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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Ring-Illuminator für den Einsatz
in einem optischen Messgerät,
wie zum Beispiel einem optischen Mikroskop, einem Bildmessgerät oder Ähnlichem.
Im Besonderen betrifft die vorliegende Erfindung einen Ring-Illuminator, der
Beleuchtungslicht eines bestimmten Farbtons basierend auf Lichtstrahlen
erzeugt, die von einer Gruppe lichtemittierender Elemente erzeugt
werden, welche in der Lage sind, Lichtstrahlen einer jeweils anderen
Farbe auszustrahlen. Eine ähnliche
Art von Ring-Illuminator ist auch aus
EP 1072884 A bekannt.
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2. Beschreibung verwandter
Technik
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Die
Beleuchtung eines zu messenden Objektes spielt für den Erhalt eines deutlichen
Bildes eines zu messenden Objektes in einem optischen Mikroskop
für das
optische Fokussieren eines Bildes eines Teils eines zu messenden
Objektes sowie für
das Betrachten des Bildes in einer Art Bildbearbeitungsmessgerät, wie zum
Beispiel einem Messmikroskop, einem Werkzeugmikroskop, einem Projektor
und einem 3D-Bildmessgerät
für das Überprüfen und
Messen der Form und Größe eines
zu messenden Objektes basierend auf dem Bild und Ähnlichem
eine äußerst wichtige
Rolle.
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Als
eine Beleuchtungsmethode für
ein Bildbearbeitungsmessgerät
oder Ähnliches
ist eine Beleuchtungsmethode mit senkrecht nach unten gerichteter
Strahlung bekannt, bei der das Beleuchtungslicht im Wesentlichen
von rechts oberhalb des zu messenden Objektes auf das zu messende
Objekt gestrahlt wird.
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Die
Beleuchtungsmethode mit senkrecht nach unten gerichteter Strahlung
wird jedoch in vielen Fällen
für die
Messung eines Objektes mit relativ einfacher Form angewandt. Dementsprechend
ist es vorgekommen, dass bei einem zu messenden Objekt mit einer
komplizierten Form, zum Beispiel einem zu messenden stufenartigen
Objekt mit einer großen Anzahl
von Kantenabschnitten, die Schatten der Kantenabschnitte nicht eindeutig
erkannt werden können.
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Um
solch einen Nachteil zu beheben, wurde ein Ring-Illuminator vorgeschlagen,
der in der Lage ist, Schatten von Kantenabschnitten deutlich mit
Hilfe einer Strahlung des Beleuchtungslichtes auf ein zu messendes
Objekt aus einer Richtung zu erkennen, die in Bezug zu einer optischen
Achse eines optischen Systems in einem bestimmten Winkel geneigt ist.
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Als
eine Lichtquelle für
den Einsatz in dem Ring-Illuminator ist eine auf optischer Faser
basierende Lichtquelle bekannt, die so gebildet ist, dass das von
einer Halogenlampe erzeugte Beleuchtungslicht durch optische Fasern
geführt
wird. Die Halogenlampe oder Ähnliches
bringen jedoch ebenso Nachteile mit sich, wie zum Beispiel einen
hohen Stromverbrauch, eine kurze Lebensdauer sowie eine langsame
Reaktionszeit zum Zeitpunkt der Beleuchtungs- und Ausschaltsteuerung.
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Des
Weiteren ist für
einen solchen Ring-Illuminator als Methode, bei der die Helligkeit
und der Beleuchtungswinkel des auf ein zu messendes Objekt abgestrahlten
Beleuchtungslichtes eingestellt werden, eine Methode bekannt, bei
der auf Fasern basierende Lichtquellen in Gruppen angeordnet sind und
somit die Beleuchtungs- und Ausschaltsteuerung für jede Gruppe durchgeführt wird.
Dabei wird eine Vorrichtung eingesetzt, die die Lampen für die jeweilige
Gruppe von Lichtquellen vorbereitet und die Beleuchtungs- und Ausschaltsteuerung
für jede Gruppe
durchführt,
oder es wird eine Vorrichtung eingesetzt, die Shutter oder Ähnliches
so vorbereitet, dass diese die Transmission oder die Unterbrechung des
Lichtes im Mittelbereich oder an den Endabschnitten der Fasern ermöglichen
und die die Beleuchtungs- und Ausschaltsteuerung für jede Gruppe durchführt.
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Diese
Vorrichtungen erfordern jedoch eine große Anzahl von Lampen und eine
komplexere Struktur, wodurch das Problem entsteht, dass der Illuminator
sehr groß wird
und die Herstellungskosten steigen.
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Andererseits
haben in der letzten Zeit lichtemittierende Elemente, wie zum Beispiel
in Form von Leuchtdioden (LED) in Anbetracht ihrer Eigenschaften,
wie zum Beispiel schnelle Reaktionszeit, lange Lebensdauer und Ähnliches,
Aufmerksamkeit auf sich gezogen, und der Einsatz von lichtemittierenden Elementen
als Lichtquellen hat in verschiedenen technischen Bereichen einhergehend
mit der Verbesserung der Helligkeit der lichtemittierenden Elemente begonnen.
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In
diesem Bereich wurde als Lichtquelle, die die Nachteile der oben
genannten Halogenlampen oder Ähnlichem
beseitigen und die die Beleuchtung sowie Ausschaltung der Lichtquellen
steuern kann, ein Ring-Illuminator, der Leuchtdioden verwendet, vorgeschlagen.
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Zum
Beispiel wurde in der japanischen Offenbarungsschrift der Patentanmeldung
mit der Veröffentlichungsnummer
10-54940 (verwandte Technik 1) ein Ring-Illuminator vorgeschlagen.
Der Ring-Illuminator der verwandten Technik 1 enthält eine
große Anzahl
von Leuchtdioden als Lichtquelle, welche konzentrisch auf mehreren
Kreisen angeordnet sind (laut Veröffentlichung fünf kreisförmige Bereiche
in einem Ausführungsbeispiel
der Veröffentlichung), und
die jeweiligen Leuchtdioden sind in so einer Art und Weise befestigt,
dass ihre Lichtemissionsrichtungen auf das zu messende Objekt eingestellt
sind. Diese Veröffentlichung
offenbart des Weiteren eine Methode, bei der als Modifizierung der
Fokussiermethode die Lichtemissionsrichtungen der jeweiligen Leuchtdioden
parallel zu einer optischen Achse und Fresnel-Linsen hinter den
Lichtemissionsrichtungen angeordnet sind, um das Fokussieren des
Lichtes auf das zu messende Objekt zu ermöglichen.
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Des
Weiteren sind in dem in der Veröffentlichung
offenbarten Ring-Illuminator die Leuchtdioden in Gruppen angeordnet,
die aus jeweils kreisförmigen um
diese herum angeordneten Randabschnitten bestehen, und die Beleuchtungs-
und Ausschaltsteuerung kann für
jede Gruppe durchgeführt
werden. Dementsprechend ist es möglich,
die Beleuchtungs- und Ausschaltsteuerung für die in mehreren Bereichen
angeordneten Leuchtdioden durchzuführen, da die Lichtquellen für jede Gruppe
und folglich die Ausbreitung des Lichtes zum zu messenden Objekt
angemessen eingestellt werden können.
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Der
im oben genannten Dokument
EP 1072884
A offenbarte Ring-Illuminator enthält eine ähnliche Anordnung von mehreren
Leuchtdioden, die konzentrisch auf mehreren Krei sen angeordnet sind. Die
Leuchtdioden bestehen aus mindestens zwei Typen von Leuchtdioden,
wobei jeder Typ eine andere Lichtemissionsfarbe erzeugt. Der Illuminator
besteht aus einer kreisförmigen
Leiterplatte zur Befestigung der Leuchtdioden und einer kreisförmigen Fresnel-Linse,
die unterhalb der Leuchtdioden befestigt ist, wodurch sich die von
den Leuchtdioden abgegebenen Lichtstrahlen großflächig in tangentialer Richtung
ausbreiten, um anschließend
auf die Oberfläche des
Zielobjektes gerichtet werden zu können.
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Im
Ring-Illuminator der verwandten Technik 1 besitzen die von den jeweiligen
Leuchtdioden abgegebenen Lichtstrahlen, die auf das zu messende Objekt
gerichtet sind, intrinsische Divergenzwinkel und breiten sich aus,
ehe sie das zu messende Objekt erreichen, womit die Verbesserung
der Beleuchtungseffizienz nicht ausreichend gewährleistet ist und dadurch der
Nachteil entsteht, dass eine enorm große Anzahl von Leuchtdioden
installiert werden muss, um die notwendige Beleuchtung zu gewährleisten.
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Des
Weiteren wird in der verwandten Technik 1 eine Vorrichtung als ein
weiteres Mittel zur Verbesserung der Beleuchtungseffizienz offenbart,
bei der Fresnel-Linsen vor den Leuchtdioden angeordnet sind und
das Beleuchtungslicht auf ein zu messendes Objekt fokussieren. Diese
Vorrichtung dient jedoch nicht der Korrektur der oben genannten
intrinsischen Divergenzwinkel der Leuchtdioden, und somit ist eine
bemerkenswerte Verbesserung der Beleuchtungseffizienz schwer zu
erreichen.
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Des
Weiteren besitzen solche Fresnel-Linsen intrinsische Brennweiten
und folglich werden, wenn ein Abstand (funktioneller Abstand) zwischen dem
zu messenden Objekt und dem Ring-Illuminator entsprechend des zu
messenden Objektes zum Zeitpunkt der Messung geändert wird, die Brennweite und
der funktionelle Abstand der Fresnel-Linse voneinander verrückt, wodurch
sich das Beleuchtungslicht ausbreitet und so die Beleuchtungseffizienz
gemindert wird. Des Weiteren kann, um die Beleuchtungseffizienz
aufrechterhalten zu können,
der funktionelle Abstand nicht geändert werden, wodurch der Nachteil
entsteht, dass ein optimales Beleuchtungslicht für jedes zu messende Objekt
schwer zu erreichen ist.
