DE602004000332T2

DE602004000332T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Drahtsägen

Info

Publication number: DE602004000332T2
Application number: DE602004000332T
Authority: DE
Inventors: Andreas MÜLLER; Alexander Bortnikov
Original assignee: HCT Shaping Systems SA
Current assignee: Applied Materials Switzerland SARL
Priority date: 2003-04-01
Filing date: 2004-03-11
Publication date: 2006-10-19
Anticipated expiration: 2024-03-12
Also published as: EP1464461A1; CH696431A5; DE602004000332D1; US20040194773A1; JP4602679B2; JP2004306250A; US6981495B2; ATE315989T1; EP1464461B1; ES2255007T3

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Drahtsägeverfahren, das ein Sägen zumindest eines prismatischen, zu sägenden Werkstückes mit einer im Wesentlichen quadratischen oder rechtecktigen Grundfläche mittels zumindest einer Drahtschicht umfasst, die zwischen zumindest zwei Drahtführungszylindern aufgespannt ist, deren Achsen parallel zu einer Arbeitsebene sind und deren Lage durch Rillen auf der Oberfläche der Drahtführungszylinder gehalten wird, die den Abstand zwischen den Drähten der Drahtschicht und damit die Dicke der gesägten Scheiben definieren, wobei die Drähte der Schicht einer Hin- und Her- oder kontinuierlichen Bewegung folgend und an das oder die zu sägenden Werkstücke angedrückt verschoben werden können, die über eine Zwischenplatte auf zumindest einem Auflagetisch befestigt sind, und wobei das Sägeverfahren durch eine relative Vorschubbewegung zwischen dem zu sägenden Werkstück und der Drahtschicht realisiert wird
Die Erfindung betrifft ebenfalls eine Vorrichtung für die Realisierung des vorgenannten Verfahrens.
Drahtsägevorrichtungen des vorgenannten Typs mit einer Bewegung der Drähte der Drahtschicht oder des zu sägenden Werkstücks sind bereits bekannt, insbesondere in der Industrie für Elektronikbauteile aus Ferriten, Quarzen und Kieselerden, um Materialien wie poly- oder einkristallines Silicium oder neue Materialien wie GaAs, InP, GGG oder auch Quarz, künstlichen Saphir und keramische Materialien in dünnen Scheiben zu gewinnen.
In den bekannten Vorrichtungen besteht die Sägezone aus einem Satz von mindestens zwei parallel angeordneten Zylindern. In diese als Drahtführungen bekannten Zylinder sind Rillen eingraviert, die den Abstand zwischen den Drähten der Schicht und daher die Dicke der Scheiben definieren. Das zu sägende Werkstück wird auf einem Auflagetisch befestigt, der sich senkrecht zur Drahtschicht verschiebt. Die Verschiebungsgeschwindigkeit definiert die Schneidgeschwindigkeit. Die Erneuerung des Drahtes wie auch die Steuerung seiner Spannung erfolgen in einem Abschnitt, der als Drahtmanagementzone bezeichnet wird und sich ausserhalb der eigentlichen Sägezone befindet. Das den Schnitt bestimmende Mittel ist entweder ein auf dem Draht fixiertes Schleifmittel oder ein in Gestalt einer Aufschlämmung herbeigeführtes freies Schleifmittel. Der Draht wirkt nur als Fördereinrichtung. Während das zu sägende Werkstück in dünne Scheiben zerschnitten wird, wird der gespannte Draht durch die Drahtführungszylinder sowohl geführt als auch gezogen. Die zu sägenden Werkstücke haben in den meisten Fällen eine prismatische Gestalt mit rechteckiger, quadratischer oder pseudoquadratischer Grundfläche.
In den bekannten Sägeverfahren und -vorrichtungen sind das oder die zu sägenden Werkstücke so auf die Maschine montiert, dass eine ihrer prismatischen Seiten parallel zur Arbeitsebene ist. Beim Ansägen hat man dann festgestellt, dass die Drähte der Drahtschicht auf der Oberfläche rutschen und dazu tendieren, in Zweiergruppen zusammenzurücken, was zu gesägten Scheiben oder Wafern einer ungleichen Dicke führt (10), für zahlreiche Anwendungen sehr störend ist und reichlich Abfall liefert.
