DE69810033T2

DE69810033T2 - Versandbehälter

Info

Publication number: DE69810033T2
Application number: DE69810033T
Authority: DE
Inventors: Masato Hosoi
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 1997-09-01
Filing date: 1998-08-28
Publication date: 2003-07-24
Anticipated expiration: 2018-08-29
Also published as: DE69810033D1; EP0899202B1; JPH1187483A; KR19990029386A; JP3476052B2; KR100545427B1; TW397796B; US5988392A; EP0899202A1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

(1) Erfindungsgebiet

Vorliegende Erfindung betrifft einen Versandbehälter zur Aufnahme von Siliciumwafern (Halbleiter-Einkristallscheiben) und dergl..

(2) Beschreibung des Stands der Technik

Ein herkömmlicher Versandbehälter, obwohl er nicht veranschaulicht wird, umfasst: Ein Lagerungsgehäuse mit einer Öffnung an der Oberseite; einen Innenbehälter zur korrekten Ausrichtung von Siliciumwafern (die im folgenden als Wafer abgekürzt werden) in diesem; eine Tür an der Oberseite, welche an der Oberseitenöffnung des Lagergehäuses mit einer Dichtung dazwischen angebracht ist, um den Innenbehälter zur Ausrichtung zu bedecken und eine an der oberen Innenfläche der oberseitigen Tür angebrachte Wafer-Druckplatte. Der derart ausgebildete Versandbehälter vom Typ einer oberseitigen Öffnung hält eine Vielzahl von Wafern, die in den Innenbehälter zur Ausfluchtung aufrecht gestellt sind und wird, wie es zweckmäßig ist, transportiert.
In jüngeren Jahren ist eine vereinheitlichte Standardisierung von Wafern im Fortschritt, um die Entwicklungs- und Herstellungskosten zu verringern. Dieser folgte ein Vorschlag, international genormte Versandbehälter zu verwenden. Derartige Vorschläge für die Normung wurden im Hinblick auf die Entwicklung großformatiger Wafer (Übergang auf Wafer) mit einem Durchmesser von 300 mm oder mehr in naher Zukunft) gemacht, was eine Verbesserung des Bringens in die richtige Lage und der Präzision der Ausfluchtung erfordert, um zu ermöglichen, dass der Greifer einen Hochgeschwindigkeits-Zugriff durchführen kann), sowie im Hinblick auf die Verminderung verschiedener Kosten und darauf, sich mit der Entwicklung der großformatigen Systeme und auch der Automation zu befassen.
Ein derartiger Versandbehälter unter den vereinheitlichten Normen umfasst, obgleich er nicht dargestellt ist: Ein Lagerungsgehäuse, das sich zur Stirnseite öffnet; eine Tür gemäß der mechanischen Norm für den stirnseitigen Öffnungsabschnitt (Front-Opening Interface Mechanical Standard) (im folgenden als FIMS-Tür abgekürzt), weiche die stirnseitige Öffnung des Lagergehäuses öffnet und verschließt; eine Vielzahl, auf der inneren Umfangsfläche des Lagergehäuses gebildeter Passschlitze; und einen Verriegelungsmechanismus, der ermöglicht, dass einrastende Klauen in die Passchlitze eingreifen, wenn die FIMS-Tür befestigt wird, und um den Eingriff der einrastenden Klauen in die passenden Schlitze zu lösen, wenn die FIMS-Tür entfernt wird.
Ein derartiger Versandbehälter vom Typ einer stirnseitigen Öffnung nimmt eine Velzahl von vertikal angeordneten Wafer auf, und dieser Versandbehälter wird von einem Halbeiter-Hersteller zu einem Hersteller von integrierten Schaltungen (IC) transportiert, wo er automatisch in verschiedene Prozessoren gestellt wird. Danach wird der Verriegelungsmechanismus automatisch durch einen Arbeitsroboter gelöst, so dass die FIMS-Tür automatisch vom Lagergehäuse entfernt wird, und die Vielzahl der Wafer wird sodann nacheinander aus dem Lagergehäuse durch den Greifer auf automatische Weise entnommen.
Die Dokumente des Stands der Technik für eine Anordnung dieser Art umfassen die offen gelegte Japanische Gebrauchsmusteranmeldung Sho 63 Nr. 82.788, die offen gelegte Japanische Gebrauchsmusteranmeldung Sho 63 Nr. 166,948, die offen gelegte Japanische Patentanmeldung Hei 8 Nr. 279.546 und die offen gelegte Japanische Patentanmeldung Hei 9 Nr. 107,025.
