DE60307588T2

DE60307588T2 - Drahtsägevorrichtung

Info

Publication number: DE60307588T2
Application number: DE2003607588
Authority: DE
Inventors: Andreas Muller; Alexander Bortnikov
Original assignee: HCT Shaping Systems SA
Current assignee: Applied Materials Switzerland SARL
Priority date: 2003-01-13
Filing date: 2003-12-22
Publication date: 2007-08-16
Anticipated expiration: 2023-12-23
Also published as: CH696807A5; US20040159316A1; ATE336349T1; JP2004216549A; ES2269905T3; EP1437209B1; JP4510473B2; DE60307588D1; EP1437209A1; US7114424B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Drahtsägevorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Eine solche Vorrichtung wird vom Dokument JP 09-272 122 A beschrieben.
Drahtsägevorrichtungen des vorgenannten Typs mit einer Bewegung der Drähte der Drahtschicht oder des zu sägenden Werkstücks sind bereits bekannt, um insbesondere in der Industrie der elektronischen Bauteile von Ferriten, Quarzen und Siliciumdioxid Materialien wie poly- oder einkristallines Silicium oder neue Materialien wie GaAs, InP, GGG oder auch Quarz, künstlichen Saphir und keramische Materialien in feinen Scheiben zu gewinnen. Der hohe Preis dieser Materialien macht das Drahtsägen im Vergleich zu anderen Verfahren wie dem Sägen mit Diamantscheibe attraktiver.
In bekannten Vorrichtungen besteht der Sägebereich aus einem Satz von mindestens zwei parallel angeordneten Zylindern. In diese als Drahtführungen bezeichneten Zylinder sind Rillen eingraviert, die den Abstand zwischen den Drähten der Drahtschicht und damit die Dicke der zu sägenden Scheiben definieren. Das zu sägende Werkstück wird auf einem Auflagetisch befestigt, der sich senkrecht zur Drahtschicht bewegt. Die Bewegungsgeschwindigkeit definiert die Schneidgeschwindigkeit. Die Erneuerung des Drahtes sowie die Steuerung seiner Spannung erfolgen in einem Bereich, der als Drahthandhabungsbereich bezeichnet wird und sich außerhalb des eigentlichen Sägebereichs befindet. Das Mittel, das den Schnitt bestimmt, ist entweder ein auf dem Draht fixiertes Schleifmittel oder ein als Schlicker herangebrachtes freies Schleifmittel. Der Draht wirkt nur als Transporteinrichtung. Während das zu sägende Werkstück in feine Scheiben zerschnitten wird, wird der gespannte Draht von den Drahtführungszylindern zugleich geführt und gezogen.
In zahlreichen Anwendungen sind die gesägten Scheiben oder Wafer relativ zum Durchmesser des zu sägenden Werkstücks sehr dünn. Die gesägten Scheiben weisen daher eine beachtliche Biegsamkeit auf und können sich verbiegen und krümmen, um mit den benachbarten Scheiben in Berührung zu kommen. Diese Verbiegungen sind der Genauigkeit und Planheit des Schnitts abträglich und können unerwünschte Welligkeit, Streifen und Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche der gesägten Scheiben hervorrufen. Diese Unregelmäßigkeiten genügen, selbst wenn sie nur einige Mikrometer betragen, um die Scheiben für bestimmte Anwendungen wie die des Siliciums in der Industrie der Solarzellen und Halbleiter unbrauchbar zu machen. Die Verformungen der Scheiben können vor allem nahe der Befestigung der Scheiben auf ihrem Träger sogar Brüche bzw. Mikrobrüche hervorrufen.
Außerdem können die Veränderungen in der Lage der Scheiben und in der Breite der Sägespalte die Zufuhr und Verteilung des freien Schleifmittels in den Sägespalten beeinflussen, was wiederum Veränderungen in der Dicke der Scheiben, der Sägegeschwindigkeit und der Abnutzung des Drahtes und damit eine zusätzliche Vergrößerung der Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche der gewonnenen Scheiben sowie auch eine erhöhte Gefahr von Drahtbrüchen mit sich bringt.
