DE60110164T2

DE60110164T2 - Prüfkopf mit freitragenden Auslegern

Info

Publication number: DE60110164T2
Application number: DE60110164T
Authority: DE
Inventors: Stefano Felici; Giuseppe Crippa
Original assignee: Technoprobe SpA
Current assignee: Technoprobe SpA
Priority date: 2000-08-04
Filing date: 2001-08-02
Publication date: 2006-02-16
Anticipated expiration: 2021-08-03
Also published as: EP1178320A2; DE60110164D1; IT1318733B1; ITMI20001834A1; EP1178320B8; EP1178320B1; EP1178320A3; ITMI20001834A0

Description

Anwendungsgebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Prüfkopf mit einseitig eingespannten Tastköpfen.
Im engeren Sinne bezieht sich die Erfindung auf einen Prüfkopf mit einseitig eingespannten Tastköpfen, der zumindest einen Trägerring umfasst, an dem eine Kunststoffhalterung befestigt ist, um mehrere Kontakttastköpfe zu haltern, wobei die Tastköpfe mehrere Kontaktspitzen aufweisen, die dazu geeignet sind, mehrere Kontaktflecken von zumindest einem zu prüfenden Bauelement mechanisch und elektrisch zu kontaktieren.
Die Erfindung bezieht sich teilweise, aber nicht ausschließlich, auf einen Prüfkopf mit einseitig eingespannten Tastköpfen, der dazu geeignet ist, integrierte Halbleiterbauelemente zu prüfen, wobei diese Beschreibung nur zur bequemeren Veranschaulichung auf dieses Anwendungsgebiet Bezug nimmt.
Stand der Technik
Wie hinlänglich bekannt ist, ist ein Prüfkopf im Grunde eine Vorrichtung, die dazu geeignet ist, mehrere Kontaktflecken einer Mikrostruktur und die entsprechenden Kanäle eines Prüfautomaten, mit dem die Prüfungen ausgeführt werden sollen, elektrisch miteinander zu verbinden.
Integrierte Schaltkreise werden im Werk geprüft, um jegliche Schaltkreise ausfindig zu machen und auszusondern, die bereits während der Produktionsphase defekt sind. Die Prüfköpfe werden normalerweise eingesetzt, um die integrierten Schaltkreise "auf dem Wafer" elektrisch zu prüfen, bevor sie geschnitten und in ein Chipgehäuse eingesetzt werden.
Wie in 1 und 2 schematisch gezeigt ist, umfasst ein Prüfkopf 1 mit einseitig eingespannten Tastköpfen in der Regel einen Trägerring 2 aus Aluminium oder Keramik, an dem eine Kunststoffhalterung 3 befestigt ist, und der dazu geeignet ist, mehrere bewegliche Kontaktelemente oder Tastköpfe 4 zu haltern, bei denen es sich üblicherweise um Drähte handelt, die aus speziellen Legierungen mit guten elektrischen und mechanischen Eigenschaften hergestellt sind, wobei die Tastköpfe so montiert sind, dass sie von der Kunststoffhalterung 3 an mehreren Punkten 5 unter einem geeigneten Winkel zu Ebene (3 hervorstehen. Derartige heraustretende Tastköpfe sind für gewöhnlich als "einseitig eingespannte Tastköpfe" bekannt.
Insbesondere hat jeder Tastkopf 4 einen Endteil oder eine Kontaktspitze 6, der bzw. die vom Rest des Tastkopfs im Winkel y weggebogen ist, so dass mehrere Kontaktflecken 7 eines zu prüfenden Bauelements kontaktiert werden. Die gebogenen Kontaktspitzen 6 werden allgemein als "Häkchen" bezeichnet.
Die gute Verbindung zwischen den Tastköpfen 4 des Prüfkopfs 1 und den Kontaktflecken 7 eines zu prüfenden Bauelements wird dadurch gewährleistet, dass der Prüfkopf 1 Druck auf das Bauelement ausübt, wodurch die Tastköpfe 4 vertikal in die zur Bewegung des zu prüfenden Bauelements zum Tastkopf 1 entgegengesetzte Richtung gebogen werden.