Beim Sägen bildet die Drahtschicht wegen der Andruckkraft der zu sägenden Stücke eine Einsenkung und Einbuchtung, die in 1 zu sehen ist. Am Ende des Sägens treten die Drähte in die Zwischenplatte ein, die typischerweise aus Glas, aber auch aus Epoxidharz, Grafit oder anderen harten Materialien besteht und auf die das zu sägende Werkstück aufgeklebt ist. Auf Grund ihrer Einbuchtung und Neigung dringen die Drähte bei ihrem Längsvorschub aus dieser Zwischenplatte und aus dem Kleber unter einem kleinen Winkel in das Material des zu sägenden Werkstücks ein.
Die Oberkante der gesägten Scheiben weist dann ein nachteiliges Abplatzen auf, das für zahlreiche Anwendungen vermieden werden muss.
Im Dokument DE 196 38 990 wird eine Drahtsägemaschine des vorgenannten Typs beschrieben. Diese Maschine umfasst eine Haltevorrichtung für das zu sägende Werkstück, die so eingerichtet ist, dass ein Schwenken des zu sägenden Werkstücks während des Sägens möglich ist. Die Haltevorrichtung umfasst aus diesem Grund eine kreisförmige Führung mit einem Antriebsmechanismus, um eine kreisförmige Vorwärts- und Rückwärtsschwenkung des zu sägenden Werkstücks während des Sägens zu bewirken. So können Werkstücke grossen Durchmessers gesägt werden.
Im Dokument WO 02/26431 wird ebenfalls eine Drahtsägevorrichtung der gleichen Art offenbart, in der eine Schwingungsvorrichtung eine relative Schwingungsbewegung zwischen dem zu sägenden Werkstück und der Drahtschicht um eine Schwingungsachse herum ermöglicht, deren Raumlage so geregelt und programmiert werden kann, dass sich diese Schwingungsachse in einem programmierbaren und regelbaren Abstand von einer effektiven Drehachse der Schwingungsvorrichtung befindet. In einer Ausführungsform umfasst die Schwingungsvorrichtung daher Rotations- und Translationsorgane.
Diese beiden Dokumente betreffen also Vorrichtungen, um das zu sägende Werkstück während des Sägevorschubs schwingen zu lassen. Diese Dokumente beschreiben aber keine Lösung, um die vorgenannten Nachteile zu beheben, nämlich das Rutschen der Drähte zu Anfang des Sägens und das nachteilige Abplatzen am Ende des Sägens.
Die vorliegende Erfindung zielt genau darauf ab, diese Nachteile zu beheben, und das Verfahren gemäss der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das oder die zu sägenden Werkstücke so auf dem Auflagetisch befestigt werden, dass eine der prismatischen Seiten dieses Werkstücks, die zur Drahtschicht hin gerichtet ist, einer zu den Achsen der Drahtführungszylinder parallelen Schnittgeraden folgend einen vorbestimmten Neigungswinkel zur Arbeitsebene bildet, wobei die Grösse dieses Neigungswinkels einerseits so festgelegt ist, dass das Ansägen über eine prismatische Kante des oder der zu sägenden Werkstücke erfolgt, und andererseits so, dass am Schnittende die Drähte der Drahtschicht bei ihrem Längsvorschub nicht von einer gegebenen Zwischenplatte aus in das zu sägende Werkstück eindringen, das auf dieser gegebenen Zwischenplatte befestigt ist.
Dank dieser Merkmale ist es möglich, ein regelmässiges Ansägen mit Scheiben gleicher Dicke und einen genauen Abschluss des Sägens ohne Abplatzen zu erhalten. Erhebliche Mängel zweier Typen unterschiedlicher Natur können so dank der vorliegenden Erfindung gleichzeitig vermieden werden.