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Des
Weiteren ist ein Ring-Illuminator bekannt, der eine Zusatzfunktion
enthält,
die es ermöglicht,
den Beleuchtungswinkel in Bezug auf ein zu messendes Objekt und
eine Beleuchtungsrichtung des Beleuchtungslichtes zu steuern, so
dass die Beschaffenheit von Kanten sowie der Oberfläche eines zu
messenden Objektes deutlich erkennbar werden (verwandte Technik
2). In dem Ring-Illuminator der verwandten Technik 2 sind mehrere
Typen von Ringen angeordnet, in denen die Leuchtdioden ringförmig entsprechend
dem bestimmten Beleuchtungswinkel befestigt sind, und die Leuchtdioden
dieser Ringe werden gleichzeitig oder separat angeschaltet, um den
Beleuchtungswinkel zu steuern. Des Weiteren wird für die Leuchtdioden,
die für
jeden Ring in Gruppen in dem Randbereich angeordnet sind, die Beleuchtungs-
und Ausschaltsteuerung durchgeführt,
wodurch die Ausbreitung des Lichtes zu dem zu messenden Objekt angemessen
eingestellt werden kann.
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In
dem Ring-Illuminator der verwandten Technik 2 kann die Beleuchtungseffizienz,
in der gleichen Art und Weise wie in der oben beschriebenen verwandten
Technik 1, aufgrund der Divergenzwinkel der von den jeweiligen Leuchtdioden
abgegebenen Lichtstrahlen, jedoch auch nicht ausreichend verbessert
werden, was sich folglich dahingehend nachteilig auswirkt, dass
eine Vielzahl von Leuchtdioden installiert werden müssen, um
die notwendige Beleuchtung zu gewährleisten. Des Weiteren ist
es notwendig, mehrere Typen von Ringen zu installieren, damit die
jeweiligen Ringe die gegebenen Winkel bilden können, wodurch die Struktur
des Illuminators komplex wird.
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Andererseits
sind Typen von zu messenden Objekten, die von einem Bildverarbeitungsmessgerät oder Ähnlichem überprüft und gemessen
werden, enorm unterschiedlich, wobei die zu messenden Objekte elektronische
Bauteile, wie zum Beispiel Leiterplatten (PCB) oder Ähnliches,
mechanische Bauteile, Halbleiterkomponenten, Plattenkomponenten
und Ähnliches
umfassen. Darüber
hinaus besitzen diese zu messenden Objekte unterschiedliche Oberflächenfarben.
In dem Bildverarbeitungsmessgerät oder Ähnlichem
wird, durch das Erkennen einer Form oder Ähnlichem des zu messenden Objektes
als ein Bild unter der Verwendung eines CCD (ladungsgekoppelten
Bauelements) oder Ähnlichem
und Bestrahltem Beleuchtungslicht mit einem der jeweiligen Oberflächenfarbe
des zu messenden Objektes angemessenen Farbton zum Zeitpunkt der
Messung der Größe oder Ähnlichem
durch Erkennung der Position von Kanten oder Ähnlichem des Bildes, ein Kontrast eines
erhaltenen Abbildes deutlich gezeigt, damit eine Verbesserung der
Erkennungsgenauigkeit von Kanten erwartet werden kann.
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Da
der Ring-Illuminator in der Lage ist, den Farbton eines solchen
Beleuchtungslichtes einzustellen, werden, wie in den oben genannten
Ring-Illuminatoren der verwandten Technik 1 und der verwandten Technik
2, mehrere Leuchtdioden bestehend aus verschiedenen Typen, zum Beispiel
drei Typen von Leuchtdioden mit jeweils verschiedenen Lichtemissionsfarben
rot (R), grün
(G), blau (B) sowie eine Beleuchtungs- und Ausschaltsteuerung für die Leuchtdioden
einer jeden Lichtemissionsfarbe ausgeführt, so dass der Farbton des
Beleuchtungslichtes eingestellt werden kann.
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Da
jedoch die Beleuchtungseffizienz in den Ring-Illuminatoren der verwandten
Technik 1 und der verwandten Technik 2 gering ist, muss eine Vielzahl von
Leuchtdioden verwendet werden, wodurch der Nachteil entsteht, dass
der Illuminator sehr groß wird und
damit die Herstellungskosten steigen. Des Weiteren ist es möglich, wie
oben beschrieben, den Farbton des Beleuchtungslichtes durch die
Anordnung von verschiedenen Typen von Leuchtdioden mit unterschiedlichen
Lichtemissionsfarben einzustellen. Obwohl die von den Leuchtdioden
auf das zu messende Objekt Bestrahlten Lichtstrahlen auf dem zu messenden
Objekt kombiniert werden, sind jedoch die Abstände und die Winkel der Lichtstrahlen
der jeweiligen Leuchtdioden in Bezug auf das zu messende Objekt
nicht konstant, womit eine Einheitlichkeit des Farbtons des erzeugten
Beleuchtungslichtes nicht gewährleistet
ist und dadurch der Nachteil entsteht, dass kein Bild mit einer
ausreichend hohen Genauigkeit erzielt werden kann.
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Ring-Illuminator
bereitzustellen, der die Größe des Bauteils
miniaturisiert und gleichzeitig die Genauigkeit der Bilderkennung
durch verbesserte Beleuchtungseffizienz ausreichend erhöht.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Die
genannte Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird durch einen Ring-Illuminator
erfüllt,
der die in Anspruch 1 enthaltenen Bestandteile umfasst. Das heißt, der
Ring-Illuminator
enthält
eine Lichtquelle, die aus mehreren lichtemittierenden Elementen gebildet
ist, die um eine optische Achse eines optischen Systems angeordnet
sind und wenigstens aus zwei Typen lichtemittierender Elemente bestehen, wobei
jeder Typ der lichtemittierenden Elemente eine jeweils andere Lichtemissionsfarbe
aufweist. Jede Gruppe der lichtemittierenden Elemente ist ringförmig in
der gleichen Ebene um die optische Achse herum im Wesentlichen senkrecht
zur optischen Achse angeordnet.
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Hinter
den Lichtemissionsrichtungen der lichtemittierenden Elemente ist
eine Kombiniereinrichtung angeordnet, die eine Spiegelvorrichtung
zur Kombination der von den lichtemittierenden Elementen abgestrahlten
Lichtstrahlen enthält,
welche jeweils unterschiedliche Lichtemissionsfarben aufweisen und
somit ein Beleuchtungslicht mit einem jeweiligen bestimmten Farbton
erzeugt. Darüber
hinaus ist hinter dem erzeugten Beleuchtungslicht eine Fokussiereinrichtung
angeordnet, die das Beleuchtungslicht auf eine bestimmte Position
entlang der optischen Achse fokussiert.
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Hier
beinhaltet die Bezeichnung „ringförmig um
die optische Achse herum angeordnet" eine runde ringförmige, eine dreieckig ringförmige, eine
quadratisch ringförmige
oder eine polygonal ringförmige Anordnung
einschließlich
einer fünfeckig
ringförmigen
Anordnung um die optische Achse herum.
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Des
Weiteren sind auch eine elliptisch ringförmige Anordnung oder eine rechteckig
ringförmige Anordnung
um die optische Achse herum in der Bezeichnung enthalten.
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Diesem
Aufbau entsprechend werden die gestrahlten Lichtstrahlen der lichtemittierenden
Elemente von unterschiedlichen Lichtemissionsfarben zum Beleuchtungslicht
des jeweilig bestimmten Farbtons mit Hilfe der Kombiniereinrichtung
kombiniert, die hinter den gestrahlten Lichtstrahlen angeordnet ist,
und das Beleuchtungslicht des bestimmten Farbtons wird auf die bestimmte
Position der Fokussiereinrichtung fokussiert. Auf diese Art und
Weise kann das Beleuchtungslicht, das vorwiegend durch die Kombiniereinrichtung
zu dem bestimmten Farbton kombiniert wird, erzeugt werden, und folglich
ist es möglich,
das Beleuchtungslicht in dem der Oberflächenfarbe des zu messenden
Objektes entsprechenden einheitlichen Farbton abzustrahlen. Dementsprechend
wird ein Kontrast eines durch ein optisches System erhaltenen Bildes
deutlich erkennbar, so dass die Erkennungsgenauigkeit von Kanten
oder Ähnlichem
des zu messenden Objektes ausreichend verbessert werden kann. Da
des Weiteren eine Verbesserung der Beleuchtungseffizienz durch Fokussieren
des Beleuchtungslichtes durch eine Fokussiereinrichtung auf eine
bestimmte Position gewährleistet
werden kann, kann die Anzahl der zu installierenden lichtemittierenden
Elemente reduziert werden, wodurch eine Miniaturisierung der Größe des Illuminators
möglich
ist.
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Die
Gruppen der lichtemittierenden Elemente, bei denen jede Gruppe eine
andere Lichtemissionsfarbe hat und die ringförmig angeordnet sind, können so
angeordnet werden, dass jede Gruppe voneinander beabstandet in einem
bestimmten Abstand entlang der Richtung der optischen Achse angeordnet
ist, und die Lichtemissionsrichtungen der Gruppen der lichtemittierenden
Elemente können deshalb
von der optischen Achse weggerichtet sein.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus kann, durch die Anordnung der Lichtquelle
in einer Art und Weise, dass die Lichtemissionsrichtung der lichtemittierenden
Elemente in die Richtung geleitet wird, die im Wesentlichen senkrecht
zur optischen Achse des optischen Systems und von der optischen
Achse weggerichtet liegt, in Bezug auf die Größen des Illuminators, der aus
der Kombiniereinrichtung und der Fokussiereinrichtung gebildet wird,
welche hinter der Lichtemissionsrichtung angeordnet sind, die Größe in der
Richtung parallel zur optischen Achse relativ klein gehalten werden.
