DE69220071T4

DE69220071T4 - Elektrophoretische anzeigevorrichtung mit verschachtelter lokaler anode

Info

Publication number: DE69220071T4
Application number: DE69220071T
Authority: DE
Inventors: Frank J. North Hills Ny 11030 Disanto; Denis A. Lloyd Harbor Ny 11743 Krusos; Frederic E. Shoreham Ny 11786 Schubert
Original assignee: Copytele Inc
Current assignee: Anixa Biosciences Inc
Priority date: 1991-08-19
Filing date: 1992-08-17
Publication date: 1998-02-12
Anticipated expiration: 2012-08-18
Also published as: DE69220071T2; CA2114229A1; CA2114229C; US5304439A; WO1993004459A1; EP0601072A1; EP0601072B1; EP0601072A4; US5216416A; DE69220071D1; JPH06509883A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft elektrophoretische Displayvorrichtungen und Methoden zur Herstellung derartiger Displays und im besonderen elektrophoretische Displaytafeln mit einer Lokalanode mit Elementen, die zur Förderung der Regelung und Steuerung der Pigmentpartikelwanderung und -anordnung mit den Gitterelementen verschachtelt sind.

Stand der Technik

Elektrophoretische Displays (EPIDS) sind heute allgemein bekannt. Verschiedene Displaytypen und -merkmale sind mehreren Patenten zu entnehmen, die die Namen der Erfinder im vorliegenden Fall, Frank J. Disanto und Denis A. Krusos, tragen und auf den Rechtsnachfolger im vorliegenden Fall, copytele, Inc., Huntington Station, New York, übertragen wurden. Die US-Patente Nr. 4,655,897 und 4,732,830 mit dem Titel ELEKTROPHORETISCHE DISPLAYTAFELN UND DAMIT VERBUNDENE VERFAHREN beschreiben zum Beispiel die Grundfunktion und den Aufbau des elektrophoretischen Displays. US-Patent Nr. 4,742,345 mit dem Titel ELEKTROPHORETISCHE DISPLAYTAFELN UND VERFAHREN HIERFÜR beschreibt ein Display mit besserer Axialität und besserem Kontrast. Zahlreiche andere mit derartigen Displays verbundene Patente wurden ebenfalls auf die Copytele, Inc. übertragen. Eine Patentanmeldung, die für die vorliegende Erfindung relevant sein könnte, ist EP-A-0 396 247 (Anmeldung Nr. 07/345,825) mit dem Titel ELEKTROPHORETISCHE DOPPELANODEN-FLACHTAFEL-DISPLAYVORRICHTUNG; diese Vorrichtungen werden im folgenden beschrieben.
Die in den oben genannten Patenten. gezeigten Displaytafeln beruhen auf dem gleichen Grundprinzip, nämlich der Tatsache, daß, wenn an eine Suspension von elektrisch aufgeladenen Pigmentpartikeln in einem dielektrischen Fluid ein elektrostatisches Feld angelegt wird, die Pigmentpartikel auf Veranlassung des elektrostatischen Feldes durch das Fluid wandern. Wenn die Partikelsuspension im wesentlichen homogen ist und die Pigmentfarbe sich von der des dielektrischen Fluids unterscheidet, veranlaßt ein örtlich begrenztes elektrostatisches Feld eine sichtbare örtliche Wanderung der Pigmentpartikel. Diese örtliche Wanderung der Pigmentpartikel ergibt sich in einem örtlichen Konzentrationsoder Verdünnungsbereich, je nach dem Vorzeichen und der Richtung der elektrostatischen Feld und der Ladung der Pigmentpartikel. Die Lehre der oben genannten US-Patente betrifft elektrophoretische Displayvorrichtungen in Trioden-Ausführung mit einer Vielheit von unabhängigen parallelen Kathodenleiterelementen oder "Zeilen", die in waagerechter Ebene auf einer Oberfläche eines Glasbildschirms abgelagert sind. Eine Isolierschicht aus Photoresistmaterial, die auf den Kathodenelementen abgelagert und zur Erzeugung einer Vielheit von senkrecht zu den Kathodenelementen verlaufenden Isolationsstreifen bis zu den Kathodenelementen herunter photogeätzt ist, bildet das Substrat für eine Vielheit von unabhängigen parallelen Spalten- oder Gitterleiterelementen oder "Zeilen", die in senkrechter Richtung verlaufen. Ein Kappenelement aus Glas sorgt am Umfangsrand für einen flüssigkeitsdichten Verband mit dem Betrachtungsfenster zum Einschluß der Fluidsuspension und wirkt auch als Substrat für eine auf der ebenen Innenfläche der Kappe