Bei Drahtbruch ist es sehr schwierig oder sogar unmöglich, den Draht zu reparieren und erneut zwischen die Scheiben einzuführen, die sich berühren oder deren Sägespalt sehr eng geworden ist. Bei Drahtbruch muss dann das zu sägende Werkstück weggeworfen und das Sägen mit einem neuen Werkstück begonnen werden, was beträchtliche Verluste an den oft sehr kostspieligen Materialien und an Sägezeit bedingt.
Im Dokument JP 09-272 122 A und seiner englischen Zusammenfassung wird eine Sägevorrichtung des vorgenannten. Typs beschrieben, die eine Andruckplatte umfasst, die auf eine Auflageplatte montiert ist, die dank eines Betätigungsmechanismus mit Winden senkrecht verschoben werden kann. Ein zu sägendes Werkstück wird durch eine Drahtschicht zuerst angeschnitten und dann mit der Andruckplatte in Berührung gebracht, die während des Sägens gegen das zu sägende Werkstück gedrückt wird, um das Auftreten von Rissen in den gesägten Scheiben zu verhindern.
Die vorliegende Erfindung hat das Ziel, eine Sägevorrichtung zu erhalten, die es ermöglicht, die Qualität und den Verlauf des Sägens weiter zu verbessern, und dafür umfasst die erfindungsgemäße Sägevorrichtung die im unabhängigen Anspruch aufgeführten Merkmale.
Dank dieser Merkmale ist es möglich, Scheiben von hoher Planheit ohne unerwünschte Welligkeit, Streifen und Unregelmäßigkeiten zu gewinnen. Die Mikrobrüche und Brüche werden völlig vermieden.
Da die Sägespalte bei konstanter Breite gehalten werden, erhält man eine regelmäßige Zufuhr und Verteilung des freien Schleifmittels und daher ein regelmäßiges Sägen ohne Welligkeit und bei konstanter Geschwindigkeit von einem Sägespalt zum anderen, wie folgt.
Der Draht wird außerdem in regelmäßiger Weise abgenutzt, so dass Risse weniger auftreten. Sollte ein Riss auftreten, kann die erfindungsgemäße Vorrichtung auch zu einer leichten Reparatur des Drahtes und einem Wiedereinsetzen des Drahtes in die Sägespalte beitragen, also dazu, dass ein Wegwerfen des zu sägenden Werkstücks nach einem Drahtbruch vermieden werden kann.
Dank der beanspruchten Merkmale ermöglicht die Haltevorrichtung ein besonders wirksames und zuverlässiges Funktionieren sowie einen einfachen und wenig kostspieligen Aufbau.
Einer weiteren Ausführungsform zufolge umfassen die Halteorgane eine dicke Flüssigkeit bzw. ein Gel mit einer höheren Dichte als die verwendete Verarbeitungsflüssigkeit, wobei die dicke Flüssigkeit bzw. das Gel in einem Gefäß enthalten ist, das in der aktiven Position so gehalten wird, dass der benannte Abschnitt der Scheiben zumindest teilweise in die dicke Flüssigkeit bzw. das Gel eintaucht, damit die Scheiben immobilisiert werden.
Diese Merkmale der Haltevorrichtung ermöglichen es, eine originelle und wenig kostspielige Lösung dafür zu erhalten, die vorgenannten Nachteile von Welligkeit und Unregelmäßigkeiten der Oberfläche abzustellen.
In einer Variante kann die Haltevorrichtung als Halteorgane auch Trennelemente umfassen, die dafür bestimmt sind, zumindest teilweise in die Sägespalte zwischen den Scheiben eingeführt zu werden, um letztere zu halten, wobei diese Trennelemente auf zumindest einen Halter montiert sind.