Dementsprechend wird bei der Installation des Illuminators in das
optische System der Spielraum für
die Installationsposition entlang der optischen Achse erhöht, die
Einstellung des Fokussierbereiches und der Fokussierposition kann mit
hoher Genauigkeit ausgeführt
und die Erkennung des Bildes eines zu messenden Objektes verbessert werden.
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Die
Gruppen der lichtemittierenden Elemente, bei denen jede Gruppe eine
jeweils andere Lichtemissionsfarbe hat und die ringförmig angeordnet sind,
können
so angeordnet werden, dass jede Gruppe entlang von Kreisen angeordnet
ist, die einen unterschiedlichen Abstand zur optischen Achse auf
im Wesentlichen gleichen Ebenen, die im Wesentlichen senkrecht zur
optischen Achse sind, aufweisen, und die Lichtemissionsrichtung
ist so ausgerichtet, dass sie im Wesentlichen parallel zur optischen
Achse angeordnet ist.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus kann, durch die Anordnung der Lichtquelle
in einer Art und Weise, dass die Lichtemissionsrichtung der lichtemittierenden
Elemente in die Richtung geleitet wird, die im Wesentlichen parallel
zur optischen Achse des optischen Systems liegt, in Bezug auf die
Größen des
Illuminators, der durch die Kombiniereinrichtung und die Fokussiereinrichtung
gebildet wird, welche hinter der Lichtemissionsrichtung angeordnet
sind, die Größe in der
Strahlungsrichtung optische Achse herum klein gehalten werden.
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Dementsprechend
wird während
der Messung nach der Installation des Illuminators in das optische
System der Messungsvorgang nicht durch den Illuminator behindert,
wodurch ein schnelles Durchführen
der Messung ermöglicht
wird.
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Die
Vielzahl der lichtemittierenden Elemente kann drei Typen von Leuchtdioden
umfassen, die die jeweiligen Farben rot (R), grün (G) und blau (B) haben.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus kann, durch die Verwendung von Leuchtdioden,
die zu typischen lichtemittierenden Elementen gehören, eine
Lichtquelle mit einer hohen Reaktionszeit, einer langen Lebensdauer
und Ähnlichem
zur Verfügung
gestellt werden, welche Eigenschaften von Leuchtdioden sind. Gleichzeitig
kann durch die einheitliche Kombination der jeweiligen Farben rot
(R), grün
(G) und blau (B), den drei Hauptfarben des Lichtes, ein weißes Licht
erzeugt werden, das die Grundfarbe des Beleuchtungslichtes darstellt,
währenddessen
durch das angemessene Ändern
der Kombinationsmengen der jeweiligen Farben rot (R), grün (G) und
blau (B) das Beleuchtungslicht verschiedener Farbtöne erzeugt
werden kann. Dementsprechend kann das Beleuchtungslicht mit dem
optimalen Farbton zu den jeweiligen zu messenden Objekten mit verschiedenen Oberflächenfarben
gestrahlt werden, wodurch die Erkennungsgenauigkeit von Kanten oder Ähnlichem des
zu messenden Objektes weiterhin ausreichend verbessert werden kann.
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Die
Kombiniereinrichtung kann so gestaltet werden, dass sie dichroitische
Spiegel einer planen Form enthält.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus kann, mit der Verwendung von dichroitischen
Spiegeln, die sowohl das Hindurchlassen als auch das Reflektieren von
Licht in Abhängigkeit
der Wellenlänge
des Lichtes ermöglichen,
durch selektives Hindurchlassen oder Reflektieren der von den lichtemittierenden
Elementen abgegebenen Lichtstrahlen und aufgrund der sich voneinander
unterscheidenden Lichtemissionsfarben die Lichtstrahlen mit verschiedenen
Lichtemissionsfarben kombiniert werden, so dass das Beleuchtungslicht
mit einem bestimmten Farbton erzeugt werden kann. Des Weiteren kann
unter der Verwendung von dichroitischen Spiegeln mit einer einfachen
planen Form die Kombiniereinrichtung zu geringen Kosten aufgebaut
werden. Darüber
hinaus können
die Positionen des Reflektionslichtes und das Transmissionslicht
im Vergleich zu den Fällen
leicht berech net werden, in denen dichroitische Spiegel mit einer
gekrümmten
Oberfläche
verwendet werden. Dementsprechend kann die Anordnung und die Befestigung
der dichroitischen Spiegel auf einfache Art und Weise realisiert
werden und gleichzeitig der Kombiniervorgang des Beleuchtungslichtes
mit Genauigkeit ausgeführt
werden.
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Die
dichroitischen Spiegel haben solche Eigenschaften, dass sie Licht
mit einer Wellenlänge, die
kürzer
ist als eine bestimmte Wellenlänge,
reflektieren und Licht mit einer Wellenlänge, die länger ist als eine bestimmte
Wellenlänge,
hindurchlassen oder haben solche Eigenschaften, dass sie Licht mit einer
Wellenlänge,
die kürzer
als eine bestimmte Wellenlänge
ist, hindurchlassen und Licht mit einer Wellenlänge, die länger als eine bestimmte Wellenlänge ist,
reflektieren.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus kommt es je nach Wellenlänge des Lichtes bei einer bestimmten Wellenlänge nur
zu einem Übergang
von der Reflektion zu der Transmission oder von der Transmission zu
der Reflektion, verglichen mit dichroitischen Spiegeln, die den Übergang
der Eigenschaften von Reflektion zu Transmission zwei oder mehrere
Male für mehrere
Wellenlängen
durchführen,
die Anzahl von Schichten eines auf die Spiegeloberfläche aufgedampften Überzugs
ist gering, wodurch das Herstellen des Überzugs vereinfacht wird und
die Reflektions- und Transmissionseffizienz der dichroitischen Spiegel
verbessert werden kann.
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Das
Beleuchtungslicht ist weiter hinter der Kombiniereinrichtung angeordnet
und kann in eine Richtung im Wesentlichen senkrecht zur optischen Achse
und von der optischen Achse weggerichtet eingestellt werden; die
Fokussiereinrichtung ist so aufgebaut, dass sie einen Reflektionsspiegel
enthält, der
das Beleuchtungslicht in Richtung der optischen Achse fokussiert,
und der Reflektionsspiegel enthält eine
Reflektionsoberfläche
mit jeweils bestimmten Krümmungen
in Bezug auf zwei Querschnittsrichtungen parallel und senkrecht
zu der optischen Achse.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus wird das Beleuchtungslicht in Richtung der
optischen Achse durch den Reflektionsspiegel reflektiert, welcher
sich in einem größeren Abstand
zur optischen Achse befindet als die Lichtquelle und die Kombiniereinrichtung,
wodurch der Beleuchtungswinkel des auf das zu messende Objekt Bestrahlten
Beleuchtungslichtes vergrößert wird,
wobei, wenn das zu messende Objekt eine stereoskopische Form oder Ähnliches besitzt,
es möglich
ist, die Schatten der Kantenbereiche des zu messenden Objektes deutlich
zu erkennen. Des Weiteren besitzt die Reflektionsoberfläche des
Reflektionsspiegels eine Krümmung
für das
Fokussieren des Beleuchtungslichtes auf eine bestimmte Position
des zu messenden Objektes, womit das auf die bestimmte Position
des zu messenden Objektes zu strahlende Beleuchtungslicht in konzentrierter Form
abgegeben werden kann und die Beleuchtungseffizienz somit erhöht wird.
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Das
Beleuchtungslicht, das weiter hinter der Kombiniereinrichtung angeordnet
ist, kann auf eine Richtung im Wesentlichen parallel zur optischen
Achse eingestellt werden; die Fokussiereinrichtung ist so gestaltet,
dass sie einen ersten Reflektionsspiegel, der das Beleuchtungslicht
in der Richtung von der optischen Achse weg reflektiert, und einen
zweiten Reflektionsspiegel enthält,
der das an dem Reflektionsspiegel reflektierte Beleuchtungslicht
als Satz in Richtung der optischen Achse reflektiert, wobei wenigstens
der erste Reflektionsspiegel oder der zweite Reflektionsspiegel
eine Reflektionsfläche
enthält,
die entsprechende Krümmungen
in Bezug auf zwei Querschnittsrichtungen parallel und senkrecht
zu der optischen Achse aufweist.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus kann, durch Ausrichtung des Strahlungslichtes
von der Lichtquelle und des von der Kombiniereinrichtung abgestrahlten
Beleuchtungslichtes parallel zur optischen Achse und durch das Vorhandensein
des Reflektionsspiegels nahe bei dem zu messenden Objekt, von verschiedenen
Größen des
Illuminators die Größe der Strahlungsrichtung
um der optischen Achse klein gehalten werden. Des Weiteren ist die
Krümmung,
die das Beleuchtungslicht auf eine bestimmte Position fokussiert,
auf der Reflektionsoberfläche
von entweder dem ersten oder zweiten Reflektionsspiegel oder den
Reflexionsoberflächen
beider Reflektionsspiegel vorhanden, womit das Beleuchtungslicht
in konzentrierter Form auf eine Position des zu messenden Objektes
gestrahlt werden kann und die Beleuchtungseffizienz somit verbessert
wird.
