DE69324603T2 - Mikromotor - Google Patents
MikromotorInfo
- Publication number
- DE69324603T2 DE69324603T2 DE69324603T DE69324603T DE69324603T2 DE 69324603 T2 DE69324603 T2 DE 69324603T2 DE 69324603 T DE69324603 T DE 69324603T DE 69324603 T DE69324603 T DE 69324603T DE 69324603 T2 DE69324603 T2 DE 69324603T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- stators
- rotating
- rotary member
- actuators
- central axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K49/00—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes
- H02K49/10—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes of the permanent-magnet type
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N11/00—Generators or motors not provided for elsewhere; Alleged perpetua mobilia obtained by electric or magnetic means
- H02N11/006—Motors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft einen Mikromotor, der als Antriebsmotor bei Präzisionsminiaturgeräten und dergleichen verwendet wird, und insbesondere einen Mikroschrittmotor, der durch das Weglassen von Erregerspulen miniaturisiert wird.
- Üblicherweise sind Antriebsmotoren für Präzisionsminiaturgeräte, beispielsweise Miniaturmotoren, die als Antriebsmotor für Quarzkristalluhren verwendet werden, auf die gleiche Art wie bei großen Motoren aus Erregerspulen konstruiert, die aus Kupferdrähten bestehen, die um einen Teil eines Stators gewickelt sind, so daß der Motor durch eine Antriebskraft gedreht wird, die erzeugt wird, indem an die Erregerspule ein Erregerstrom angelegt wird.
- So sind Erregerspulen für herkömmliche Mikromotoren erforderlich, um eine Antriebskraft zu erzeugen. In den Fällen, wo die Erregerspulen verwendet werden, ist für die Spulen eine beträchtliche Windungszahl erforderlich. Wenn der Durchmesser der Drähte für die Spulen auf 10 um oder weniger verringert ist, um die Motoren möglichst klein zu machen, haben die Spulen die Tendenz, leicht zu brechen, was es extrem schwierig macht, die Spulen um den Stator zu wickeln.
- Demgemäß ist es unvermeidbar, daß Erregerspulen dick und groß sind, und es ist sehr schwierig, Motoren insgesamt zu miniaturisieren.
- Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht daher darin, einen Mikromotor bereitzustellen, der miniaturisiert wird, indem Erregerspulen weggelassen werden, deren Vorhandensein es verhindert, daß Motoren miniaturisiert werden können.
- Die JP-A-61177155 offenbart einen Motor, der einen Rotor aus magnetischem Material aufweist, der von Statoren angetrieben wird, die um den Rotor angeordnet sind. Die Statoren werden zwischen einem magnetisierten und einem entmagnetisierten Zustand umgeschaltet, indem Permanentmagneten durch elektrostriktive Aktuatoren hin und herbewegt werden, die Federn entgegenwirken.
- Die vorliegende Erfindung stellt einen Mikromotor bereit, wie in Anspruch 1 oder Anspruch 4 definiert.
- An eine Vielzahl von Aktuatoren wird nacheinander eine elektrische Spannung als Energiequelle angelegt, um die Abstände zwischen den entsprechenden Statoren und dem Rotationselement zu ändern, um die magnetische Anziehungskraft zu ändern. Diese Änderung der magnetischen Anziehungskraft bewirkt, daß sich das Rotationselement entweder im Uhrzeigersinn oder gegen den Uhrzeigersinn um seine Rotationsachse dreht.
- Beim Mikromotor gemäß vorliegender Erfindung, bei dem die Antriebskraft erzeugt wird, indem Spalten zwischen dem Rotationselement und den Statoren durch die Aktuatoren geändert werden, die durch eine Ladungsenergie bewegt oder verlagert werden können, besteht keine Notwendigkeit für eine große Erregerspule zum Anlegen eines Erregerstroms. Daher kann gemäß vorliegender Erfindung ein Mikromotor bereitgestellt werden, der noch kleiner als bestehende Motoren geringer Größe ist.
