HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine
nicht-reduzierbare dielektrische Keramikzusammensetzung und
insbesondere auf eine nicht-reduzierbare dielektrische
Keramikzusammensetzung, die für monolithische Keramikkondensatoren
verwendet wird.
2. Beschreibung des Stands der Technik
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Monolithische Keramikkondensatoren werden im allgemeinen
durch folgende Schritte hergestellt: zuerst Vorbereiten von
dielektrischen Keramikgrünschichten mit einer dielektrischen
Keramikzusammensetzung, beispielsweise einer
Zusammensetzung, die hauptsächlich aus Bariumtitanat besteht,
Aufbringen eines leitfähigen Materials für eine innere Elektrode
auf eine Oberfläche jeder Grünschicht, Stapeln der
Grünschichten, Verbinden derselben durch Thermokompression,
Schneiden des resultierenden mehrschichtigen Körpers in
Keramikkondensator-Grünchips, nachfolgendes Brennen der
Grünchips in Luft bei 1250 bis 1350ºC, um Kondensatorchips
mit inneren Elektroden zu bilden, und schließlich Bilden
äußerer Elektroden, die mit den inneren Elektroden verbunden
sind, auf gegenüberliegenden Seiten von jedem der
Kondensatorchips, um monolithische Keramikkondensatoren
fertigzustellen.
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Folglich muß ein leitfähiges Material für innere Elektroden
solche Bedingungen erfüllen, daß (a) dasselbe einen
Schmelzpunkt aufweist, der höher ist als eine Sintertemperatur der
dielektrischen Keramik, da die inneren Elektroden zusammen
mit dem dielektrischen Keramikmaterial gebrannt werden; und
daß (b) dasselbe weder oxidiert noch mit der dielektrischen
Keramik reagiert, selbst in einer Oxidationsatmosphäre mit
einer hohen Temperatur.
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Um derartige Anforderungen zu erfüllen, wurden edle Metalle,
beispielsweise Platin, Gold, Palladium und deren
Legierungen, als ein leitfähiges Material für die inneren Elektroden
verwendet. Derartige edle Metalle liefern zufriedenstellende
Charakteristika, wobei die Verwendung derselben jedoch für
alle praktischen Zwecke zu aufwendig ist. D.h., daß die
Verwendung eines derart edlen Metalls der größte Faktor ist,
der den Anstieg der Herstellungskosten von monolithischen
Keramikkondensatoren bestimmt, da die Kosten der inneren
Elektroden von 30 bis 70% der Herstellungskosten der
monolithischen Keramikkondensatoren betragen.
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Andere Metalle mit einem hohen Schmelzpunkt sind unedle
Metalle wie z.B. Ni, Fe, Co, W und Mo, wobei dieselben jedoch
in einer Oxidationsatmosphäre hoher Temperatur leicht
oxidieren. Wenn ein solches unedles Metall als ein Material für
innere Elektroden von monolithischen Keramikkondensatoren
verwendet wird, verliert dasselbe folglich die Funktion, als
die inneren Elektroden zu dienen, wenn die Grünchips in Luft
gebrannt werden. Es ist daher erforderlich, die Grünchips in
einer neutralen oder reduzierenden Atmosphäre zu brennen, um
ein unedles Metall als ein Material für innere Elektroden
von monolithischen Keramikkondensatoren zu verwenden. Jedoch
werden die bekannten dielektrischen Keramikmaterialien
beträchtlich reduziert und folglich halbleitend
(semiconductorized), wenn sie in der reduzierenden Atmosphäre gebrannt
werden.
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Um ein solches Problem zu lösen, wurde in der JP-B-57-42588
vorgeschlagen, ein dielektrisches Keramikmaterial zu
verwenden, das eine Bariumtitanat-Festkörperlösung aufweist,
deren Verhältnis von Barium-Stellen zu Titan-Stellen größer
als das stöchiometrische Verhältnis ist. Ein solches
dielektrisches Keramikmaterial wird kaum halbleitend, selbst wenn
es in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt wird, wodurch
es möglich wird, monolithische Keramikkondensatoren
herzustellen, die innere Elektroden aus einem unedlen Material,
beispielsweise Nickel, aufweisen. Mit derartigen
dielektrischen Keramikmaterialien ist es jedoch aus den folgenden
Gründen schwierig, derartige dielektrische
Keramikmaterialien zu miniaturisieren.
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Mit der jüngeren Entwicklung von elektronischen Techniken
wurde ein beträchtlicher Fortschritt bei der
Miniaturisierung von elektronischen Bauelementen erreicht. Folglich
erfordert dies eine Miniaturisierung monolithischer
Keramikkondensatoren, ebenso wie anderer elektronischer Teile. Bei
den monolithischen Keramikkondensatoren wird die
Miniaturisierung im allgemeinen durch die Verwendung eines
dielektrischen Keramikmaterials mit einer hohen dielektrischen
Konstante oder indem die dielektrischen Keramikschichten
dünn gemacht werden durchgeführt. Die dielektrischen
Keramikmaterialien, wie sie in der JP-B-57-42588 offenbart sind,
weisen eine hohe dielektrische Konstante auf, besitzen
jedoch eine große Korngröße. Wenn folglich die Dicke der
dielektrischen Keramikschichten auf 10 µm oder darunter
verringert wird, ist die Anzahl von Kristallkörnern, die in
jeder Schicht vorliegen, beträchtlich verringert, was eine
Verringerung der Zuverlässigkeit der monolithischen
Keramikkondensatoren zur Folge hat.
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Andererseits offenbart die JP-B-61-101459 eine
nicht-reduzierbare dielektrische Keramikzusammensetzung, die aus einer
Bariumtitanat-Festkörperlösung besteht, in die ein seltenes
Erdelement, beispielsweise La, Nd, Sm und Dy eingefügt
wurde. Eine solche Zusammensetzung weist eine feine Korngröße
auf, die es ermöglicht, das Verringern der Zuverlässigkeit
von monolithischen Keramikkondensatoren zu vermeiden, da die
feine Korngröße zu einer Zunahme der Anzahl von
Kristallkörnern, die in jeder dielektrischen Schicht vorliegen,
beiträgt. Es ist jedoch mit einer derartigen
Keramikzusammensetzung unmöglich, eine hohe dielektrische Konstante zu
erhalten, wobei die Zusammensetzung, die ein seltenes
Erdelement
enthält, während eines Brennens einfach zu oxidieren
ist.