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Die
Lichtquelle und die Kombiniereinrichtung können an dem Illuminator-Körper befestigt
werden, die Fokussiereinrichtung wird in einer solchen Art und Weise
befestigt, dass die Fokussiereinrichtung in Bezug auf den Illuminator-Körper in
Richtung im Wesentlichen parallel zu der optischen Achse relativ
beweglich ist, und der Ring-Illuminator enthält eine Einstellvorrichtung,
welche die Position, auf die das Beleuchtungslicht fokus siert wird,
durch die relative Bewegung des Illuminator-Körpers und der Fokussiereinrichtung
einstellt.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus wird, durch das Vorhandensein der relativen
Bewegung zwischen dem Illuminator-Körper an dem die Lichtquelle und
die Fokussiereinrichtung befestigt sind, sowie der Fokussiereinrichtung
entlang der optischen Achse, das Beleuchtungslicht an der Reflektionsoberfläche des
Reflektionsspiegels mit gekrümmter
Oberfläche
an Positionen mit unterschiedlichem Neigungswinkel reflektiert,
wodurch der Reflektionswinkel geändert
wird. Dementsprechend ist es möglich,
den Beleuchtungswinkel in Bezug auf ein zu messendes Objekt einzustellen,
und folglich kann das Beleuchtungslicht mit dem richtigen Beleuchtungswinkel
entsprechend der Größe-, Form- und Oberflächenbedingungen
des zu messenden Objektes erreicht werden, wodurch die Erkennungsgenauigkeit
von Kanten oder Ähnlichem
des zu messenden Objektes weiter verbessert werden kann. Das Beleuchtungslicht, das
weiter hinter der Kombiniereinrichtung angeordnet ist, kann auf
eine Richtung im Wesentlichen parallel zur optischen Achse eingestellt
werden, und die Fokussiereinrichtung ist so gestaltet, dass sie
eine im Wesentlichen Donut-förmige
Linse mit einem Loch im Mittelabschnitt aufweist.
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Aufgrund
eines solchen Aufbaus kann durch die Verwendung der Linse, einem
optischen Element für
allgemeine Anwendungen, der Ring-Illuminator zu geringen Kosten
hergestellt werden. Gleichzeitig kann, durch die Verwendung der
Linse mit hoher Transmissionsfähigkeit
und hoher Genauigkeit der Transmissionsverlust des Beleuchtungslichtes
auf einen kleinen Wert reduziert werden, und es ist möglich, das
Beleuchtungslicht genau auf einen Beleuchtungsbereich zu fokussieren,
wodurch die Beleuchtungseffizienz weiter verbessert werden kann.
Des Weiteren kann die Objektivlinse oder Ähnliches, die das optische
System bildet, durch das im Mittelabschnitt der Linse befindliche
Loch in den Ring-Illuminator eindringen, oder es ist möglich, dass
das Reflektionslicht von dem zu messenden Objekt ohne Unterbrechung
die Objektivlinse erreicht, und folglich kann die Messung des zu
messenden Objektes ungehindert ausgeführt werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER
ZEICHNUNGEN
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1 zeigt
eine perspektivische Ansicht eines Ring-Illuminators entsprechend
des ersten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung.
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2 zeigt
eine Querschnittsdarstellung des Ring-Illuminators entsprechend
des oben genannten Ausführungsbeispiels.
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3 zeigt
eine Unteransicht des Ring-Illuminators entsprechend des oben genannten
Ausführungsbeispiels.
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4 zeigt
eine Querschnittsdarstellung des Ring-Illuminators entsprechend
des zweiten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung.
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5 zeigt
eine Querschnittsdarstellung des Ring-Illuminators entsprechend
des dritten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung.
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BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
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Im
Folgenden werden die bevorzugten Ausführungsbeispiele eines Ring-Illuminators
entsprechend der vorliegenden Erfindung zusammen mit den Zeichnungen
ausführlich
erläutert.
In den folgenden Erläuterungen
besitzen identische, den Aufbau betreffende Elemente die gleichen
Nummern, und ihre Erklärung
wird weggelassen oder vereinfacht.
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In 1 bis 3 ist
ein Ring-Illuminator 10 entsprechend des ersten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung dargestellt, die Ring-Illuminatoren 50, 60 entsprechend
des zweiten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung sind jeweils in 4 und 5 dargestellt.
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Erstes Ausführungsbeispiel
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1 zeigt
eine allgemeine perspektivische Ansicht des Ring-Illuminators 10, 2 zeigt
eine Querschnittsdarstellung des Ring-Illuminators und 3 zeigt
eine Unteransicht des Ring-Illuminators, teils als Querschnittsdarstellung.
In 1 bis 3 dient der Ring-Illuminator 10 der
Beleuchtung eines zu messenden Objektes 3 (Arbeit), welches
sich auf der Messkonsole 2 eines Bildmessgerätes befindet, welches
in der Zeichnung nicht dargestellt ist und auf einer Objektivlinse 1 befestigt
ist, die ein vergrößerndes
optisches Systems des Messgerätes
oder Ähnlichem
darstellt. In dem in 2 dargestellten Bildmessgerät dient
eine Antriebsvorrichtung (in der Zeichnung nicht dargestellt) der
Antriebssteuerung der Messkonsole 2 in zwei senkrechte
Achsenrichtungen auf der horizontalen Ebene, das heißt, in Rechts-Links-Richtung
sowie in Vor-Zurück-Richtung. Des Weiteren
ist es in 2 durch eine Antriebssteuerung
für die
Objektivlinse 1 in senkrechter Richtung, das heißt, von
oben nach unten, möglich, eine
Position und einen Messabstand der Objektivlinse 1 passend
für einen
Teil des zu messenden Objektes 3 einzustellen.
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Der
Ring-Illuminator 10 besitzt ein Gehäuse 11, das die Objektivlinse 1 umgibt
und als Illuminatorgehäuse
dient, in dem die ganze Einheit ringförmig die optische Achse 1A der
Objektivlinse 1 und einen Lichtquellenkörper 12 umgibt, der
im Inneren des Gehäuses 11 auf
einer Seite nahe der Objektivlinse 1 befestigt ist. Im
Inneren des Lichtquellenkörpers 12 befinden
sich mehrere Leuchtdioden 20, die die Lichtquelle darstellen
sowie eine Gruppe von Spiegeln 30 als Kombiniereinrichtungen.
Ein Reflektionsspiegel 40, der als Fokussiereinrichtung
dient, ist um den Lichtquellenkörper 12 herum
angeordnet. Darüber
hinaus wird in 2 die Position der Objektivlinse 1 in
vertikaler Richtung so festgelegt, dass die Objektivlinse zu dem
zu messenden Objekt durch einen Messabstand beabstandet ist. Hier
wird das Beleuchtungslicht auf ein zu messendes Objekt 3 in
einem Beleuchtungswinkel 01 entsprechend eines Abstandes (funktioneller
Abstand) zwischen dem Ring-Illuminator 10, der auf der
Objektivlinse 1 befestigt ist und dem zu messenden Objekt 3,
gestrahlt.
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Das
Gehäuse 11 wird
durch die Verarbeitung eines Metallbleches oder Ähnlichem hergestellt und ist
in 2 ringförmig
nach unten geöffnet
und enthält
eine Linse in Loch 11a, das in 2 senkrecht durch
einen Mittelabschnitt des Gehäuses
verläuft. Die
Linse in dem Loch 11a des Gehäuses 11 hat einen
Innendurchmesser einer Größe, die
es ermöglicht,
dass die Objektivlinse mit etwas Spielraum durch das Loch verläuft. Des
Weiteren befindet sich an dem Gehäuse 11 eine nicht
in der Zeichnung dargestellte Befestigungsvorrichtung, mit der der
Ring-Illuminator 10 so an der Objektivlinse 1 befestigt
wird, dass die Objektivlinse 1 durch das Gehäuse 11 verläuft. Als
eine solche Befestigungsvorrichtung können zum Beispiel drei Schrauben
verwendet werden, die so im Gehäuse 11 eingesetzt
sind, dass sie zu der oder von der Objektivlinse 1 weg
bewegt werden können.
-
Der
Lichtquellenkörper 12 wird
durch die Verarbeitung eines Metallbleches oder Ähnlichem in der gleichen Art
und Weise wie das Gehäuse 11 hergestellt
und besteht aus einem kastenförmigen
Bauteil einer im Wesentlichen achteckigen planen Form, in dem Eckbereiche
einer im Wesentlichen rechteckigen Form abgekantet wurden. An vier
Seiten des Lichtquellenkörpers 12,
und zwar auf den Seiten, die von der Objektivlinse 1 entfernt
liegen, sind Schlitze 13 entlang einer Ebene angeordnet,
die im Wesentlichen senkrecht zur optischen Achse 1A verläuft.
-
Im
Inneren des Lichtquellenkörpers 12 sind Leuchtdioden
mit drei Typen von Lichtemissionsfarben (rot, grün, blau) für die jeweiligen Typen angeordnet.
Die Leuchtdioden 20 der jeweiligen Farben sind so angeordnet,
dass die roten (R) Leuchtdioden 21, die grünen (G)
Leuchtdioden 22 und die blauen (B) Leuchtdioden 23 in 2 entlang
der optischen Achse 1A in einem bestimmten Abstand von
oben nach unten nacheinander angeordnet sind und in einer im Wesentlichen
rechteckigen planen Form um die optische Achse 1A herum
auf Ebenen liegen, die jeweils im Wesentlichen senkrecht zur optischen
Achse 1A angeordnet sind. In Bezug auf die Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B sind sieben Leuchtdioden entlang einer
jeden Seite einer im Wesentlichen rechteckig planen Form angeordnet,
und diese Leuchtdioden sind im Wesentlichen senkrecht zu den jeweiligen
Seiten angeordnet und haben ihre Lichtemissionsrichtungen von der
optischen Achse 1A weggerichtet.