abgelagerte Anodenplatte. Wenn die Kappe in Position ist, liegt die Anodenfläche mit Abstand parallel sowohl zu den Kathodenelementen als auch zu den Gitterelementen. Bei einer gegebenen Partikelsuspension ist das Vorzeichen der elektrostatischen Ladung, die die Pigmentpartikel anziehen und abstoßen wird, bekannt. Die Kathodenelementspannung, die Anodenspannung und die Gitterelementspannung können dann so bestimmt werden, daß bei Anlegen einer gewissen Spannung an die Kathode und Anlegen einer anderen Spannung an das Gitter der dem Schnittpunkt benachbarte Bereich eine Nettoladung aufnimmt, die zum Anziehen bzw. Abstoßen von im dielektrischen Fluid schwebenden Pigmentpartikeln ausreicht. Da zahlreiche Kathoden- und Gitterzeilen zur Anwendung kommen, gibt es auch zahlreiche separate Schnittpunkte, die zur Erzeugung von örtlichen sichtbaren Pigmentkonzentrations - und -verdünnungsbereichen durch Ändern der an die Kathoden- und Gitterelemente angelegten Spannung geregelt werden können. Im wesentlichen müssen also die Betriebsspannungen an der Kathode und am Gitter mindestens zwei Zustände annehmen können, die einer logischen Eins und einer logischen Null entsprechen. Die logische Eins für die Kathode kann mit Anziehen oder Abstoßen des Pigments verbunden sein. Im typischen Fall werden die Kathoden- und Gitterspannungen so gewählt, daß nur wenn beide bei einem bestimmten Schnittpunkt den Zustand der logischen Eins annehmen, dort ein elektrostatisches Feld im Verhältnis zur Anode entsteht, das zum Schreiben eines visuellen Datenbits auf dem Display durch Pigmentpartikelwanderung ausreicht. Das Bit kann gelöscht werden, zum Beispiel bei Zustandsänderung und Auftreten des Zustandes der logischen Null-Null am Schnittpunkt in Verbindung mit einem Löschpotentialgefälle. Auf diese Weise können auf dem elektrophoretischen Display digitalisierte Daten zur Anzeige kommen.
Ein weiterer EPID-Aufbau ist in der oben genannten Anmerkung Nr. 07/345,825 beschrieben, die ein elektrophoretisches Display betrifft, in dem die bei Trioden-Displays zu findende Kathoden- und Gittermatrix von einer Vielheit von unabhängigen, separat adressierbaren "Lokal"-Anodenzeilen überlagert ist. Die Lokalanodenzeilen sind auf den Gitterzeilen abgelagert, nach welchen sie ausgerichtet sind und gegen welche sie durch ein aus Photoresist bestehendes Zwischengitter isoliert werden. Die Lokalanodenzeilen kommen zur "Fern"-Anode dazu, die wie bei Trioden-Displays die auf dem Anodenschirmträger oder der Kappe abgelagerte Schicht bildet. Die oben erwähnte Doppelanodenstruktur verbessert die Funktion durch Ausschalten von unerwünschten Helligkeitsschwankungen zwischen Einzelbildern, Steigerung der Displaygeschwindigkeit und Verringerung des Spannungsbedarfs im Schreib- und Haltezyklus; all dies wird in Anmeldung Nr. 07/345, 825 erklärt.
Bei der Untersuchung von Anmeldung Nr. 07/345,825 stellt sich heraus, daß die dort zur Anwendung kommende Lokalanodenstruktur durch Auftragen einer Photoresistschicht über den Gitterelementen entsteht, die von einem ersten Metall, wie zum Beispiel Chrom, gebildet werden. Eine zweite, zum Beispiel aus Nickel oder Aluminium bestehende Metallschicht wird auf die Photoresistschicht aufgetragen. Eine weitere Photoresistschicht wird auf die zweite Metallschicht aufgetragen und dann in der selben Form wie die Gitterelemente abgedeckt, belichtet und entwickelt. Daraufhin wird die zweite Metallschicht mit einer geeigneten Lösung geätzt. Das Photoresist zwischen der ersten und zweiten Metallschicht wird dann plasmageätzt. Auf der auf diese Weise entstehenden Struktur wird schließlich eine Schicht SiO&sub2; abgelagert.
Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Alternativ-Struktur und ein Alternativ-Verfahren für die in Anmeldung Nr. 07/345,825 beschriebene Fernanoden-, Kathoden- und Gittermatrix zu schaffen.