Dank dieser Merkmale kann der Abstand zwischen den Scheiben selbst dann sehr genau konstant gehalten werden, wenn äußere Kräfte auf die im Sägen begriffenen Scheiben einwirken.
Günstigerweise bestehen die Trennelemente aus Drähten, Bändern, dünnen Platten oder Wänden einer Dicke, die angemessen ist, damit sie in die Sägespalte eingeführt werden können.
Haltung und Trennung der gesägten Scheiben werden somit auf einfache und wirksame Weise realisiert.
Einer vorteilhaften Ausführungsform zufolge ist der zumindest eine Träger in zumindest einem auf den Rahmen montierten Gefäß angeordnet.
Diese Merkmale ermöglichen eine erleichterte Integration der gesägten Scheiben in eine Produktionskette.
Weitere Vorteile gehen aus den in den abhängigen Ansprüchen ausgedrückten Merkmalen und aus der Beschreibung hervor, die hiernach die Erfindung eingehender mit Hilfe von Zeichnungen darlegt, die schematisch und beispielhaft mehrere Ausführungsformen und Varianten darstellen.
1 ist eine Vorderansicht einer ersten Ausführungsform der Erfindung.
2 ist eine vergrößerte teilweise Vorderansicht dieser ersten Ausführungsform.
3 ist eine Seitenansicht der Haltevorrichtung von 2.
4 ist eine teilweise Vorderansicht einer zweiten Ausführungsform.
5 und 6 stellen eine dritte Ausführungsform in teilweiser Vorderansicht bzw. in teilweiser Perspektive dar.
7 ist eine teilweise Vorderansicht einer Variante, die die erste und dritte Ausführungsform kombiniert.
8 und 9 veranschaulichen eine vierte Ausführungsform in der Perspektive und in einer teilweisen Vorderansicht.
10 bis 13 stellen eine fünfte Ausführungsform in der Perspektive, in einer Seitenansicht sowie in einer Vorderansicht zu Beginn und am Ende des Sägens dar.
14 zeigt eine Variante der vorangehenden Ausführungsform.
Auf 1 bis 3 Bezug nehmend, umfasst die Sägevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform einen Rahmen 10 sowie Drahtführungszylinder 11, 12, hier zwei an der Zahl, die mit ihren Achsen parallel angeordnet auf diesen Rahmen montiert sind, wobei es sich versteht, dass die Vorrichtung mehr als zwei Drahtführungszylinder haben könnte.
Der Draht 14 wird von einer nicht veranschaulichten Lieferspule abgewickelt und dann nach jeder möglichen Art des Aufwickelns um die Drahtführungszylinder gewickelt, um zumindest eine Schicht 15 von parallelen Drähten in einem Sägebereich zu bilden. Der Draht wird dann in einer nicht veranschaulichten Vorrichtung wie einer Aufnahmespule oder einem Sammelbehälter zurückgewonnen.
Ein, zwei oder mehr zu sägende Werkstücke 17 wie Barren aus einem harten Material sind über einen zeitweiligen Träger 19 auf einen Auflagetisch 18 montiert.
Dieser Auflagetisch 18 kann dank einer Säule 21 und einem Motor 20 in der Richtung Z senkrecht verschoben werden, um die zu sägenden Werkstücke 17 gegen die Drahtschicht 15 zu drücken.
In die Außenseite der Drahtführungszylinder 11, 12 sind Rillen eingraviert, die den Abstand zwischen benachbarten Drähten der Drahtschicht 15 und daher die Dicke der gesägten Scheiben definieren. Letztere sind durch Sägespalte bzw. -zwischenräume voneinander getrennt.