-
An
den entfernten Endabschnitten der Leuchtdioden 20 der jeweiligen
Farben sind Brennlinsen so in Lichtemissionsrichtung befestigt,
dass die Divergenzwinkel der erzeugten Beleuchtungslichtstrahlen
einen bestimmten Winkel (zum Beispiel 20°) annehmen, und diese Leuchtdioden 20 sind
an einen Steuerkreis und eine Stromquelle angeschlossen, die in
der Zeichnung nicht dargestellt sind.
-
Hinter
den Lichtemissionsrichtungen der Leuchtdioden 20 der jeweiligen
Farben sind Spiegelgruppen 30 angeordnet, von denen jede
aus drei Typen von Spiegeln 31, 32, 33 besteht,
wobei die jeweiligen Spiegel 31, 32, 33 in
einer im Wesentlichen rechteckigen planen Form gestaltet sind und
die Längsrichtungen
dieser Spiegel im Wesentlichen parallel zu den Reihen der Leuchtdioden 21, 22, 23 der jeweiligen
Farben R, G, verlaufen, und eine längslaufende Länge dieser
Spiegel ist im Wesentlichen auf die gleiche Länge der jeweiligen Seitenlängen der Leuchtdioden 20 eingestellt,
die in einer im Wesentlichen planen rechteckigen Form angeordnet
sind. Des Weiteren sind die Spiegel 31, 32, 33 in
einem im Wesentlichen 45°-geneigten
Winkel in Bezug auf die optische Achse 1A in der Querschnittsrichtung
entlang der optischen Achse 1A angeordnet.
-
Die
Spiegel 31 sind Reflektionsspiegel und sind so angeordnet,
dass sie das von den roten Leuchtdioden 21 abgestrahlte
Licht entlang der optischen Achse 1A zu dem zu messenden
Objekt 3 reflektieren.
-
Die
Spiegel 32, 33 sind jeweils dichroitische Spiegel
und haben solche Eigenschaften, dass sie Licht mit einer Wellenlänge, die
kürzer
ist als eine bestimmte Wellenlänge,
reflektieren und Licht mit einer Wellenlänge, die länger ist als eine bestimmte
Wellenlänge,
durchlassen oder Eigenschaften haben, dass sie Licht mit einer Wellenlänge, die
kürzer
ist als eine bestimmte Wellenlänge
ist, durchlassen und Licht mit einer Wellenlänge, die länger ist als eine bestimmte
Wellenlänge,
reflektieren. Das heißt,
die Spiegel 32, 33 sind dichroitische Spiegel,
in denen nur ein Übergang
von Eigenschaften von der Reflektion zur Transmission und von der
Transmission zur Reflektion je nach Wellenlänge des Lichtes nur ein Mal
bei einer bestimmten Wellenlänge
erfolgt.
-
Der
Spiegel 32 ist so angeordnet, dass der Spiegel 32 das
vom Spiegel 31 reflektierte rote Licht durchlässt und
das von der grünen
Leuchtdiode 22 abgestrahlte grüne Strahlungslicht, das eine
Wellenlänge
hat, die kürzer
als die des roten Lichtes ist, in Richtung zum zu messenden Objekt 3 entlang
der optischen Achse 1A reflektiert.
-
Der
Spiegel 33 ist so angeordnet, dass der Spiegel 33 das
von dem Spiegel 32 hindurchgelassene rote Licht und das
von dem Spiegel 32 reflektierte grüne Licht reflektiert und das
von der blauen Leuchtdiode 23 abgestrahlte blaue Strahlungslicht
hindurchlässt,
das eine Wellenlänge
hat, die kürzer
als die Wellenlänge
des roten und grünen
Lichtes ist.
-
Hinter
einer weiterführenden
Richtung des Beleuchtungslichtes (das heißt, hinter der Richtung, von
der optischen Achse 1A weggerichtet, auf der Ebene, die
im Wesentlichen senkrecht zur optischen Achse 1A angeordnet
ist), das durch die Kombination des von dem Spiegel 33 reflektierten
roten und grünen
Lichtes und des von dem Spiegel 33 hindurchgelassenen blauen
Lichtes erzeugt wird, ist ein Reflektionsspiegel 40 angeordnet.
Der Reflektionsspiegel 40 ist zwischen jeweils planen rechteckigen
Seiten des Lichtquellenkörpers 12 und
dem Gehäuse 11 angeordnet,
und die relative Position des Reflektionsspiegels 40 in
Bezug auf den Lichtquellenkörper 12 ist
entlang der optischen Achse 1A durch eine in der Zeichnung
nicht dargestellte Steuerungsvorrichtung, die im Inneren des Gehäuses 11 befestigt
ist, relativ beweglich.
-
Der
Reflektionsspiegel 40 besteht aus einem metallenen Reflektionsspiegelkörper 41,
in dem eine Seitenoberfläche
auf einer Seite gegenüber
der optischen Achse 1A durch eine Spiegeloberflächenbeschichtung
eine Reflektionsoberfläche 42 erhält, die das
Licht reflektiert. Auf der Reflektionsoberfläche 42 ist eine konvexe
Krümmung
gebildet, die in Bezug auf die Querschnittsrichtung entlang der
optischen Achse 1A von der optischen Achse 1A weggerichtet ist,
wodurch das Beleuchtungslicht zum zu messenden Objekt 3 reflektiert
wird. Des Weiteren ist, ebenfalls in Bezug auf die plane Richtung
im Wesentlichen senkrecht zur optischen Achse 1A eine konvexe Krümmung auf
der Reflektionsoberfläche 42 von
der optischen Achse 1A weggerichtet gebildet, die einen Radius
hat, der im Wesentlichen zwei Mal so groß ist wie der Abstand von der
optischen Achse 1A zum Reflektionsspiegel 40,
wodurch das Beleuchtungslicht, das sich in die Richtung im Wesentlichen
parallel zur Lichtemissionsrichtung der Leuchtdioden 20 vorwärts bewegt,
welche in im Wesentlichen rechteckiger Form und von der optischen
Achse 1A weg angeordnet sind, zur optischen Achse 1A reflektiert wird.
-
Im
Folgenden wird die Funktionsweise des Ring-Illuminators 10 entsprechend
dieses Ausführungsbeispiels
erläutert.
-
Zuallererst
wird die Position der Objektivlinse 1 in Bezug auf den
eingestellten Messabstand je nach Größe, Form und Messbereich des
zu messenden Objektes 3 eingestellt und der Ring-Illuminator 10 auf
der Objektivlinse 1 befestigt.
-
Um
den Farbton des Beleuchtungslichtes entsprechend dem Farbton des
zu messenden Objektes 3 angemessen einzustellen, werden
von den als Lichtquelle vorhandenen Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B die Leuchtdioden 20 der angemessenen
Farben ausgewählt
und die Beleuchtungs- und Ausschaltsteuerung dieser Leuchtdioden 20 durchgeführt. Das
heißt,
wenn alle der Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B eingeschaltet werden, wird das von der
Spiegelgruppe 30 kombinierte Licht als weißes Licht
erzeugt, währenddessen,
wenn nur die Leuchtdioden einer einzigen Farbe eingeschaltet werden,
das Beleuchtungsfarbe jeweils diese Farbe besitzt. Des Weiteren wird,
wenn die Leuchtdioden 20 zweier beliebiger Farben aus den Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B ausgewählt
und eingeschaltet werden, ein aus diesen zwei ausgewählten Farben kombiniertes
Beleuchtungslicht erzeugt. Darüber
hinaus kann durch teilweises Ein- oder Ausschalten von einer oder
zwei beliebig ausgewählter
Leuchtdioden 21, 22, 23 ein Beleuchtungslicht
einer Zwischenfarbe erzeugt werden.
-
Des
Weiteren enthält
der Ring-Illuminator 10 eine Einstellvorrichtung zur Anpassung
eines Beleuchtungswinkel, um je nach Oberflächenform des zu messenden Objektes 3 einen
angemessenen Beleuchtungswinkel einzustellen. Wenn zum Beispiel die
Kanten von Unregelmäßigkeiten
eines zu messenden Objektes 3 mit vielen Unregelmäßigkeiten auf
seiner Oberfläche
erkannt werden müssen,
kann die Einstellvorrichtung den Beleuchtungswinkel auf einen großen Beleuchtungswinkel
02 einstellen. Das heißt,
der Reflektionsspiegel 40, der so befestigt ist, dass der
Reflektionsspiegel 40 zum den Beleuchtungskörper und
den Lichtquellenkörper 12 umgebenden
Gehäuse 11 relativ
bewegbar ist, wird, wie in 2 durch
eine doppeltgestrichelte Kettenlinie dargestellt, in die entlang
der optischen Achse 1A vom zu messenden Objekt 3 weggerichtete
Richtung bewegt, und, gleichzeitig wird die Befestigungsposition des
Ring-Illuminators 10 auf der Objektivlinse 1 auf eine
Position eingestellt, die nahe dem zu messenden Objekt 3 liegt.
Aufgrund eines solchen Aufbaus wird das durch die Spiegelgruppe 30 des
Lichtquellenkörpers 12 kombinierte
und durch die Schlitze 13 des Lichtquellenkörpers 12 hindurchgelassene
Beleuchtungslicht an einer Position der Reflektionsoberfläche 42 des
Reflektionsspiegels 40 reflektiert, welche sich in der
Nähe des
zu messenden Objektes 3 befindet, das heißt, an einer
Position der Reflektionsoberfläche 42,
die eine Krümmung
aufweist, wo der Neigungswinkel in Bezug auf die optische Achse 1A klein
ist. Dementsprechend wird das reflektierte Beleuchtungslicht zu
dem zu messenden Objekt 3 mit dem großen Beleuchtungswinkel 02 in
Bezug auf die optische Achse 1A gestrahlt.