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Die EP-A-0 446 814 offenbart eine nicht-reduzierende
dielektrische Keramikzusammensetzung, deren Hauptkomponente
eine Bariumtitanat-Phase ist, die durch die Oxide von Ba,
Ca, Mg, Sr, Ce, Ti und Zr gebildet ist, wobei die Additive
Oxide von Mn, Fe, Cr oder Co in einer Menge von 0,02 - 2
mol% pro 100 mol% der Hauptkomponente sind.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Es ist daher eine primäre Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, eine nicht-reduzierbare dielektrische
Keramikzusammensetzung zu schaffen, die eine große dielektrische
Konstante, jedoch eine kleine Kristallkorngröße aufweist, und
die niemals halbleitend wird, selbst wenn sie in einer
reduzierenden Atmosphäre gebrannt wird.
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Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht
darin, eine nicht-reduzierbare dielektrische
Keramikzusammensetzung zu schaffen, die es ermöglicht, monolithische
Keramikkondensatoren zu miniaturisieren, ohne die
Zuverlässigkeit und die Charakteristika zu senken.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine nicht-reduzierbare
dielektrische Keramikzusammensetzung geschaffen, die im
wesentlichen aus einer Hauptkomponente und zumindest einem
Additiv besteht, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus
Oxiden von Mn, Fe, Cr, Co und Ni besteht, wobei die
Hauptkomponente eine Zusammensetzung der folgenden Formel (I)
aufweist:
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{(Ba1-o-q-rSroCapR1qR2r)01+q/2+r/2}m(Ti1-x-yZrxHfy)0&sub2;
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wobei R1 zumindest ein Element ist, das aus der Gruppe
ausgewählt ist, die aus La, Ce, Nd, Pr und Sm besteht, R2
zumindest ein Element ist, das aus der Gruppe ausgewählt
ist, die aus Dy, Ho, Er, Yb und Y besteht, und wobei o, p,
q, r, x, y und m folgende Bedingungen erfüllen: 0 < o ≤
0,32, 0 ≤ p ≤ 0,20, 0 < q ≤ 0,02, 0 < r ≤ 0,02, 0 < x ≤
0,24, 0 < y ≤ 0,16, 1,00 ≤ m ≤ 1,03 und 0 < q+r ≤ 0,03; der
Gehalt des Additivs beträgt 0,02 bis 2,0 mol pro 100 mol der
Hauptkomponente, wenn er hinsichtlich der jeweiligen Oxide
MnO, Fe&sub2;O&sub3;, Cr&sub2;O&sub3;, CoO und NiO berechnet wird.
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Die obige Zusammensetzung kann zumindest ein zusätzliches
Additiv enthalten, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die
aus SiO&sub2; und ZnO besteht, in einer Menge von 0,1 bis 2,0 mol
pro 100 mol der Hauptkomponente.
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Die obige nicht-reduzierbare, dielektrische
Keramikzusammensetzung weist eine kleine Korngröße von nicht mehr als 3 µm
auf, obwohl sie eine hohe dielektrische Konstante von nicht
weniger als 11.000 aufweist, wodurch es möglich wird, die
dielektrischen Schichten zu dünnen, ohne eine Abnahme der
Anzahl von Kristallkörnern, die in jeder dielektrischen
Schicht vorliegen, zu bewirken. Wenn der Gehalt von R1 und
R2 erhöht wird, wird der dielektrische Verlust jedoch größer
als 1,5% und der Isolationswiderstand wird gesenkt. Dieses
Problem kann durch den Zusatz einer bestimmten Menge von MgO
in die Hauptkomponente gelöst werden.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ferner eine
nicht-reduzierbare dielektrische Keramikzusammensetzung geschaffen,
die im wesentlichen aus einer Hauptkomponente und zumindest
einem Additiv besteht, das aus der Gruppe ausgewählt ist,
die aus Oxiden von Mn, Fe, Cr, Co und Ni besteht, wobei die
Hauptkomponente eine Zusammensetzung der allgemeinen Formel
(II) aufweist:
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(1-a) {(Ba1-o-p-q-rSroCaR1qR2r)O1+q/2+r/2}m(Ti1-x-yZrxHfy)O&sub2;
+aMgO
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wobei R1 zumindest ein Element ist, das aus der Gruppe
ausgewählt ist, die aus La, Ce, Nd, Pr und Sm besteht, R2
zumindest ein Element ist, das aus der Gruppe ausgewählt
ist, die aus Dy, Ho, Er, Yb und Y besteht, und a, o, p, q,
r, x, y und m folgende Bedingungen erfüllen: 0< a ≤ 0,05, 0
< o ≤ 0,32, 0 ≤ p ≤ 0,20, 0 < q ≤ 0,02, 0 < r ≤ 0,03, 0 < x
≤ 0,24, 0 < y < 0,16, 1,00 ≤ m ≤ 1,03 und 0 < q+r ≤ 0,04;
der Gehalt des Additivs beträgt 0,02 bis 2,0 mol pro 100 mol
der Hauptkomponente, wenn er hinsichtlich der jeweiligen
Oxide MnO, Fe&sub2;O&sub3;, Cr&sub2;O&sub3;, CoO und NiO berechnet wird.
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Ferner kann die Zusammensetzung zumindest ein zusätzliches
Additiv enthalten, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die
aus SiO&sub2; und ZnO besteht, in einer Menge von 0,1 bis 2,0 mol
pro 100 mol der Hauptkomponente.
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Die dielektrische Keramikzusammensetzung der vorliegenden
Erfindung wird niemals reduziert oder halbleitend, selbst
wenn sie in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt wird.
Ferner kann die dielektrische Keramikzusammensetzung der
vorliegenden Erfindung bei einer Temperatur von nicht mehr
als 1300ºC gebrannt werden. Folglich macht es die
nicht-reduzierbare dielektrische Keramikzusammensetzung der
vorliegenden Erfindung möglich, ein beliebiges unedles Metall als
ein Material für innere Elektroden von monolithischen
Keramikkondensatoren zu verwenden, was es wiederum möglich
macht, die Herstellungskosten von monolithischen
Keramikkondensatoren zu senken.