WO 961 149 6A offenbart einen ähnlichen Behälter. Der bekannte Behälter zur Lagerung von Halbleiter-Wafern umfasst einen Kastendeckel und eine Kastenbasis. Der Kastendeckel umfasst eine Öffnung, welche durch die Kastenbasis geöffnet oder geschlossen werden kann. Zwischen der Kastenbasis und der Öffnung des Kastendeckels ist eine Einlage mit einer Dichtung vorgesehen.
Die Versandbehälter, welche der vereinheitlichten Norm genügen, sind so ausgebildet und hinsichtlich der Verbesserung der Genauigkeit des in die richtige Lage Bringens wirksam, sie verringern zahlreiche Kosten und fördern die Automatisierung, geben jedoch hinsichtlich des Transports noch Anlass zu einem Problem. Insbesondere ist ein Versandbehälter der vereinheitlichten Norm für einen Transport innerhalb einer Anlage zwischen den Verarbeitungsstellen wirksam genug, jedoch kann das Vorhandensein von nur einer FIMS-Tür keine ausreichend hohe Festigkeit bereitstellen, um einen ausreichenden Einschluss für einen Transport langer Distanz unter Benutzung von Flugzeugen oder LKWs von einem Halbleiter-Hersteller zu einem IC-Hersteller gewährleisten, weil der Behälter verschiedenen äußeren Umgebungen (einschließlich Druckschwankungen, Vibrationen während des Flugs usw.) ausgesetzt ist. Hierdurch ergibt sich, dass die Wafer mit Teilchen verunreinigt werden können oder einer organischen Verschmutzung ausgesetzt sind, was vom Einschleppen der Außenluft begleitet sein kann, so dass die Befürchtung besteht, dass die Wafer nicht in einer ausreichend hohen Qualität gehalten werden können.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die zuvor genannten Probleme erfunden, weshalb es ein Ziel vorliegender Erfindung ist, einen Versandbehälter zur Verfügung zu stellen, der in der Lage ist, den Einschluss ausreichend genug zu halten und den Inhalt in hoher Qualität beizubehalten, auch wenn der Behälter verschiedenen äußeren Umgebungen ausgesetzt wird.
Um das zuvor genannte Ziel zu erreichen, ist vorliegende Erfindung wie folgt ausgestattet:
Gemäß der Erfindung umfasst ein Versandbehälter die in Anspruch 1 offenbarten Merkmale.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst der Versandbehälter mit dem obigen ersten Merkmal ferner eine Befestigungsvorrichtung zum Anbringen und Befestigen der Außentür, wobei die Befestigungsvorrichtung einen an der Außenumfangsfläche des Lagergehäuses vorgesehenen Vorsprung sowie ein am Rand der Außentür vorgesehenes Eingriffelement um mit dem Vorsprung im Eingriff zu stehen, wenn die Außentür am Gehäuse angebracht wird.
In einer bevorzugteren Ausführungsform der Erfindung umfasst der Versandbehälter mit dem zuvor genannten ersten Merkmal ferner eine Befestigungsvorrichtung zum Anbringen und Befestigen der Außentür, bei der die Befestigungsvorrichtung umfasst: eine erste Gegenauflage, welche aus der Außenumfangsfläche des Lagergehäuses herausragt; und eine zweite Gegenauflage, welche aus dem Rand der Außentür hervorragt, um an der ersten Gegenauflage anzuliegen, wenn die Außentür am Gehäuse angebracht ist; und ein Einspannelement zum Halten der ersten und zweiten Gegenauflage.
Wenn vorliegender Erfindung von "Gegenständen" die Rede ist, so sind zumindest verschiedene dünne, in der Elektroindustrie und elektronischen Industrie sowie der Industrie der Halbleiter Herstellung benutzte Platten umfasst, wie z. B. Quarzglas, Substrate und Halbleiter-Wafer.