Offenbarung der Erfindung

Die mit herkömmlichen elektrophoretischen Displays verbundenen Probleme und Nachteile werden durch die vorliegende Erfindung gelöst, die elektrophoretische Displays nach den Angaben von Anspruch 1 und Anspruch 10 und ein Verfahren zur Herstellung derartiger Displays nach den Angaben von Anspruch 17 betrifft. Die erfindungsgemäßen elektrophoretischen Displays haben: eine aus einer Vielheit von parallelen, in einer gegebenen Richtung angeordneten Zeilen bestehende Kathodenmatrix, eine gegen die Kathodenmatrix isolierte und zur Bildung einer X-Y- Adressiermatrix aus einer Vielheit von senkrecht zu den Kathodenzeilen verlaufenden parallelen Zeilen bestehende Gittermatrix und eine herkömmliche von der X-Y-Matrix getrennte Anodenelektrode, wobei der Zwischenraum zwischen der Anodenelektrode und der X-Y-Matrix eine elektrophoretische Dispersion mit in einem Fluid schwebenden Pigmentpartikeln enthält; die Verbesserung betrifft eine zusätzliche Anodenelektrode, die aus einer Vielheit von jeweils mit den Gitterzeilen verbundenen und gegen diese isolierten parallelen Zeilen besteht. Die zusätzliche Anodenelektrode wird auf einer gemeinsamen Ebene mit der Gittermatrix abgelagert und steuert die Bewegung der Pigmentpartikel zur X-Y-Matrix und von dieser weg, wobei überschüssiges Pigment bei der herkömmlichen Anodenelektrode bleiben kann.
Weitere Ausführungsbeispiele der Erfindung werden in den Unteransprüchen erläutert.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Zum besseren Verständnis der vorliegenden Erfindung wird auf die untenstehende Detailbeschreibung eines Ausführungsbeispiels verwiesen, das in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen zu verstehen ist, wovon:
FIGUR 1 ist eine aufgelöste perspektivische Darstellung eines elektrophoretischen Displays gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
FIGUR 2 ist eine vergrößerte Draufsicht auf ein mit einem ausgewählten Gitterelement geschachteltes Lokalanodenelement gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung und gemäß FIGUR 1;
FIGUR 3 ist ein Querschnitt durch das in FIGUR 1 gezeigte elektrophoretische Display im nicht-aufgelösten Zustand gemäß Schnittlinie III-III und in Pfeilrichtung betrachtet;
FIGUR 4 ist eine vergrößerte Draufsicht auf ein ausgewähltes Gitter- und/oder Lokalanodenelement nach der Lehre der von den Erfindern im vorliegenden Fall hinterlegten früheren Anmeldung Nr. 07/345,825;
FIGUR 5 ist ein Teilguerschnitt durch ein elektrophoretisches Display gemäß Anmeldung Nr. 07/345,825 mit der in FIGUR 4 gezeigten Elementenstruktur.