Der Draht 14 wird von den Drahtführungszylindern gespannt und zugleich geführt und gezogen, um sich einer Hin- und Her- oder kontinuierlichen Bewegung folgend zu verschieben. Dieser Draht besteht günstigerweise aus Federstahl mit einem Durchmesser zwischen 0,1 und 0,2 mm, um Blöcke aus harten Materialien oder besonderer Zusammensetzung wie Silicium, Keramik, Verbindungen der Elemente der Gruppen III und V bzw. II und VI, GGG (Gadolinium-Gallium-Granat), Saphir usw. zu Scheiben einer Dicke von etwa 0,1 bis 5 mm zu zersägen. Das Schleifmittel ist ein handelsübliches Produkt und kann Diamant, Siliciumcarbid, Aluminiumoxid usw. in einer auf dem Draht fixierten oder frei in einer Flüssigkeit suspendierten Form sein, wobei die Flüssigkeit als Transportmittel für die Schleifmittelteilchen dient.
In Übereinstimmung mit der Erfindung ist die Sägevorrichtung mit einer Haltevorrichtung 22 ausgerüstet, die so ausgelegt ist, dass sie während des Sägens die teilweise oder ganz gesägten Scheiben 23 im Wesentlichen parallel zueinander und in der Weise hält, dass die Breite der Sägezwischenräume 24 während des Sägens der Scheiben im Wesentlichen konstant gehalten wird.
Dafür umfasst die Haltevorrichtung 22 Halteorgane 25, die mit zumindest einem Abschnitt 26 der im Sägen begriffenen Scheiben zusammenwirken können. Dieser Abschnitt 26 liegt hier dem Abschnitt 27 des zu sägenden Werkstücks 17 gegenüber, mit dem letzteres am Auflagetisch 18 befestigt ist.
Diese Halteorgane 25 umfassen in der Ausführungsform der 1 bis 3 pro zu sägender Werkstücke einen Längsstab 30, der sich in einer zu den Drähten der Drahtschicht 15 im Wesentlichen senkrechten Richtung den Werkstücken entlang erstreckt. Die Stäbe 30 sind mit Elastomerbeschichtungen 31 versehen, die dafür bestimmt sind, gegen die Scheiben der zu sägenden Werkstücke gedrückt zu werden.
Jeder Stab 30 ist um eine zu den Drahtführungszylindern 11, 12, parallele Schwenkachse 32 schwenkbar auf Querträger 33 montiert. So können sich die Beschichtungen 31 optimal an das zu sägende Werkstück 17 anpassen. Die Querträger 33 sind gleitend auf Stangen 34 montiert, die als Führungselemente dienen, die fest mit dem Auflagetisch 18 verbunden sind. Elastische Mittel in Gestalt von Spiralfedern 35 drücken die Querträger 33 und die Längsstäbe 30 einerseits in die Richtung der zu sägenden Werkstücke 17 und andererseits in die Richtung von stationären Anschlägen 40, die fest mit dem Rahmen 10 verbunden sind.
Wenn die zu sägenden Werkstücke in einer hochgezogenen Position von der Drahtschicht 15 weggezogen sind, ruhen die Querträger 33 an den stationären Anschlägen, während die Halteorgane 25 in dieser passiven Position von den zu sägenden Werkstücken 17 weggespreizt sind.
Zum Sägen werden diese zu sägenden Werkstücke 17 abgesenkt, um mit der Drahtschicht 15 in Berührung zu treten. Nach dem Sägen einer minimalen Strecke von z.B. einem Zentimeter treten die Elastomerbeschichtungen 31 mit den zu sägenden Werkstücken in Berührung und halten in dieser aktiven Position die gesägten Scheiben dank der Wirkung der Federn 35 unverrückbar, während die stationären Anschläge 40 dann von den Querträgern 33 getrennt sind. Für diese stationären Anschläge 40 vorgesehene Justierschrauben 41 ermöglichen es, genau die Position festzulegen, in der die Halteorgane 25 in Aktion treten.