- Die Fig. 1 bis 6 sind Zeichnungen der Mikromotoren gemäß vorliegender Erfindung, wobei Fig. 1 eine Draufsicht des Mikromotors der ersten Ausführungsform mit dem Motor in Ruheposition ist; Fig. 2 eine Draufsicht des Mikromotors der ersten Ausführungsform zeigt, während der Motor um einen Schritt gedreht wird; Fig. 3 eine Schnittansicht des Mikromotors der zweiten Ausführungsform mit dem Motor in Ruheposition ist; Fig. 4 eine Draufsicht des Mikromotors der zweiten Ausführungsform mit dem Motor in Ruheposition ist; Fig. 5 eine Schnittansicht des Mikromotors der zweiten Ausführungsform zeigt, während der Motor um einen Schritt gedreht wird; und Fig. 6 eine Draufsicht des Mikromotors der zweiten Ausführungsform ist, während sich der Motor dreht.
- Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachstehend nur als Beispiel unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
- In den Fig. 1 und 2 werden Draufsichten der ersten Ausführungsform des Mikromotors gezeigt, wobei Fig. 1 den Motor im Ruhezustand zeigt und Fig. 2 den Zustand zeigt, in dem der Motor um einen Schritt gedreht wird.
- Wie in Fig. 1 gezeigt, ist das Rotationselement 1, das aus einem Permanentmagneten mit einem Paar magnetischer Pole besteht, die N-Pol und S-Pol sind, drehbar um eine Rotationsachse 15 vorgesehen. Statoren 2, 3, 4, 5, 6 und 7 sind so angeordnet, daß sie den Außenumfang von Rotationselement 1 umgeben. Weiters sind außerhalb dieser Statoren Aktuatoren 8, 9, 10, 11, 12 und 13, beispielsweise aus piezoelektrischen Elementen, vorgesehen, die jeweils den Statoren 2, 3, 4, 5, 6 bzw. 7 entsprechen. Ein Ende dieser Aktuatoren 8, 9, 10, 11, 12 und 13 ist an entsprechenden Statoren 2, 3, 4, 5, 6 bzw. 7 befestigt, und das andere Ende an einem Rahmen 14. Diese Aktuatoren 8, 9, 10, 11, 12 und 13 sind zur Richtung des Durchmessers hin polarisiert, wie durch Pfeile gezeigt. Obwohl in Fig. 1 nicht gezeigt, sind die Aktuatoren so konstruiert, daß sie sich durch Anlegen einer Spannung zwischen den beiden Polen eines jeden Aktuators in Richtung auf den Durchmesser hin bewegen. Das Rotationselement 1 befindet sich auf stabile Weise in Ruhe an einer Position, wo das magnetostatische Potential im Magnetkreis, der aus dem Rotationselement 1 und den Statoren 2, 3, 4, 5, 6 und 7 besteht, ein Minimum aufweist. Angenommen, der N-Pol von Rotationselement 1 befindet sich an Spalt 16 zwischen den Statoren 6 und 7, und der S-Pol befindet sich an Spalt 17 zwischen den Statoren 3 und 4, wie in Fig. 1 gezeigt, so kehren die einen Magnetfeldlinien vom N-Pol von Rotationselement 1 über die Statoren 6, 5, 4 zum S-Pol zurück, und die anderen Magnetfeldlinien kehren über die Statoren 7, 2, 3 zum S-Pol zurück. In beiden Fällen sind zwei Zwischenspalte vorhanden und somit ihre Zahl minimiert. Demgemäß sind die magnetfeldabhängigen Widerstände und die magnetostatischen Potentiale minimiert.