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Die nicht-reduzierbare dielektrische Keramikzusammensetzung
der vorliegenden Erfindung weist eine geringe Korngröße von
nicht mehr als drei µm auf, obwohl dieselbe eine hohe
dielektrische Konstante von nicht weniger als 9.000 aufweist,
wodurch es möglich ist, die dielektrischen Schichten zu
dünnen, ohne eine Abnahme der Anzahl von Kristallkörnern, die
in jeder dielektrischen Schicht vorliegen, zu bewirken.
Folglich macht es die vorliegende Erfindung möglich,
monolithische Keramikkondensatoren herzustellen, die eine hohe
Zuverlässigkeit aufweisen, wobei sie eine kleine Größe aber
eine große Kapazität aufweisen.
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Die obigen und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der
vorliegenden Erfindung werden aus den folgenden Beispielen
offensichtlich.
BEISPIEL 1
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Unter Verwendung von BaCO&sub3;, SrCO&sub3;, CaCO&sub3;, CeO&sub2;, La&sub2;O&sub3;,
Nd&sub2;O&sub3;, Dy&sub2;O&sub3;, Ho&sub2;O&sub3;, Er&sub2;O&sub3;, Yb&sub2;O, Y&sub2;O&sub3;, TiO&sub2;, ZrO&sub2;, Hfo&sub2;,
MnO, Fe&sub2;O&sub3;, Cr&sub2;O&sub3;, CoO und NiO mit einer Reinheit von nicht
weniger als 99,8% als Rohmaterialien wurden Proben
dielektrischer Keramikzusammensetzungen auf die folgende Art und
Weise vorbereitet:
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Zuerst wurden die Rohmaterialien BaCO&sub3;, SrCO&sub3;, CaCO&sub3;, CeO&sub2;,
La&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Dy&sub2;O&sub3;, Ho&sub2;O&sub3;, Er&sub2;O&sub3;, Yb&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, TiO&sub2;, ZrO&sub2;
und NiO gewogen und gemischt, um ein Gemisch für eine
Hauptkomponente vorzubereiten, das eine Zusammensetzung aufweist,
die durch die allgemeine Formel (I) ausgedrückt ist:
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{(Ba1-o-p-q-rSroCapR1qR2r)01+q/2+r/2}m(Ti1-x-yZrxHfy)0&sub2;
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mit den Werten von o, p, g, r, m, x und y, die in Tabelle 1
gezeigt sind. Die übrigen Rohmaterialien MnO, Fe&sub2;O&sub3;, Cr&sub2;O&sub3;,
CoO und NiO wurden dem resultierenden Gemisch in
Verhältnissen, die in Tabelle 1 gezeigt sind, in der die
zugesetzten Mengen des Additivs jeweils in mol pro 100 mol der
Hauptkomponente aufgelistet sind, als ein Additiv zugesetzt.
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Das resultierende Gemisch wurde mit einer Kugelmühle für 16
Stunden naß gemahlen, durch eine Verdampfung getrocknet, bei
1.100ºC für zwei Stunden in Luft kalziniert und danach durch
eine Trockenschleifmaschine gebrochen und pulverisiert, um
ein kalziniertes Pulver mit einer Partikelgröße von 1 µm
oder kleiner vorzubereiten.
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Dem kalzinierten Pulver wurden geeignete Mengen von reinem
Wasser und einem organischen Bindemittel aus
Polyvinyl-Acetat
zugesetzt und für 16 Stunden mit einer Kugelmühle naß
gemahlen und daraufhin granuliert, um eine pulverige
Formmasse vorzubereiten. Das Pulver wurde dann unter einem Druck
von 2000 Kg/cm² geformt, um Grünpreßlinge eines Durchmessers
von 10 mm und einer Dicke von 0,5 mm vorzubereiten. Die
Grünpreßlinge wurden in Luft auf 500ºC erwärmt, um das
organische Bindemittel durch Verbrennung zu entfernen und dann
bei einer Temperatur, die in Tabelle 2 gezeigt ist, für zwei
Stunden in einer reduzierenden Atmosphäre, die aus H&sub2;, N&sub2;
und Luft mit einem partiellen Sauerstoffdruck von 2 x 10&supmin;¹&sup0;
bis 3 x 10&supmin;¹² atm besteht, gebrannt, um Keramikscheiben
vorzubereiten. Die resultierenden Keramikscheiben wurden durch
ein Abtastelektronenmikroskop mit einer Vergrößerung von
1.500 beobachtet, um die Kristallkorngröße zu bestimmen.
Jede Keramikscheibe wurde auf ihren gegenüberliegenden Seiten
durch das Aufbringen einer Silberpaste und das nachfolgende
Backen derselben bei 600ºC für 30 Minuten in einer
Stickstoffatmosphäre mit Silberelektroden versehen, um einen
Kondensator vorzubereiten, der als eine Probe für Messungen der
elektrischen Eigenschaften verwendet werden soll.
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Für jede Probe wurden Messungen der dielektrischen Konstante
(ε), des dielektrischen Verlustes (tan δ), eines
Temperaturkoeffizienten (TC) der Kapazität (C) und des
Isolationswiderstands durchgeführt. Die dielektrische Konstante und der
dielektrische Verlust wurden bei 1 KHz, 1 Vrms bei 25ºC
gemessen. Der Temperaturkoeffizient (TC) der Kapazität wurde
über dem Temperaturbereich von -25ºC bis 85ºC auf der Basis
der Kapazität bei 20ºC zusammen mit dem größten absoluten
Wert von TC in dem Bereich von -25ºC bis 85ºC bestimmt. Der
Temperaturkoeffizient (TC) der Kapazität war durch die
Gleichung TC = ΔC/C&sub2;&sub0; gegeben, wobei ΔC der Unterschied
zwischen der Kapazität bei der gemessenen Temperatur und der
bei 20ºC ist, und C&sub2;&sub0; eine Kapazität bei 20ºC ist.
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Der Isolationswiderstand wurde bei 25ºC und 85ºC nach dem
Anlegen einer Gleichspannung von 500 V für 2 Minuten an die
Probe gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 gezeigt, in
der der Isolationswiderstand als ein logarithmischer Wert
des Volumenwiderstands (log δ) gegeben ist.