Das Sägen kann dann bis zum entgegengesetzten Ende des zu sägenden Werkstücks fortgesetzt werden, während die gesägten Scheiben 23 an Ort und Stelle gehalten werden, wodurch Welligkeit, Streifen und andere Unregelmäßigkeiten, die durch Querverschiebungen der Scheiben verursacht werden, vermieden werden können. Die Sägespalte oder -zwischenräume 24 weisen eine konstante Breite auf, was eine regelmäßige Versorgung mit Schleifmittelteilchen und eine konstante Sägegeschwindigkeit ermöglicht.
Die in 4 veranschaulichte Ausführungsform ist der von 1 bis 3 ähnlich, außer dass die Haltevorrichtung 22 andersartig ist. In diesem Falle umfassen die Halteorgane 25 nämlich eine dicke Flüssigkeit bzw. ein Gel 45 von einer höheren Dichte als die verwendete Verarbeitungsflüssigkeit. Diese dicke Flüssigkeit bzw. dieses Gel ist in einem Gefäß 46 enthalten, das auf den gleitend auf die Stangen 34 montierten Querträgern 33 befestigt ist. Zum Beispiel können Silicone einer angemessenen Viskosität verwendet werden.
Die Querträger 33 unterliegen der Wirkung der Spiralfedern 35 und werden in der aktiven Position durch Anschlagringe 47 blockiert, so dass der untere Abschnitt 26 der Scheiben zumindest teilweise in die dicke Flüssigkeit bzw, das Gel eintaucht, das teilweise in die Sägezwischenräume 24 eindringt und die gesägten Scheiben dadurch in einer parallelen Lage hält.
Eine dritte, in 5 und 6 veranschaulichte Ausführungsform umfasst als Halteorgan 25 Trennelemente, die dafür bestimmt sind, zumindest teilweise in die Zwischenräume 24 zwischen den Scheiben 23 einzudringen, um letztere zu halten. In der veranschaulichten Ausgestaltung wird eine Reihe von Drähten 50 auf einem Rahmen 51 gespannt gehalten und parallel zu den Drähten der Drahtschicht 15 angeordnet. In der aktiven Position werden diese Drähte 50 in die Sägezwischenräume 24 zwischen den Scheiben 23 eingeführt, um den Abstand zwischen den Scheiben genau aufrechtzuerhalten. Der Rahmen 51 wirkt in einer passiven Position mit den stationären Anschlägen 40 zusammen, um die Drähte 50 entgegen der Wirkung der Federn 35 von dem zu sägenden Werkstück wegzuspreizen. Wenn der Komplex aus Auflagetisch 18, zu sägenden Werkstücken 17, Stangen 34 und Rahmen 51 zur aktiven Position abgesenkt wird und das Sägen beginnt, stützt sich der Rahmen 51 auf die Anschlagringe 47, die auf den Stäben 34 vorgesehen sind, und verbleibt so bezüglich der zu sägenden Werkstücke 17 in einer festgelegten Position, um so mit dem unteren Abschnitt 26 der zu sägenden Werkstücke zusammenzuwirken. Die Drähte 50 können auch durch dünne Platten, Streifen, Bänder oder Wände einer Dicke ersetzt werden, die dafür geeignet ist, dass sie in die Sägezwischenräume 24 der Scheiben eingeführt werden können, die so an Ort und Stelle gehalten werden, ohne sich gegenseitig zu berühren.
Die in 7 veranschaulichte Variante ist eine Kombination der Haltevorrichtungen 22 nach der ersten und dritten Ausführungsform. Diese Variante umfasst als Halteorgane 25 einerseits zwei Längsstäbe 30 mit Elastomerbeschichtungen 31, die durch Federn 35 gegen die zu sägenden Werkstücke gedrückt werden, und andererseits einen Rahmen 51 mit Drähten 50, die im Inneren der Sägezwischenräume 24 angeordnet sind. Der Rahmen 51 wird durch Zwischenstücke 52 an den Querträgern 33 befestigt, die mit den Federn 35 und den stationären Anschlägen 40 zusammenwirken. Diese Variante ist besonders effektiv, da sie eine doppelte Haltung der gesägten Scheiben durch die äußere Auflage und durch die eingeschobenen Drähte gewährleistet.
