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DE69500600T2 - Halbleiterlaservorrichtung - Google Patents

Halbleiterlaservorrichtung

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DE69500600T2
DE69500600T2 DE69500600T DE69500600T DE69500600T2 DE 69500600 T2 DE69500600 T2 DE 69500600T2 DE 69500600 T DE69500600 T DE 69500600T DE 69500600 T DE69500600 T DE 69500600T DE 69500600 T2 DE69500600 T2 DE 69500600T2
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Germany
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semiconductor laser
laser device
resin
lead frame
laser diode
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DE69500600T
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Shoji Kitamura
Satoru Nagano
Katsumi Oguri
Yoichi Shindo
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiter-Laservorrichtung eines Ausführungstyps, der mit einem aus Harz gegossenen Gehäuse versehen ist, in dem ein Laserdiodenelement (im folgenden auch als Element LD bezeichnet) untergebracht ist.
  • Halbleiter-Laservorrichtungen wie etwa Laserdiodenelemente LD werden in optischen Platten, wie etwa in Kompaktdisks, im folgenden auch als CDs bezeichnet, oder in unterschiedlichen, mit Licht arbeitenden Instrumenten, wie etwa in Laserdruckern eingesetzt. Als Beispiel für Halbleiter-Laservorrichtungen sind dosenförmige Gehäuse bekannt. In Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Halbleiter-Laservorrichtung mit einer dosenförmigen Ausgestaltung gezeigt, wobei ein Teil in ausgebrochener Darstellung gezeigt ist. Fig. 2 zeigt eine partiell geschnittene Schnittansicht, in der ein Ausführungsbeispiel dargestellt ist, bei dem diese Halbleiter-Laservorrichtung mit dosenförmiger Ausgestaltung auf einem Gerät angebracht ist. Die Halbleiter-Laservorrichtung mit dosenförmiger Ausgestaltung weist einen quadratischen oder rechteckigen, stabförmigen Wärmesenken- bzw. Wärmeverteilungskörper 4, der von der Oberseite eines plattenförmigen Stiels bzw. Trägers 3 nach oben vorsteht, eine zur Untermontage bzw. Zwischenmontage dienende Schicht 2, die auch als eine Abstrahlungsplatte dient, ein Laserdiodenelement D, das ein Laserdiodenelement-Chip 1 enthält, der auf der zur Zwischenmontage dienenden Schicht 2 vorgesehen ist, und eine Kappe 6 auf, die an ihrer Oberseite ein Fenster 5 aus Glas besitzt. Die Halbleiter-Laservorrichtung weist einen Aufbau auf, bei dem das Leuchtdiodenelement LD an einer seitlichen Oberfläche (Hauptoberfläche) des Wärmeverteilungskörpers 4 angelötet ist, wohingegen die Kappe 6 an einen Kragenabschnitt 3a des Trägers 3 angeschweißt ist, um hierdurch diejenigen Teile zu bedecken und zu schützen, die von dem Träger 3 nach oben vorstehen. An dem Kragenabschnitt 3a ist eine zur Registrierung bzw. Ausrichtung dienende Rille 3b ausgebildet, die bei der Montage verwendet wird. Das Bezugszeichen 12' bezeichnet einen Leitungsanschluß. Wie in Fig. 2 gezeigt ist, wird diese Halbleiter-Laservorrichtung mit dosenförmiger Ausgestaltung in einem Gerät dadurch an Ort und Stelle gebracht, daß die bei der Kappe 6 befindliche Seite der Vorrichtung in ein stufiges Aufnahmeloch (mit Rille versehener Abschnitt) 8 eingebracht wird, das in einem Teil des Geräts, das mit 7 bezeichnet ist, ausgebildet ist, und daß ein klebendes Verbinden oder ein Kontaktverbinden des Kragenabschnitts 3a des Trägers 3 an dem stufigen Abschnitt durchgeführt wird. Laserlicht 9 wird durch das aus Glas bestehende Fenster in der durch einen Pfeil angegebenen Richtung projiziert bzw. ausgesandt. Bei dieser mit dosenförmiger Ausgestaltung versehenen Art einer Halbleiter-Laservorrichtung muß der Punkt, bei dem das Laserlicht ausgesandt wird, bei einer festgelegten Position gehalten werden. Wie in den Fig. 3 und 4 gezeigt ist, wird der Laserdiodenelement-Chip 1 daher so eingestellt, daß er an der Schnittstelle 10 zwischen einer Ebene, die durch die Mitten des kreisförmigen Trägers 3 und das aus Glas bestehende Fenster 5 hindurchgeht (diese beiden Teile sind konzentrische Elemente) und rechtwinklig zu der Hauptoberfläche des Wärmeverteilungskörpers 4 (Ebene der Achse X) verläuft, und einer Ebene positioniert ist, die durch die Mitten des kreisförmigen Trägers 3 und das aus Glas bestehende Fenster 5 hindurchgeht sowie rechtwinklig zu der zuvor genannten Ebene (Ebene der Achse Y) bei einer Betrachtung von der Oberseite her in einer Draufsicht, verläuft, wobei die Positionen der Zwischenmontageschicht bzw. Zwischenlageschicht 2 und dem Wärmeverteilungskörper 4 relativ zu der Position des Laserdiodenelement-Chips 1 bestimmt sind. Wenn das Element in das Gerät eingebaut werden soll, werden die äußere Peripherie und die oberseitige Oberfläche des Kragenabschnitts 3a des Trägers 3 auf dem rillenförmigen Abschnitt 8 montiert, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, und werden dann mittels Klebmittel verbunden oder kontaktgebondet, um hierdurch das Bauelement zu befestigen. Die Form der Halbleiter-Laservorrichtung, die den Kragenabschnitt 3a aufweist, stimmt in der Praxis mit gewissen Anforderungen (Standards) überein, da Änderungen in der Gestaltung oder den Teilen des Geräts vermieden werden müssen. Der außenseitige Durchmesser des Kragenabschnitts 3a des Trägers 3 beträgt 5,6 mm bei den derzeitig mit größten Stückzahlen in Massenproduktion hergestellten Halbleiter-Laservorrichtungen für Kompaktdisks mit einer geringen Ausgangsleistung von 3 bis 5 mW, wohingegen dieser Außendurchmesser bei anderen, für hohe Ausgangsleistung ausgelegten Halbleiterlasern bei 9 mm liegt.
  • Ein starkes Bedürfnis besteht hinsichtlich Halbleiter-Laservorrichtungen, die sich durch geringe Kosten auszeichnen. In den letzten Jahren wurden Halbleiter-Laservorrichtungen des Harzgußtyps bzw. harzvergossenen Typs entwickelt, deren Herstellungskosten geringer sind und deren Freiheitsgrad hinsichtlich der Formgebung höher ist als bei den Halbleiter- Laservorrichtungen mit dosenförmiger Ausgestaltung. Fig. 5 zeigt eine perspektivische Ansicht, in der die Gestalt einer Halbleiter-Laservorrichtung des harzvergossenen Typs gezeigt ist. Diese Halbleiter-Laservorrichtung der harzvergossenen Ausführung weist ein Laserdiodenelement-Chip 1 auf, das an der Oberseite eines breiten Endabschnitts eines Leiterrahmens bzw. eines Stanzgitters 12 über eine Zwischenmontageschicht 2 angebracht ist, wobei die Umgehungsbereiche des vorderen Endes des Stanzgitters einschließlich des Laserdiodenelement-Chips 1 mit einem versiegelten Harzelement (Harzgußmasse) 11, wie etwa durch ein transparentes Epoxidharz, vergossen sind. Das zur Abdichtung dienende Harzelement 11 besitzt eine zylindrische Gestalt, die einen Kragenabschnitt 11a aufweist, der dem Kragenabschitt 3a des Trägers 3 der dosenförmig ausgestalteten Vorrichtung entspricht. Mit dem Bezugszeichen 13 ist ein aus Gold bestehender Draht bezeichnet. Die Halbleiter-Laservorrichtung des harzvergossenen Typs ist als eine Leuchteinrichtung bekannt, die eine niedrige optische Dichte je Flächeneinheit aufweist, wie zum Beispiel bei einer Leuchtdiode LED. Eine solche Halbleiter-Laservorrichtung des harzvergossenen Typs, die den Kragenabschnitt 11a aufweist, kann an einem Gerät mit Hilfe des gleichen Ablaufs wie bei einer Halbleiter-Laservorrichtung mit dosenförmiger Ausgestaltung einfach angebracht werden, und besitzt weiterhin den Vorteil, daß es sich durch niedrige Herstellungskosten aufzeichnet, da sie als gegossene Ausführung vorliegt.
  • Fig. 6 zeigt eine schematische Schnittansicht, in der der Aufbau des Laserdiodenelement- Chips 1 dargestellt ist, der bei der Halbleiter-Laservorrichtung des vorstehend erläuterten, gegossenen Typs benutzt wird. Der Laserdiodenelement-Chip 1 weist eine doppelte Heterostruktur (DH) auf, die eine Beschichtungsschicht 15 des Leitungstyps n aus AlGaAs, eine aktive Schicht 16 aus GaAs, eine Beschichtungsschicht 17 des Leitungstyps p und eine Kappenschicht 18 des Leitungstyps p enthält, die in dieser Reihenfolge auf einem Substrat des Leitungstyps n aus GaAs laminlert sind, und enthält weiterhin eine Elektrode 19 auf der Oberflächenseite des geschlossenen Endes der Kappenschicht des Leitungstyps p, und ferner eine rückseitige Elektrode 20 auf der Rückseite des Substrats 14 aus GaAs. In Fig. 7 ist eine Schnittansicht dargestellt, die entlang der in Fig. 6 gezeigten Linie A-A des Laserdiodenelement-Chips 1 geschnitten ist, wobei die gleichen Bezugzeichen für diejenigen Abschnitte, die in beiden Zeichnungen gleich sind, benutzt sind. In dem Laserdiodenelement-Chip 1 ist auf einer zur Lichtaussendung dienenden Endfläche 21, aus der das Laserlicht 5 austritt, eine Schicht 22 zur Verhinderung einer Beschädigung bzw. Zerstörung der Endfläche (passivierender Film 22), zum Beispiel aus Silikon ausgebildet, die einen geringen Absorptionskoeffizienten für Licht in dem Wellenlängenband des Laserlichts 9 und eine hohe thermische Stabilität besitzt. Diese Ausgestaltung ermöglicht es, zu verhindern, daß sich die Eigenschaften des zur Abdichtung dienenden Harzelements 11, das den Laserdiodenelement-Chip 1 abdichtet, aufgrund einer optischen Beschädigung verschlechtern. Anders ausgedrückt, wird die optische Dichte des Laserlichts 9 in dem zur Abdichtung dienenden Harzelements 11 verringert, wenn die eine Zerstörung der Endfläche verhindernde Schicht 22, die gegenüber dem Laserlicht 9 beständig ist, zwischen der das Licht emittierenden Endfläche 21 und dem zur Abdichtung dienenden Harzelement 11 eingefügt ist, wodurch eine mögliche Beschädigung des zur Abdichtung dienenden Harzelements 11, das zum Beispiel aus Epoxidharz besteht, durch das Laserlicht 9 verhindert wird.
