[go: up one dir, main page]

DE60140735D1 - Methode zur herstellung von ito-pulver mit in indiumoxid gelöstem zinn und verfahren zur herstellung eines ito-targets - Google Patents

Methode zur herstellung von ito-pulver mit in indiumoxid gelöstem zinn und verfahren zur herstellung eines ito-targets

Info

Publication number
DE60140735D1
DE60140735D1 DE60140735T DE60140735T DE60140735D1 DE 60140735 D1 DE60140735 D1 DE 60140735D1 DE 60140735 T DE60140735 T DE 60140735T DE 60140735 T DE60140735 T DE 60140735T DE 60140735 D1 DE60140735 D1 DE 60140735D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
zinn
indium oxide
ito
preparing
producing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60140735T
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiro Yanai
Atsushi Nakamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Mining Holdings Inc
Original Assignee
Nippon Mining and Metals Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Mining and Metals Co Ltd filed Critical Nippon Mining and Metals Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE60140735D1 publication Critical patent/DE60140735D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G19/00—Compounds of tin
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/50—Solid solutions
    • C01P2002/52—Solid solutions containing elements as dopants
    • C01P2002/54—Solid solutions containing elements as dopants one element only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
    • C01P2002/72—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by d-values or two theta-values, e.g. as X-ray diagram
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/01—Particle morphology depicted by an image
    • C01P2004/03—Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/60—Particles characterised by their size
    • C01P2004/61—Micrometer sized, i.e. from 1-100 micrometer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/60—Particles characterised by their size
    • C01P2004/62—Submicrometer sized, i.e. from 0.1-1 micrometer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/10—Solid density
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/12—Surface area

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
DE60140735T 2001-03-28 2001-12-19 Methode zur herstellung von ito-pulver mit in indiumoxid gelöstem zinn und verfahren zur herstellung eines ito-targets Expired - Lifetime DE60140735D1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001091736 2001-03-28
PCT/JP2001/011138 WO2002079092A1 (en) 2001-03-28 2001-12-19 Method for producing powder of ito comprising indium oxide and tin dissolved therein and method for producing ito target

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE60140735D1 true DE60140735D1 (de) 2010-01-21

Family

ID=18946305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60140735T Expired - Lifetime DE60140735D1 (de) 2001-03-28 2001-12-19 Methode zur herstellung von ito-pulver mit in indiumoxid gelöstem zinn und verfahren zur herstellung eines ito-targets

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6929772B2 (de)
EP (1) EP1277703B1 (de)
JP (1) JP4060187B2 (de)
KR (1) KR100490234B1 (de)
CN (1) CN1301911C (de)
DE (1) DE60140735D1 (de)
TW (1) TWI271385B (de)
WO (1) WO2002079092A1 (de)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4233455B2 (ja) * 2001-12-03 2009-03-04 日本板硝子株式会社 薄膜形成方法
KR100489710B1 (ko) * 2002-04-08 2005-05-16 학교법인 동의학원 분무건조에 의한 초미립 아이티오 분말 합성방법 및 이를위한 분무건조장치
JP4186529B2 (ja) * 2002-07-09 2008-11-26 昭栄化学工業株式会社 高結晶性複酸化物粉末の製造方法
US7504351B2 (en) * 2003-08-20 2009-03-17 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. ITO sputtering target
TW200523226A (en) * 2003-12-25 2005-07-16 Mitsui Mining & Smelting Co Indium oxide-tin oxide powder and sputtering target using the same
DE102004041747A1 (de) * 2004-08-28 2006-03-02 Degussa Ag Indium-Zinn-Mischoxidpulver
DE102004057707A1 (de) * 2004-11-30 2006-06-01 Degussa Ag Oberflächenmodifizierte Indium-Zinn-Oxide
JP4734936B2 (ja) * 2005-01-25 2011-07-27 東ソー株式会社 Ｉｔｏ造粒粉末及びｉｔｏ焼結体並びにその製造方法
KR100740621B1 (ko) * 2006-06-23 2007-07-19 호서대학교 산학협력단 폐 아이티오 타깃을 원료로 하여 분무열분해 공정을 통하여아이티오 분말을 제조하는 방법 및 이 방법으로 제조된아이티오 분말
US8252206B2 (en) * 2007-06-26 2012-08-28 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Amorphous film of composite oxide, crystalline film of composite oxide, method of producing said films and sintered compact of composite oxide
US8277694B2 (en) * 2007-07-13 2012-10-02 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Sintered compact of composite oxide, amorphous film of composite oxide, process for producing said film, crystalline film of composite oxide and process for producing said film
KR101224769B1 (ko) * 2008-06-10 2013-01-21 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 스퍼터링용 산화물 소결체 타겟 및 그 제조 방법
US9214253B2 (en) 2009-10-26 2015-12-15 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Sintered compact of indium oxide system, and transparent conductive film of indium oxide system
JP5869361B2 (ja) * 2012-02-14 2016-02-24 株式会社アルバック Ｉｔｏ粉末の製造方法及びｉｔｏスパッタリングターゲットの製造方法
JP2017043509A (ja) * 2015-08-26 2017-03-02 丸祥電器株式会社 透明導電膜ターゲット用原料粉体の連続製造装置
CN111116194B (zh) * 2019-12-19 2022-03-25 广西晶联光电材料有限责任公司 一种超高密度细晶ito靶材的生产方法
US12522500B2 (en) * 2020-01-30 2026-01-13 Pyrochem Catalyst Company Spray pyrolysis system and method for manufacture of mixed metal oxide compositions
CN116371703B (zh) * 2023-03-01 2024-09-20 安徽立光电子材料股份有限公司 一种适用于柔性衬底的ito薄膜的制备方法及ito薄膜