Die weiteren Teile dieser Sägevorrichtung sowie ihr Funktionieren bleiben denen der ersten Ausführungsform ähnlich.
Die in 8 und 9 veranschaulichte vierte Ausführungsform umfasst eine Haltevorrichtung 22, die einen U-förmigen Rahmen 60 aufweist. Die Längsabschnitte 61 dieses Rahmens sind dafür bestimmt, über elastische Teile 62 seitlich gegen die gesägten Scheiben 23 des zu sägenden Werkstücks 17 zu drücken. Die Andruck- und Haltekraft kann mit einer pneumatischen Vorrichtung 63 erhalten werden, die einen Eintrittskanal 64 und innere Kanäle 65 aufweist, die es ermöglichen, die elastischen Teile 62 aufzublasen. Die Andruckkraft kann auch durch andere Mittel wie ein mechanisches Einspannen der Längsabschnitte 61 durch einen mechanischen, pneumatischen oder hydraulischen Antrieb erhalten werden.
Bei einem Drahtbruch kann der Rahmen 60 durch einen Griff 66 leicht an Ort und Stelle gebracht und dann durch die Einspannmittel blockiert werden.
Nach Reparatur des Drahtes kann letzterer in die Sägezwischenräume 24 gebracht werden, da deren Breite konstant geblieben ist. Nach Wegnahme der Rahmen 60 kann das Sägen fortgesetzt werden. Ohne die Haltevorrichtung 22 wäre es unmöglich, den Draht erneut in die Sägezwischenräume einzulegen, und das Werkstück müsste dann weggeworfen werden.
Eine fünfte Ausführungsform wird in den 10 bis 13 veranschaulicht. In dieser Ausführungsform ist die Haltevorrichtung 22 auf den Rahmen 10 der Sägevorrichtung montiert und umfasst ein Gefäß 70, dessen Boden und/oder Wände perforiert oder so mit einem Ablauf versehen sein können, dass die Sägeflüssigkeit und das Schleifmittel aus dem Gefäß entsorgt werden können. Dieses Gefäß wird durch Befestigungselemente 71 auf dem Rahmen 10 gehalten und ist mit Trennelementen 72 versehen, die dazu bestimmt sind, in die Sägezwischenräume 24 zwischen den gesägten Scheiben 23 eingeführt zu werden, um den Abstand zwischen den Scheiben genau aufrechtzuerhalten.
In dieser Ausführungsform bestehen die Trennelemente 72 aus einer Reihe von auf einem Rahmen 74 aufgespannten Drähten 73. Die dargestellte Ausführungsform besitzt zwei übereinandergelegte Rahmen 74, aber jede andere Anzahl von Rahmen vor 1 bis 5 könnte in das Gefäß 70 montiert werden.
So kann das Sägen bis zum vorübergehenden Träger 19 (13) ausgeführt werden, während die gesägten Scheiben 23 mit einem regelmäßigen Abstand gehalten werden, was eine hohe Qualität des Produkts ohne Welligkeit, Streifen und Unregelmäßigkeiten gewährleistet. Außerdem sind die gesägten Scheiben bereits voneinander getrennt, was Behandlungen und eine nachfolgende Verpackung erleichtert.
Diese Scheiben könnten zum Beispiel direkt im Gefäß 70 aus der Sägevorrichtung herausgenommen werden.
Einer in 14 veranschaulichten günstigen Variante zufolge könnten zwei Schubfächer 81, 82 gleitend in einem auf dem Rahmen 10 befestigten Gefäß 80 angebracht werden.
Jedes der Schubfächer enthält eine Haltevorrichtung 22 für die Scheiben des einen bzw. des anderen der gesägten Barren 17.
Der Boden und die Seitenwände dieser Schubfächer 81, 82 könnten für den Ablauf der Sägeflüssigkeit perforiert sein. Letztere könnte im Gefäß 80 zurückgehalten und durch einen Auslauf 84 mit einem Schieber 85 entsorgt werden.