  • Fig. 8 zeigt eine Draufsicht auf die Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs, die in Fig. 5 dargestellt ist. Fig. 9 zeigt eine Schnittansicht, die entlang einer in Fig. 8 gezeigten Linie A-A geschnitten ist. Der Laserdiodenelement-Chip 1 in der Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs ist an der Schnittstelle 10 zwischen der Achse X und der Achse Y positioniert, die die Mitte des zur Abdichtung dienenden Harzelements 11 darstellt, wie es auch bei dem dosenförmigen Bauelement der Fall ist. Folglich befindet sich der zentrale Punkt 23 in der Richtung der Dicke des breiten Abschnitts des Stanzgitters 12, der den Laserdiodenelement-Chip 1 trägt, entfernt von der Position des Laserdiodenelement-Chips 1 (der Mitte des zur Abdichtung dienenden Harzelements 11) in der Richtung -Y, wobei die Größe der Entfernung der Summe aus der Dicke der Zwischenmontageschicht 2 und der Hälfte der Dicke des Stanzgitters 12 entspricht (Versatzgröße bzw. Offset-Strecke ΔXoff).
  • Bei einer Halbleiter-Laservorrichtung mit dem vorstehend erläuterten Aufbau treten jedoch die beiden nachfolgend angegebenen, größeren Probleme auf:
  • (1) Die Position des Punktes, bei dem die Lichtemission stattfindet, verändert sich in Abhängigkeit von Temperaturerhöhungen des um den Laserdiodenelement-Chip 1 herum befindlichen Harzes aufgrund eines dort fließenden Stroms, oder ändert sich aufgrund von Änderungen der Umgebungstemperatur.
  • (2) Es tritt eine Abschälung zwischen dem zur Abdichtung dienenden Harzelement 11 und der eine Beschädigung bzw. Zerstörung der Endfläche verhindernden Schicht 22 auf, was dazu führt, daß sich die optischen Abstrahlungseigenschaften verschlechtern. Die optischen Abstrahlungseigenschaften lassen sich konkret in Form eines von der Ferne gesehenen Gesichtsfeldmusters oder eines Fernfeldmusters ausdrücken (das Fernfeldmuster wird im folgenden auch als FFP oder FFM bezeichnet).
  • Fig. 10 zeigt eine graphische Darstellung, in der die Beziehung zwischen der Größe des in der Richtung X vorliegenden Versatzes des Punkts der Lichtemission und der Zeitdauer gezeigt ist, die bis zu der Wirkung bzw. Auswirkung der Einschaltung oder der Ausschaltung des Lichts verstreicht. In der Zeichnung repräsentiert eine gestrichelt dargestellte Linie die Daten, die hinsichtlich der zylindrischen Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs, wie sie in den Fig. 8 und 9 dargestellt ist, erhalten werden, wohingegen eine durchgezogene Linie die Daten bei einer flachen Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs, das im weiteren Text erläutert wird, repräsentiert. Wenn die Halbleiter-Lasereinrichtung mit zylindrischem aus Harz bestehenden Gußkörper, die in Fig. 8 und 9 dargestellt ist, gemäß Fig. 10 mit einem Betriebsstrom von 50 mA bei Raumtemperatur aktiviert wurde, wurde eine erhebliche Bewegung in der Richtung X des Punkts der Lichtaussendung beobachtet. Wie aus Fig. 10 ersichtlich ist, war der Punkt der Lichtaussendung nach dem Einschalten des Laser um 0,5 µm in der Richtung X verlagert (bezüglich der Richtung der Achse X wird die Seite, die dem Laserdiodenchip 1 entspricht, mit +X bezeichnet, und die Seite, die dem Leiterrahmen bzw. Stanzgitter 12 entspricht, mit -X bezeichnet), das heißt in Richtung zu der Seite des Leiterrahmens 12 bei bzw. nach ungefähr 2 Minuten verschoben; wohingegen der Punkt der Lichtaussendung dann, nachdem der Laser abgeschaltet worden war, in ungefähr 2 Minuten zu der Mitte (Schnittstelle) 10 zurückgebracht wurde, bei der sich der Punkt der Lichtaussendung befand, bevor das Licht eingeschaltet wurde. Wenn diese Halbleiterlasereinrichtung in einen optischen Aufnehmer für eine CD integriert wurde, geriet die Wirkung bzw. Funktion der CD-Einrichtung unmittelbar nach dem Einschalten der Halbleiterlasereinrichtung in Unordnung, oder gerät auch zum Zeitpunkt des Auftretens von Änderungen der Umgebungstemperatur in Unordnung. Es wurde gefunden, daß die Verschiebung hinsichtlich der Position des Punkts der Lichtaussendung von der positionsmäßigen Bewegung des Leiterrahmens 12 in der Richtung -X herrührt, die wiederum durch die thermische Expansion des zur Abdichtung verwendeten Harzmaterials aufgrund der Wärmeerzeugung beruht, die während des Betriebs des Laserdiodenchips 1 auftritt oder auch mit Änderungen der Umgebungstemperatur zusammenhängt. Der hauptsächliche Grund für diese positionsmäßige Bewegung besteht darin, daß, wie in den Fig. 8 und 9 gezeigt ist, der Leiterrahmen 12, an dem der Laserdiodenchip 1 angebracht ist, einen Versatz (ΔXoff) 24 gegenüber der Mitte des abdichtenden Harzelements 11 aufweist.