Gemäß vorliegender Erfindung wird, wenn die Gegenstände unter Verwendung des Versandbehälters transportiert werden, die Öffnungsfläche des Lagergehäuses, das Gegenstände wie Präzisionswafer oder andere Substrate enthält, verschlossen und mit der Innentür abgedichtet. Nach Verschließen der Innentür wird über die Innentür die Außentür gebracht, um einen Versand zu ermöglichen. Der Versandbehälter wird unter Verwendung verschiedener Transportmittel, wie z. B. von Flugzeugen, Schiffen, Lastzügen und dergl., transportiert. Da die Außentür für den Versand die Abdichtungswirkung erhöht und verhindert, dass die Innentür verformt wird oder abfällt, kann der Behälter ungeachtet äußerer Umgebungen einen hermetischen Einschluss gewährleisten, der hoch genug ist.
Ferner wird gemäß der bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung nach Verschließen der Innentür die Außentür eingebaut, welche die Fläche bedeckt, in der die Öffnung des Lagergehäuses durch die Innentür abgesperrt wurde. Das Anbringen der Außentür unter Verwendung dieser Befestigungsvorrichtung verhindert, dass die Außentür leicht herunterfällt und erhöht infolgedessen den hermetischen Einschluss.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist eine auseinander gezogene perspektivische Ansicht, welche eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Versandbehälters zeigt;
Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Ausführungsform eines Versandbehälters gemäß vorliegender Erfindung zeigt,
Fig. 3 ist eine perspektivische Ansicht, die eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Versandbehälters darstellt;
Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Versandbehälters zeigt;
Fig. 5 ist eine perspektivische Ansicht, die eine vierte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Versandbehälters darstellt;
Fig. 6 ist eine Stirnansicht, welche den Verriegelungsmechanismus innerhalb einer FIMS-Tür des in Fig. 1 gezeigten Versandbehälters darstellt; und
Fig. 7 ist eine Schnittansicht, welche den Schnitt entlang 100-101 in Fig. 6 zeigt.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Die Ausführungsformen gemäß der Erfindung werden im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen beschrieben. Ein Versandbehälter gemäß einer Ausführungsform umfasst, wie in Fig. 1 gezeigt, ein Lagerungsgehäuse 1; eine FIMS-Tür 6; eine Außentür 13; und eine Befestigungsvorrichtung 14. Es wird darauf hingewiesen, dass die FIMS-Tür 6 einen Verriegelungsmechanismus 8 in ihr aufweist, der unter Bezugnahme auf Fig. 6 erörtert wird und eine Querschnittsstruktur (Schnitt einer Ebene entlang 100-101) besitzt, wie sie in Fig. 7 dargestellt ist.
Das Lagerungsgehäuse 1 hat eine kastenförmige Anordnung einer Art mit stirnseitiger Öffnung und ist aus einem Kunstharz zusammengesetzt, das eine hervorragende mechanische Eigenschaft, Verschmutzungsbeständigkeit und Formbarkeit aufweist, wie z. B. Polycarbonat, ein acrylisches Harz, Polyethylenterephthalat, Polyacetal, PEEK oder eine Kombination derselben, mit eingemischten Füllstoffen oder Additiven, um Leitfähigkeit zu verleihen. Von diesen wird Polycarbonat, welches eine hervorragende Transparenz und mechanische Festigkeit aufweist, am meisten bevorzugt.
Dieses Lagerungsgehäuse umfasst: ein Paar Flansche 2, die integral hiermit an der über und Bodenseite am Öffnungsrand gebildet sind und sich zu den Seiten hin erstrecken; sowie Flansche 3, welche auf beiden Seiten des Gehäuses gebildet sind, mit dem Flansch 2 integral gebildet sind und sich von der Stirn zur Rückseite entlang den Ober- und Bodenkanten des Gehäuses erstrecken. Der Lagerungsbehälter 1 besitzt eine Vielzahl von Ausrichtungsrippen 4, die auf seinen beiden Seiten mit ihm integral gebildet sind, mit einem zuvor festgelegten Abstand (beispielsweise mit einem Abstand von 10 mm), so dass eine Vielzahl (z. B. 25 Stück) Wafer (nicht gezeigt) in einer bestimmten Höhe getragen und in Ausfluchtung vertikal gelagert werden. Am Oberteil und Boden sind in Nähe der stirnseitigen Öffnung innerhalb des Lagerungsgehäuses 1 eine Velzahl von Aussparungen als Passschlitze 5 in einem zuvor festgelegten Abstand gebildet.