Die Haltevorrichtung 22 umfasst ebenfalls Trennelemente 72, die dafür bestimmt sind, in die Sägezwischenräume eingeführt zu werden. Diese Trennelemente können aus waagerechten, schrägen und/oder diagonalen Drähten bestehen, die auf einem, zwei oder mehr Rahmen 86 aufgespannt sind. Die Drähte könnten so zwei sich kreuzende Drahtschichten bilden.
Die Trennelemente könnten auch aus senkrechten Wänden bestehen, die an den Seitenwänden der Schubfächer befestigt sind. Nach dem Sägen könnten die Schubfächer 81, 82 mit den gesägten Scheiben jedes der Barren aus der Sägevorrichtung herausgenommen werden.
Es versteht sich, dass die oben beschriebenen Ausführungsformen keinen einschränkenden Charakter besitzen und in dem durch Anspruch 1 definierten Rahmen alle wünschenswerten Modifikationen zulassen. Insbesondere könnten ein, zwei oder mehrere Auflagetische 18 ein oder mehr als zwei zu sägende Werkstücke 17 halten.
Die Relativbewegung zwischen dem oder den Auflagetischen 18 und der Drahtschicht 15 könnte auch durch eine Verschiebung der Drahtschicht sowie durch alle geeigneten mechanischen, pneumatischen und hydraulischen Mittel realisiert werden. Die Sägebewegung könnte ebenfalls in jeder anderen Raumrichtung als der Senkrechten realisiert werden.
Die erste Ausführungsform der 1 bis 3 könnte auch anstelle der senkrechten Einspannmittel seitliche Einspannmittel aufweisen.
Die Haltevorrichtung 22 könnte an die Gestalt des zu sägenden Werkstücks angepasst werden. Im Falle eines kreisrunden Querschnitts dieses Werkstücks könnte das Halten durch einen Stab 30 erfolgen, der sich an die zylindrische Oberfläche anpasst.
Die Steuerung der Andruckkraft könnte mit allen mechanischen, pneumatischen und hydraulischen Mitteln mit oder ohne stationäre Anschläge realisiert werden.
Der Rahmen 51 der 6 mit seinen Drähten oder Bändern könnte auch über das Gefäß 46 der 4 montiert werden, indem die zweite und dritte Ausführungsform kombiniert werden.
Mehrere Halteorgane 25 wie die Rahmen 51 oder 60 könnten übereinander gelegt werden, um eine perfekte Haltung unter sehr schwierigen Sägebedingungen zu gewährleisten.
Die im Gefäß 70 oder in den Schubfächern 80 vorgesehenen Trennelemente 72 könnten von beliebiger Natur sein, waagerechte, schräge oder diagonale Drähte, ganze oder partielle Wände, Querbänder usw.