  • Eine der Methoden zur Verhinderung der Verlagerung des Punkts der Lichtaussendung, die in der EP-A-0 568 830 offenbart ist, besteht darin, einen Teil 12a des Leiterrahmens 12, der einen Laserdiodenchip 1 trägt, gegenüber der Außenseite freizulegen, und von dem abdichtenden Harzelement 11 zu befreien und diesen freigelegten Abschnitt zu befestigen, wie es in Fig. 11 gezeigt ist. Bei dieser Methode ist der freigelegte Abschnitt 12a des Leiterrahmens 12 selbst dann unbeweglich gehalten, wenn sich das Harzmaterial thermisch ausdehnt. Folglich erfährt der Laserdiodenchip 1, der auf dem Leiterrahmen getragen ist, nur eine geringe Verlagerung, so daß es möglich ist, eine Bewegung der Position des Punkts der Lichtaussendung zu verhindern. Das vorstehend angegebene Problem hinsichtlich der Abschälung des Harzes (Problem 2), das dem Problem (1) untergeordnet ist, kann in der Praxis dadurch gelöst werden, daß das abdichtende Harzelement 11 als dünne flache Platte gegossen wird, wie es in Fig. 11 dargestellt ist. Fig. 11 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht, in der die Erscheinungsform einer Halbleiterlasereinrichtung mit gegossenem Harzgußkörper dargestellt ist, die in einer flachen Form gegossen ist, wobei ein Teil des Leiterrahmens freigelegt ist. Bei diesem flachen Bauelement ist das Volumen des Harzmaterials, das die Umgebung der eine Zerstörung der Endfläche verhindernden Schicht 22 (Fig. 7) abdeckt und abdichtet, klein ausgelegt, und es ist die Dicke der Harzschicht des abdichtenden Harzelements um das Laserdiodenelement D herum vergleichmäßigt. Folglich ist die Größe einer durch eine thermische Deformation des Harzes hervorgerufenen Verlagerung verringert, so daß der Abschäleffekt unterdrückt ist. Es wurden Proben versuchsweise hergestellt, bei denen die eine Zerstörung der Endfläche verhindernde Schicht 22 gummiförmiges Organosilizium-Harz bzw. Organosilikon-Harz enthielt, das hauptsächlich aus Dimethylsiloxan bestand, und bei denen der Harzgußkörper ein zylindrischer Harzgußkörper, wie er in Fig. 1 gezeigt ist (Probe Nr. 1) oder ein dünner flacher Harzgußkörper mit einem teilweise freigelegten Leiterrahmen war, wie er in Fig. 11 gezeigt ist (Probe Nr. 2). Diese Proben wurden einem Wärmezyklustest unterzogen, und es wurden die elektrischen und optischen Eigenschaften dieser Elemente bei gewissen Zyklen untersucht. Die Bedingungen hinsichtlich des Wärmezyklustests enthielten Zyklen, die jeweils das Aufheizen der Probe für 30 Minuten bei 85ºC, das Abkühlen der Probe für 30 Minuten auf -40ºC, und das anschließende Rückführen der Probe zu einer endothermischen Reaktion bei 85ºC enthielten. Tabelle 1
  • Wie aus Tabelle 1 ersichtlich ist, traten bei der zylindrischen Probe (Nr. 1) Defekte bei dem Fernfeldmuster während des Tests auf, wohingegen bei der dünnen flachen Probe (Nr. 2) nur wenige Fehler auftraten. Diese Fehler hinsichtlich des Fernfeldmusters werden dem Abschälen an der Grenzfläche zwischen der eine Zerstörung der Endfläche verhindernden Schicht 22 und dem zur Abdichtung dienenden Harzelement 11 zugeschrieben. Folglich kann das Abschälen des Harzes dadurch verhindert werden, daß das zur Abdichtung dienende Harzelement 11 in Form eines dünnen flachen Harzkörpers ausgebildet wird.
  • Bei einer Halbleiterlasereinrichtung, die ein dünnes, flaches, zur Abdichtung dienendes Harzelement aufweist, bei dem ein Teil des Leiterrahmens freigelegt ist, wie es in Fig. 11 gezeigt ist, stellt sich allerdings das nachstehend angegebene Problem:
  • Die Halbleiterlasereinrichtung, die ein zylindrisches, zur Abdichtung dienendes Harzelement aufweist, ist mit einem kreisförmigen Kragenabschnitt umgeben und kann somit an einem Instrument dadurch angebracht werden, daß es in ein Aufnahmeloch eingepaßt wird, wie es auch bei dem dosenförmigen Element der Fall ist. Das dünne, flach ausgebildete, zur Abdichtung dienende Harzelement weist auf der anderen Seite keinen solchen kreisförmigen Kragenabschnitt auf und kann somit nicht in einem Aufnahmeloch montiert werden, was einen Unterschied zum herkömmlichen Typ darstellt.
  • Im Hinblick auf das vorstehend erläuterte Problem liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs zu schaffen, die in ähnlicher Weise wie eine herkömmliche, dosenförmige Vorrichtung angebracht werden kann, bei der jedoch weder eine Verschiebung des Punkts der Lichtaussendung noch ein Abschälen des Harzes auftreten.