Das Verfahren kann vorteilhaft dadurch gekennzeichnet werden, dass zumindest zwei prismatische, zu sägende Werkstücke auf dem Auflagetisch befestigt werden, dass der Draht einer kontinuierlichen Bewegung folgend verschoben wird und dass die Neigungswinkel so festgelegt werden, dass sie sich in einer der Verschiebungsrichtung des Drahtes entgegengesetzten Richtung öffnen und dass das Sägen der Werkstücke mit der prismatischen Kante beginnt, die sich bezüglich der Verschiebungsrichtung der Drähte der Drahtschicht abwärts befindet.
Der Beginn des Sägens und das Ende des Sägens der Scheiben können somit in besonders exakter Weise erfolgen.
Die Erfindung betrifft ebenfalls eine Sägevorrichtung für die Realisierung des vorgenannten Verfahrens, wie sie in Ansprüchen 6 und 8 definiert wird.
Weitere Vorteile werden aus den in den Unteransprüchen ausgedrückten Merkmalen und aus der Beschreibung hervorgehen, die die Erfindung hiernach eingehender mit Hilfe von Zeichnungen darlegt, die schematisch und beispielhaft zwei Ausführungsformen sowie Varianten darstellen.
1 ist eine Vorderansicht einer ersten Ausführungsform der Erfindung.
2a und 2b sind Teilansichten dieser Ausführungsform von vom in zwei verschiedenen Sägepositionen.
3 ist eine Detailansicht dieser Ausführungsform, die auf das Sägen von Werkstücken eines anderen Typs angewendet wird.
4 bis 8 veranschaulichen verschiedene Varianten des Neigeorgans. 9 ist eine Detailansicht einer zweiten Ausführungsform.
10 ist eine schematische Draufsicht der Drahtschicht einer herkömmlichen Vorrichtung, die älter als die vorliegende Erfindung ist.
Auf 1, 2a und 2b Bezug nehmend, umfasst die Sägevorrichtung gemäss der ersten Ausführungsform einen Rahmen 10 sowie Drahtführungszylinder 11, 12, hier zwei an der Zahl, die mit ihren Achsen parallel angeordnet auf diesen Rahmen montiert sind, wobei es sich versteht, dass die Vorrichtung mehr als zwei Drahtführungszylinder haben könnte, zum Beispiel vier.
Der Draht 14 wird von einer nicht veranschaulichten Abwickelspule abgewickelt und sodann um die Drahtführungszylinder gewickelt, um zumindest eine Schicht 15 von parallelen Drähten in einer Sägezone zu bilden. Der Draht wird dann in einer geeigneten, nicht veranschaulichten Vorrichtung wie einer Aufwickelspule oder einem Sammelbehälter zurückgewonnen.
Ein, zwei oder mehr zu sägende Werkstücke 17 wie Barren aus einem harten Material sind auf einen Auflagetisch 18 montiert.
Diese zu sägenden Werkstücke haben eine verlängerte prismatische Gestalt mit einer quadratischen, pseudoquadratischen oder rechteckigen Grundfläche sowie vier prismatischen Hauptseiten, deren eine, 17f, nach unten zu gelegen der Drahtschicht 15 zugewandt ist. Die Kanten sind im Falle der in den 2a und 2b dargestellten polykristallinen Werkstücke 17 frei, im Falle der in 3 dargestellten einkristallinen Werkstücke gerundet (pseudoquadratisch).
Der Auflagetisch 18 kann dank einer Säule 21 und eines Motors 20 vertikal in der Richtung Z verschoben werden, um die zu sägenden Werkstücke 17 gegen die Drahtschicht 15 zu drücken.
In die Peripherie der Drahtführungszylinder 11, 12 sind Rillen eingraviert, die den Abstand zwischen benachbarten Drähten der Drahtschicht 15 und daher die Dicke der gesägten Scheiben definieren. Letztere sind durch Sägespalte oder -zwischenräume voneinander getrennt.