- Wenn sich andererseits der N-Pol von Rotationselement 1 in der Mitte des Stators 7 befindet und der S-Pol in der Mittel von Stator 4, kehren die einen Magnetfeldlinien über die Statoren 2, 3, 4 zum S-Pol zurück. In beiden Fällen sind drei Zwischenspalte zwischen den Statoren vorhanden. Deswegen sind die magnetfeldabhängigen Widerstände und die magnetischen Potentiale groß, und das Rotationselement kann an diesem Punkt nicht stillstehen. Die stabilen Punkte fallen so mit der Position der Spalte zwischen den Statoren zusammen.
- Wie in Fig. 2 gezeigt, werden, wenn über eine in der Figur nicht gezeigte Elektrode eine Spannung an die Aktuatoren 9 und 12 angelegt wird, so daß diese Aktuatoren 9 und 12 in Richtung des Durchmessers zusammengezogen werden, die Statoren 3 und 6 entsprechend der Bewegung der Aktuatoren 9 bzw. 12 nach außen bewegt. Dadurch erweitert sich der Spalt zwischen dem N-Pol von Rotationselement 1 und dem Stator 6, sowie der Spalt zwischen dem S-Pol von Rotationselement 1 und dem Stator 3, so daß die magnetfeldabhängigen Widerstände zwischen diesen Spalten groß werden.
- Weil der magnetfeldabhängige Widerstand zwischen dem N-Pol von Rotationselement 1 und dem Stator 7 sowie der magnetfeldabhängige Widerstand zwischen dem S-Pol von Rotationselement 1 und dem Stator 4 gleich bleiben, wird ein Gradient des magnetostatischen Potentials erzeugt, so daß der magnetfeldabhängige Gesamtwiderstand verringert wird.
- Als Ergebnis dreht sich das Rotationselement 1 aufgrund der Rotationskraft um einen Schritt (60º) im Uhrzeigersinn und bleibt, wie in Fig. 2 gezeigt, stabil an einem Punkt von Spalt 18 zwischen den Statoren 7 und 8 bis zu Spalt 19 zwischen den Befestigungselementen 4 und 5, wo der magnetfeldabhängige Widerstand minimal ist. Die Spannung kann bis zu dem Zeitpunkt an die Aktuatoren angelegt werden, wo das Rotationselement stationär bleibt, oder sie kann für einen kürzeren Zeitraum angelegt werden.
- Das Anlegen von Spannung an die Aktuatoren 9 und 12 wird dann beendet, um die Statoren 3 und 6 in die ursprünglichen Positionen zurückzuführen, während eine Spannung an die Aktuatoren 10 und 13 angelegt wird, um die Statoren 4 und 7 nach außen zu bewegen, um das Rotationselement auf die gleiche Weise wie oben um einen Schritt von 60º zu drehen. Das Rotationselement wird so in sechs Schritten um eine Runde gedreht.
- Die Fig. 3 bis 6 sind Zeichnungen, die den Mikromotor der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, worin die Fig. 3 und 4 eine Schnittansicht bzw. eine Draufsicht sind, während sich der Motor in Ruheposition befindet; und die Fig. 5 und 6 eine Schnittansicht und eine Draufsicht sind, wenn der Motor um einen Schritt gedreht wird. Die zweite Ausführungsform wird nun unter Verweis auf die Fig. 3, 4, 5 und 6 dargestellt.
- Wie in Fig. 3 gezeigt, ist das Rotationselement 21, das aus einem Permanentmagneten mit zwei Paaren von Polen, insgesamt vier Polen, zwei N-Polen und zwei S-Polen, besteht, die zur Achse gerichtet sind, um eine Rotationsachse 40 drehbar angeordnet. Weiters sind oberhalb und unterhalb eines Rotationselements 21 sechs Statoren 22 (22a, 22b), 23 (23a, 23b), 24 (24a, 24b), 25 (25a, 25b), ... vorgesehen, die jeweils aus einem magnetischen Material bestehen. Weiters sind jeweils den Statoren 22, 23, 24, 25, ... entsprechende Aktuatoren 28 (28a, 28b), 29 (29a, 29b), 30 (30a, 30b), 31 (31a, 31b), ... vorgesehen, die beispielsweise aus piezoelektrischem Element bestehen. Eines der Enden dieser Aktuatoren 28, 29, 30, 31, ... ist jeweils an den Statoren 22, 23, 24, 25, ... befestigt, und das andere ist am Rahmen 14 befestigt.