  • Damit diese Zielvorgabe erreicht wird, besteht die erste Vorrichtung, die durch die vorliegende Erfindung geschaffen wird, in einer Halbleiter-Laservorrichtung, die einen Laserdiodenchip, der an einem breiten Abschnitt eines Leiterrahmens über eine Zwischenmontageschicht befestigt ist, ein abdichtendes Harzelement, bei dem der Laserdiodenchip mit einem transparenten Harz vergossen ist, und ein Paar von freiliegenden Teilabschnitten des Leiterrahmens enthält, die sich auf den beiden Seiten des Leiterrahmens erstrecken und von dem abdichtenden Harzelement nach außen vorstehen, wobei die freiliegenden Teilabschnitte jeweils einen gekrümmten Abschnitt besitzen, der in einen hypothetischen Kreis eingeschrieben ist, dessen Mittelpunkt bei dem Punkt der Lichtaussendung bezüglich des Laserdiodenchips liegt. Die zweite Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die Halbleiter-Laservorrichtung, bei der eine ringförmige Montagehilfe, die in einem hypothetischen Kreis eingeschrieben ist, dessen Mittelpunkt bei dem Punkt der Lichtaussendung an dem Laserdiodenchip liegt, an den freiliegenden Teilabschnitten befestigt ist. Diese ringförmige Montagehilfe kann in der Form einer geschlossenen Schleife oder einer offenen Schleife vorliegen.
  • Gemäß der ersten Vorrichtung weisen die freigelegten bzw. freiliegenden Teilabschnitte für Befestigungszwecke jeweils einen bogenförmigen, das heißt gekrümmten Abschnitt auf. In gleichartiger Weise wie eine dosenförmig ausgestaltete Halbleiter-Laservorrichtung kann das Bauelement somit an einem Instrument montiert und angebracht werden, indem die bogenförmig gekrümmten Teilabschnitte in das Aufnahmeloch des Instruments eingepaßt werden. Ferner wird dann, wenn die bogenförmigen Teilabschnitte positioniert werden, der Punkt der Lichtaussendung an dem Chip automatisch festgelegt, wodurch bei der Vorrichtung keine Probleme hinsichtlich der Verschiebung des Punkts der Lichtaussendung und des Abschälens des Harzes auftreten. Ferner weist der gekrümmte Abschnitt eine gewisse Elastizität (Federeigenschaften) auf und führt zu einem Druckkontakt mit der inneren Oberfläche des Aufnahmelochs. Folglich kann das Anbringen des Bauelements in dem Instrument erleichtert werden.
  • Gemäß der zweiten Vorrichtung ist die ringförmige Montagehilfe an den freiliegenden Teilabschnitten befestigt. Somit zeigen sich die gleichen Wirkungen wie bei der ersten Einrichtung. Insbesondere kann eine Elastizität (Federeigenschaften) der Hilfe selbst dann verliehen werden, wenn eine ringförmige Montagehilfe in der Form einer offenen Schleife benutzt wird, wodurch die Montage des Bauelements noch einfacher wird.
  • Die vorstehend genannten und weitere Aufgaben, Effekte, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen noch klarer ersichtlich.
  • Fig. 1 zeigt eine teilweise ausgeschnittene, perspektivische Ansicht, in der ein Halbleiter-Laserelement des herkömmlichen, dosenförmigen Typs dargestellt ist;
  • Fig. 2 zeigt einen wesentlichen Abschnitt einer Schnittansicht, in der ein Ausführungsbeispiel dargestellt ist, bei dem das in Fig. 1 gezeigte Halbleiter-Laserelement des dosenförmigen Typs an einem optischen Instrument angebracht ist;
  • Fig. 3 zeigt eine Draufsicht auf das Halbleiterlaserelement mit dosenförmiger Ausgestaltung, das in Fig. 1 dargestellt ist;
  • Fig. 4 zeigt eine Schnittansicht, die entlang einer in Fig. 3 gezeigten Linie A-A geschnitten ist;
  • Fig. 5 zeigt eine perspektivische Ansicht, in der eine herkömmliche Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs dargestellt ist;
  • Fig. 6 zeigt eine schematische Schnittansicht, die den Aufbau eines Laserdiodenchips zeigt, das bei einem herkömmlichen Halbleiterlaser des harzgegossenen Typs benutzt wird;
  • Fig. 7 zeigt eine Schnittansicht, die entlang einer in Fig. 6 gezeigten Linie A-A geschnitten ist;
  • Fig. 8 zeigt eine Draufsicht auf die Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs, die in Fig. 5 gezeigt ist;
  • Fig. 9 zeigt eine Schnittansicht, die entlang einer in Fig. 8 gezeigten Linie A-A geschnitten ist;
  • Fig. 10 zeigt eine graphische Darstellung, in der die Beziehung zwischen der Größe der Verlagerung des Punkts der Lichtaussendung in der Richtung X, die in Fig. 8 dargestellt ist, und der Zeitdauer gezeigt ist, die verstreicht, bis die Wirkung der Einschaltung oder Ausschaltung des Lichts eintritt;
  • Fig. 11 zeigt eine perspektivische Ansicht, in der eine Halbleiter-Laservorrichtung mit flachem Harzgußkörper dargestellt ist;
  • Fig. 12 zeigt eine Draufsicht, in der eine Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs dargestellt ist, die für das Ausführungsbeispiel 1 der vorliegenden Erfindung relevant ist;
  • Fig. 13 zeigt eine Vorderansicht, in der die Halbleiter-Laservorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel 1 dargestellt ist;