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In Tabelle 1 und Tabelle 2 sind Proben mit einem Sternchen
diejenigen, die eine Zusammensetzung außerhalb des Bereichs
der vorliegenden Erfindung aufweisen.
Tabelle 1
Tabelle 1 (Fortsetzung)
Tabelle 2
Tabelle 2 (Fortsetzung)
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Wie aus den obigen Ergebnissen zu sehen ist, weist die
nicht-reduzierbare dielektrische Keramikzusammensetzung der
vorliegenden Erfindung eine hohe dielektrische Konstante
gleich oder größer als 11.000, einen geringen
Verlust-Tangens gleich oder kleiner als 2,0% und einen guten
Temperaturkoeffizienten der Kapazität auf, der die Anforderungen
der V-Charakteristika in dem Temperaturbereich von -25ºC bis
+85ºC erfüllt, die durch den japanischen Industriestandard
(JIS) definiert sind.
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Außerdem besitzt die Zusammensetzung der vorliegenden
Erfindung einen hohen Isolationswiderstandswert, dessen
logarithmischer Wert gleich oder größer als 12 ist. Ferner kann die
Zusammensetzung bei einer relativ geringen Temperatur von
nicht mehr als 1300ºC gesintert werden und weist eine kleine
Korngröße von 3 µm oder darunter auf, was es möglich macht,
die dielektrischen Schichten der monolithischen
Keramikkondensatoren zu dünnen.
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Die Hauptkomponente der nicht-reduzierbaren dielektrischen
Keramikzusammensetzung wurde aus den folgenden Gründen auf
diejenigen begrenzt, die eine Zusammensetzung aufweisen, die
durch die allgemeine Gleichung (I) ausgedrückt ist:
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Wenn der molare Bruchteil von Sr, o, 0 ist, wie bei der
Probe Nr. 1, wird die dielektrische Konstante kleiner als
11.000, der dielektrische Verlust übersteigt 2,0% und der
Temperaturkoeffizient der Kapazität wird groß. Wenn o 0,32
überschreitet, wie bei der Probe Nr. 18, wird die
dielektrische Konstante kleiner als 11.000 und der
Temperaturkoeffizient der Kapazität wird groß und erfüllt nicht die
Anforderungen der F-Charakteristika, die durch JIS definiert sind.
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Wenn der polare Bruchteil von Ca, p, 0,20 überschreitet, wie
bei der Probe Nr. 19, werden die Sintereigenschaften der
dielektrischen Keramikzusammensetzung schlecht.
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Wenn der molare Bruchteil von R1, q, 0 ist, wie bei der
Probe
Nr. 2, übersteigt die Kristallkorngröße 3 µm, was es
wiederum unmöglich macht, die dielektrischen Schichten für
monolithische Keramikkondensatoren zu dünnen. Wenn g 0,02
übersteigt, wir bei der Probe Nr. 20, übersteigt der
dielektrische Verlust 2,0% und der Isolationswiderstand bei 25ºC
oder 85ºC wird geringer.
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Wenn der molare Bruchteil von R2, r, 0 ist, wie bei der
Probe Nr. 3, wird die dielektrische Konstante geringer als
11.000 und der Temperaturkoeffizient der Kapazität wird
groß. Wenn r 0,02 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 21,
übersteigt der dielektrische Verlust 2,0% und der
Isolationswiderstand wird geringer.
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Wenn die Summe der molaren Bruchteile von R1 und R2, d.h.
q+r, 0,03 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 22, wird die
Zusammensetzung reduziert und halbleitend, wenn sie in einer
reduzierenden Atmosphäre gebrannt wird, wodurch der
Isolationswiderstand beträchtlich gesenkt wird.
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Wenn der molare Bruchteil von Zr, x, 0 ist, wie bei der
Probe Nr. 4, wird die dielektrische Konstante geringer als
11.000 und der Temperaturkoeffizient der Kapazität wird
groß. Wenn x 0,24 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 23,
werden die Sintereigenschaften gesenkt und die dielektrische
Konstante wird kleiner als 11.000.
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Wenn der molare Bruchteil von Hf, y, 0 ist, wie bei der
Probe Nr. 5, wird die dielektrische Konstante geringer als
11.000. Wenn y 0,16 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 24,
erfüllt der Temperaturkoeffizient der Kapazität nicht die
Anforderungen der F-Charakteristika, die durch JIS definiert
sind.
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Wenn das molare Verhältnis {(Ba1-o-p-q-rSroCapR1qR2r)
o1+q/2+r/2} zu (Ti1-x-yZrxHfy)O&sub2;, d.h. m, geringer als 1,00
ist, wie bei der Probe Nr. 7, wird der Isolationswiderstand
gesenkt, da die Zusammensetzung reduziert und halbleitend
wird, wenn sie in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt
wird. Andererseits werden, wenn m 1,03 übersteigt, wie bei
der Probe Nr. 26, die Sintereigenschaften beträchtlich
gesenkt. Folglich wurde das molare Verhältnis der
Barium-Stellen zu den Titan-Stellen auf einen Wert in einen Bereich von
1,000 bis 1,03 begrenzt.
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Wenn die zugesetzte Menge des Additivs MnO, Fe&sub2;O&sub3;, Cr&sub2;O&sub3;,
CoO und NiO geringer als 0,02 mol pro 100 mol der
Hauptkomponente ist, wie bei der Probe Nr.6, wird ferner der
Isolationswiderstand bei 85ºC und darüber gering, was eine
Absenkung der Zuverlässiqkeit bei einer Langzeitverwendung
bei hohen Temperaturen zur Folge hat. Wenn die zugesetzte
Menge des obigen Additivs 2,0 mol pro 100 mol der
Hauptkomponente übersteigt, wie bei der Probe Nr. 25, übersteigt der
dielektrische Verlust 2,0% und der Isolationswiderstand wird
gesenkt. Aus diesen Gründen wurde die zugesetzte Menge des
Additivs auf einen Wert in einem Bereich von 0,02 bis 2,0
mol pro 100 mol der Hauptkomponente begrenzt.