- Fig. 4 ist eine Draufsicht im Schnitt entlang der Ebene A-A von Fig. 3.
- Auf die gleiche Weise wie bei der unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 beschriebenen ersten Ausführungsform steht der N-Pol von Rotationselement 21, wie in Fig. 4 gezeigt, an Spalt 41 zwischen den Statoren als stationärer Punkt still, und der S- Pol steht an Spalt 42 als stationärer Punkt still. Hier entspricht eine Schnittansicht entlang Ebene B-B der in Fig. 3 gezeigten Schnittansicht.
- Wie in Fig. 5 gezeigt, werden, wenn eine Spannung angelegt wird, um die Aktuatoren 30a, 30b (33a, 33b), die den Statoren 24a, 24b entsprechen, und die Statoren, die axial asymmetrisch zu diesen Statoren sind (Statoren 27a, 27b, in Fig. 6 gezeigt), in axialer Richtung zusammenzuziehen, Spalte zwischen 24a, 24b, 27a, 27b und dem Rotationselement 21 erweitert, und es wird bewirkt, daß sich die magnetfeldabhängigen Widerstände ändern, wie in Verbindung mit der ersten Ausführungsform erörtert. Die so hervorgerufene Änderung im magnetostatischen Potential erzeugt eine Drehkraft, die das Rotationselement 21 um 60º dreht und bewirkt, daß es an den stationären Punkten 43, 44 stillsteht, wie in Fig. 6 gezeigt.
- Dann werden die Statoren 24a, 24b, 27a, 27b in die ursprünglichen Positionen zurückgeführt, während die Statoren 23a, 23b, 26a, 26b bewegt werden. So wird das Rotationselement 21 auf die gleiche Weise wie in der ersten Ausführungsform in sechs Schritten um eine Runde bewegt.
- Obwohl in der obigen ersten und zweiten Ausführungsform Beispiele dargestellt werden, bei denen sechs oder zwölf Statoren verwendet werden, ist die Anzahl der Statoren nicht auf sechs oder zwölf beschränkt. Die Verwendung von mindestens zwei Statoren ist möglich, wenn der Zeitraum, für den die Spannung an die Aktuatoren angelegt ist, entsprechend gewählt wird. Auch sind die Statoren nicht auf jene mit zwei oder vier Polen beschränkt. Es kann jeder Stator mit mehr als einem einzigen Pol (N-Pol oder S-Pol) verwendet werden.
- Es ist möglich, die Ausgangsleistung der Motoren bei diesen Ausführungsformen zu ändern, indem Spalte zwischen dem Rotationselement und den Statoren durch die Änderung in der Spannung geändert wird, die an die Aktuatoren angelegt wird, die gemeinsam mit den Statoren bewegt oder verlagert werden.
- Als piezoelektrisches Material für die Aktuatoren in diesen Ausführungsformen können alle Materialien verwendet werden, die piezoelektrische Eigenschaften aufweisen, wie piezoelektrische Keramik (Bariumtitanat, Bleizirkonat-Titanat, Multikomponenten- Lösungskeramik), Bariumtitanat-Monokristalle, Quarzkristalle, Rochelle-Salze und dergleichen.
- Weiters ist es möglich, die Kombination aus Statoren und Aktuatoren als monomorphen, unimorphen, bimorphen oder multimorphen Biegeverlagerungstyp oder als Linearverlagerungs-Laminationstyp herzustellen, um das Ausmaß an Verlagerung des Stators zu vergrößern und die Antriebsspannung zu verringern.