Die FIMS-Tür 6 setzt sich aus einer leichten rechteckigen Platte mit abgeschrägten Ecken, hergestellt aus einem Elastomer, Polycarbonat, Polypropylen oder dergl., zusammen. Eine rechteckig geformte Dichtung 6 wird um den Rand der Tür geklebt. Die FIMS-Tür hat auch einen oder mehrere Halter 32, welche auf deren Innenseite angebracht sind und gezahnte Vorsprünge aufweisen, welche in regelmäßigen Abständen angeordnet sind, um eine Bewegung der Wafer innerhalb der Ausrichtungsrippen zu vermeiden. Die FIMS-Tür hat in ihrem Innern ferner einen Verriegelungsmechanismus. Die Dichtung besteht aus einem Olefinelastomer, Polyesterelastomer, Styrolelastomer, Siliconkautschuk, Fluorkunststoffkautschuk oder dergl. Die Halter 32 bestehen aus einem Polyesterelastomer, Polypropylen, Polyethylen, Polybutylenterephthalat oder dergl. Dieser Verriegelungsmechanismus 8 ist innerhalb der FIMS-Tür 6 angebracht, wie in den Fig. 1, 6 und 7 gezeigt, und ist aus einem Paar Platten 9 zusammengesetzt, welche durch eine Vielzahl von Verbindungselementen vertikal und beweglich getragen werden, ferner aus einer Scheibe 10, welche drehbar zwischen den Plattenpaaren 9 angeordnet ist, und ein Schlüsselloch 33 in ihrem Zentrum hat, welches eine äußere Bedienung des Verriegelungsmechanismus ermöglicht; sowie aus einem paar beweglicher stabähnlicher Elemente 11, welche jeweils die Platte 9 mit der Scheibe 10 über einem Bolzen verbinden. Jede Platte 9 hat eine eingreifende Kralle 12, die aus deren oberen oder unteren Teil hervorragt, um in den entsprechenden Passschlitz 5 zu passen. Hier ist die FIMS-Tür 6 mit einem oder zwei Schlüssellöchern 33 versehen, je nach der Anzahl von Verriegelungsmechanismen 8.
Die Außentür 13 ist aus einem Material gebildet, welches hinsichtlich seiner mechanischen Eigenschaft, Steifheit, Härte und Formbarkeit hervorragend ist, wie z. B. Polycarbonat, Polybutylenterephthalat, Polyacetal, acrylisches Harz, PEEK oder dergl. oder aus einem metallischen Material. Diese Außentür 13 hat, wie in Fig. 2 gezeigt, innen an ihren beiden Seiten im mittleren Teil gebildete abgeflachte Teile, welche der Öffnungsstirnfläche des Lagerungsgehäuses 1 entsprechen.
Die Befestigungsvorrichtung 14 umfasst eine Vielzahl von Elementen wie Befestigungsvorsprünge 15, Eingriffsstücke 16, eingreifende Vorsprünge 18 und eingreifende Haken 19. Befestigungsvorsprung 15 hat einen dreieckigen Querschnitt, und eine oder mehrere Vorsprünge 15 sind in Nähe des Rands der Öffnung auf der Oberseite und am Boden des Lagerungsgehäuses 1 integral ausgebildet. Eine Vielzahl von Eingriffstücken 16 sind mit der Außentür 13 integral gebildet, von denen sich jedes von der oberen Fläche oder Bodenfläche des Randes der Außentür 13 erstreckt und eine rechtwinklige Öffnung 17 aufweist. In Nähe des Rands der Öffnung auf der linken und rechten Seite des Lagerungsgehäuses 1 sind eine Velzahl von eingreifenden Vorsprüngen 18 integral ausgebildet Eine Vielzahl von eingreifenden Haken 19 sind auf der linken und rechten Seite des Randes der Außentür 13 gebildet, von denen jeder sich vom abgeflachten Teil in deren Mittelteil erstreckt. Ferner ist dieser Haken 19 auf schwenkbare Weise vorgesehen und hat eine Antirutschoberfläche 20.
