trägerflächen möglich ist.

Die zusätzlich vorzuschlagende Verbesserung beruht auf dem Gedanken, den Antrieb für die Drehung des Trägertellers um seine polare Achse ganz aus der Vakuumkammer herauszunehmen. An Hand der schematischen Abbildung, die eine solche Vakuumanlage im Querschnitt zeigt, sei der Erfindungsgedanke beschrieben.

Nach der Lehre des Hauptpatents besteht das Vakuumgehäuse einer erfindungsgemäßen Verdampfungsanlage aus einer Grundplatte A, auf welcher vakuumdicht die zylindrische Zarge B mit dem Deckel C steht. Ein Flansch JS ist am Deckel angeschweißt, an dem außen die Hebevorrichtung /^;

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für den Deckel und innen die beiden Tragebänder H für den Trägerring P des darin um seine polare Achse rotierbar gelagerten Trägertellers U befestigt sind. In Verlängerung einer äquatorialen Achse ruht dieser Ring mittels zweier Zapfen Q in den Tragebändern. Einer der Lagerzapfen hat einen kleinen, beispielsweise vierkantig ausgebildeten Ansatz, so daß er von den Backen einer an der Zargenwand angebrachten, von außen mittels eines ίο Hebels V und vakuumdichten Drehdurchführung M drehbaren Mitnehmerscheibe mitgenommen werden kann, um den Trägerteller um diese äquatoriale Achse zu schwenken.

Der Antrieb für die Rotation des Trägertellers U wurde nach dem Hauptpatent von einer vakuumdichten Drehdurchführung und einem Ritzel, das in den als Zahnkranz ausgebildeten Rand des Trägertellers eingreift, geliefert.

Nach dem weiteren, zusätzlichen Erfmdungsgeso danken ruht nun der Trägerteller U nicht mehr beweglich, sondern starr im Trägerring P. Dafür sind jetzt die Tragebänder if an einer vertikalen Mittelachse G befestigt, die drehbar, jedoch vakuumdicht durch den Flansch E nach außen geführt und auf welche von außen der Antrieb für die Rotation übertragen wird. Die Mittelachse wird vorteilhaft als- Hohlachse ausgebildet, um photometrische Messungen zu ermöglichen. Es dreht sich also jetzt gemeinsam die gesamte, durch die Mittelachse G, die Tragebänder H und den Trägerring gebildete Anordnung um die senkrechte, polare Achse. Während der Rotation wird jetzt erfindungsgemäß der Trägerring und der Trägerteller durch eine kräftige Einrastvorrichtung N an einem der beiden Tragebänder in der waagerechten Rotatioinsebene gehalten, während der verlängerte, vierkantige Lagerzapfen Q nun nicht durch die Backen einer Mitnehmerscheibe festgehalten wird, sondern bei der Drehung ungehemmt bleibt, sofern eine Schwenkung des Tellers nicht ausgeführt werden soll. An der Zargenwand ist jedoch noch an einer vakuumdichten, einschiebbaren Drehdurchführung M in Höhe des Trägertellers eine Fangvorrichtung R angebracht, die durch einen außenliegenden Hebel V betätigt werden kann. Wenn der Trägerteller um seine äquatorale Achse geschwenkt werden soll, drückt man die Fangvorrichtung mittels des Hebels hinein, so daß der vierkantig ausgebildete Lagerzapfen aufgehalten und die normalerweise nur langsame Rotation des Trägertellers unterbrochen wird. Mit dem Hebel führt man dann die Schwenkung um i8o° aus und zieht die Fangvorrichtung wieder zurück, so daß die Rotation wieder einsetzen kann. Zu diesem Zwecke wird erfindungsgemäß der Antrieb für die Rotation durch eine Reibungskupplung auf die Mittelachse übertragen, die eine rasche Bremsung erlaubt, ohne daß der Antriebsmotor ausgeschaltet werden muß. Dadurch ist eine. Schwenkung des Trägers in einfächer Weise während des Betriebes möglich.

Die zweckmäßigste Ausführung des Antriebs und der Reibungskupplung kann in beliebiger, bekannter Weise erfolgen. Es hat sich beispielsweise folgende Bauart bewährt: Die Mittelachse G und die daran befestigten, oben aufgezählten Teile hängen an einem Messingflansch T, welcher als Reibungskupplung unter dem Druck des eigenen Gewichtes und der daran hängenden Last auf dem von einem kleinen Motor X über einem konischen Zahnrad angetriebenen Tellerrad 0 aufliegt. Bei Hemmung der Trägerrotation gleitet jedoch der Messingflansch· über das weiterlaufende Tellerrad, und die beschriebene Schwenkung kann ohne weiteres am stillstehenden Trägerteller ausgeführt werden.

Die erfindungsgemäße neue Bauart der Vakuumverdampfungsanlage bringt somit den Vorteil, daß einerseits eine im Zeitmittel gleiche Beschichtung von unten der auf dem Trägerteller befestigten Gegenstände und eine Ausnutzung beider Seiten möglich wird und daß andererseits alle einer Reibungsbeanspruchung ausgesetzten- Teile, von welchen kleine Stäubchen auf die Gegenstände fallen und die Güte der aufgedampften Schichten beeinträchtigen könnten, aus der Vakuumkammer herausgenommen sind, so daß nun die erhaltenen aufgedampften Schichten vollkommen fehlerfrei ausfallen. Die nun außerhalb der Vakuumkammer liegenden, gleitenden Teile können auch geschmiert werden, ohne daß dadurch die Güte des Vakuums leidet. Der durch die zusätzlich verbesserte Bauart erzielte Fortschritt ist von erheblicher praktischer Bedeutung.

Claims (3)

1. Patentansprüche:

   i. In einer Vakuumbedampf ungs- oder Kathodenzerstäubungsanlage angeordneter Träger für die zu beschichtenden Gegenstände nach dem Patent 962 488, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerteller an einer zentrisch durch den Deckel der Vakuumglocke vakuumdicht hindurchgeführten Achse hängt, auf die von außen durch an sich bekannte Mittel und eine Reibungskupplung der Antrieb für die Rotation des Trägers um seine polare Achse übertragen wird, und daß durch eine einschiebbare, vakuumdicht durch die Zargenwand hindurchgeführte Auffangvorrichtung die Rotation des Tellers unterbrochen und eine Schwenkung des Tellers um eine äquatoriale Achse um i8o° ausgeführt werden kann.
2. 2. In einer Vakuumbedampf ungs- oder Kathodenzerstäubungsanlage angeordneter Träger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er in einem Trägerring ruht, der mittels zweier Zapfen in zwei Tragebändern drehbar gelagert ist, wobei im normalen Betriebszustand der Trägerring durch eine kräftige Einrastvorrichtung an den Bändern in der waagerechten Ebene gehalten wird, und daß die besagten Bänder mit einer durch den zentrischen Flansch des Deckels drehbar hindurchgeführten und von außen mittels Reibungskupplung in Rotation versetzbaren,

   beispielsweise hohlen Mittelachse starr verbunden sind, so daß dieser durch Trägerteller, Trägerring, Tragebänder und Mittelachse gebildete Teil gemeinsam um die polare Achse gedreht werden kann, während zur Schwenkung des Trägerringes nebst Teller um die äquatoriale Achse ein Lagerzapfen etwas verlängert und beispielsweise vierkantig ausgebildet ist, so daß er von einer einschiebbaren Auffangvorrichtung festgehalten und dann um i8o° geschwenkt werden kann, die mittels eines Hebels und einer vakuumdichten an der Zargenwand angebrachten Drehdurchführung von außen bedient wird.
3. 3. In einer Vakuumbedampf ungs- oder Kathodenzerstäubungsanlage angeordneter Träger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb für die Rotation des mit der Mittelachse verbundenen Trägers von einem außerhalb der Vakuumkammer liegenden Motor geliefert und mittels beispielsweise eines Kegelzahnrades und eines zentrisch zur Mittelachse befestigten Tellerrades auskuppelbar auf einen Messingflansch übertragen wird, an dem die Mittelachse starr aufgehängt ist, so daß er unter der Last der zur Rotation vorgesehenen Teile auf dem Tellerrad aufliegt und die Rotation durch Reibung auf ihn übertragen wird.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

   © 709 572/107 6.