- Die Mikromotoren gemäß vorliegender Erfindung sind nicht notwendigerweise auf Schrittmotoren beschränkt. Es ist auch möglich, kontinuierliche Motoren herzustellen, indem die Spannung kontinuierlich angelegt wird. Insbesondere ist die Herstellung eines kontinuierlichen Motors mit niedrigem Stromverbrauch möglich, wenn von den Statoren und Aktuatoren eine Resonanzfrequenz verwendet wird.
- In den obigen Beschreibungen werden zwar Ausführungsformen veranschaulicht, bei denen ein piezoelektrisches Element als Aktuator verwendet wird, aber als Material für die Aktuatoren können alle Materialien verwendet werden, die durch Energieinput bewegt oder verlagert werden können, wie Legierungen mit Gedächtniseffekt.
- Wie oben veranschaulicht, kann der Mikromotor gemäß vorliegender Erfindung als Antriebsmotor für Quarzkristalluhren, Roboter für medizinische und Gesundheits- Anwendungen, medizinische Mechatronik, Mikroroboter und dergleichen verwendet werden.
Claims (6)
1. Mikromotor, umfassend:
ein Rotationselement (1), das um seine Mittelachse (15) rotiert,
einen Rahmen (14), der sich außerhalb des Rotationselements befindet,
Aktuatoren (8-13), die aus einem piezoelektrischen Element gefertigt sind, wobei jeder
Aktuator ein am Rahmen befestigtes Außenende sowie ein Innenende aufweist, das sich
zum Rotationselement hin rechtwinkelig zur Mittelachse erstreckt, und so betätigt wird,
daß sich das Innenende, wenn eine Ladungsenergie an den Aktuator angelegt wird, zum
Rotationselement hin oder von diesem weg bewegt; und
Statoren (1-7), die so angeordnet sind, daß sie einen Außenumfang des
Rotationselements umgeben, wobei zwischen jedem Stator und dem Rotationselement ein Spalt
gebildet ist;
dadurch gekennzeichnet, daß
das Rotationselement aus einem Permanentmagneten besteht und die Statoren aus
einem magnetischen Material bestehen, wobei jeder Stator am Innenende eines
jeweiligen Aktuators befestigt ist, so daß sich die Breiten der Spalte ändern, wenn die
Aktuatoren durch Anlegen der Ladungsenergie an die Aktuatoren in radiale Richtungen
in bezug auf die Mittelachse bewegt werden, wodurch das Rotationselement gedreht
wird.
2. Mikromotor nach Anspruch 1, worin das Rotationselement und die Statoren einen
Magnetkreis mit einem magnetostatischen Potential bilden, wobei das magnetostatische
Potential geändert wird, wenn die Statoren bewegt werden, wodurch das
Rotationselement gedreht wird.
3. Mikromotor nach Anspruch 2, worin die Aktuatoren und Statoren in bezug auf die
Mittelachse symmetrisch angeordnet sind, wobei zwei der Aktuatoren, die gegenüber
der Mittelachse symmetrisch sind, gleichzeitig betätigt werden, um das
Rotationselement zu drehen.