Wenn Versandbehälter der zuvor beschriebenen Anordnung zum Transport von einem Halbleiter Hersteller zu einem IC-Hersteller benutzt werden, werden eine Anzahl von geschnittenen Wafer in Schichten und in Ausfluchtung vertikal gelagert. Danach wird die FIMS-Tür 6 automatisch an der Stirnöffnung des Lagerungsgehäuses 1 angebracht, und die Scheibe 10 des Verriegelungsmechanismus 8 wird automatisch durch den Arbeitsroboter in Verschlussrichtung gedreht. Mit dieser Bewegung, mit der Umdrehung der Scheibe 10, gleiten ein paar Platten 9 durch die Elemente 11 aufwärts und abwärts, so dass sich die eingreifenden Krallen 12 in die entsprechenden Passschlitze 5 einpassen, wodurch die FIMS-Tür 6 fest verschlossen wird. In diesem Zustand wird die FIMS-Tür 6 an der Oberseite der Öffnung des Lagerungsgehäuses 1 durch die Kontraktions- Rückstoßkraft der Dichtung 7 gehalten.
Zur Gewährleistung der Dichtungsleistung der Dichtung bei kontinuierlichem Gebrauch besteht die Dichtung aus einem Material mit einer Härte von 80 oder weniger, vorzugsweise 60 oder weniger, unter dem Testverfahren gemäß JIS K 6301 A.
Wenn die FIMS-Tür 6 auf obigem Weg verschlossen wurde, wird die Außentür 13 mit einer Dichtung, welche dazwischen befestigt ist, angebracht, indem die Eingreifstücke 16 manuell mit dem passenden Vorsprüngen 15, und die eingreifenden Haken 19 mit den eingreifenden Vorsprüngen 18 verbunden werden, so dass der Behälter versandt werden kann. Auf diese Weise wird der Versandbehälter von einem Halbleiter-Hersteller zu einem IC-Hersteller oder dergl. durch ein Flugzeug oder Lastzug, wie geeignet, transportiert. Aufgrund der Festigkeit der Außentür 13 zum Versand ist der Behälter wirksam abgedichtet und geschützt, so dass es möglich ist, einen ausreichend hohen hermetischen Einschluss leicht zu gewährleisten, um ihn vor jeglicher äußerer Umgebung zu schützen. Als Ergebnis tritt, ungeachtet dessen, ob die Transportzeitspanne lang oder kurz ist, keine Verunreinigung der Wafer durch Teilchen oder organische Substanzen infolge Eindringens von Außenluft in den Behälter auf, womit es möglich ist, die Wafer bei hoher Qualität zu halten.
Wenn der Versandbehälter beim IC-Hersteller ankommt, werden die Eingriffstücke 16 von den eingreifenden Vorsprüngen 15 gelöst, und die eingreifenden Haken 19 werden von den Eingriffvorsprüngen 18 von Hand gelöst, so dass die Außentür 13 entfernt wird. Sodann wird der Behälter auf eine Öffnungs- /Verladevorrichtung gebracht. Danach wird die Scheibe 10 im Verriegelungsmechanismus 8 automatisch durch den Arbeitsroboter in Aufsperrrichtung gedreht, so dass das Plattenpaar 9 aufwärts und abwärts durch die Elemente 11 gleitet, und die eingreifenden Krallen 12 sich aus den Passschlitzen 12 zurückziehen, um die Entfernung der FIMS-Tür 6 zu ermöglichen. Danach wird die FIMS-Tür 6 automatisch von der Stirn des Lagerungsbehälters 1 abgenommen und eine Vielzahl von Wafern wird nacheinander aufgenommen. Während dieses Arbeitsvorgangs besteht keine Notwendigkeit, die Lage des Versandbehälters zu verändern, da die Wafer vertikal angeordnet sind, während ihr Stand horizontal gehalten wird, womit es möglich gemacht wird, eine bemerkenswert glatte, wirksame und bequeme Arbeitsweise zu erreichen.
Sodann zeigt Fig. 3 eine zweite Ausführungsform der Erfindung. In diesem Fall ist die Befestigungsvorrichtung 14A aus eingreifenden Vorsprüngen 15, Eingreifstücken 16, ersten Gegenauflagen 21, zweiten Gegenauflagen 22 und Befestigungselementen 25 zusammengesetzt.
Ein paar erster Gegenauflagen 21 sind in Form einer Erhöhung an beiden Seiten des Lagerungsgehäuses 1 in Nähe des Öffnungsrandes integral gebildet, wobei jede als Lasche mit einer eingekerbten Fläche 24 auf der Stirnseite gebildet ist. Die zweiten Gegenauflagen 22 sind ebenfalls in Form einer Erhöhung integral auf beiden Seiten der Außentür 13 gebildet, wobei jede als Lasche mit einer entsprechend eingekerbten Fläche 23 ausgebildet ist. Diese eingekerbte Fläche 23 der Außentür 13 und die eingekerbte Fläche 24 der ersten Gegenauflage 21 passen zusammen, wenn die Außentür 13 montiert und befestigt wird.