-
Aufgrund
eines solchen Aufbaus können
entsprechend dieses Ausführungsbeispiels
die folgenden vorteilhaften Auswirkungen erzielt werden.
- (1) Die von den Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B erzeugten Lichtstrahlen werden zum Beleuchtungslicht
des jeweiligen Farbtons durch die Spiegelgruppe 30 einschließlich der
dichroitischen Spiegel 32, 33 kombiniert, die vor
den Leuchtdioden 21, 22, 23 angeordnet
sind, und das kombinierte Beleuchtungslicht wird zum zu messenden
Objekt 3 gestrahlt, und dadurch ist es möglich, das
BeleuchOberflächenfarbe
des zu messenden tungslicht mit dem der Objektes 3 entsprechenden
Farbton zu erzeugen. Das heißt,
der Kontrast des durch die Objektivlinse 1 erhaltenen Bildes
vom zu messenden Objektes 3 wird deutlicher erkennbar,
wodurch die Erkennungsgenauigkeit von Kanten oder Ähnlichem
des zu messenden Objektes ausreichend verbessert werden kann.
- (2) Durch das Kombinieren der von den Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B erzeugten Lichtstrahlen mit Hilfe der
Spiegelgruppe 30 als Kombiniereinrichtung, wird das Beleuchtungslicht,
das vorwiegend von der Spiegelgruppe 30 zu dem bestimmten
Farbton kombiniert wird, zu dem zu messenden Objekt 3 gestrahlt.
Dementsprechend ist es möglich,
das Beleuchtungslicht in einem einheitlichen Farbton ohne Unregelmäßigkeiten
zu erzeugen, verglichen mit einem Fall, in dem die Lichtstrahlen
der jeweiligen Farben an der Oberfläche des zu messenden Objektes 3 kombiniert
werden. Damit kann die Erkennungsgenauigkeit weiter verbessert werden.
- (3) Durch das Konzentrieren des Beleuchtungslichtes auf das
zu messende Objekt 3 mit Hilfe des Reflektionsspiegels 40 wird
die Beleuchtungseffizienz verbessert, so dass die Anzahl der zu
installierenden Leuchtdioden 20 reduziert und die Größe des Illuminators
miniaturisiert werden kann.
- (4) Verglichen mit der verwandten Technik kann die Anzahl der
zu installierenden Leuchtdioden 20 reduziert werden, wodurch
die nachteilige Auswirkung, dass durch die Leuchtdioden 20 erzeugte Wärme das
Bildmessgerät
schädigt,
verringert werden kann, und gleichzeitig können der Stromverbrauch und
somit die Stromkosten gesenkt werden.
- (5) Durch die Verwendung von Leuchtdioden 20 als Lichtquelle
ist es möglich,
die Lichtquelle mit schneller Reaktionszeit und langer Lebensdauer bereitzustellen,
Eigenschaften, die charakteristisch für Leuchtdioden sind. Des Weiteren
kann mit der Verwendung der Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B das weiße Licht erzeugt werden, welches
das Beleuchtungslicht der Grundfarbe darstellt, und gleichzeitig
kann durch das richtige Ändern
des Kombinationsverhältnisses
der jeweiligen Farben RGB Beleuchtungslicht mit unterschiedlichen
Farbtönen
erzeugt werden. Dementsprechend ist es möglich, das Beleuchtungslicht
mit dem optimalen Farbton auf das zu messende Objekt 3 entsprechend
der unterschiedlichen Oberflächenfarben
des zu messenden Objektes 3 zu erzeugen.
- (6) Durch die Verwendung von dichroitischen Spiegeln 32, 33,
die die Spiegelgruppe 30 als Kombiniereinrichtung bilden,
ist es möglich,
das Beleuchtungslicht des bestimmten Farbtons zu kombinieren. Darüber hinaus
ist es möglich,
durch die Anordnung der dichroitischen Spiegel 32, 33, in
einer im Wesentlichen einfachen rechteckigen planen Form, die Spiegelgruppe
kostengünstig
zu bilden. Des Weiteren können,
verglichen mit einem Fall, in dem dichroitische Spiegel mit gekrümmten Oberflächen verwendet
werden, die Positionen der Reflektions- und Transmissionslichtstrahlen
leicht berechnet werden, wodurch es möglich ist, die Anordnung und
Befestigung der dichroitischen Spiegel 32, 33 einfach
durchzuführen,
und gleichzeitig kann das Beleuchtungslicht genau kombiniert werden.
- (7) Die Spiegel 32, 33 sind dichroitische
Spiegel, in denen nur ein Übergang
von Eigenschaften von der Reflektion zur Transmission und von der Transmission
zur Reflektion je nach Wellenlänge des
Lichtes bei einer bestimmten Wellenlänge erfolgt. Dementsprechend
kann, im Vergleich zu dichroitischen Spiegeln, die den Übergang
der Eigenschaften von der Reflektion zur Transmission zwei oder
mehrere Male für
mehrere Wellenlängen
durchführen,
die Anzahl von Schichten eines auf die Spiegeloberfläche aufgedampften Überzugs
gering gehalten werden, wodurch das Herstellen des Überzugs
vereinfacht wird und die Reflektions- und Transmissionseffizienz
der dichroitischen Spiegel verbessert werden kann.
- (8) Durch die Bildung des Illuminators in einer Art und Weise,
dass die Lichtemissionsrichtungen der Leuchtdioden 20 in
die Richtung im Wesentlichen senkrecht zur optischen Achse 1A und
von der optischen Achse 1A weggerichtet sind, und die Spiegelgruppe 30 und
der Reflektionsspiegel 40 hinter der Lichtemissionsrichtung
angeordnet sind, kann in Bezug auf die Größen des Illuminators die Größe in der
Richtung parallel zur optischen Achse 1A reduziert werden,
wodurch der Spielraum der Befestigungsposition entlang der optischen
Achse 1A zum Zeitpunkt der Befestigung des Illuminators
an die Objektivlinse 1 verbessert werden kann, wodurch
die Einstellung des funktionellen Abstandes und des Beleuchtungswinkels
genau durchgeführt
werden und die Erkennungsgenauigkeit des Bildes vom zu messenden
Objektes 3 verbessert werden kann.
- (9) Der Reflektionsspiegel 40 wird an einer Position
angeordnet, die weiter von der optischen Achse 1A als der
Lichtquellenkörper 12 entfernt
liegt, und das Beleuchtungslicht wird in Richtung der optischen
Achse 1A von dem Reflektionsspiegel 40 reflektiert,
wodurch der Beleuchtungswinkel 01 des zu dem zu messenden Objekt
ge strahlten Beleuchtungslichtes vergrößert wird, wodurch Schatten
von Kantenbereichen des zu messenden Objektes 3 deutlich
erkannt werden können, wenn
dieses eine stereoskopische Form aufweist. Da die Krümmung für das Fokussieren
des Beleuchtungslichtes auf eine bestimmte Position auf der Reflektionsoberfläche 42 des
Reflektionsspiegels 40 vorhanden ist, kann das Beleuchtungslicht auf
die zu messende Position des zu messenden Objektes 3 in
konzentrierter Form gestrahlt werden, wodurch die Beleuchtungseffizienz
verbessert wird.
- (10) Die konvexe Krümmung
ist auf der Reflektionsoberfläche 42 des
Reflektionsspiegels 40 von der optischen Achse 1A weggerichtet,
in Bezug auf zwei Richtungen bestehend aus der Querschnittsrichtung
entlang der optischen Achse 1A und der planen Richtung,
die im Wesentlichen senkrecht zur optischen Achse 1A liegt,
vorhanden.
- Dementsprechend ist es möglich,
das Beleuchtungslicht auf die zu messende Position des zu messenden
Objektes 3 in konzentrierter Form zu strahlen, wodurch
die Beleuchtungseffizienz verbessert wird.
- (11) Dadurch, dass der Reflektionsspiegel 40 entlang
der optischen Achse 1A in Bezug auf das Gehäuse 11 und
den Lichtquellenkörper 12 relativ beweglich
ist, wird das Beleuchtungslicht an einer Position reflektiert, die
einen anderen Neigungswinkel auf der Reflektionsoberfläche 42 des
Reflektionsspiegels 40 mit gekrümmter Oberfläche hat,
wodurch der Reflektionswinkel geändert
und der Beleuchtungswinkel in Bezug auf das zumessende Objekt 3 eingestellt
werden kann. Dementsprechend kann das Beleuchtungslicht je nach Größen-, Form-
und Oberflächenbedingungen des
zu messenden Objektes 3 mit dem richtigen Beleuchtungswinkel
01, 02 erhalten werden, wodurch eine weitere Verbesserung der Erkennungsgenauigkeit
der Kanten oder Ähnlichem
des zu messenden Objektes 3 erreicht werden kann.
- (12)
-
Zweites Ausführungsbeispiel
-
Im
Folgenden wird das zweite Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung erläutert. 4 zeigt
eine Querschnittsdarstellung eines Ring-Illuminators 50 entsprechend
des zweiten Ausführungsbeispiels.
Der Aufbau des Ring-Illuminators 50, durch den sich dieses
Ausführungsbeispiel
von dem oben beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel unterscheidet,
beinhaltet die Anordnungsrichtung der Leuchtdioden 20 als
Lichtquelle und die Verwendung einer Linse 54 anstelle
des Reflektionsspiegels 40 als Fokussiereinrich tung. Andere
Aufbauarten sind im Wesentlichen mit denen des ersten Ausführungsbeispiels
identisch.
-
In 4 sind
die Leuchtdioden 21, 22, 23 der jeweiligen
Farben R, G, B in einem Ring um die optische Achse herum auf Ebenen
im Wesentlichen senkrecht zu der optischen Achse angeordnet, wobei die
Leuchtdioden 21, 22, 23 in im Wesentlichen rechteckigen
Formen mit unterschiedlichem Abstand von der optischen Achse 1A für die jeweiligen
Farben ebenso wie in einer bestimmten Strecke zueinander beabstandet
angeordnet sind. Das heißt,
von der Seite, die der optischen Achse 1A am nächsten ist,
sind die Leuchtdioden 21 der roten Farbe (R), die Leuchtdioden 22 der
grünen
Farbe (G) und die Leuchtdioden 23 der blauen Farbe (B)
hintereinander angeordnet. Die jeweiligen Leuchtdioden 20 haben
ihre Lichtemissionsrichtungen im Wesentlichen parallel zur optischen
Achse 1A angeordnet, so dass die Lichtemissionsrichtungen
zu dem zu messenden Objekt 3 gerichtet werden.
-
Hinter
den Lichtemissionsrichtungen der Leuchtdioden 20 sind Spiegelgruppen 30, ähnlich den
Spiegelgruppen 30 des oben genannten ersten Ausführungsbeispiels,
angeordnet. Aufgrund dieser Spiegelgruppen 30 werden die
von den Leuchtdioden 21, 22, 23 der jeweiligen
Farben R, G, B erzeugten Lichtstrahlen an der Spiegelgruppe 30 reflektiert oder
durch die Spiegelgruppe 30 in die Richtung von der optischen
Achse 1A weggerichtet hindurchgelassen, und das Beleuchtungslicht
des bestimmten Farbtons wird kombiniert. Das kombinierte Beleuchtungslicht
verläuft
im Wesentlichen parallel zur optischen Achse 1A und bewegt
sich zu dem zu messenden Objekt 3.
-
Ein
Lichtquellenkörper 52,
der die Leuchtdioden 20 und die Spiegelgruppe 30 enthält, wird
mit Schlitzen 53 bereitgestellt, durch die das Beleuchtungslicht
in einer bodenseitigen Wand gegenüber dem zu messenden Objekt 3 hindurchgelassen
wird. Die Schlitze 53 sind auf einer Seite von der Objektivlinse 1 weggerichtet
im Mittelabschnitt der Wand eingebracht.
-
Das
Gehäuse 51 ist
auf dem Lichtquellenkörper 52 befestigt
und ist, wie in 4 dargestellt, in Form eines
nach unten geöffneten
Rings gebildet und enthält
eine Linse in Loch 51A, das senkrecht durch einen Mittelabschnitt
des Gehäuses
verläuft.
-
Die
Linse 54, die als Fokussiereinrichtung dient, ist an der
offenen Seite des Gehäuses 51 befestigt.
Die Linse 54 besteht aus transparentem Glas und ist in
einer im Wesentlichen Donut-förmigen Form
gebildet. Diese Linse 54 weist einen Mittelabschnitt auf,
der im Wesentlichen in Richtung der optischen Achse 1A ausgerichtet
ist; die Dicke nimmt zum äußeren Rand
hin allmählich
ab, und die Linse weist ein Loch 55 im Wesentlichen in
ihrem Mittelabschnitt auf. Des Weiteren besitzt die Linse 54 eine Funktion,
dass sie das durch die Schlitze 53 des Lichtquellenkörpers 52 hindurchgelassene
Licht beugt sowie eine Funktion, dass sie das Beleuchtungslicht
in einem Beleuchtungswinkel 03 entsprechend ihrer Brennweite auf
das zu messende Objekt 3 fokussiert.
-
Aufgrund
eines solchen Aufbaus können
entsprechend dieses Ausführungsbeispiels
die folgenden vorteilhaften Auswirkungen zusätzlich zu den bereits genannten
vorteilhaften Auswirkungen (1), (2), (4) bis (7), erzielt werden.
- (12) Durch die Bildung eines Illuminators in
einer Art und Weise, dass die Lichtemissionsrichtungen der Leuchtdioden 20 in
die Richtung im Wesentlichen parallel zur optischen Achse 1A verlaufen und
die Spiegelgruppe 30 sowie die Linse 54 hinter
den Lichtemissionsrichtungen angeordnet sind, kann, in Bezug auf
die Größe des Illuminators,
die Größe der Strahlungsrichtung
um die optischen Achse 1A herum klein gehalten werden, wodurch,
bei der Durchführung
der Messung durch die Befestigung des Illuminators an Objektivlinse 1,
die Messung nicht durch den Illuminator behindert wird und die Messung
somit schnell durchgeführt
werden kann.
- (13) Durch die Verwendung der Linse 54, ein optisches
Element für
allgemeine Anwendungen, kann der Ring-Illuminator 50 zu
geringen Kosten hergestellt werden. Gleichzeitig kann durch die Verwendung
der Linse 54 von hoher Durchlässigkeit und großer Genauigkeit
der Transmissionsverlust des Beleuchtungslichtes auf einen geringen
Wert reduziert werden, und es ist möglich, das Beleuchtungslicht
genau auf einen Beleuchtungsbereich zu fokussieren, wodurch die
Beleuchtungseffizienz weiter verbessert werden kann.
- (14) Die Objektivlinse 1 kann durch den Ring-Illuminator 50 durch
das im Mittelabschnitt der Linse 54 vorhandene Loch hindurchlaufen,
und gleichzeitig kann das Reflektionslicht vom zu messenden Objekt 3 die
Objektivlinse 1 ohne Unterbrechung erzu messenden reichen,
wodurch die Messung des Objektes 3 ungehindert durchgeführt werden
kann.
-
Drittes Ausführungsbeispiel
-
Im
Folgenden wird das dritte Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung erläutert. 5 zeigt
eine Querschnittsdarstellung eines Ring-Illuminators 60 entsprechend
des dritten Ausführungsbeispiels.
Der Aufbau des Ring-Illuminators 60, der sich von dem oben
beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel
unterscheidet, beinhaltet die Anordnungsrichtung der Leuchtdioden 20 als
Lichtquelle und die Verwendung des Reflektionsspiegels 40 als
Fokussiereinrichtung. Andere Aufbauformen sind im Wesentlichen mit
denen des ersten Ausführungsbeispiels
identisch.
-
In 5 ist
das Gehäuse 61,
auf dem ein Lichtquellenkörper 62 befestigt
ist, wie in 5 dargestellt, in Form eines
nach unten geöffneten
Rings gebildet und enthält
eine Linse in Loch 61A, das in 5 senkrecht
durch einen Mittelabschnitt des Gehäuses verläuft.
-
Der
Lichtquellenkörper 62,
der die Leuchtdioden 20 sowie die Spiegelgruppe 30 enthält, wird
mit Schlitzen 63 bereitgestellt, durch die das Beleuchtungslicht
in einer bodenseitigen Wand gegenüber dem zu messenden Objekt 3 hindurchgelassen
wird. Die Schlitze 53 sind bodenseitig auf einer Seite
nahe der Objektivlinse 1 gebildet.
-
In 5 sind
die Leuchtdioden 21, 22, 23 der jeweiligen
Farben R, G, B als Ring auf einer Ebene angeordnet, die im Wesentlichen
senkrecht zur optischen Achse 1A liegt, wobei die Leuchtdioden 21, 22, 23 auf
Kreisen, deren Abstand für
die jeweiligen Farben zur optischen Achse unterschiedlich ist und
in einer bestimmten Strecke voneinander beabstandet angeordnet sind.
Das heißt,
von der Seite, die der optischen Achse 1A am nächsten ist,
sind die Leuchtdioden 23 der blauen Farbe (B), die Leuchtdioden 22 der
grünen
Farbe (G) und die Leuchtdioden 21 der roten Farbe (R) hintereinander
angeordnet.
-
Die
jeweiligen Leuchtdioden 20 haben ihre Lichtemissionsrichtungen
im Wesentlichen parallel zur optischen Achse 1A angeordnet,
so dass die Lichtemissionsrichtungen zum zu messenden Objekt 3 hin
ausgerichtet sind.
-
Hinter
den Lichtemissionsrichtungen der Leuchtdioden 20 sind Spiegelgruppen 30, ähnlich der Spiegelgruppen 30 des
oben genannten ersten Ausführungsbeispiels
angeord net. Aufgrund dieser Spiegelgruppen 30 werden die
von den Leuchtdioden 21, 22, 23 der jeweiligen
Farben R, G, B erzeugten Lichtstrahlen an den Spiegelgruppen reflektiert
oder durch die Spiegelgruppen 30 in der Richtung zur optischen Achse 1A hindurchgelassen,
und das Beleuchtungslicht eines bestimmten Farbtons wird kombiniert.
Das kombinierte Beleuchtungslicht verläuft im Wesentlichen parallel
zur optischen Achse 1A und durch die Schlitze 63 des
Lichtquellenkörpers 62 hindurch.
-
Im
Inneren des Gehäuses 61 ist
ein Reflektionsspiegel 40 als Fokussiereinrichtung auf
einer Seite des Lichtquellenkörpers 62 gegenüber dem
zu messenden Objekt 3 angeordnet.
-
Der
Reflektionsspiegel 40 wird durch die Kombination zweier
Typen von Reflektionsspiegeln gebildet, bestehend aus einem ersten
Reflektionsspiegel 64 und einem zweiten Reflektionsspiegel 66. Der
erste Reflektionsspiegel 64 enthält eine erste Reflektionsoberfläche 65 in
planer Form, und auf dieser ersten Reflektionsoberfläche 65 wird
das durch die Schlitze 63 hindurchgelassene Beleuchtungslicht
in der Richtung von der optischen Achse 1A weggerichtet
reflektiert. Des Weiteren ist der erste Reflektionsspiegel 64 im
Ganzen an dem Lichtquellenkörper 62 befestigt.