Beste Art und Weise der Ausführung der Erfindung

FIGUR 1 zeigt ein elektrophoretisches Display 10 gemäß der vorliegenden Erfindung. Das Display 10 hat einen Anodenschirmträger 12 und einen Kathodenschirmträger 14, die abdichtbar an den beiden Seiten eines Zwischengitter- Abstandhalters 16 befestigt sind und eine flüssigkeitsdichte Hülle für eine dielektrische/ Pigmentpartikelsuspension oder ein elektrophoretisches Fluid (nicht gezeigt) bilden. Die Schirmträger 12 und 14 sind im typischen Fall flache Glastafeln, auf welchen die Leiterelemente als Situs der die Bewegung im elektrophoretischen Fluid veranlassenden elektrostatischen Ladung abgelagert werden. Die bei der Bildung der Leiterelemente auf den Schirmträgern zur Anwendung kommenden Verfahren, Stoffe und Abmessungen und die Herstellungsverfahren für EPIDS im allgemeinen sind den US- Patenten Nr. 4,655,897 und 4,732,830 zu entnehmen.
In der Erfindung gemäß FIGUR 1 wird zum Beispiel eine Vielheit von unabhängigen, elektrisch leitfähigen Kathodenzeilen 18, die hier als waagerechte Reihen erscheinen, unter Anwendung von herkömmlichen Auftrag- und Ätzverfahren auf dem Kathodenschirmträger 14 abgelagert. Die Orientierung der Kathodenzeilung hängt natürlich von der Orientierung des Bildschirms ab und würde bei dessen Drehung um 90 Grad senkrecht sein; die Kathodenzeilen werden also nur willkürlich als waagerecht definiert. Wie im US-Patent Nr. 4,742,345 dargelegt, bestehen die Kathodenelemente 18 vorzugsweise aus Indiumzinnoxid (ITO). Eine Vielheit von unabhängigen Gitterleiterelementen 20 überlagert in der Vertikalen, d.h. senkrecht zu diesen, die Kathodenelemente 18 und wird von diesen durch eine Zwischengitter-Photoresistschicht 22 (siehe FIGUR 2) isoliert. Zur Bildung der Gitterelemente 20 kann die Photoresistschicht 22 durch Bedampfen oder auf ähnliche Weise mit einem Metall wie zum Beispiel Nickel beschichtet und darauf zur Herstellung der in FIGUR 1 gezeigten sich schneidenden aber isolierten Anordnung maskiert und geätzt werden. Jedes Kathoden- und Gitterelement 18, 20 schließt an einem Ende mit einer Kontaktanschlußfläche 24c bzw. 24g ab oder ist auf andere Weise zum Anschluß an die (nicht gezeigte) Displaytreiberschaltung eingerichtet. Durch Metallisieren mit einer dünnen Leiterschicht, zum Beispiel aus Chrom, wird an einer Innenfläche des Anodenschirmträgers 12 eine Anode 26 gebildet.
Während die obigen Bauteile bereits in früheren Patenten und Anmeldungen der Anmelder beschrieben wurden, zeichnet sich die vorliegende Erfindung durch eine neuartige Struktur der Lokalanode 28 aus. Wie bereits festgestellt, wurden die Vorteile und die Funktion eines EPID mit Lokalanode bereits von den Anmeldern in Anmeldung Nr. 07/345,825 erkannt und beschrieben. Zuvor wurden jedoch die Lokalanodenzeilen über den Gitterelementen, und mit diesen fluchtend angebracht und durch eine isolierende Zwischengitter-Photoresistschicht von ihnen getrennt (siehe FIGUR 5). In der vorliegenden Erfindung werden die Lokalanodenzeilen 28 zur selben Zeit, aus dem selben Material und in der selben Ebene gebildet wie die Gitterelemente 20. Das wird durch Schachtelung der Lokalanodenelemente 28 und der Gitterelemente 20 erzielt. Die zur Bildung der Vielheit von Gitterzeilen eingesetzte Maske wurde also dahingehend geändert, daß eine Vielheit von Gitterzeilen und eine Vielheit von Lokalanodenzeilen gleichzeitig von ein- und derselben Maske gebildet werden. Danach kann, wie in Anmeldung Nr. 07/345,825 dargelegt, eine SiO&sub2;-Schicht auf den aus Gitter, Lokalanode und Kathode bestehenden Komplex aufgetragen werden. Das Display wird auch auf gleiche Weise betätigt wie in der genannten Anmeldung.
FIGUR 2 zeigt eine beispielsgemäße Konfiguration für eine Gitterzeile 20, eine Lokalanodenzeile 28 und ihre Verschachtelung. Wie bereits früher erkannt wurde, verbessert die Konfiguration der Gitterzeilen als Zackenelement, d.h. Element mit einer Vielheit von parallelen Gabelzinken 30 gleicher Länge, die von einer gemeinsamen Fläche, im vorliegenden Fall von der Kontaktanschlußfläche 24f, ausgehen, gemäß US-Patent Nr. 4,742,345 die Helligkeit des Displays. Im Ausführungsbeispiel gemäß FIGUR 2 hat die Lokalanode 28 einen einzigen länglichen Abschnitt 32, der von einem Kontaktanschlußflächenabschnitt 241a ausgeht. Der längliche Abschnitt 32 der Lokalanode 28 erstreckt sich zwischen den Gabelzinken 30 der Gitterzeile und ist in diesem Sinn mit der Gitterzeile 20 verschachtelt. Dazu ist zu sagen, daß die Lokalanode 28 mit gleichartigen Gabelzinken wie die Gitterzeile 20 ausgestattet werden könnte, und in diesem Fall würde die Verschachtelung die Form von abwechselnden Gitter- und Lokalanodengabeln annehmen. Es könnte in der Tat eine beliebige Anzahl von Gitterzinken 30 (länglichen Abschnitten) und Lokalanodenzinken oder länglichen Abschnitten 32 zur Anwendung kommen. Diese müssen jedoch gegeneinander isoliert werden und sollten zur Bildung eines regelmäßigen Koordinatengitters mit den Kathodenzeilen 18 im wesentlichen parallel zueinander und senkrecht zu den Kathodenzeilen 18 verlaufen. Zu bevorzugen ist eine Ausführung, in der die Lokalanodenzeile 28 gemäß FIGUR 2 eine Breite von ca. 30 Mikron hat, in der der längliche Abschnitt 32 der Lokalanode 28 einen Abstand von 12 Mikron von den Gabelzinken 30 der Gitterzeile 20 hat, und in der die Gittergabelzinken 30 ca. 10 Mikron breit sind und einen Abstand von 12 Mikron haben. Diese Abmessungen ergeben eine Lokalanode 28, die breiter ist als die Gittergabelzinken 30 und das Pigment besser verstecken kann als eine schmalere Lokalanode. Die gemäß diesen Abmessungen konfigurierten Gitter- und Lokalanodenelemente haben ein Verhältnis von ca. 40% zwischen offener und geschlossener Fläche, was im Bereich der normalen Trioden-EPIDS liegt, und ein gemäß diesen Abmessungen gebauter Bildschirm würde eine normale Display-Helligkeit haben. Ausreichende Bildschirmhelligkeit wird bei einem Verhältnis von 30% bis 60% gewährleistet.