Das Befestigungselement ist aus einem Elastomeren, Polycarbonat, Polypropylen und dergl. zusammengesetzt, um flexibel zu sein, und es ist so gebildet, dass es einen U-förmigen Querschnitt hat. Dieses Element wird benutzt, um die distalen Seiten der Laschen der ersten und zweiten Gegenauflage 21 und 22 zu greifen, wenn die Außentür 13 angebracht und befestigt wird. Andere Anordnungen sind die gleichen, wie bei der vorhergehenden Ausführungsform beschrieben.
Bei dieser Anordnung werden die Eingriffstücke 18, nachdem die FIMS-Tür 6 verschlossen wurde, manuell mit den eingreifenden Vorsprüngen 15 verbunden, während die erste und zweite Gegenauflage 21 und 22 manuell zusammengesetzt werden, wonach die Befestigungselemente 25 angebracht werden, um die Befestigung der Außentür 13 zu gewährleisten. Somit kann die Außentür 13 angebracht und mit einer verhältnismäßig einfachen Anordnung sicher befestigt werden, um einen Versand zu ermöglichen. Es ist offensichtlich, dass diese Ausführungsform auch die gleichen Wirkungen bereitstellt, wie diejenige der vorhergehenden Ausführungsform.
Sodann zeigt Fig. 4 eine dritte Ausführungsform der Erfindung. In diesem Fall ist die Befestigungsvorrichtung 14B aus eingreifenden Vorsprüngen 15, Eingriffstücken 16, ersten Gegenauflagen 21A, zweiten Gegenauflagen 22A und Spannplatten 27 zusammengesetzt.
Ein Paar der ersten Gegenauflagen 21A ist in Form einer Erhöhung auf beiden Seiten des Lagerungsgehäuses in Nähe des Randes der Öffnung mit ihren distalen Seiten, die mit eingreifenden zylindrischen Nuten 26 (mit einem im wesentlichen halbkreisförmigen Querschnitt) ausgebildet sind, integral gebildet. Die zweiten Gegenauflagen 22A sind ebenfalls in Form einer Erhöhung integral an beiden Seiten der Außentür 13 mit ihren distalen Seiten, die mit zylindrischen eingreifenden Nuten 26A (mit einem im wesentlichen halbkreisförmigen Querschnitt) ausgebildet sind, gebildet. Jede Spannplatte 27 ist aus einem Elastomer, Polycarbonat, Polypropylen oder dergl. zusammengesetzt, so dass sie im wesentlichen eine flexible rechteckige Platte ist. Diese Platte ist mit einer U- förmigen Aussparung 28 in ihrem annäherenden Mittelpunkt versehen, um ein inneres Spannelement 29 und ein äußeres Spannelement 30 getrennt zu umschreiben. Andere Ausgestaltungen sind die gleichen, wie bei den vorherigen Ausführungsformen beschrieben.
Bei dieser Anordnung werden, nachdem die FIMS-Tür 6 verschlossen wurde, die Eingreifstücke 16 manuell mit den eingreifenden Vorsprüngen 15 verbunden, während die ersten und zweiten Gegenauflagen 21A und 22A mit einer Dichtung dazwischen zusammengesetzt werden, wonach die Spannplatten 27 angebracht werden, um die eingreifenden Nuten 26 und 26A zwischen ihren inneren und äußeren Spannelementen 29 und 30 zu halten, indem man die Spannplatte 27 auf die Seitenfläche des Lagerungsgehäuses 1 drückt, um die Befestigung der Außentür 13 zu gewährleisten. Dann kann die Außentür 13 montiert und mit einer verhältnismäßig einfachen Anordnung sicher befestigt werden, um den Versand zu ermöglichen. Es äst offensichtlich, dass diese Ausführungsform auch zu den gleichen Wirkungen wie diejenigen, welche bei den vorherigen Ausführungsformen angegeben sind, führt.
Fig. 5 zeigt eine vierte Ausführungsform, bei der die Befestigungsvorrichtung 14 eine drehbare Welle 31 aufweist. Im speziellen wird eine Greiflacke mit der drehbaren Welle 31 entfernbar an der Außentür so angebracht, dass die Greifbacke drehbar gehalten werden kann. Mit dieser Anordnung bleiben die Teile der Greifbacke im Eingriff mit der Außentür, wenn die Außentür vom Behälter entfernt wird, so dass keine Notwendigkeit für ein sicheres Verwahren der abmontierten Greifbackenteile besteht. Ferner ist diese Ausgestaltung zur Verbesserung der Durchführbarkeit eines Spülens und Trockens vorteilhaft, da die Greifbackenteile zum Spülen und Trocknen der Außentür entfernt werden können.