BEISPIEL 2
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Unter Verwendung von kalzinierten Pulvern der Proben mit den
Nummern 2, 3, 15 und 17, die in Beispiel 1 vorbereitet
wurden und Partikelgrößen von nicht mehr als 1 µm aufweisen,
wurden monolithische Keramikkondensatoren auf die folgende
Art und Weise vorbereitet.
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Getrennt von dem Obigen wurde unter Verwendung von BaCO&sub3;,
SrCO&sub3;, CaCO&sub3;,TiO&sub2;, ZrO&sub2;, HfO&sub2;, MnO und NiO mit einer
Reinheit von nicht weniger als 99,8% als Rohmaterialien ein
kalziniertes Pulver für eine Vergleichsprobe Nr. 27 auf die
folgende Art und Weise vorbereitet: die Rohmaterialien
wurden gewogen und gemischt, so daß das resultierende Produkt
eine zusammensetzung von 100 mol {(Ba0,92Sr0,06Ca0,02)O}1,01
(Ti0,83Zr0,16Hf0,01)O&sub2; + 0,3 mol MnO + 0,1 mol NiO aufweist.
Das resultierende Gemisch der Rohmaterialien wurde mittels
einer Kugelmühle für 16 Stunden naß gemahlen, durch eine
Verdampfung getrocknet, in Luft bei 1.100ºC für zwei Stunden
kalziniert und dann mittels einer Trockenschleifmaschine
gebrochen und pulverisiert, um ein kalziniertes Pulver mit
einer Partikelgröße von 1 µm oder darunter vorzubereiten.
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Jedes kalzinierte Pulver wurde mit einer Kugelmühle für 16
Stunden zusammen mit einer geeigneten Menge
Polyvinyl-Butyral-Harz, das in Ethylalkohol aufgelöst ist, naß gemahlen,
um einen Keramikschlicker vorzubereiten. Nachfolgend wurde
der Schlicker durch ein Rakelmesserverfahren in eine Schicht
gebildet, getrocknet und dann geschnitten, um
Keramikgrünschichten mit einer Dicke von 18 µm vorzubereiten.
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Eine leitfähige Paste, die Ni enthält, wurde als ein
leitfähiges Material mittels eines Siebdruckens auf eine
Oberfläche jeder Keramikgrünschicht aufgebracht, um eine Schicht
aus einer leitfähigen Paste für innere Elektroden zu bilden.
Nachfolgend wurden 19 Schichten der resultierenden
gedruckten Grünschichten gestapelt, durch eine Thermokompression
zusammen mit zwei nicht-bedruckten Grünschichten, die auf
die gegenüberliegenden Oberflächen des Stapels gegeben
wurden, verbunden und nachfolgend in Stücke geschnitten, um
Grünchips für monolithische Keramikkondensatoren zu bilden.
Die Grünchips wurden in einem elektrischen Ofen in einer
Stickstoffatmosphäre bei 350ºC gebrannt, um das Bindemittel
zu verbrennen und nachfolgend bei einer Temperatur, die in
Tabelle 3 gezeigt ist, für zwei Stunden in einer
reduzierenden Atmosphäre, die aus einem gemischten Gas aus N&sub2;, H&sub2; und
Luft bestand, mit einem partiellen Sauerstoffdruck von 2 x
10&supmin;¹&sup0; bis 3 x 10&supmin;¹² atm, gebrannt, um monolithische
Keramikkondensatorchips vorzubereiten.
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Die resultierenden Kondensatorchips wurden durch ein
Abtastelektronenmikroskop mit einer Vergrößerung von 1.500
beobachtet, um die Kristallkorngröße zu bestimmen.
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Die Kondensatorchips wurden auf ihren gegenüberliegenden
Seiten durch das Aufbringen einer Silberpaste und das
nachfolgende
Backen derselben bei 600ºC für 30 Minuten in einer
Stickstoffatmosphäre mit externen Elektroden, die mit den
inneren Elektroden verbunden sind, versehen, um einen
monolithischen Keramikkondensator zu erzeugen.
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Die somit vorbereiteten monolithischen Keramikkondensatoren
weisen die folgenden Abmessungen und Bestandteile auf:
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Breite: 1,6 mm
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Länge: 3,2 mm
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Dicke: 1,2 mm
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Dicke jeder dielektrischen Schicht: 15 µm
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Anzahl wirksamer dielektrischer Schichten: 19 Schichten
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Oberfläche der inneren Elektrode: 2,1 mm²
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Die dielektrische Konstante (ε) und der dielektrische
Verlust (tan δ) wurden bei 1 KHz, 1 Vrms bei 25ºC gemessen. Der
Isolationswiderstand (R) wurde nach dem Anlegen einer
Gleichspannung von 16 V an die Probe für zwei Minuten bei
25ºC und 85ºC gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 3
gezeigt, in der der Isolationswiderstand als das Produkt des
Isolationswiderstands und der Kapazität (CR) angegeben ist.
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Der Temperaturkoeffizient (TC) der Kapazität wurde auf der
Basis der Kapazität bei 20ºC zusammen mit dem größten
absoluten Wert von TC in dem Bereich von -25ºC bis 85ºC über dem
Temperaturbereich von -25ºC bis 85ºC bestimmt. Der
Temperaturkoeffizient (TC) der Kapazität war durch die Gleichung TC
= ΔC/C&sub2;&sub0; gegeben, wobei ΔC die Differenz zwischen der
Kapazität bei der gemessenen Temperatur und der bei 20ºC ist,
und C&sub2;&sub0; eine Kapazität bei 20ºC ist.
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Ein Hochtemperatur-Belastungslebensdauertest wurde durch das
Anlegen einer Gleichspannung von 150 V bei 150ºC an die
Probe durchgeführt. Ein Ausfall der Probe, d.h. eines
Kondensators, wurde angenommen, wenn der Isolationswiderstand unter
10&sup6; Ω fiel. Die Hochtemperatur-Belastungslebensdauer ist als
ein Mittelwert der Daten für 36 Chips angegeben.
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Die Kapazität jeder Probe wurde vor und nach einem
Hochtemperatur-Belastungstest gemessen, der durch das Anlegen einer
Gleichspannung von 32 V für 1.000 Stunden bei 85ºC an die
Probe durchgeführt wurde. Aus den Daten wurde eine
Änderungsrate der Kapazität durch die Gleichung (ΔC'/C&sub0;) x 100
bestimmt, mit ΔC' = C&sub1;&sub0;&sub0;&sub0;-C&sub0;, C&sub1;&sub0;&sub0;&sub0; eine Kapazität ist, die
nach dem Test gemessen wurde, und C&sub0; eine Kapazität ist, die
vor dem Test gemessen wurde.