4. Mikromotor, umfassend:
ein Rotationselement (21), das um seine Mittelachse (40) rotiert,
einen Rahmen (14), der sich außerhalb des Rotationselements befindet,
Aktuatoren (28a, b, 30a, b), wobei jeder Aktuator ein am Rahmen befestigtes Außenende
sowie ein Innenende aufweist, das sich zum Rotationselement hin erstreckt und so
betätigt wird, daß, wenn an den Aktuator eine Ladungsenergie angelegt wird, das
Innenende zum Rotationselement hin oder von diesem weg bewegt wird, und
Statoren (22a, b - 27a, b), wobei zwischen jedem Stator und dem Rotationselement ein
Spalt gebildet ist;
dadurch gekennzeichnet, daß
die Statoren aus magnetischem Material bestehen und das Rotationselement aus einem
Permanentmagneten besteht; und
das Rotationselement eine Deck- und eine Bodenfläche sowie zumindest ein Paar Pole
an jeder Fläche aufweist, wobei die Aktuatoren angrenzend an zumindest eine aus der
Deckfläche und der Bodenfläche des Rotationselements angeordnet sind und sich
parallel zur Mittelachse erstrecken, wobei jeder Stator am Innenende eines jeweiligen
Aktuators befestigt ist, um zumindest eine aus der Deck- und der Bodenfläche des
Rotationselements zu bedecken, so daß sich die Breiten der Spalte ändern, wenn durch
Anlegen der Ladungsenergie an die Aktuatoren diese parallel zur Mittelachse bewegt
werden, wodurch sich das Rotationselement dreht.
5. Mikromotor nach Anspruch 4, worin das Rotationselement und die Statoren einen
Magnetkreis mit einem magnetostatischen Potential bilden, wobei das magnetostatische
Potential geändert wird, wenn die Statoren bewegt werden, wodurch das
Rotationselement gedreht wird.
6. Mikromotor nach Anspruch 5, worin zwei der Aktuatoren und Statoren, die in bezug
auf das Rotationselement symmetrisch angeordnet sind, gleichzeitig betätigt werden, um
das Rotationselement zu drehen.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP1993/001739 WO1995015610A1 (en) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | Micromotor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE69324603D1 DE69324603D1 (de) | 1999-05-27 |
| DE69324603T2 true DE69324603T2 (de) | 1999-09-16 |
Family
ID=14070674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE69324603T Expired - Fee Related DE69324603T2 (de) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | Mikromotor |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5637937A (de) |
| EP (1) | EP0682403B1 (de) |
| DE (1) | DE69324603T2 (de) |
| WO (1) | WO1995015610A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012106376A1 (de) * | 2012-07-16 | 2014-01-30 | Gsi Helmholtzzentrum Für Schwerionenforschung Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Energieerzeugung mit Piezoelementen |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69815247T2 (de) * | 1997-10-13 | 2004-05-06 | Sagem S.A. | Verstärker-Antrieb mit aktiven Materialien |
| US6198182B1 (en) | 1998-09-02 | 2001-03-06 | Cts Corporation | Two-phase stepper motor having two disk stators with salient poles positioned on either side of two disk rotors |
| US6242850B1 (en) | 1999-07-28 | 2001-06-05 | Technology Commercialization Corp. | Piezoelectric motor and a disk drive using same |
| RU2155435C1 (ru) * | 1999-10-27 | 2000-08-27 | Рощин Владимир Витальевич | Устройство для выработки механической энергии и способ выработки механической энергии |
| EP1424767B1 (de) * | 2002-11-29 | 2013-05-22 | ASML Netherlands B.V. | Magnetischer Betätiger unter piezoelektrischer Steuerung |
| TWI254356B (en) * | 2002-11-29 | 2006-05-01 | Asml Netherlands Bv | Magnetic actuator under piezoelectric control |
| CA2522766C (en) | 2003-04-25 | 2011-07-05 | Tyco Healthcare Group Lp | Surgical hand access apparatus |