Der Draht 14 wird von den Drahtführungszylindern gespannt und gleichzeitig geführt und gezogen, um sich in dieser Ausführungsform einer kontinuierlichen Bewegung folgend zu verschieben. Dieser Draht besteht günstigerweise aus Federstahl und hat Durchmesser zwischen 0,1 und 0,2 mm, um Blöcke aus harten Materialien oder besonderer Zusammensetzung, insbesondere für die Halbleiterindustrie und Solaranlagen, oder aber keramische Materialien wie das Silicium, Keramik, Verbindungen von Elementen der Gruppen III-V und II-VI, GGG (Gadolinium-Gallium-Granat), Saphir usw. in Scheiben einer ungefähren Dicke von 0,1 bis 5 mm zu zersägen. Das Schleifmittel ist ein handelsübliches Erzeugnis und kann als Diamant, Siliciumcarbid, Aluminiumoxid usw. in auf dem Draht fixierter Form oder frei in einer Flüssigkeit aufgeschlämmt vorliegen, die als Fördereinrichtung für die Schleifmittelteilchen dient.
Die Drahtführungszylinder 11, 12 definieren mit ihren oberen Mantellinien eine Arbeitsebene XY, die parallel zu der Ebene ist, die durch die Achsen Y der Drahtführungszylinder bestimmt wird, in dieser Ausführungsform senkrecht zur Vorschubrichtung Z des Auflagetisches.
Die Drahtschicht 15 ist parallel und in dieser Arbeitsebene enthalten, solange kein zu sägendes Werkstück gegen sie gedrückt wird.
Hingegen erleidet diese Schicht während des Sägens ein leichtes Durchbiegen, dessen Amplitude zur besseren Visualisierung übertrieben wurde.
Die zu sägenden Werkstücke 17 werden durch Kleben auf Zwischenplatten 25 wie Platten aus Glas, Epoxidharz, Grafit oder anderen harten Materialien befestigt, und diese Platten werden mit einem Barrenträger in Gestalt eines Schlittens 26 unter Dazwischenfügen einer Klebeplatte 27 auf den Auflagetisch montiert.
Diese Klebeplatte dient als Neigeorgan 30 in Gestalt eines gewinkelten Keils, da sie es gestattet, das zu sägende Werkstück 17 leicht geneigt zu befestigen, so dass die der Drahtschicht zugewandte prismatische Unterseite 17f einen vorbestimmten Neigungswinkel α, α' mit einer Ebene X'Y' parallel zur Arbeitsebene XY bildet, und zwar einer zu den Drähten der Drahtschicht senkrechten und zu den Achsen Y der Drahtführungszylinder parallelen Schnittgeraden Y' folgend.
Daher kann das Ansägen (2a) über eine prismatische Kante 17g des zu sägenden Werkstücks 17 erfolgen.
Da sich die Drähte der Drahtschicht 15 in 2a von links nach rechts bewegen, öffnet sich der Neigungswinkel α in einer der Bewegungsrichtung 15a der Drähte entgegengesetzten Richtung, so dass das Sägen des Werkstücks 17 mit der prismatischen Kante 17g beginnt, die sich bezüglich der Bewegungsrichtung 15a der Drähte abwärts befindet.
Durch dieses Ansägen über die Kante (2a) können Scheiben einer untereinander gleichen Dicke gewonnen werden. Wenn man das Schneiden mit der prismatischen Fläche beginnt, die zur Arbeitsebene XY und zur Drahtschicht 15 parallel ist, beobachtet man, dass die Drähte 14 der Drahtschicht 15 dazu neigen, sich zu Gruppen von je zwei zusammenzufinden, was zu gesägten Scheiben oder Wafern ungleicher Dicke führt (10). Diese Erscheinung verwischt sich nach einigen Millimetern des Schnitts, aber muss für zahlreiche Anwendungen absolut vermieden werden.
Indem das Schneiden mit einem vorbestimmten Neigungswinkel α, α' begonnen wird, wird dieser hauptsächliche Nachteil vermieden, und man gewinnt vom Beginn des Sägens an gesägte Scheiben gleicher Dicke.
Ausserdem ist zum Ende des Sägens (2b) die geneigte Lage des zu sägenden Werkstücks derart, dass die Drähte der Drahtschicht 15 bei ihrem Vorschub nicht von der Zwischenplatte 25 aus in das auf dieser Zwischenplatte 25 befestigte, zu sägende Werkstück 17 eindringen.