-
Der
zweite Reflektionsspiegel 66 enthält eine zweite Reflektionsoberfläche 67,
die in gekrümmter Form
mit einer konvexen Krümmung
in der Richtung von der optischen Achse 1A weggerichtet
in Bezug auf zwei Richtungen bestehend aus der Querschnittsrichtung
entlang der optischen Achse 1A und der planen Richtung
im Wesentlichen senkrecht zur optischen Achse 1A gebildet
ist, wodurch das an der ersten Reflektionsoberfläche 65 reflektierte
Beleuchtungslicht reflektiert und bei einem Beleuchtungswinkel 04 in
die Richtung hin zum zu messenden Objekt 3 fokussiert wird.
Des Weiteren ist die relative Position des zweiten Reflektionsspiegels 66 in
Bezug auf den ersten Reflektionsspiegel 64 entlang der
optischen Achse 1A durch eine nicht in der Zeichnung dargestellte
und im Inneren des Gehäuses 61 befestigte
Antriebssteuerung beweglich.
-
Um
den Beleuchtungswinkel 04 auf einen großen Beleuchtungswinkel 05 entsprechend
des in dem Ring-Illuminator 60 zu messenden Objektes 3 einzustellen,
wird der zweite Reflektionsspiegel 66, der mit relativer
Bewegung in Bezug auf den ersten Reflektionsspiegel 64 befestigt
ist, in Richtung der Seite des Lichtquellenkörpers 62 entlang der optischen
Achse 1A bewegt, wie durch die doppelt gestrichelte Kettenlinie
in 5 dargestellt, und gleichzeitig wird die Befestigungsposition
des Ring-Illuminators 60 zur objektiven Linse 1 auf
eine Position eingestellt, die nahe bei dem zu messenden Objekt 3 liegt.
Aufgrund eines solchen Aufbaus wird das an der ersten Reflektionsoberfläche 65 reflektierte
Beleuchtungslicht an der zweiten Reflektionsoberfläche 67 des
zweiten Reflektionsspiegels 66 an einer Position reflektiert,
die nahe bei dem zu messenden Objekt 3 liegt, das heißt, auf
der zweiten Reflektionsoberfläche 67 mit
der Krümmung
an einer Position, wo der Neigungswinkel in Bezug auf die optische
Achse 1A klein ist. Dementsprechend wird das reflektierte Beleuchtungslicht
zu dem zu messenden Objekt 3 bei einem sehr großen Beleuchtungswinkel
05 in Bezug auf die optische Achse 1A gestrahlt.
-
Mit
diesen Eigenschaften können
entsprechend dieses Ausführungsbeispiels
die folgenden vorteilhaften Auswirkungen zusätzlich zu den in (1) bis (7)
beschriebenen erreicht werden.
- (15) Durch die
Bildung des Illuminators in einer Art und Weise, dass die Lichtemissionsrichtungen der
Leuchtdioden 20 in die Richtung im Wesentlichen parallel
zur optischen Achse 1A angeordnet sind, und die Spiegelgruppen 30 sowie
der erste Reflektionsspiegel 64 und der zweite Reflektionsspiegel 66 hinter
den Lichtemissionsrichtungen angeordnet sind, kann, in Bezug auf
die Größe des Illuminators,
die Größe der Strahlungsrichtung
um die optischen Achse 1A herum klein gehalten werden,
wodurch, bei der Durchführung der
Messung durch die Befestigung des Illuminators an Objektivlinse 1,
die Messung durch den Illuminator nicht behindert wird und die Messung somit
schnell durchgeführt
werden kann.
- (16) Die konvexe Krümmung
ist auf der Reflektionsoberfläche 67 des
zweiten Reflektionsspiegels 66 in der Richtung von der
optischen Achse 1A weggerichtet in Bezug auf zwei Richtungen bestehend
aus der Querschnittsrichtung entlang der optischen Achse 1A und
der planen Richtung im Wesentlichen senkrecht zur optischen Achse 1A vorhanden,
womit das Beleuchtungslicht in konzentrierter Form zu der Position
des zu messenden Objektes 3 gestrahlt und die Beleuchtungseffizienz
folglich weiter verbessert werden kann.
- (17) Dadurch, dass der zweite Reflektionsspiegel 66 in
der Lage ist, die relative Bewegung in Bezug auf den ersten Reflektionsspiegel 64 in
der Richtung entlang der optischen Achse 1A auszuführen, wird
das Beleuchtungslicht an Positionen reflektiert, die sich im Neigungswinkel
an der zweiten Reflektionsoberfläche 67 des
Reflektionsspiegels 66 mit gekrümmter Oberfläche unterscheiden,
wodurch der Reflektionswinkel geändert
wird und der Beleuchtungswinkel in Bezug auf das zu messende Objekt 3 eingestellt
werden kann. Dementsprechend wird das Beleuchtungslicht mit dem
angemessenen Beleuchtungswinkel 04, 05 entsprechend
der Größen-, Form-
und Oberflächenbedingungen
des zu messenden Objektes 3 erzeugt, so dass die Erkennungsgenauigkeit
von Kanten oder Ähnlichem
des zu messenden Objektes 3 weiter verbessert werden kann.
-
Die
vorliegende Erfindung beschränkt
sich nicht auf die oben genannten jeweiligen Ausführungsbeispiele,
sondern schließt
auch die Änderungen
und Verbesserungen ein, die zur Erfüllung der Aufgabe der vorliegenden
Erfindung vorgenommen werden.
-
Zum
Beispiel kann, obwohl die Erläuterungen
in Bezug auf den Ring-Illuminator in den oben genannten Ausführungsbeispielen
für den
Einsatz des Ring-Illuminators in dem Bildmessgerät gemacht wurden, der Ring-Illuminator
auch in einem Messmikroskop, einem Werkzeugmikroskop, einem Projektor, einem
3D-Bildmessgerät
oder Ähnlichem
eingesetzt werden.
-
Darüber hinaus
ist die vorliegende Erfindung, obwohl der Ring-Illuminator in den
oben genannten Ausführungsbeispielen
auf der Objektivlinse 1 befestigt ist, nicht auf eine solche
Befestigungsmethode beschränkt.
Das heißt,
der Ring-Illuminator kann auf den Körper des Messgerätes oder Ähnlichem
oder an der Messkonsole befestigt werden. Neben diesen Messgeräten wird
eine Vorrichtung zur Befestigung des Ringmessgerätes bereitgestellt, auf der
der Ring-Illuminator befestigt werden kann. Des Weiteren ist die
Befestigungsmethode nicht auf die Methode beschränkt, bei der drei Schrauben
verwendet werden, die so gesichert sind, dass sie zur Objektivlinse 1 hin
und von ihr weg bewegt werden können, und
es kann jede beliebige Methode angewandt werden, die den funktionellen
Abstand zwischen dem Ring-Illuminator und dem zu messenden Objekt 3 angemessen
einstellen kann. Darüber
hinaus kann die Befestigungsmethode eine Befestigungsvorrichtung verwenden,
die entlang der optischen Achse des optischen Systems beweglich
ist.
-
Des
Weiteren sind die Leuchtdioden in den oben genannten Ausführungsbeispielen
in einer Ebene im Wesentlichen rechteckig angeordnet. Die vorliegende
Erfindung be schränkt
sich jedoch nicht auf einen solchen Aufbau, und die Leuchtdioden 20 können auch
in einer Ebene im Wesentlichen kreisförmig oder im Wesentlichen dreieckig
oder im Wesentlichen fünfeckig
oder polygonal mit vielen Winkeln angeordnet werden.
-
Des
Weiteren beschränkt
sich die Anordnung der Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B nicht auf die Reihenfolge, wie sie in
den oben genannten jeweiligen Ausführungsformen beschrieben ist,
und es kann eine andere Anordnung gewählt werden.
-
In
diesem Fall können
dichroitische Spiegel mit Reflektions- oder Durchlässigkeitseigenschaften entsprechend
der Anordnung der Leuchtdioden 21, 22, 23 der
jeweiligen Farben R, G, B gewählt
werden. Darüber
hinaus können
auch dichroitische Spiegel verwendet werden, die den Übergang
von Transmissions- zu Reflektionseigenschaften bei mehreren Wellenlängen zwei
mal oder öfter
durchführen.
-
Des
Weiteren kann zusätzlich
zu den Leuchtdioden 21, 22, 23 der jeweiligen
Farben R, G, B eine weiße
Leuchtdiode verwendet werden. Aufgrund eines solchen Aufbaus kann
die Beleuchtung durch Einstellung des Farbtons des Beleuchtungslichtes ohne
Minderung der Helligkeit durchgeführt werden.
-
Des
Weiteren ist das Material, obgleich das Gehäuse und die Lichtquellenkörper in
den oben genannten Ausführungsbeispielen
durch Verarbeitung von Metallblechmaterial gebildet werden, nicht
auf das Metallblechmaterial beschränkt und kann auch aus synthetischem
Harz bestehen. Darüber
hinaus ist der Reflektionsspiegel aus Metall hergestellt und besitzt
eine Spiegelbeschichtung auf seiner Reflektionsoberfläche. Der
Reflektionsspiegel ist jedoch nicht auf einen solchen Aufbau beschränkt. Das heißt, der
Reflektionsspiegel kann auch aus Glas oder synthetischem Harz hergestellt
werden, oder es kann auch nur die Reflektionsoberfläche aus
Glas oder Metall bestehen, oder es kann ein Metallüberzug oder Ähnliches
auf die Reflektionsoberfläche aufgetragen
werden.