| US20040233174A1 (en) * | 2003-05-19 | 2004-11-25 | Robrecht Michael J. | Vibration sensing touch input device |
| US7116210B2 (en) * | 2004-05-05 | 2006-10-03 | Cts Corporation | Actuator with integral position sensor |
| US20070008063A1 (en) * | 2004-08-13 | 2007-01-11 | Cts Corporation | Rotary actuator with non-contacting position sensor |
| CN1874134B (zh) * | 2006-04-14 | 2011-03-16 | 博立码杰通讯(深圳)有限公司 | 一种超声电机及其驱动方法 |
| KR20110121706A (ko) | 2009-02-17 | 2011-11-08 | 시티에스 코포레이션 | 회전 위치 센서 |
| WO2015154176A1 (en) * | 2014-04-09 | 2015-10-15 | University Of Manitoba | A ring piezoelectric energy harvester excited by magnetic forces |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT384912B (de) * | 1982-04-16 | 1988-01-25 | Ki Polt I | Piezoelektrischer motor |
| JPS60167687A (ja) * | 1984-07-16 | 1985-08-31 | Yunikamu:Kk | 永久磁石利用の回転動力機 |
| JPS61177155A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-08 | Sony Corp | 駆動装置 |
| TW212240B (de) * | 1991-03-19 | 1993-09-01 | Hitachi Seisakusyo Kk |
-
1993
- 1993-11-30 EP EP94901017A patent/EP0682403B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-11-30 DE DE69324603T patent/DE69324603T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-11-30 US US08/397,188 patent/US5637937A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-11-30 WO PCT/JP1993/001739 patent/WO1995015610A1/ja not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012106376A1 (de) * | 2012-07-16 | 2014-01-30 | Gsi Helmholtzzentrum Für Schwerionenforschung Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Energieerzeugung mit Piezoelementen |
| DE102012106376B4 (de) * | 2012-07-16 | 2016-09-08 | Gsi Helmholtzzentrum Für Schwerionenforschung Gmbh | Vorrichtung zur Energieerzeugung mit Piezoelementen |
| US10171010B2 (en) | 2012-07-16 | 2019-01-01 | Gsi Helmholtzzentrum Fuer Schwerionenforschung Gmbh | Method and apparatus for generating energy using piezo elements |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0682403A1 (de) | 1995-11-15 |
| WO1995015610A1 (en) | 1995-06-08 |
| EP0682403A4 (de) | 1997-09-17 |
| EP0682403B1 (de) | 1999-04-21 |
| US5637937A (en) | 1997-06-10 |
| DE69324603D1 (de) | 1999-05-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69324603T2 (de) | Mikromotor | |
| DE2538372C3 (de) | Elektrischer Schrittmotor | |
| DE69309444T2 (de) | Bürstenloser gleichstrommotor/-generator | |
| DE69707186T2 (de) | Motor und Vorrichtung mit linearer Bewegung | |
| DE69332706T2 (de) | Bürstenloser Drehmomentantrieb mit Davermagneten | |
| DE3050997C2 (de) | Elektromagnetischer Schrittmotor mit zwei Drehrichtungen | |
| EP0221228B1 (de) | Elektrischer Antrieb | |
| DE69026130T2 (de) | Ultraschallmotor mit stehender Welle | |
| DE2157501B2 (de) | Synchronmotor niedriger Drehzahl | |
| DE20319996U1 (de) | Elektrischer Aktuator | |
| DE2225442B2 (de) | Kollektorloser Gleichstrommotor | |
| DE2716590A1 (de) | Nach dem reluktanzprinzip arbeitende elektrische maschine | |
| DE2611319B2 (de) | Schrittschaltmotor für eine elektronische Uhr | |
| DE69402797T2 (de) | Linearer Schrittmotor | |
| DE2623234B2 (de) | ||
| DE2147361B2 (de) | Elektrischer schrittmotor | |
| DE3207101C1 (de) | Schrittmotor | |
| DE112006002546B4 (de) | Elektromotor mit asymmetrischen Polen | |
| DE3527296A1 (de) | Elektromotor | |
| DE10137230C1 (de) | Elektrisch angetriebenes Spannungswellen-Getriebe | |
| DE112015005761B4 (de) | Linearaktor | |
| DE19539583A1 (de) | Elektromotor mit einem permanentmagnetischen Rotor | |
| DE10257906A1 (de) | Schrittmotor mit mehreren Statoren | |
| EP3830930B1 (de) | Elektrische maschine | |
| DE3782339T2 (de) | Elektrischer motor mit einem vielpoligen dauermagnetlaeufer. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |