[go: up one dir, main page]

DE602006004272D1 - Verfahren zur Befestigung von Polierkissen und Vorrichtung zum Befestigen derselben - Google Patents

Verfahren zur Befestigung von Polierkissen und Vorrichtung zum Befestigen derselben

Info

Publication number
DE602006004272D1
DE602006004272D1 DE602006004272T DE602006004272T DE602006004272D1 DE 602006004272 D1 DE602006004272 D1 DE 602006004272D1 DE 602006004272 T DE602006004272 T DE 602006004272T DE 602006004272 T DE602006004272 T DE 602006004272T DE 602006004272 D1 DE602006004272 D1 DE 602006004272D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
fixing
same
polishing pad
fixing polishing
pad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE602006004272T
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshio Nakamura
Harumichi Koyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikoshi Machinery Corp
Original Assignee
Fujikoshi Machinery Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikoshi Machinery Corp filed Critical Fujikoshi Machinery Corp
Publication of DE602006004272D1 publication Critical patent/DE602006004272D1/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D9/00—Wheels or drums supporting in exchangeable arrangement a layer of flexible abrasive material, e.g. sandpaper
    • B24D9/08—Circular back-plates for carrying flexible material
    • B24D9/085—Devices for mounting sheets on a backing plate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
    • H10P52/00—

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
DE602006004272T 2005-09-05 2006-09-05 Verfahren zur Befestigung von Polierkissen und Vorrichtung zum Befestigen derselben Active DE602006004272D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005256511A JP4777727B2 (ja) 2005-09-05 2005-09-05 研磨パッド貼り付け方法および研磨パッド貼り付け用治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE602006004272D1 true DE602006004272D1 (de) 2009-01-29

Family

ID=37450892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE602006004272T Active DE602006004272D1 (de) 2005-09-05 2006-09-05 Verfahren zur Befestigung von Polierkissen und Vorrichtung zum Befestigen derselben

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7278907B2 (de)
EP (1) EP1759811B1 (de)
JP (1) JP4777727B2 (de)
KR (1) KR20070026256A (de)
DE (1) DE602006004272D1 (de)
MY (1) MY138787A (de)
TW (1) TW200711787A (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4796813B2 (ja) * 2005-10-17 2011-10-19 不二越機械工業株式会社 研磨パッドの貼り付け方法および研磨パッドの貼り付け用治具
KR100883445B1 (ko) * 2008-05-15 2009-02-17 (주) 삼성 오트론 칩 스케일 패키지 지그 로딩/마킹 시스템
DE112013003279B4 (de) * 2012-06-25 2023-12-21 Sumco Corporation Verfahren und Vorrichtung für Polierarbeiten
CN203390712U (zh) * 2013-04-08 2014-01-15 宋健民 化学机械研磨修整器
DE102013206613B4 (de) * 2013-04-12 2018-03-08 Siltronic Ag Verfahren zum Polieren von Halbleiterscheiben mittels gleichzeitiger beidseitiger Politur
CN106956179B (zh) * 2017-05-10 2019-06-04 苏州宝罗机械工程有限公司 一种钣金自动打磨机
JP7497614B2 (ja) * 2020-05-19 2024-06-11 信越半導体株式会社 両面研磨装置の研磨パッド貼り付け方法
TWI836295B (zh) * 2021-11-25 2024-03-21 財團法人工業技術研究院 置換研拋墊的裝置
EP4321298A1 (de) * 2022-08-12 2024-02-14 Siltronic AG Vorrichtung und verfahren zum anpressen eines oberen poliertuchs gegen einen oberen polierteller einer maschine zum gleichzeitigen polieren einer vorderseite und einer rückseite einer halbleiterscheibe

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2600747A (en) * 1951-08-13 1952-06-17 Johnson & Son Inc S C Gravity conveyer for cartons with bottom adhesive appliers
US3840102A (en) * 1972-12-07 1974-10-08 Fei Inc Roller conveyor with plastic wheel assembly
JPS5953151A (ja) * 1982-09-16 1984-03-27 Toshiba Corp 研磨装置の研磨布張付け方法および装置
US4674236A (en) * 1985-05-13 1987-06-23 Toshiba Machine Co., Ltd. Polishing machine and method of attaching emery cloth to the polishing machine
JP3100905B2 (ja) * 1995-08-24 2000-10-23 松下電器産業株式会社 半導体基板の研磨方法及びその装置
JPH09239657A (ja) 1996-03-04 1997-09-16 Speedfam Co Ltd 研磨装置
US6254461B1 (en) * 2000-03-15 2001-07-03 International Business Machines Corporation Process of dressing glass disk polishing pads using diamond-coated dressing disks
JP2006026844A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Fujitsu Ltd ポリッシングパッド、それを備えた研磨装置及び貼り付け装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW200711787A (en) 2007-04-01
KR20070026256A (ko) 2007-03-08
JP2007069279A (ja) 2007-03-22
US20070054606A1 (en) 2007-03-08
EP1759811A1 (de) 2007-03-07
JP4777727B2 (ja) 2011-09-21
EP1759811B1 (de) 2008-12-17
MY138787A (en) 2009-07-31
US7278907B2 (en) 2007-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE602006007458D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bohrlochfluidanalyse
EP1894423A4 (de) Verfahren und vorrichtung zum ermöglichen von weiterreichung
DE602005000512D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum montieren von bauelementen
DE602005022123D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur beförderung von bohrklein
DE602006012823D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum neusynthetisieren von signalen
DE102007039939A8 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Einsparung von Diafiltrat
EP1864032A4 (de) Vorrichtung und verfahren zur kraftumleitung
DE60320227D1 (de) Verfahren und einrichtung zum polieren
EP1878483A4 (de) Komponententrennvorrichtung und verfahren zum trennen von komponenten
EP1736231A4 (de) Vorrichtung und verfahren zur gewinnung von co2
DE602004029253D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum erhöhen der inertialeicherter schwerkraftsgradiente
DE602006001379D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung von Verschiebungen
AT504567A3 (de) Verfahren und vorrichtung zum bonden von wafern
DE602005017318D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bereitstellen von Entwurfsdaten
DE602005011934D1 (de) Vorrichtung zum Einfangen von Kügelchen und Verfahren und Vorrichtung zum Anordnen von Kügelchen
DE502006005294D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Lage von Beckenebenen
DE602005018796D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur schnelllaufentscheidung für interframes
EP2000260A4 (de) Vorrichtung und verfahren zum elid-honen
DE602006005755D1 (de) Verfahren zum Anhaften von Polierkissen und Aufspannvorrichtung zum Anhaften derselben
DE112005003619A5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur gesundheitlichen Orientierung
DE602006021341D1 (de) Rauchgasnassentschwefelungsvorrichtung und verfahren zur rauchgasnassentschwefelung
DE602006004529D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle von Objekten
DE602006003274D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung von Gewinden
DE602005001169D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Vermeidung von Kontaktkorrosion
DE602006000614D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Standortbestimmung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition