DE891586C

DE891586C - Vorrichtung zur UEbertragung von Vorschubbewegungen von aussen in das Innere von elektrischen Entladungsgefaessen, vorzugsweise Elektronenmikroskopen

Info

Publication number: DE891586C
Application number: DEA6875D
Authority: DE
Inventors: Erich Goelz
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1940-02-08
Filing date: 1940-02-08
Publication date: 1953-09-28

Description

Vorrichtung zur Übertragung von Vorschubbewegungen von außen in das Innere von elektrischen Entladungsgefäßen, vorzugsweise Elektronenmikroskopen Bei elektrischen Entladungsgefäßen, bereitet vielfach die, Bewegung von Innenbauteilen große Schwierigkeiten. Zu diesem Zweck muß das Entladungsgefäß zerlegt und nach erfolgter Bewegung der Teile, die beispielsweise zum Zentrieren erforderlich ,ist, -das Entladungsgefäß wieder verschlossen und evakuiert werden. Dieses. Verfahren läßt sich bei elektrischen Entladungsgefäßen, bei denen eine häufige Bewegung von Innenbauteilen erforderlich ist, nicht vermeiden.
Es ist bereits bekannt, Elektroden gegeneinander zu bewegen, indem diese Bewegung auf elektro, magnetischem Weg erfolgt. Dieses Verfahren ist infolge des erforderlichen großen: Aufwands an zusätzlichen: Vorrichtungen äußerst kompliziert. Außerdem kann es nur in dem Fall Verwendung finden, wenn die Hinundherbewegung stets um den gleichen Betrag erfolgen soll.
Es ist ferner bekannt, die Elektroden von elektrischen Entladungsgefäßen von außen zu bewegen, indem zur Abdichtung Tombakrohre benutzt werden. Bei, derartigen mit Tomhakrohren ausgerüsteten: elektrischen Entladungsgefäßen wird durch häufige Bewegung das Tombakrohr so stark beansprucht, daß es. ;durch ein neues Rohr ersetzt werden muß. Das Auswechseln von Tombakrohren ist verhältnismäßig umständlich; da stets wieder einevakuumddlichteVerbindung mit dem elektrischen Entladungsgefäß erzielt werden: muß.
Diese Schwierigkeiten wegirden nach der Erfindung bei einer Vorrichtung zur Übertragung von Vorschubbewegungen von außen in, das Innere von elektrischen Entladungsgefäßen, vorzugsweise Elektronenmikroskopen, .dadurch vermieden, daß die Kraftübertragung mit Hilfe je eines, an der Außenseite bzw. an. der Innenseite deselektrischen Entladungsgefäßes. angebrachten Stempels erfolgt, die durch eine zur vakuumsicheren Abdichtung dienenden durchwölbbaren Platte aus elästischem Werkstoff, vorzugsweise Gummi, voneinander getrennt sind. Die elastische Platte -ist beispielsweise in einen konischen Sitz eingepreßt und dadurch vorgewölbt. Die Wölbung der Dichtungsplatte ermög-1'icht ein Durchdrücken.derselbeln um beispielsweise 3 mm, ohne das die Gummiplatte o,d. dgl. aus ihrer Einspannung .in den konischen Sitz herausgezogen wird.. Wenn die Gummiplatte entsprechend groß ausgebildet wird., kann ein noch stärkeres Durchdrücken derselben erlaubt werden.
Es ist jedoch nicht erforderlich, daß die Gummiplatte erst durch die oben beschriebene Maßnahme vorgewölbt wird, sondern man kann auch die Dichtungsplatte von vornherein gewölbt ausbilden. Verwendet man beispielsweise eine Gummiplatte, so wird man in ,diesem Fall dieselbe zweckmäßig auf einen- Druckring od.. dgl. aufvulkan.isieren. Um einen vakuumdichten Verschluß zu gewährleisten, ist es lediglich wesentlich, daß die Platte aus elastischem Werkstoff 'in der Anordnung eine gewisse. Vorwölbung besitzt.
In der Abbildung ist in zum Teil schematischer Weise ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung dargestellt. Die Gummiplatte i ist in einer Hülse 7 eingefügt, in der sie durch den Druckring 2 befestigt ist. Zur Übertragung deriVorschubbewegung .dient die außerhalb des elektrischen Entladungsgefäßes, angeordnete Schraubsp.indel3, die durch die Platte i von dem innerhalb des elektrischen Entladungsgefäßes .angeordneten Stempel 4 getrennt ist. Um beim Zurückschrauben: der Spindel 3 eine Rückbewegung des. Stempels 4 zu ermöglichen, ist eine Feder 5 vorgesehen, auf der der Kopf des Stempels 4 ruht.
Wenn, die Platte i ihre Elastizität zum Teil verliert, so daß die Anordnung unwirksam wird, kann die Platte aus elastischem Werkstoff in äußerst einfacher Weise gegen eine Ersatzplatte ausgewechselt werden. Zu diesem Zweck wird, nachdem die Befestigungsschraube 9 gelöst ist, aus der Hülse 6 der mit einem Gewinde versehene Halterungskörper 8 entfernt und die Druckscheibe :2 von der Platte i abgehoben. Nach-AuswechselnderAbdichtungsplatte erfolgt dann die Befestigung der neuen Abdichtungsplatte in entsprechender Weise. Zur Vor- bzw. Rückwärtsbewegung des Stempels 4, an dem @die, zu bewegende, Elektrode oder ein anderer Innenbauteil des elektrischen Entladungsgefäßes, befestigt ist, ist es lediglich erforderlich, die Schraubspindel 3 in, entsprechender, Weise vor-bzw. rückwärts ;zu bewegen., Die Anordnung ,nach der Erfindung eignet: seich insbesondere zum Zentrieren. .der Elektroden von elektrischen Entladungsgefäßen, und zwar vorzugsweise bei Vakuumgefäßen, bei denen ein häufiges Verschieben der Elektroden oder anderer Innenbauteile notwendig ist. Besonders zweckmäßig hat sich die Anordnung auch zur Objektverstellung, wie es .beispielsweise in Elektronenmikroskopen erforderlich ist, erwiesen. Zur Objektverstellung im Übermikroskop ,ist stets, nur eine geringe Verschiebung notwendig, so daß tdie Gummiplatte nur verhältnismäßig klein und damit auch die gesamte Vorrichtung zur Übertragung der Vorschubbewegung klein; ausgebildet zu werden braucht. Die erfindungsgemäße Anordnung bietet nicht nur bei den oben beschriebenen elektrischen Entladungsgefäßen Vorteile, sondern sie kann zweckmäßig auch bei anderen elektrischen Entladungsgefäßen, wie beispielsweise Röntgenröhren oder Braunsehen Röhren, angewendet werden.

Claims

PATENTANSPRACHE: i. Vorrichtung zur Übertragung von Vorschubbeweb#-ungen von außen; in das Innere von elektrischen Entladungsgefäßen, vorzugsweise Elektronenmikroskopen, ,dadurch gekennzeichnet, daß: die, Kraftübertragung mit Hilfe je eines an der Außen- bzw. Innenseite. .des elektrischen Entlaidungsgefäßes angebrachten. Stempels erfolgt, die durch eine zur vakuumsicheren Abdichtung dienenden durchwölbten Platte aus elastischem Werkstoff, vorzugsweise Gummi, voneinander getrennt sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, d laß -die Platte aus elastischem Werkstoff von vornherein, durchgewölbt ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der im* Innern. des elektrischen Entladungsgefäßes befindliche Stempel auf einer -Feder ruht.
4. Vorrichtung nach Anspruch i oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die elastische Platte in einen konischen Sitz ein.-gepreß@t ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch i oder folgenden, dadurch gekenerzeichnet, daß die aus Gummi bestehende elastische Platte .auf einem Druckring od. dgl. aufvulkanisiert ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch i oder folgenden, .dadurch gekennzeichnet, !daß der außerhalb des Entladungsgefäßes angeordnete Stempel in einem Halteirungskörper (8) geführt ist, der in eine Hülse, (6) eingesetzt ist.