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61270201A (ja) 1985-01-23 1986-11-29 Catalysts & Chem Ind Co Ltd 真球状無機酸化物粉末の製造法
JPS6487519A (en) 1987-09-30 1989-03-31 Tosoh Corp Production of fine indium oxide-tin oxide powder
US5071800A (en) 1989-02-28 1991-12-10 Tosoh Corporation Oxide powder, sintered body, process for preparation thereof and targe composed thereof
JPH0729770B2 (ja) 1989-02-28 1995-04-05 東ソー株式会社 酸化物粉末及びその製造方法
JPH07316803A (ja) * 1994-05-25 1995-12-05 Tokin Corp Ｉｎ−Ｓｎ系酸化物焼結体及びその製造方法
JP3862385B2 (ja) * 1996-11-08 2006-12-27 Ｄｏｗａホールディングス株式会社 酸化スズ含有酸化インジウム粉及び焼結体の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4060187B2 (ja) 2008-03-12
TWI271385B (en) 2007-01-21
KR100490234B1 (ko) 2005-05-17
US6929772B2 (en) 2005-08-16
CN1423621A (zh) 2003-06-11
KR20030005407A (ko) 2003-01-17
US20030039607A1 (en) 2003-02-27
JPWO2002079092A1 (ja) 2004-07-22
EP1277703A4 (de) 2009-01-28
EP1277703B1 (de) 2009-12-09
CN1301911C (zh) 2007-02-28
WO2002079092A1 (en) 2002-10-10
EP1277703A1 (de) 2003-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60140735D1 (de) Methode zur herstellung von ito-pulver mit in indiumoxid gelöstem zinn und verfahren zur herstellung eines ito-targets
DE60018247D1 (de) System und Methode zur Verwendung mit bildgebenden Verfahren zur Erleichterung der Planung von chirurgischen Eingriffen
DE60030698D1 (de) Verfahren zur herstellung eines human-papillomavirus-vakzins mit disassemblierten und reassemblierten virus-aehnlichen partikeln
DE60144104D1 (de) Membranen mit gemischter matrix und pyrolisierten kohlenstoffsiebteilchen und verfahren zur herstellung derselben
DE60133973D1 (de) L-Arginin produzierendes Escherichia coli und Verfahren zur Herstellung von L-Arginin
DE60132239D1 (de) Verfahren zur vorbereitung von mikropartikeln zur verwendung in pharmazeutischen zusammensetzungen zur inhalation
DE60136844D1 (de) Filter mit poroeser honigwabenstruktur und verfahren zur dessen fertigung
DE60328421D1 (de) Verfahren zur herstellung von super-hydrophoben oberflächen, daraus hergestellte oberflächen und deren verwendung
DE60215241D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Reduzierung von Störungen in dekodierten Bildern mit Nachfilterung
DE602004026254D1 (de) Räumlicher Lichtmodulator mit IC-Aktuator und Methode zur Herstellung desselben
DE60223570D1 (de) Verfahren zur herstellung von beschichteten gegenständen mit einer niedrigen emissivität sowie hoher farbstablität
EP1354035A4 (de) Verfahren und mittel zur herstellung eines wirksamen silencing-konstrukts mit rekombinationsklonierung
EP1504111A4 (de) Peptide mit unnatürlichen aminosäureresten enthaltende nukleinsäure-peptid-display-bibliotheken und verfahren zur herstellung davon
DE602004007187D1 (de) Poröses Mischoxid und Verfahren zur dessen Herstellung
DE50207915D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Bisallylboranen und nicht-aromatischen Boronsäuren
DE60139122D1 (de) Verfahren zur produktion von natürlichen medizin präparaten
DE60333291D1 (de) Verfahren zur herstellung von flachglas
EP1727554A4 (de) Verfahren zur behandlung von psychiatrischen erkrankungen, substanzmissbrauch und anderen erkrankungen unter verwendung von kombinationen mit omega-3-fettsäuren
DE60210264D1 (de) Verfahren zur herstellung von silizium einkristall mit verbesserter gate-oxid integrität
DE69629161D1 (de) Verfahren zur herstellung von schienen mit hohem verschleisswiderstand und hohem widerstand gegen innere defekte
DE102005001078A8 (de) Glaspulver, insbesondere biologisch aktives Glaspulver und Verfahren zur Herstellung von Glaspulver, insbesondere biologisch aktivem Glaspulver
EP1404871A4 (de) Methode zur behandlung von krebs im zusammenhang mit erhöhten her 2 werten
DE602004017060D1 (de) Verfahren zur herstellung von kleidungsstücken mit herunterhängenden beinen
DE10390418D2 (de) Verfahren zur Herstellung von rekombinanten Proteinen in Mikroorganismen
DE60223539D1 (de) Ionomer zur verwendung in brennstoffzellen und verfahren zur herstellung derselben

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
R082 Change of representative

Ref document number: 1277703

Country of ref document: EP

Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, 28209 BREMEN, DE