Claims

Drahtsägevorrichtung mit zumindest einer Drahtschicht (15), die zwischen zumindest zwei Drahtführungszylindern (11, 12) aufgespannt und in ihrer Lage durch Rillen gehalten wird, die auf der Oberfläche der Drahtführungszylinder (11, 12) angebracht sind und den Abstand zwischen den Drähten der Drahtschicht und somit die Dicke der gesägten Scheiben (23) definieren, die voneinander durch Sägespalte (24) getrennt sind, wobei die Drähte einer Hin- und Her- oder einer kontinuierlichen Bewegung folgend und an das zumindest eine zu sägende Werkstück (17) angedrückt bewegt werden können, das auf einem Auflagetisch (18) befestigt ist, Mittel (20, 21) vorgesehen sind, um eine relative Vorschubbewegung zwischen dem zu sägenden Werkstück (17) und der Drahtschicht (15) zu bewirken, die Sägevorrichtung eine Haltevorrichtung (22) mit Halteorganen (25) umfasst, die in der Lage sind, mit zumindest einem Abschnitt der im Sägen begriffenen Scheiben zusammenzuwirken, um während des Sägens die teilweise oder ganz gesägten Scheiben (23) parallel zueinander zu halten, Führungselemente (34) auf dem Auflagetisch (18) angeordnet und die Halteorgane (25) beweglich auf diesen Führungselementen (34) angebracht sind, um von einer passiven Position zu einer aktiven Position verschoben zu werden, in der sie mit den beim Sägen befindlichen Scheiben (23) zusammenwirken, und umgekehrt, und die Halteorgane (25) durch federnde Elemente (35) zu stationären Anschlägen (40) hin gedrückt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteorgane (25) einerseits an den stationären Anschlägen (40) ruhen, wenn sie sich in der passiven Position befinden, und andererseits von den stationären Anschlägen (40) weggespreizt sind, um mit dem oder den zu sägenden Werkstücken (17) zusammenzuwirken, wenn sie sich in der aktiven Position befinden, dadurch, dass die Halteorgane (25) zumindest einen Stab (30) umfassen, der sich in einer zu den Drahtführungszylindern (11, 12) im Wesentlichen parallelen Richtung dem zu sägenden Werkstück (17) entlang erstreckt, wobei dieser Stab (30) mit zumindest einer Elastomerbeschichtung (31) versehen ist, die dafür bestimmt ist, gegen die Scheiben (23) des zu sägenden Werkstücks gedrückt zu werden, und dadurch, dass der Stab (30) schwenkbar um eine zu den Drahtführungszylindern (11, 12) parallele Schwenkachse (32) auf Querträger (33) montiert ist, die gleitend auf die Führungselemente (34) montiert sind.
Sägevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteorgane (25) eine dicke Flüssigkeit oder ein Gel (45) einer Dichte umfassen, die höher als die der verwendeten Verarbeitungsflüssigkeit ist, wobei die dicke Flüssigkeit bzw. das Gel (45) in einem Gefäss (46) enthalten ist, das in der aktiven Position so gehalten wird, dass der benannte Abschnitt (26) der Scheiben zumindest teilweise in die dicke Flüssigkeit bzw. das Gel (45) eintaucht, so dass die Scheiben (23) immobilisiert werden.
Sägevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (22) als Halteorgane (25) Trennelemente (50, 72) umfasst, die dafür bestimmt sind, zumindest teilweise in die Sägespalte (24) zwischen den Scheiben (23) eingeführt zu werden, um letztere zu halten, wobei diese Trennelemente auf zumindest einen Halter (51, 74, 86) montiert sind, dadurch, dass die Trennelemente aus Drähten (50, 73), Bändern, dünnen Platten oder Wänden einer Dicke bestehen, die angemessen ist, damit sie in die Sägespalte (24) eingeführt werden können, und dadurch, dass der zumindest eine Träger (51) auf den Auflagetisch (18) montiert ist und von der passiven zur aktiven Position bewegt werden kann.
Sägevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine Träger (51) über dem Stab (30) angebracht ist.
Sägevorrichtung nach Ansprüchen 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine Träger (51) über dem Gefäss (46) angebracht ist.
Sägevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine Träger (51, 74, 86) in zumindest einem Gefäss (70, 80) angeordnet ist, das auf den Rahmen (10) montiert ist.
Sägevorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass sie zumindest zwei Träger (86) umfasst, die in zumindest zwei Schubfächern (81) angeordnet sind, die gleitend im Gefäss (80) angebracht sind.
Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Drähte (50, 73) in horizontalen und/oder schrägen Richtungen auf dem Träger (74, 86) aufgespannt sind, um sich kreuzende Drahtschichten zu bilden.
Sägevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (22) einen U-förmigen Rahmen (60) umfasst, dessen Längsarme (61) dafür bestimmt sind, über federnde Teile (62) seitlich gegen die gesägten Scheiben (23) gedrückt zu werden.