  • Fig. 14 zeigt eine perspektivische Ansicht, in der die Halbleiter-Laservorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel 1 dargestellt ist;
  • Fig. 15 zeigt eine Draufsicht, in der eine Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs dargestellt ist, die für ein Ausführungsbeispiel 2 der vorliegenden Erfindung relevant ist;
  • Fig. 16 zeigt eine Vorderansicht, in der die Halbleiter-Laservorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel 2 dargestellt ist;
  • Fig. 17 zeigt eine perspektivische Ansicht, in der die Halbleiter-Laservorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel 2 dargestellt ist;
  • Fig. 18 zeigt eine Längsschnittansicht eines Zustands, bei dem die Halbleiter-Laservorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel 1 an einer zylindrischen Laserführung für einen optischen Aufnehmer für eine CD montiert ist;
  • Fig. 19 zeigt eine Seitenansicht, in der ein Zustand dargestellt ist, bei dem die Halbleiter-Laservorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel 1 an einer zylindrischen Laserführung für einen optischen Aufnehmer für eine CD angebracht ist;
  • Fig. 20 zeigt eine Längsschnittansicht, in der ein Zustand dargestellt ist, bei dem die Halbleiter-Laservorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel 2 an einer zylindrischen Laserführung für einen optischen Aufnehmer für eine CD montiert ist;
  • Fig. 21 zeigt eine Seitenansicht, in der ein Zustand gezeigt ist, bei dem die Halbleiter- Laservorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel 2 an einer zylindrischen Laserführung für einen optischen Aufnehmer für eine CD angebracht ist;
  • Fig. 22 zeigt eine Längsschnittansicht, in der ein Zustand gezeigt ist, bei dem eine Halbleiter-Laservorrichtung des herkömmlichen, dosenförmigen Typs an einer zylindrischen Laserführung für einen optischen Aufnehmer für eine CD montiert ist; und
  • Fig. 23 zeigt eine Seitenansicht, in der ein Zustand dargestellt ist, bei dem eine Halbleiter-Laservorrichtung des herkömmlichen dosenförmigen Typs an einer zylindrischen Laserführung für einen optischen Aufnehmer für eine CD angebracht ist.
  • Ausführungsbeispiel 1
  • Fig. 12 zeigt eine Draufsicht, in der eine Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs dargestellt ist, die für ein Ausführungsbeispiel 1 der vorliegenden Erfindung relevant ist. In Fig. 13 ist eine Vorderansicht der Vorrichtung gezeigt, während in Fig. 14 eine perspektivische Ansicht der Vorrichtung dargestellt ist. Eine Halbleiter-Laservorrichtung 30 des harzgegossenen Typs gemäß diesem Ausführungsbeispiel weist Leiterrahmen (bzw. Stanzgitter) 31, 32 und 33, einen Laserdiodenchip 1, der an einem breiten Endabschnitt 32a des Leiterrahmens 32 über eine Unterlagenschicht 2 befestigt ist und der eine eine Zerstörung der Endfläche verhindernde Schicht (nicht gezeigt) aufweist, und ein flach ausgebildetes, zur Abdichtung dienendes Harzelement 35 auf, das zum Vergießen der Umgebungsbereiche der vorderen Endabschnitte der Leiterrahmen 31, 32 und 33 mittels eines transparenten Epoxidharzes oder dergleichen dient. Der Leiterrahmen 32 weist vorstehende Stück- bzw. Teilabschnitte 36 und 37 auf, die wie Arme in der nach rechts und links weisenden Richtung von den Seiten des breiten Endabschnitts 32a vorstehen. Die vorstehenden Teilabschnitte 36 und 37 weisen gegossene Regionen 36a und 37a auf, die mit dem flach ausgebildeten, zur Abdichtung dienenden Harzelement 35 vergossen sind, und enthalten weiterhin freiliegende Stückabschnitte 36b und 37b, die von dem zur Abdichtung dienenden Harzelement 35 nach außen vorstehen und außenseitig freigelegt sind. Einer der freiliegenden Teilabschnitte 36b weist einen gebogenen bzw. gekrümmten Teilabschnitt 36c auf, der derart gebogen ist, daß sich seine äußere Oberfläche im Uhrzeigersinn gemäß Fig. 12 entlang eines hypothetischen Kreises erstreckt, der mit dem Radius R um den Punkt der Lichtaussendung C an dem Laserdiodenchip 1 gezogen ist. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Winkel, der durch den gebogenen Teilabschnitt 36c gebildet wird, bei ungefähr 90ºC. Der andere freiliegende Teilabschnitt 37b weist einen bogenförmigen Teilabschnitt 37c auf, der derart gebogen ist, daß seine äußere Oberfläche im Uhrzeigersinn gemäß Fig. 12 entlang eines hypothetischen Kreises verläuft, der um den Punkt C der Lichtaussendung an dem Laserdiodenchip 1 mit dem Radius R gezogen ist. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel liegt der Winkel, der durch den bogenförmigen Teilabschnitt 37c gebildet wird, bei ungefähr 90ºC.
  • Wie vorstehend angegeben, sind die freiliegenden Teilabschnitte 36b und 37b, die als Fixierstücke dienen, nicht durchgehend geradlinig ausgebildet, sondern weisen gebogene Teilabschnitte 36c und 37c auf, die entlang des hypothetischen Kreises geführt sind, der um den Punkt C der Lichtaussendung mit dem Radius R gezogen ist. In den Fig. 12, 13 und 14 sind keine Golddrähte gezeigt.