Die zuvor genannten Ausführungsformen wurden anhand eines Beispiels für ein Lagerungsgehäuse 1 gemäß Fig. 1 veranschaulicht, jedoch sollte vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausgestaltung begrenzt werden. Beispielsweise kann das Lagerungsgehäuse von ovalem Querschnitt, elliptischem Querschnitt, polygonalen Querschnitt oder dergl. sein. Ferner kann das Lagerungsgehäuse in einer durchsichtigen Gestaltung gebildet sein. Es ist auch möglich, die Anzahl von Ausrichtungsrippen 4, falls zweckmäßig, zu erhöhen oder zu erniedrigen. Ferner kann an der Ober- und Unterseite sowie linken und rechten Seite innerhalb des Lagerungsgehäuses 1 eine Vielzahl von Eingreifschlitzen 5 vorgesehen werden. Die Dichtung 7 kann, wenn zweckmäßig, hinsichtlich ihres Materials, der Anzahl, Gestalt und/oder Struktur verändert werden. Der Verriegelungsmechanismus 8 sollte nicht auf die zuvor erwähnte Gestaltung begrenzt werden, sondern kann, falls zweckmäßig, modifiziert oder, wenn es zweckmäßig ist, durch eine gut bekannte Gestaltung ersetzt werden (welche in der Japanischen Patentanmeldung Hei 4 Nr. 505.234 offenbart ist).
Beispielsweise können innerhalb der und/oder an der Rückseite der FIMS- Tür 6 eine oder mehrere Platten 9 vorgesehen sein, oder es können, falls zweckmäßig, eine oder mehrere eingreifende Krallen 12 sich, von der Ober- und Unterseite und/oder linken und rechten Seite einer Platte 9 erstrecken. Ein Mitnehmerelement, mit Gewinde versehenes Element, Zahnstangenantrieb usw. können zum Verschieben der Platte 9 benutzt werden. Anstelle des Verriegelungsmechanismus 8 kann ein Öffnungs- und Verschließungsmechanismus unter Verwendung einer Velzahl von Magneten verwendet werden. Die Außentür 13 kann aus irgend einem Material bestehen, nach irgend einem Herstellungsverfahren hergestellt sein und eine beliebige Form oder Ausgestaltung aufweisen, so lange sie eine ähnliche Funktion ausübt.
Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsformen sollte, obgleich die Befestigungsvorrichtung 14 und 14B, welche alle manuell betrieben werden, veranschaulicht sind, die Befestigungsvorrichtung nicht auf diese beschränkt werden; vielmehr kann sie aus einer mechanischen Befestigungsvorrichtung bestehen, die durch eine Maschine automatisch betätigt werden kann. Ferner sollte die Befestigungsvorrichtung nicht auf die oben beschriebenen Vorrichtungen (14, 14A und 14B) begrenzt werden, sondern sie kann, falls zweckmäßig, modifiziert werden oder durch eine gut bekannte Anordnung gemäß dem Stand der Technik ersetzt werden (beispielsweise eine solche, wie sie in der offen gelegten Japanischen Gebrauchsmuster-Anmeldung Sho 63 Nr. 166.948 usw. offenbart ist). Beispielsweise können bei der zweiten und dritten Ausführungsform die eingreifenden Vorsprünge 15 und Eingriffstücke 16 weggelassen werden. Selbstverständlich können aber auch Befestigungsvorrichtungen wie die Anordnung einer Schwalbenschwanz-Verbindung, Zapfen-Verbindung usw. benutzt werden.
Wie zuvor beschrieben, ist die erste Ausgestaltung vorliegender Erfindung zur Aufrechterhaltung eines ausreichend hohen hermetischen Einschlusses wirksam und hält deshalb den Inhalt in einer hohen Qualität, auch wenn der Behälter irgend einer äußeren Umgebung ausgesetzt ist.
Ferner verhindern die zweiten und dritten Ausbildungen vorliegender Erfindung, dass die Außentür leicht herabfällt, und sie halten ferner einen ausreichend hermetischen Einschluss aufrecht und können infolgedessen den Inhalt in hoher Qualität aufrechterhalten.