Tabelle 3
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Wie aus den Ergebnissen, die in Tabelle 3 gezeigt sind, zu
sehen ist, weisen die monolithischen Keramikkondensatoren,
die die nicht-reduzierbare dielektrische
Keramikzusammensetzung der vorliegenden Erfindung aufweisen, eine hohe
dielektrische Konstante und einen geringen dielektrischen Verlust
(tanδ) auf, und besitzen gute Temperaturcharakteristika, da
der Temperaturkoeffizient der Kapazität (ΔC/C&sub2;&sub0;) die
Anforderungen der F-Charakteristika, die durch JIS definiert
sind, in dem Temperaturbereich von -25ºC bis +85ºC erfüllen.
Außerdem weist die Zusammensetzung der vorliegenden
Erfindung einen hohen Isolationswiderstand auf, da das Produkt
von C und R bei 25ºC größer als 10000 MΩ µF ist und bei 85ºC
größer als 5.000 MΩ µF ist. Ferner weist die Zusammensetzung
eine lange Hochtemperaturlebensdauer von mehr als 100
Stunden auf, wobei die Änderungsrate der Kapazität unter dem
Hochtemperaturbelastungstest geringer als 10% ist.
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Im Gegensatz dazu weist die Probe Nr. 2, die kein Element R1
enthält, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus La, Ce,
Nd besteht, eine kurze Hochtemperaturlebensdauer auf. Die
Probe Nr. 3, die kein Element R2 enthält, das aus der Gruppe
ausgewählt ist, die aus Dy, Ho, Er, Yb und Y besteht, weist
eine geringe dielektrische Konstante aber einen großen
dielektrischen Verlust auf. Außerdem wird die Änderungsrate
der Kapazität groß, wenn der Kondensator für 1.000 Stunden
dem Hochtemperaturbelastungstest unterworfen ist.
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Die Probe, die kein Element von R1 und R2 enthält, weist
eine kurze Hochtemperaturlebensdauer, aber eine große
Änderungsrate der Kapazität auf. Folglich ist zu sehen, daß das
zusätzliche Hinzufügen von R1 und R2 dazu beiträgt, sowohl
die Hochtemperaturlebensdauer als auch die Änderungsrate der
Kapazität aufgrund der Alterung während des
Belastungslebensdauertests zu verbessern.
BEISPIEL 3
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Unter Verwendung von BaCO3, SrCO&sub3;, CaCO&sub3;, CeO&sub2;, La&sub2;O&sub3;,
Nd&sub2;O&sub3;, Pr&sub6;O&sub1;&sub1;, Sm&sub2;O&sub3;, Dy&sub2;O&sub3;, Ho&sub2;O&sub3; Er&sub2;O&sub3;, Yb&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;,
TiO&sub2;, ZrO&sub2;, HfO&sub2;, MgO, MnO, Fe&sub2;O&sub3;, Cr&sub2;O&sub3;, CoO und NiO mit
einer Reinheit von nicht weniger als 99,8% als
Rohmaterialien wurden Proben dielektrischer Keramikzusammensetzungen
auf die folgende Art und Weise vorbereitet:
-
die Rohmaterialien BaCO3, SrCO&sub3;, CaCO&sub3;, CeO&sub2;, La&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;,
Pr&sub6;O&sub1;&sub1;, Sm&sub2;O&sub3;, Dy&sub2;O&sub3;, Ho&sub2;O&sub3;, Er&sub2;O&sub3;, Yb&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, TiO&sub2;, ZrO&sub2;
und HfO&sub2; wurden gewogen und gemischt, um ein Gemisch für
eine elementare Zusammensetzung für eine Hauptkomponente der
Gleichung (III) vorzubereiten:
-
{(Ba1-o-p-q-rSroCapR1qR2r)O1+q/2+r/2}m(Ti1-x-yZrxHfy)O&sub2;
-
mit einer Einstellung von o, p, g, r, m, x und y, die in
Tabelle 4 gezeigt ist.
-
Das resultierende Gemisch von Rohmaterialien wurde mit einer
Kugelmühle für 16 Stunden naß gemahlen, durch Verdampfung
getrocknet, bei 1.000ºC für zwei Stunden in Luft kalziniert
und dann mittels einer Trockenschleifmaschine pulverisiert,
um ein kalziniertes Pulver mit einer Partikelgröße von 1 µm
oder darunter vorzubereiten.
-
Den 100 mol des kalzinierten Pulvers wurden die übrigen
Rohmaterialien MgO, MnO, Fe&sub2;O&sub3;, Cr&sub2;O&sub3;, CoO und NiO zugesetzt.
Die zugesetzten Mengen der Additive sind in Tabelle 5
gezeigt. Danach wurde das resultierende Gemisch, dem
geeigneten Mengen von reinem Wasser und einem organischen
Bindemittel aus Polyvinyl-Acetat zugesetzt wurden, für 16 Stunden
mit einer Kugelmühle naß gemahlen und dann granuliert, um
ein Formungspulver vorzubereiten. Das Pulver wurde dann
unter einem Druck von 2000 Kg/cm² geformt, um Grünpreßlinge
eines Durchmessers von 10 mm und einer Dicke von 0,5 mm
vorzubereiten. Die Grünpreßlinge wurden in Luft auf 500ºC
erwärmt, um das organische Bindemittel durch Verbrennung zu
beseitigen, und danach bei einer Temperatur, die in Tabelle
6 gezeigt ist, für zwei Stunden in einer reduzierenden
Atmosphäre,
die aus H&sub2;, N&sub2; und Luft besteht, mit einem
partiellen Sauerstoffdruck von 2 x 10&supmin;¹&sup0; bis 3 x 10&supmin;¹² atm
gebrannt, um Keramikscheiben vorzubereiten.
-
Die resultierenden Keramikscheiben wurden durch ein
Abtastelektronenmikroskop mit einer Vergrößerung von 1.500
beobachtet, um die Kristallkorngröße zu bestimmen.