  • Eine solche Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs, die die bogenförmigen, in dem hypothetischen Kreis eingeschriebenen Teilabschnitte 36c und 37c aufweist, kann in ein stufiges Aufnahmeloch eines Instruments eingepaßt und dort an Ort und Stelle festgelegt werden, in gleichartiger Weise wie die Montage (Unterbringung) einer Halbleiter-Laservorrichtung des dosenförmigen Typs. Die Festlegung der bogenförmigen Teilabschnitte 36c und 37c bedeutet hierbei gleichzeitig auch die Festlegung des Punkts C der Lichtaussendung des Laserdiodenchips 1 an dem breiten Endabschnitt 32a des Leiterrahmens. Folglich treten weder eine Verschiebung hinsichtlich des Punkts C der Lichtaussendung noch ein Abschälen des Harzes auf. Die bogenförmigen Teilabschnitte 36c und 37c enthalten ferner eine gewissen Elastizität (Federverhalten) und drücken sich selbst gegen die innere Oberfläche eines stufigen Aufnahmelochs, wenn sie in dieses eingeführt sind.
  • Folglich kann die Vorrichtung noch leichter montiert werden. Der Radius R des hypothetischen Kreises um den Punkt C der Lichtaussendung als Mitte kann auf der Grundlage der Größe des Aufnahmelochs festgelegt werden, kann aber auch mit dem äußeren Durchmesser des kragenförmigen Abschnitts des Stiels des dosenförmigen Elements zur Übereinstimmung gebracht werden.
  • Die Fig. 18 und 19 zeigen jeweils die Halbleiter-Laservorrichtung 30 bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, das an einer zylindrischen Laserführung 28 für einen optischen Aufnehmer für eine CD montiert ist. Die bogenförmigen Teilabschnitte 36c und 37c sind in ein stufiges Aufnahmeloch 8 eingepaßt.
  • Ausführungsbeispiel 2
  • Fig. 15 zeigt eine Draufsicht, in der eine Halbleiter-Laservorrichtung des harzgegossenen Typs dargestellt ist, die für das Ausführungsbeispiel 2 der vorliegenden Effindung relevant ist. In Fig. 16 ist eine Vorderansicht der Vorrichtung dargestellt, während Fig. 17 eine perspektivische Ansicht der Vorrichtung zeigt. Eine Halbleiter-Laservorrichtung 40 des harzgegossenen Typs gemäß diesem Ausführungsbeispiel weist in Übereinstimmung mit dem Ausführungsbeispiel 1 Leiterrahmen 31, 32, 33, einen Laserdiodenchip 1, der an einem breiten Endabschnitt 32a des Leiterrahmens 32 über eine Unterlagenschicht 2 befestigt ist und der eine zur Verhinderung der Zerstörung der Endfläche dienende Schicht (nicht gezeigt) aufweist, und ein zur Abdichtung dienendes, flach ausgebildetes Harzelement 35 zum Umgießen der Umgebungsbereiche der vorderen Endabschnitte der Leiterrahmen 31, 32 und 33 mit einem transparenten Epoxidharz oder dergleichen auf. Der Leiterrahmen 32 weist vorstehende Teilabschnitte 46 und 47 auf, die in den nach rechts und links weisenden Richtung wie Arme von den Seiten des breiten Endabschnitts 32a vorstehen. Die vorstehenden Teilabschnitte 46 und 47 weisen gegossene Regionen bzw. Gießregionen 36a und 37a, die mit dem flach ausgebildeten, zur Abdichtung dienenden Harzelement 35 vergossen sind, und freiliegende Teilabschnitte 36b und 37b auf, die von dem zur Abdichtung dienenden Harzelement 35 vorstehen und gegenüber der Außenseite freiliegen. Der Aufbau der bislang beschriebenen Vorrichtung ist der gleiche wie derjenige bei einer herkömmlichen Halbleiter-Laservorrichtung des flachen, harzgegossenen Typs. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind jedoch die vorderen Enden der freiliegenden Teilabschnitte 36b und 37b in nicht abnehmbarer Weise in Montagerillen 48a und 48b einer ringförmigen Montagehilfe (Adapter) 48 eingepaßt, wobei die äußere Umfangsoberfläche der ringförmigen Montagehilfe 48 in einen hypothetischen Kreis eingeschrieben ist, der um den Punkt C der Lichtaussendung mit dem Radius R gezogen ist. Die nicht abnehmbare Paßverbindung zwischen den Montagerillen 48a und 48b der ringförmigen Montagehilfe 48 und der vorderen Enden der freiliegenden Teilabschnitt 36b und 37b wird unter Einsatz eines Klebmittels oder durch Verstemmen erreicht. In der äußeren Umfangsoberfläche der ringförmigen Montagehilfe 48 ist eine zur Registrierung bzw. Ausrichtung dienende Rille 48c ausgebildet, die zum Zeitpunkt der Verpackung bzw. des Zusammenbaus zum Einsatz kommt. Das Material für die ringförmige Montagehilfe 48 ist vorzugsweise ein Material, das den gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie das für den Leiterrahmen verwendete Material besitzt. In den Fig. 15, 16 und 17 sind keine Golddrähte dargestellt.