Im Gegenteil rücken die Drähte am Ende des Schneidens immer von dem zu sägenden Werkstück in die Zwischenplatte vor, wodurch das Schleifmittel in das zu schneidende Material eindringen kann und folglich ein Schnitt sehr hoher Qualität ohne ein Abplatzen bis zum völligen Abschluss des Sägens erhalten wird.
Es ist in herkömmlichen Sägevorrichtungen, die älter als die vorliegende Erfindung sind, tatsächlich beobachtet worden, dass am Ende des Schneidens die Drähte der Drahtschicht in die Zwischenplatte 25 und von dieser durch den Kleber in das zu sägende Werkstück 17 laufen. Der Schnitt des oberen Randes 17h erleidet dann ein nachteiliges Abplatzen, das für zahlreiche Anwendungen vermieden werden muss.
Dank der Neigung der zu sägenden Werkstücke wird dieser bedeutende Nachteil ebenfalls vermieden. Durch ein wenig kompliziertes Sägeverfahren und eine wenig komplizierte Sägevorrichtung erlaubt es die vorliegende Erfindung daher, bedeutende Mängel zweier unterschiedlicher Typen des Standes der Technik zu beheben.
Der Neigungswinkel α, α' kann einen Wert zwischen 0,5° und 7° aufweisen, bevorzugt zwischen 1° und 3,5°. Die Ober- und Unterseiten des gewinkelten Keils 27 bilden daher zueinander einen Winkel α, α' zwischen 0,5 und 7°. Der Fachmann wird durch einige Versuche leicht den idealen Neigungswinkel für eine gegebene Anwendung bestimmen können.
Es muss darauf hingewiesen werden, dass die Neigungswinkel α, α' der beiden zu sägenden Werkstücke 17a und 17b, die nebeneinander auf den gleichen Auflagetisch 18 montiert sind, verschiedene Werte haben. Tatsächlich ist der Neigungswinkel α des zu sägenden Werkstücks 17a, das sich in 2a und 2b zur Linken befindet, also aufwärts in der Bewegungsrichtung der Drähte, grösser als der Neigungswinkel α' des anderen zu sägenden Werkstücks 17b.
In der in 3 dargestellten Variante sind die zu sägenden Werkstücke 17c und 17d von einem anderen Typ, nämlich keine polykristallinen, sondern einkristalline Werkstücke. Diese Werkstücke besitzen gerundete Kanten.
Das Sägeverfahren und die Sägevorrichtung bleiben aber identisch, da das Ansägen mit der abwärts gelegenen Kante des prismatischen Werkstücks beginnt, wodurch Scheiben gleicher Dicke gewonnen werden können.
4 bis 8 stellen verschiedene Typen von Neigeorganen 30 dar. So besteht das in 4 dargestellte Neigeorgan aus der Klebeplatte 27, die die Gestalt eines gewinkelten Keils besitzt, der zwischen die Zwischenplatte 25 und den Schlitten 26 eingefügt ist.
Im Falle der 5 wird das Neigeorgan 30a durch den Barrenträger 26a oder Schlitten gebildet, der eine schräge Unterseite 33 besitzt, auf die die Klebeplatte 27a geklebt ist, die zwei parallele Hauptseiten aufweist. Die Normale zu dieser Unterseite 33 bildet einen Neigungswinkel α mit der Mittelebene des Barrenträgers 26a.
Das Neigeorgan 30b der 6 besteht aus einer Schwenkvorrichtung 34. Letztere hat eine zentrale Schwenkachse 35, die auf den Barrenträger 26b montiert ist und die Klebeplatte 27b trägt, die über die Zwischenplatte 25 auf das zu sägende Werkstück 17 geklebt ist. Zwei auf den Barrenträger 26b montierte Regelschrauben 36, 37 wirken mit der Klebeplatte 27b zusammen und erlauben eine derartige Einstellung und Fixierung der Winkellage dieser Platte, dass ein angemessener Neigungswinkel α erhalten wird.