-
Jede Keramikscheibe wurde auf ihren gegenüberliegenden
Seiten durch das Aufbringen einer Silberpaste und das
nachfolgende Backen derselben bei 600ºC für 30 Minuten in einer
Stickstoffatmosphäre mit Silberelektroden versehen, um einen
Kondensator vorzubereiten, der als eine Probe für Messungen
der elektrischen Eigenschaften verwendet werden soll.
-
Für jede Probe wurden Messungen bezüglich der dielektrischen
Konstante (ε), des dielektrischen Verlustes (tanδ), eines
Temperaturkoeffizienten (TC) der Kapazität (C) und des
Isolationswiderstands durchgeführt. Die dielektrische Konstante
und der dielektrische Verlust wurde bei 1 KHz, 1 Vrms bei
25ºC gemessen. Der Temperaturkoeffizient (TC) der Kapazität
wurde über dem Temperaturbereich von -25ºC bis 85ºC auf der
Basis der Kapazität bei 20ºC zusammen mit dem größten
Absolutwert von TC in dem Bereich von -25ºC bis 85ºC bestimmt.
Der Temperaturkoeffizient (TC) der Kapazität war durch die
Gleichung TC = ΔC/C&sub2;&sub0; gegeben, wobei ΔC die Differenz
zwischen der Kapazität bei der gemessenen Temperatur und der
bei 20ºC ist, und C&sub2;&sub0; eine Kapazität bei 20ºC ist.
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Der Isolationswiderstand wurde nach dem Anlegen einer
Gleichspannung von 500 V für zwei Minuten an die Probe bei
25ºC und 85ºC gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 6
gezeigt, in der der Isolationswiderstand als ein
logarithmischer Wert des Volumenwiderstands (log δ) gegeben ist.
Tabelle 4
Tabelle 4 (Fortsetzung)
Tabelle 5
Tabelle 6
Tabelle 6 (Fortsetzung)
-
Wie aus den obigen Ergebnissen zu sehen ist, wird die
dielektrische Konstante geringer als 9.000, der dielektrische
Verlust übersteigt 1,5% und der Temperaturkoeffizient der
Kapazität wird groß, wenn der molare Bruchteil von Sr, o, 0
ist, wie bei der Probe Nr. 28. Wenn o 0,32 übersteigt, wie
bei der Probe Nr. 45, wird die dielektrische Konstante
kleiner als 9.000 und der Temperaturkoeffizient der Kapazität
wird groß und erfüllt nicht die Anforderungen der
F-Charakteristika, die durch JIS definiert sind.
-
Wenn der molare Bruchteil von Ca, p, 0,20 übersteigt, wie
bei der Probe Nr. 46, werden die Sintereigenschaften
schlechter und die dielektrische Konstante wird gesenkt.
-
Wenn der molare Bruchteil von R1, q, 0 ist, wie bei der
Probe Nr. 29, übersteigt die Kristallkorngröße 3 µm, wodurch es
folglich unmöglich wird, die dielektrischen Schichten bei
der Herstellung monolithischer Keramikkondensatoren zu
dünnen. Wenn q 0,02 übersteigt, wie bei der Probe Nr.47,
übersteigt der dielektrische Verlust 1,5% und der
Isolationswiderstand bei 25ºC oder 85ºC wird gesenkt.
-
Wenn der molare Bruchteil von R2, r, gleich 0 ist, wie bei
der Probe Nr. 30, wird die dielektrische Konstante kleiner
als 9.000 und der Temperaturkoeffizient der Kapazität wird
groß. Wenn r 0,03 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 48,
übersteigt der dielektrische Verlust 1,5% und der
Isolationswiderstand wird gesenkt.
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Wenn die Summe der molaren Bruchteile von R1 und R2, d.h.
q+r, 0,04 übersteigt, wie bei Probe Nr. 49, wird die
Zusammensetzung reduziert und halbleitend, wenn sie in einer
reduzierenden Atmosphäre gebrannt wird, wodurch der
Isolationswiderstand beträchtlich gesenkt wird.
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Wenn der molare Bruchteil von Zr, x, 0 ist, wie bei der
Probe Nr. 31, wird die dielektrische Konstante kleiner als
9.000 und der Temperaturkoeffizient der Kapazität wird groß.
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Wenn x 0,24 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 50, werden die
Sintereigenschaften gesenkt und die dielektrische Konstante
wird kleiner als 9.000.
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Wenn der molare Bruchteil von Hf, y, 0 ist, wie bei der
Probe Nr. 32, wird die dielektrische Konstante kleiner als
9.000. Wenn y 0,16 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 51,
erfüllt der Temperaturkoeffizient der Kapazität die
Anforderungen der F-Charakteristika, die durch JIS definiert sind,
nicht.
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Wenn der Gehalt von MgO 0 ist, wie bei der Probe Nr. 33, ist
der dielektrische Verlust durch den Zusatz von R1 und R2,
der 0,03 übersteigt, auf mehr als 1,5 erhöht, wobei der
Isolationswiderstand gesenkt wird. Wenn der molare Bruchteil
von MgO 0,05 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 52, werden
die Sintereigenschaften gesenkt und die dielektrische
Konstante wird kleiner als 9.000.
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Wenn das molare Verhältnis von {(Ba1-o-p-rSroCapR1qR2r)
O1+q/2+r/2} zu (Ti1-x-yZrxHfy)O&sub2;, d.h. m, kleiner als 1,00
ist, wie bei der Probe Nr. 35, wird der Isolationswiderstand
gesenkt, da die Zusammensetzung reduziert und halbleitend
wird, wenn sie in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt
wird. Wenn m 1,03 übersteigt, wie bei der Probe Nr. 54,
werden die Sintereigenschaften beträchtlich gesenkt. Folglich
wurde das molare Verhältnis der Barium-Stellen zu den
Titan-Stellen auf einen Wert in einen Bereich von 1,000 bis
1,03 begrenzt.