Claims

1. Versandbehälter, umfassend:

ein Lagerungsgehäuse (1) zur Aufnahme von Gegenständen, das eine kastenförmige Gestalt mit einer Öffnung auf einer Seite desselben aufweist;

eine Innentür (6), welche die Öffnungsfläche des Lagerungsgehäuses öffnet und verschließt und einen Verriegelungsmechanismus (8) umfasst, um die Innentür (6) ab- oder aufzuschließen;

ein für die Innentür (6) vorgesehenes Dichtungselement, um den Zwischenraum zwischen dem Lagerungsgehäuse (1) und der Innentür (6) abzudichten; und

eine Außentür (13) zum Abdecken der Innentür (6), welche auf die Fläche der Öffnung des Lagerungsgehäuses (1), die verschlossen wurde, passt.

2. Versandbehälter gemäß Anspruch 1, ferner umfassend eine Befestigungsvorrichtung (14) zum Anbringen und Befestigen der Außentür (13), wobei die Befestigungsvorrichtung (14) einen Vorsprung (15) aufweist, der auf der Außenumfangsseite des Lagerungsgehäuses (1) vorgesehen ist, und ein Eingriffelement (16), das auf dem Rand der Außentür (13) Zum Eingriff in den Vorsprung (15) vorgesehen ist, wenn die Außentür (13) an dem Gehäuse (1) angebracht wird.

3. Versandbehälter gemäß Anspruch 1, ferner umfassend eine Befestigungsvorrichtung (14) zum Anbringen und Befestigen der Außentür (13), wobei die Befestigungsvorrichtung (14) umfasst eine erste Gegenauflage (21), welche sich von der Außenumfangsfläche des Lagerungsgehäuses (1) erstreckt, und eine zweite Gegenauflage (22), die sich vom Rand der Außentür (13) erstreckt, um an der ersten Gegenauflage (21) anzuliegen, wenn die Außentür (13) an dem Gehäuse (1) angebracht wird; sowie ein Spannelement (25) um die erste und die zweite Gegenauflage zu halten.