Zur Bildung eines EPID 10 gemäß FIGUR 1 können die Bauteile gestapelt und im Ofen gehärtet werden. Der Abstandhalter 16 würde in diesem Fall auf den benachbarte Elemente berührenden Flächen mit einem Material wie z.B. Epoxidharz beschichtet, das bei Härtungstemperaturen plastisch wird. Nach dem Härten fließt das schmelzbare Material, und die Elemente bilden nach dem Abkühlen ein Laminat. Dem normalen Fachmann stehen natürlich auch andere Methoden zum Zusammenfügen des gezeigten EPID 10 zur Verfügung, zum Beispiel Kleben. Aus der Laminierung der EPID-Elemente ergibt sich eine Hülle für das dielektrische Fluid/die Pigmentpartikel suspension.
FIGUR 3 zeigt das elektrophoretische Display aus FIGUR 1 mit der Verschachtelungskonfiguration gemäß FIGUR 2 im Querschnitt im zusammengebauten Zustand. Die Anode 26 im gezeigten Ausführungsbeispiel ist eine plattenartige Leitermaterialfläche mit einer im wesentlichen der Kathoden-/Gitter- /Lokalanodenmatrix entsprechenden Länge und Breite, d.h. gleicher Größe gemäß der Lehre der oben genannten Patente und Anmeldungen des vorliegenden Erfinders. Im Gegensatz zur früheren Lehre sind bei der vorliegenden Erfindung die Lokalanodenelemente 28 in der selben Ebene und im selben Fertigungsschritt auf der Photoresistschicht 22 abgelagert wie die Gitterelemente 20 (die einzelnen Gabelzinken 30 sind im Querschnitt gezeigt) Da alle Leiterelemente ziemlich dünn sind, liegen sie ohne besondere Vorkehrungen unter dem Zwischengitter- Abstandhalter 16, und mindestens ein Ende bildet eine außerhalb der Hülle liegende Klemme zum Anschluß der (nicht gezeigten) Displaytreiberschaltung.
Die Proportionen der Gitter- und Lokal anodenz eilen gemäß FIGUR 1 bis 3 wurden zur Veranschaulichung verzerrt; die länglichen Abschnitte wären nämlich lang genug, um die Gesamthöhe des Kathodenschirmträgers 14 erheblich zu vergrößern, während die Breite der Einzelzeilen klein genug wäre, um auf einem 8" x 10" großen Bildschirm rund 2200 Zeilen aufzunehmen. Bei wirklichen Displays sind also die Gitter- und Anodenzeilen sehr schmal. Eine funktionsfähige Tafel würde eine große Zahl von Schnittpunkten haben, zum Beispiel 2200 x 1700 oder insgesamt 3 740 000 separat adressierbare Schnittpunkte. Zur besseren Veranschaulichung sind nur einige wenige Kathodenzeilen 18, Gitterzeilen 20 und Lokalanodenzeilen 28 dargestellt. Weitere Abbildungen von elektrophoretischen Displays, ihren Bauteilen und Schaltungen sind in den an die Erfinder im vorliegenden Fall erteilten US-Patenten Nr. 4,742,345 und 4,772,820 zu finden.
FIGUR 4 und 5 veranschaulichen gewisse Merkmale von EPIDS, die von den Anmeldern im vorliegenden Fall in Anmeldung Nr. 07/345,825 beschrieben wurden und hier zum Vergleich mit der vorliegenden Erfindung dargelegt werden. Elemente, die im wesentlichen die selbe Form und Funktion haben wie die entsprechenden Elemente in der vorliegenden Erfindung, tragen die selben Kennzahlen. Gemeinsame Elemente der früheren EPIDS, die in der vorliegenden Erfindung geändert wurden, sind an dem Suffix "pa" zu erkennen. FIGUR 4 zeigt die Konfiguration für ein Zackengitterelement (und Lokalanodenelement) 20pa, das bereits in Anmeldung Nr. 07/345,825 geoffenbart wurde. Beim Vergleich mit der Konfiguration der Gitterelemente 20 gemäß der Lehre der vorliegenden Erfindung ist festzustellen, daß, während die Zackenkonfiguration erhalten bleibt, in der Mitte ein Raum zur Aufnahme der verschachtelten Anodenzeile vorgesehen sein muß.
FIGUR 5 veranschaulicht die Stapelung der Lokalanodenelemente 28pa auf den früher von den Anmeldern in EPIDS mit Fern- und Lokalelektrode benutzten Gitterelementen 20pa. Dazu ist zu sagen, daß diese Stapelkonfiguration in mehreren Schritten erreicht wird, und daß die Lokalanode 28pa im Interesse der guten Funktion genau mit den Gitterelementen 20pa fluchten muß. Bei der vorliegenden Erfindung entfallen diese Anforderungen. Ein weiterer Unterschied zwischen der vorliegenden Erfundung und der in FIGUR 5 dargestellten ist darin zu sehen, daß die Lokalanode 28 der vorliegenden Erfindung die Verteilung der Pigmentpartikel in der Ebene des Gitters und der Lokalanode ändert. Im Gegensatz dazu bewirkt bei dem in FIGUR 5 gezeigten Gerät die Lokalanode die Pigmentkonzentration beim Gitter, indem sie das Pigment in eine vom Gitter abgewandte Ebene zieht.
Wir weisen darauf hin, daß die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele lediglich Beispiele sind, und daß der Fachmann zahlreiche Änderungen und Modifikationen vornehmen kann, ohne vom in den angehefteten Ansprüchen definierten Umfang der Erfindung abzuweichen.

Claims

1. Elektrophoretisches Display mit einer aus einer Vielheit von in einer gegebenen Richtung angeordneten leitfähigen parallelen Zeilen (18) bestehenden Kathodenmatrix, einer gegen besagte Kathodenmatrix isolierten und aus einer Vielheit von zur Bildung einer X- Y-Adressiermatrix jeweils senkrecht zu besagten Kathodenzeilen verlaufenden leitfähigen parallelen Zeilen (20) bestehenden Gittermatrix, mit einer von besagter X-Y-Matrix getrennten herkömmlichen Anodenelektrode (26), wobei der Raum zwischen besagter Anodenelektrode und besagter X-Y- Matrix eine elektrophoretische Dispersion mit einem in einem Fluid schwebenden Pigmentpartikeln enthält, und mit einer zusätzlichen aus einer Vielheit von jeweils mit gesagten Gitterzeilen verbundenen und gegen dieselben isolierten parallelen Zeilen bestehenden Anodenelektrode (28), die die Bewegung besagter Pigmentpartikel zu besagter X-Y-Matrix und von dieser weg steuert und überschüssiges Pigment bei besagter herkömmlicher Anodenelektrode läßt, dadurch gekennzeichnet, daß besagte zusätzliche Anodenelektrode in einer gemeinsamen Ebene mit besagter Gittermatrix liegt.

2. Display gemäß Anspruch 1, wobei besagte zusätzliche Anodenzeilen in einem vorgegebenen Wiederholmuster in besagter Ebene und zwischen besagten Gitterzeilen verteilt sind.

3. Display gemäß Anspruch 2, wobei eine jede der besagten Gitterzeilen mit einer entsprechenden zusätzlichen Anodenzeile verbunden ist.

4. Display gemäß Anspruch 3, wobei eine jede der besagten Gitterzeilen und der besagten zusätzlichen Anodenzeilen ein Ende (24g, 241a) zum Anschluß an Displaytreiberschaltungen und ein freies Ende hat, und wobei besagte Anschlußenden einer jeden zugehörigen Gitterzeile und zusätzlichen Anodenzeile im Verhältnis zueinander distal angeordnet sind.

5. Display gemäß Anspruch 4, wobei eine jede Gitterzeile distal zu besagtem Anschlußende in mindestens zwei Zacken (30) zerfällt und besagtes freies Ende einer jeden zugehörigen zusätzlichen Anodenzeile zwischen besagte Zacken eingeführt wird.

6. Display gemäß Anspruch 5, wobei von besagten mindestens zwei Zacken vier Stück vorgesehen sind und besagte zusätzliche Anodenzeile in der Mitte zwischen zwei Sätzen von zwei Zacken einer zugehörigen besagten unterteilten Gitterzeile liegt.

7. Display gemäß Anspruch 6, wobei besagte Lokalanodenzeile breiter ist als besagte Zacken der besagten Gitterzeilen, so daß besagte Lokalanodenzeile mehr Pigmentpartikel verdunkelt als besagte Zacken.

8. Display gemäß Anspruch 7, wobei besagte X-Y- Matrix und besagte zusätzliche Anodenmatrix zusammen ein kombiniertes Offenflächenverhältnis von ca. 30% bis 60% haben.

9. Display gemäß Anspruch 1, wobei besagte zusätzliche Anodenzeilen und besagte Gitterzeilen aus dem selben Material gebildet werden.

10. Elektrophoretisches Display bestehend aus:

(a) einer flüssigkeitsdichten Hülle mit einem Abschnitt, der mindestens teilweise transparent ist;

(b) einem in besagter Hülle enthaltenen elektrophoretischen Fluid, in welchem pigmentierte Partikel schweben;

(c) einer Vielheit von länglichen, im wesentlichen parallelen waagerechten Leiterelementen (18), die in einer ersten Ebene abgelagert und mindestens teilweise in besagter Hülle enthalten sind;

(d) einer ersten Vielheit von länglichen, im wesentlichen parallelen senkrechten Leiterelementen (20), die mindestens teilweise in besagter Hülle enthalten, gegen besagte waagerechte Elemente isoliert und in einer zweiten Ebene abgelagert sind, wobei besagte erste und zweite Ebenen im wesentlichen parallel und nahe beieinander liegen und besagte Vielheit vom waagerechten Elementen und besagte Vielheit von senkrechten Elementen senkrecht zueinander liegen und auf diese Weise bei Betrachtung gemäß einer senkrecht zu besagten ersten und besagten zweiten Ebenen liegenden Linie eine Matrix mit einer Vielheit von Schnittpunkten bilden;

(e) einer zweiten Vielheit von länglichen, im wesentlichen parallelen senkrechten Leiterelementen (28), die mindestens teilweise in besagter Hülle enthalten und gegen besagte waagerechte Elemente und besagte erste Vielheit von senkrechten Elementen isoliert sind; und

(f) einem im wesentlichen planaren Leiterelement (26), das in einer dritten neben der und im wesentlichen parallel zur besagten zweiten Ebene liegenden Ebene abgelagert und mindestens teilweise in besagter Hülle enthalten ist, wobei besagte erste und zweite Vielheit von senkrechten Elementen und besagte waagerechte Elemente selektiv elektrisch aufgeladen werden können, um eine Bewegung besagter Partikel in besagtem Fluid zu veranlassen, wobei besagte Partikel mindestens teilweise durch den transparenten Abschnitt besagter Hülle sichtbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß zweite besagte Vielheit von senkrechten Elementen in besagter zweiter Ebene abgelagert ist.