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Die Gründe dafür, warum die zugesetzte Menge der Additive
MnO, Fe&sub2;O&sub3;, Cr&sub2;O&sub3;, CoO und NiO auf den obigen Bereich
begrenzt wurde, sind wie folgt: wenn die zugesetzte Menge des
Additivs kleiner als 0,02 mol pro 100 mol der
Hauptkomponente ist, wie bei der Probe Nr. 34, wird der
Isolationswiderstand bei 85ºC und darüber gering, was ein Absenken der
Zuverlässigkeit bei einer langen Verwendung bei hohen
Temperaturen zur Folge hat. Wenn die zugesetzte Menge des
Additivs
2,0 mol pro 100 mol der Hauptkomponente übersteigt, wie
bei der Probe Nr. 53, übersteigt der dielektrische Verlust
1,5% und der Isolationswiderstand wird gesenkt.
BEISPIEL 4
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Unter Verwendung der kalzinierten Pulver der Proben mit den
Nummern 29, 30, 36 und 44, die im Beispiel 3 vorbereitet
wurden und Partikelgrößen von nicht mehr als 1 µm aufweisen,
wurden monolithische Keramikkondensatoren auf die gleiche
Art und Weise wie beim Beispiel 2 vorbereitet.
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Getrennt von dem Obigen wurde unter Verwendung von BaCO&sub3;,
SrCO&sub3;, CaCO&sub3;, TiO&sub2;, ZrO&sub2;, HfO&sub2;, MgO, MnO und NiO mit einer
Reinheit von nicht weniger als 99,8% als Rohmaterialien ein
kalziniertes Pulver für eine Vergleichsprobe Nr. 55 auf die
folgende Art und Weise vorbereitet: die Rohmaterialien
wurden gewogen und gemischt, derart, daß das resultierende
Produkt eine zusammensetzung von 99,5 mol {(Ba0,93Sr0,05Ca0,02)
O}1,01(Ti0,83Zr0,16Hf0,01)O&sub2; + 0,5 mol MgO + 0,3 mol MnO +
0,1 mol NiO aufweist. Das resultierende Gemisch der
Rohmaterialien wurde mit einer Kugelmühle für 16 Stunden naß
gemahlen, durch Verdampfung getrocknet, bei 1.100ºC für zwei
Stunden in Luft kalziniert und nachfolgend mittels einer
Trockenschleifmaschine gebrochen und pulverisiert, um ein
kalziniertes Pulver mit einer Partikelgröße von 1 µm oder
darunter vorzubereiten.
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Unter Verwendung der kalzinierten Pulver wurden Proben (Nr.
55) von monolithischen Keramikkondensatoren auf die gleiche
Art und Weise wie beim Beispiel 2 vorbereitet.
-
Die monolithischen Keramikkondensatoren wiesen die folgenden
Abmessungen und Bestandteile auf:
-
Breite: 1,6 mm
-
Länge: 3,2 mm
-
Dicke: 1,2 mm
-
Dicke jeder dielektrischen Schicht: 15 µm
-
Anzahl der wirksamen dielektrischen Schichten: 19
Schichten
-
Oberfläche der inneren Elektrode: 2,1 mm²
-
Für jede Probe wurden die elektrischen Eigenschaften auf die
gleiche Art und Weise wie beim Beispiel 2 gemessen. Die
Ergebnisse sind in Tabelle 7 gezeigt.
Tabelle 7
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Wie aus den Ergebnissen, die in Tabelle 7 gezeigt sind, zu
sehen ist, weisen die monolithischen Keramikkondensatoren,
die die nicht-reduzierbare dielektrische
Keramikzusammensetzung der vorliegenden Erfindung aufweisen, eine hohe
dielektrische Konstante und einen geringen dielektrischen
Verlust (tan δ) auf, und besitzen gute
Temperaturcharaktenstika, da der Temperaturkoeffizient der Kapazität (ΔC/C&sub2;&sub0;)
die Anforderungen der F-Charakteristika, die durch JIS
definiert sind, in dem Temperaturbereich von -25ºC bis +85ºC
erfüllen. Außerdem weist die Zusammensetzung der
vorliegenden Erfindung einen hohen Isolationswiderstand auf, da das
Produkt von C und R bei 25ºC größer als 10000 MΩ µF ist
und bei 85ºC größer als 5.000 MΩ µF ist. Ferner weist die
Zusammensetzung eine lange Hochtemperaturlebensdauer von
mehr als 100 Stunden auf, wobei die Änderungsrate der
Kapazität unter dem Hochtemperaturbelastungstest geringer als
10% ist.
-
Im Gegensatz dazu besitzt die Probe Nr. 29, die kein Element
R1 aufweist, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus La,
Ce, Nd besteht, eine kurze Hochtemperaturlebensdauer auf.
Die Probe Nr. 30, die kein Element R2, das aus der Gruppe
ausgewählt ist, die aus Dy, Ho, Er, Yb und Y besteht,
aufweist, weist eine geringe dielektrische Konstante aber einen
großen dielektrischen Verlust auf. Überdies wird die
Änderungsrate der Kapazität groß, wenn der Kondensator für 1.000
Stunden einem Hochtemperaturbelastungstest unterworfen wird.
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Die Probe Nr. 55, die R1 und R2 nicht enthält, weist eine
kurze Hochtemperaturlebensdauer, aber eine große
Änderungsrate der Kapazität auf. Folglich ist zu sehen, daß das
zusätzliche Hinzufügen von R1 und R2 dazu beiträgt, sowohl die
Hochtemperaturlebensdauer als auch die
Alterungscharakteristika zu verbessern.
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Obwohl bei allen oben beschriebenen Beispielen die
verwendeten Anfangsmaterialien Pulver von Oxiden oder Karbonaten
sind, beispielsweise BaCO&sub3;, SrCO&sub3;, TiO&sub2;, ZrO&sub2; und HfO&sub2;,
können
dieselben Pulver sein, die durch das Alkoxid-Verfahren,
das Ko-Ablagerungs-Verfahren oder der Hydrothermalsynthese
vorbereitet sind. Die Verwendung derartiger Pulver weist ein
großes Potential für eine weitere Verbesserung der
elektrischen Charakteristika verglichen mit denjenigen, die in den
obigen Beispielen verwendet sind, auf.
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Obwohl die vorliegende Erfindung speziell beschrieben wurde,
sollte bemerkt werden, daß diese nur beispielsweise
durchgeführt wurde und nicht als eine Begrenzung verwendet werden
soll, wobei der Bereich der vorliegenden Erfindung nur durch
die beiliegenden Ansprüche begrenzt ist.