  • Wie vorstehend beschrieben, kann die ringförmige Montagehilfe 48, das heißt ein von dem Leiterrahmen 32 getrenntes Element, in das stufige Aufnahmeloch des Instruments eingepaßt werden, so daß die Halbleiter-Laservorrichtung 40 des harzgegossenen Typs montiert werden kann, wodurch die gleichen Effekte wie bei dem Ausführungsbeispiel 1 erzielt werden. Es erübrigt sich, darauf hinzuweisen, daß auch eine ringförmige Montagehilfe 48 in der Form einer offenen Schleife benutzt werden kann. Der Einsatz einer solchen Hilfe mit offener Schleife kann der Hilfe selbst eine Elastizität (Federverhalten) verleihen, wodurch die Montage der Vorrichtung erleichtert ist. Der Radius R des hypothetischen Kreises kann in gleicher Weise wie bei dem Ausführungsbeispiel 1 auf der Grundlage der Größe des Aufnahmelochs festgelegt werden, kann aber auch so bestimmt werden, daß er an den äußeren Durchmesser des Kragenabschnitts des Stiels der dosenförmigen Vorrichtung angepaßt ist bzw. mit dieser übereinstimmt.
  • In den Fig. 20 und 21 ist die Halbleiter-Laservorrichtung 40 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel jeweils bei ihrer Montage an einer zylindrischen Laserführung 28 für einen optischen Aufnehmer für eine CD dargestellt. Die ringförmige Montagehilfe 48 ist in ein stufenförmiges Aufnahmeloch 8 eingepaßt. Die Fig. 22 und 23 zeigen jeweils eine Halbleiter-Laservorrichtung des herkömmlichen dosenförmigen Typs, die an einer zylindrischen Laserführung 28 für einen optischen Aufnehmer für eine CD montiert ist.
  • Wie vorstehend beschrieben, ist das erste Mittel gemäß der vorliegenden Erfindung somit dadurch gekennzeichnet, daß das Paar von freiliegenden Teil- bzw. Stückabschnitten, die sich auf den beiden Seiten des Leiterrahmens erstrecken und von dem zur Abdichtung diendenen Harzelement nach außen vorstehen, nicht geradlinig enden, sondern die gebogenen Stückeabschnitte integral aufweisen, die in dem hypothetischen Kreis eingeschrieben sind, der den Punkt der Lichtaussendung als seinen Mittelpunkt aufweist. Das zweite Mittel gemäß der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die ringförmige Montagehilfe, die in den hypothetischen Kreis mit dem Punkt der Lichtaussendung als dessen Mittelpunkt eingeschrieben ist, und die als separates Element ausgebildet sind, an den freiliegenden Stückeabschnitten befestigt sind. Folglich zeigt die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung die folgenden Effekte:
  • Die freiliegenden Stückeabschnitte dienen zu Befestigungszwecken und weisen jeweils den bogenförmigen Stückeabschnitt oder die ringförmige Montagehilfe auf. Folglich kann die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung in gleichartiger Weise wie die Halbleiter- Laservorrichtung gemäß dem dosenförmigen Typ an einem Instrument montiert und befestigt werden, indem die gebogenen Stückeabschnitte oder die ringförmige Montagehilfe in das Aufnahmeloch des Instruments eingepaßt wird. Weiterhin wird der Punkt der Lichtaussendung an dem Chip bei der Positionierung der gebogenen Stückeabschnitte oder der ringförmigen Montagehilfe automatisch festgelegt, wodurch bei der Vorrichtung die Probleme hinsichtlich der Verschiebung des Punkts der Lichtaussendung und der Abschälung des Harzes beseitigt sind.

Claims (3)

1. Halbleiter-Laservorrichtung (30) mit:
einem Laserdioden-Chip (1), der auf einem breiten Abschnitt (32a) eines Leiterrahmens (32) unter Zwischenlage einer Unterlagenschicht (2) befestigt ist,
einem Harz-Dichtelement (35), mittels dessen der Laserdioden-Chip mit einem transparenten Harz vergossen ist, und
einem Paar von freiliegenden Stückeabschnitten (36b, 37b) des Leiterrahmens, die an den beiden Seiten des Leiterrahmens verlaufen und aus dem Harz-Dichtelement nach außen vorstehen, dadurch gekennzeichnet, daß die freiliegenden Stückeabschnitte jeweils einen gekrümmten Stückbereich (36c, 37c) aufweisen, der in einem hypothetischen Kreis eingeschrieben ist, dessen Mittelpunkt durch den Punkt (C) der Lichtaussendung an dem Laserdioden-Chip gebildet ist.
2. Halbleiter-Laservorrichtung (40) mit
einem Laserdioden-Chip (1), der an einem breiten Abschnitt (32a) eines Leiterrahmens (32) unter Zwischenlage einer Unterlagenschicht (2) befestigt ist,
einem Harz-Dichtelement (35), mittels dessen der Laserdioden-Chip mit einem transparenten Harz vergossen ist, und
einem Paar von freiliegenden Stückeabschnitten (36b, 37b) des Leiterrahmens, die an den beiden Seiten des Leiterrahmens verlaufen und aus dem Harz-Dichtelement nach außen vorstehen, dadurch gekennzeichnet, daß an den freiliegenden Stückeabschnitte eine ringförmige Montagehilfe (48) befestigt ist, die in einem hypothetischen Kreis eingeschrieben ist, dessen Mittelpunkt durch den Punkt (C) der Lichtaussendung an dem Laserdioden-Chip gebildet ist.
3. Halbleiter-Laservorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ringförmige Montagehilfe die Form einer offenen Schleife besitzt.
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