Auf 7 Bezug nehmend, umfasst das Neigeorgan 30c eine Schwenkachse 40, die seitlich auf dem Barrenträger 26c vorgesehen ist. Die Klebeplatte 27c ist schwenkbar auf diese Achse 40 montiert, und ihre Winkellage, also der Neigungswinkel, kann über den Gewindestab 41 und die Sicherungsmutter 42 eingestellt und fixiert werden, die auf der anderen Seite auf die Klebeplatte 27c montiert sind, die die Zwischenplatte 25 und das zu sägende Werkstück 17 trägt.
Schliesslich umfassen die in 8 veranschaulichten Neigeorgane 30d eine Halbachse 44, die in eine halbkreisförmige Ausbohrung 45 des Auflagetisches 18 montiert ist und deren axiale Ausrichtung senkrecht zu den Drähten der Drahtschicht ist. Eine Halteschraube 46 erlaubt es, die Winkellage der Halbachse 44 einzustellen und letztere in ihrem Lager zu halten. Die Achse der Halbachse 44 ist parallel zu den Achsen der Drahtführungszylinder 11, 12.
Ein Barrenträger 26 ist auf diese Halbachse montiert und trägt vermittels einer Klebeplatte 27d und einer Zwischenplatte 25 ein zu sägendes Werkstück.
In der in 9 dargestellten zweiten Ausführungsform trägt der Auflagetisch 18 ebenfalls zwei zu sägende Werkstücke 17a und 17b vermittels der Zwischenplatten 25 und der Klebeplatten 27. Die Drähte der Drahtschicht 15 führen hier aber eine alternierende Hin- und Herbewegung aus.
Die Neigeorgane 30e sind also in diesem Beispiel so angelegt, dass sich die Neigungswinkel α und α'' in einander entgegengesetzten Richtungen öffnen. So findet sich am Ende des Sägens die leicht durchgebogene Drahtschicht im Wesentlichen parallel zu den prismatischen Oberseiten der beiden zu sägenden Werkstücke 17, und man vermeidet so, dass die Drähte von der Zwischenplatte 25 zu dem zu sägenden Werkstück 17 hin vordringen. Der Schnitt erfolgt daher ohne Abplatzen bis zum Ende des Sägens.
Die Neigeorgane 30e bestehen hier aus gewinkelten Keilen 27e, die die Klebeplatten 27 bilden. Andere Neigeorgane wie zum Beispiel schwenkbare Teile, die auf den Auflagetisch 18 oder den Barrenträger montiert sind, könnten ebenfalls verwendet werden. Die Winkellage α, α'' dieser schwenkbaren Teile kann dann mit einem Sperrorgan wie einer Verriegelungsschraube eingestellt und fixiert werden.
Es versteht sich, dass die oben beschriebenen Ausführungsformen keinen einschränkenden Charakter besitzen und in dem durch Anspruch 1 definierten Rahmen jede wünschenswerte Abwandlung erfahren können. Insbesondere kann der Auflagetisch 18 ein oder mehr als zwei zu sägende Werkstücke 17 tragen.
Die Relativbewegung zwischen dem Auflagetisch 18 und der Drahtschicht 15 kann ebenfalls durch eine Bewegung der Drahtschicht und mit allen geeigneten Mitteln, mechanisch, pneumatisch, hydraulisch realisiert werden.
Die Barrenträger 26 könnten einen sehr unterschiedlichen Aufbau haben. Die Klebeplatte oder die Zwischenplatte könnte wegfallen.
Statt einen Auflagetisch 18 zu haben, könnte man zwei oder mehr Auflagetische haben, deren jeder über Neigeorgane eine vorbestimmte Anzahl von Halteteilen trägt.

Claims

Drahtsägeverfahren, das Sägen zumindest eines prismatischen, zu sägenden Werkstückes (17) mit einer im Wesentlichen quadratischen oder rechtecktigen Grundfläche mittels zumindest einer Drahtschicht (15) umfassend, die zwischen zumindest zwei Drahtführungszylindern (11, 12) aufgespannt ist, deren Achsen (Y) parallel zu einer Arbeitsebene (XY) sind, und deren Lage durch Rillen auf der Oberfläche der Drahtführungszylinder (11, 12) gehalten wird, die den Abstand zwischen den Drähten der Drahtschicht (15) und damit die Dicke der gesägten Scheiben definieren, wobei die Drähte der Schicht einer vorbestimmten Bewegung folgend und an das oder die zu sägenden Werkstücke (17) angedrückt verschoben werden können, die über eine Zwischenplatte (25) auf zumindest einem Auflagetisch (18) befestigt sind, und wobei das Sägeverfahren durch eine Relativbewegung zwischen dem zu sägenden Werkstück und der Drahtschicht realisiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass das oder die zu sägenden Werkstücke (17) so auf dem Auflagetisch (18) befestigt werden, dass eine der prismatischen Seiten (17f) dieses Werkstücks, die zur Drahtschicht (15) hin gerichtet ist, einer zu den Achsen (Y) der Drahtführungszylinder parallelen Schnittgeraden folgend einen vorbestimmten Neigungswinkel (α, α'; α, α'') mit der Arbeitsebene (XY) bildet, wobei die Grösse dieses Neigungswinkels (α, α'; α, α'') einerseits so festgelegt ist, dass das Ansägen über eine prismatische Kante (17g) des oder der zu sägenden Werkstücke (17) erfolgt, und andererseits so, dass am Schnittende die Drähte der Drahtschicht (15) bei ihrem Längsvorschub nicht von einer gegebenen Zwischenplatte (25) aus in das zu sägende Werkstück (17) eindringen, das auf dieser gegebenen Zwischenplatte (25) befestigt ist.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei prismatische, zu sägende Werkstücke (17) auf dem Auflagetisch befestigt werden, dass der Draht einer kontinuierlichen Bewegung folgend verschoben wird und dass die Neigungswinkel (α, α') so festgelegt werden, dass sie sich in einer der Verschiebungsrichtung des Drahtes entgegengesetzten Richtung (15a) öffnen und dass das Sägen der Werkstücke mit der prismatischen Kante (17g) beginnt, die sich bezüglich der Verschiebungsrichtung der Drähte der Drahtschicht (15) abwärts befindet.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass für die beiden Neigungswinkel (α, α') verschiedene Werte festgelegt werden, wobei der Neigungswinkel (α) des bezüglich des Laufes der Drähte aufwärts befindlichen, zu sägenden Werkstücks (17a) grösser ist.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei prismatische, zu sägende Werkstücke (17) auf dem Auflagetisch befestigt werden, dass der Draht einer Hin- und Herbewegung folgend verschoben wird und dass die Neigungswinkel (α, α') so festgelegt werden, dass sie sich in einander entgegengesetzten Richtungen öffnen.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Neigungswinkel (α, α') auf einen Wert zwischen 0,5° und 7° und bevorzugt zwischen 1° und 3,5° festgelegt wird.
Drahtsägevorrichtung für die Umsetzung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, zumindest eine Drahtschicht (15) umfassend, die zwischen zumindest zwei Drahtführungszylindern (11, 12) aufgespannt ist, deren Achsen (Y) parallel zu einer Arbeitsebene (XY) sind, und deren Lage durch Rillen auf der Oberfläche der Drahtführungszylinder (11, 12) gehalten wird, die den Abstand zwischen den Drähten der Drahtschicht (15) und damit die Dicke der gesägten Scheiben definieren, wobei die Drähte einer vorbestimmten Bewegung folgend und an das zumindest eine prismatische, zu sägende Werkstück (17) mit im Wesentlichen quadratischer oder rechtecktiger Grundfläche angedrückt verschoben werden können, das über eine Zwischenplatte (25) auf einem Auflagetisch (18) befestigt ist, wobei Mittel (20, 21) vorgesehen sind, um eine Relativbewegung zwischen dem zu sägenden Werkstück (17) und der Drahtschicht (15) zu realisieren, und die Sägevorrichtung Neigeorgane (30) umfasst, die es gestatten, dass das oder die zu sägenden Werkstücke (17) so auf dem Auflagetisch befestigt werden, dass eine der prismatischen Seiten (17f), die zur Drahtschicht (15) hin gerichtet sind, einer zu den Achsen (Y) der Drahtführungszylinder parallelen Schnittgeraden folgend einen vorbestimmten Neigungswinkel (α, α') mit der Arbeitsebene (XY) bildet, wobei dieser Schnittwinkel einerseits so festgelegt ist, dass das Ansägen über eine prismatische Kante (17g) des oder der zu sägenden Werkstücke erfolgt, und andererseits so, dass am Schnittende die Drähte der Drahtschicht (15) bei ihrem Längsvorschub nicht von einer gegebenen Zwischenplatte (25) aus in das zu sägende Werkstück (17) eindringen, das auf dieser gegebenen Zwischenplatte (25) befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflagetisch (18) so eingerichtet ist, dass er zumindest zwei zu sägende Werkstücke (17) aufnimmt, wobei der Draht einer kontinuierlichen Bewegung folgend in einer Verschiebungsrichtung (15a) verschoben wird, und dadurch, dass die Neigeorgane (30) so eingerichtet sind, dass sich die Neigungswinkel (α, α') in einer der Verschiebungsrichtung (15a) des Drahtes entgegengesetzten Richtung öffnen und dass das Sägen der zu sägenden Werkstücke (17) mit der prismatischen Kante (17g) beginnt, die sich bezüglich der Verschiebungsrichtung (15a) der Drähte der Drahtschicht (15) abwärts befindet.
Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Neigeorgane (30) so eingerichtet sind, dass der Neigungswinkel (α) des bezüglich des Laufes der Drähte aufwärts befindlichen, zu sägenden Werkstücks grösser ist.
Drahtsägevorrichtung für die Umsetzung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 4, zumindest eine Drahtschicht (15) umfassend, die zwischen zumindest zwei Drahtführungszylindern (11, 12) aufgespannt ist, deren Achsen (Y) parallel zu einer Arbeitsebene (XY) sind, und deren Lage durch Rillen auf der Oberfläche der Drahtführungszylinder (11, 12) gehalten wird, die den Abstand zwischen den Drähten der Drahtschicht (15) und damit die Dicke der gesägten Scheiben definieren, wobei die Drähte einer vorbestimmten Bewegung folgend und an das zumindest eine prismatische, zu sägende Werkstück (17) mit im Wesentlichen quadratischer oder rechtecktiger Grundfläche angedrückt verschoben werden können, das über eine Zwischenplatte (25) auf einem Auflagetisch (18) befestigt ist, wobei Mittel (20, 21) vorgesehen sind, um eine Relativbewegung zwischen dem zu sägenden Werkstück (17) und der Drahtschicht (15) zu realisieren, und die Sägevorrichtung Neigeorgane (30a) umfasst, die es gestatten, dass das oder die zu sägenden Werkstücke so auf dem Auflagetisch befestigt werden, dass eine der prismatischen Seiten (17f), die zur Drahtschicht (15) hin gerichtet sind, einer zu den Achsen (Y) der Drahtführungszylinder parallelen Schnittgeraden folgend einen vorbestimmten Neigungswinkel (α, α'') mit der Arbeitsebene (XY) bildet, wobei dieser Schnittwinkel einerseits so festgelegt ist, dass das Ansägen über eine prismatische Kante (17g) des oder der zu sägenden Werkstücke erfolgt, und andererseits so, dass am Schnittende die Drähte der Drahtschicht (15) bei ihrem Längsvorschub nicht von einer gegebenen Zwischenplatte (25) aus in das zu sägende Werkstück (17) eindringen, das auf dieser gegebenen Zwischenplatte (25) befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Auflagetisch (18) so eingerichtet ist, dass er zumindest zwei zu sägende Werkstücke (17) aufnimmt, wobei der Draht einer Hin- und Herbewegung folgend verschoben wird, und dadurch, dass die Neigeorgane (30e) so eingerichtet sind, dass sich die Neigungswinkel (α, α'') in einander entgegengesetzten Richtungen öffnen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Neigeorgane (30) aus Keilen (27) bestehen, die zwischen den Auflagetisch (18) und die zu sägenden Werkstücke (17) oder ihre Zwischenplatte (25) eingefügt sind.