11. Display gemäß Anspruch 10, wobei besagte zweite Vielheit von senkrechten Elementen in einem Wiederholmuster in besagter zweiter Ebene verteilt und mit besagter erster Vielheit von Elementen verschachtelt ist, und wobei ein jedes Element der besagten ersten Vielheit mit einem entsprechenden Element der besagten zweiten Vielheit verbunden ist.

12. Display gemäß Anspruch 11, wobei besagte erste und zweite Vielheiten von Elementen jeweils von einer Photoresistschicht (22) getragen werden.

13. Display gemäß Anspruch 12, wobei eine jeder der besagten ersten und zweiten Vielheiten von Elementen ein Ende (24g, 241a) zum Anschluß an eine Displaytreiberschaltung und ein freies Ende hat und besagte Anschlußenden einer jeden ersten Vielheit von Elementen distal zum besagten Anschlußende eines entsprechenden Elements der besagten zweiten Vielheit von Elementen liegen, wobei ein jedes Element der besagten ersten Vielheit distal zu besagtem Anschlußende in mindestens zwei Zacken (30) aufgeteilt ist und besagtes freies Ende eines entsprechenden Elements der besagten zweiten Vielheit von Elementen zwischen besagte Zacken eingeführt wird.

14. Display gemäß Anspruch 13, wobei besagte erste und zweite Vielheit von Elementen jeweils aus Chrom bestehen.

15. Display gemäß Anspruch 13, wobei besagte erste und zweite Vielheit von Elementen jeweils aus Aluminium bestehen.

16. Display gemäß Anspruch 13, wobei besagtes Display ein Tetroden-Display ist, in dem besagte Vielheit von waagerechten Elementen (18) die Kathode, besagte erste Vielheit von senkrechten Elementen (20) das Gitter, besagte zweite Vielheit von senkrechten Elementen (28) die Lokalanode und besagtes planares Element (26) die Fernanode bilden.

17. Verfahren zur Herstellung einer Kathoden-/Gitter- /Lokalanodenmatrix auf einem Kathodenschirmträger eines elektrophoretischen Doppelanoden-Displays, im wesentlichen bestehend aus den folgenden in der angegebenen Reihenfolge auszuführenden Schritten:

(a) Bildung einer Vielheit von Kathodenzeilen (18) auf besagtem Anodenschirmträger (14);

(b) Ablagerung einer ersten Photoresistschicht (22) über besagten Kathodenzeilem;

(c) Beschichtung besagter erster Photoresistschicht mit einem Leitermaterial;

(d) Beschichtung besagten Leitermaterials mit einer zweiten Photoresistschicht;

(e) Abdecken besagter zweiter Photoresistschicht mit einer Maske, die der Form einer Vielheit von Gitterzeilen (20) entspricht, die mit einer Vielheit von Lokalanodenzeilen (28) verschachtelt sind;

(f) Belichtung besagter zweiter Photoresistschicht durch besagte Maske;

(g) Entwickeln besagter zweiter Photoresistschicht;

(h) Säureätzung besagter Leitermaterialbeschichtung an den nicht von besagter zweiter nach dem Entwickeln verbleibender Photoresistschicht bedeckten Stellen; und

(i) Plasmaätzung besagter erster und zweiter Photoresistschichten an den nicht von besagtem nach dem Schritt der Säureätzung verbleibendem Leitermaterial bedeckten Stellen.

18. Verfahren gemäß Anspruch 17, mit dem weiteren Schritt des Auf tragens einer SiO&sub2;-Schicht über besagter Kathoden-/Gitter-/Lokalanodenmatrix nach besagtem Schritt der Plasmaätzung.

19. Verfahren gemäß Anspruch 18, wobei bei besagtem Schritt der Beschichtung mit Leitermaterial eine Chromschicht auf die erste Photoresistschicht aufgedampft wird.

20. Verfahren gemäß Anspruch 18, wobei bei besagtem Schritt der Beschichtung mit Leitermaterial eine Aluminiumschicht auf die erste Photoresistschicht aufgedampft wird.