Wie in 3 für einen einzelnen Tastkopf 4 schematisch gezeigt ist, biegt sich der Tastkopf 4, wenn sich das zu prüfende Bauelement vertikal gegen die Kontaktspitze 6 bewegt, und sein Knickpunkt X, der am Übergang von Kontaktspitze 6 zu einem aus der Kunststoffhalterung heraustretenden Tastkopfabschnitt 8 liegt, beschreibt einen kreisförmigen Bogen.
Dadurch bildet der vorspringende Tastkopfabschnitt 8 einen Arbeitsarm des Tastkopfs 4, der dazu ausgelegt ist, sich vertikal zu verbiegen und der im Allgemeinen als "freie Länge" des Tastkopfs bezeichnet wird.
Die gekrümmte Form der Tastköpfe 4 ist so ausgelegt, dass die Kontaktspitzen 6 der Tastköpfe 4, wenn sie mit den Kontaktflecken 7 des zu prüfenden Bauelements in Berührung kommen und während des Überfahrens des Kontaktfleckens über einen zuvor festgelegten Kontaktpunkt hinaus, ü ber die Kontaktflecken 7 entlang einer durch die Geometrie der Anordnung vorgegebenen Richtung gleiten können.
Es wäre festzuhalten, dass die von jedem Tastkopf 4 auf die Kontaktflecken 7 ausgeübte Kraft von vielen Faktoren abhängt, zu denen insbesondere die Art des Materials, das den Tastkopf 4 bildet, die Form des Tastkopfs, der Winkel α, den die Kontaktspitze 6 des Tastkopfs definiert, die Länge des vorspringenden Abschnitts des Tastkopfs bzw. die freie Länge 8, und das Ausmaß des Überfahrens der zu messenden Kontaktflecken zählen. Diese Faktoren bestimmen auch den Grad des an den Kontaktflecken 7 stattfindenden Gleitens der Kontaktspitzen 6, was Allgemein als "Scheuern" bezeichnet wird.
Es wäre festzuhalten, dass bei einer dichten Verteilung der Kontaktflecken 7 die Tastköpfe 4 in mehreren Reihen angeordnet werden müssen und die Längen L1, ..., Ln der gekrümmten Enden entsprechend variieren, wie schematisch in 4 gezeigt ist.
Ebenfalls bekannt ist die Verwendung von Trägerringen 2, die im Allgemeinen aus Aluminium oder Keramik bestehen und in Abhängigkeit von der Gruppe der zu prüfenden Kontaktflecken 7 verschiedene Formen haben, so dass die freien Längen der Tastköpfe 4 und folglich die Kräfte, die von letzteren auf die Kontaktflecken 7 ausgeübt werden, im Interesse einer gleichmäßigen Abnutzung und Leistung des Prüfkopfs 1 ausgeglichen werden können.
Vor allem wenn die Tastköpfe 4 in mehreren Reihen oder Höhen angeordnet sind, wie schematisch in 5A, 5B und 5C gezeigt ist, bilden die Austrittspunkte 5 der Tastköpfe 4 aus dem Kunststoff 3, wenn sie von vorne betrachtet werden, entweder ein diagonales (5A), ein gerades (5B) oder ein Kombinationsmuster (5C), das von Konstruktionsanforderungen abhängt.
Die Abschnitte der Tastköpfe außerhalb des Trägerrings 2 werden üblicherweise auf einer Leiterplatte 9 verlötet, wie in 2 zu sehen ist, um eine elektrische Verbindung zwischen dem Prüfkopf 1 mit einseitig eingespannten Tastköpfen und dem Prüfautomaten herzustellen.
Daher ist es notwendig, dass der äußere Abschnitt jedes Tastkopfs 4 unfehlbar im Tastkopfbündel erkannt werden kann, so dass er korrekt auf der Leiterplatte 9 verlötet werden kann.
Zudem erstrecken sich die Tastköpfe 4 mit ihren Abschnitten außerhalb des Trägerrings 2 parallel zueinander, wie in 6A (Seite A) gezeigt ist, und die zum Verlöten auf der Leiterplatte 9 gedachten Tastköpfe 4 können nicht so leicht herausgegriffen werden. Auch die Verwendung von Tastköpfen 4 mit einer radialen Auffächerung ihrer Abschnitte außerhalb des Trägerrings 2 ist bekannt, wie in 6A (Seite B) schematisch gezeigt ist.
Die Tastköpfe 4 können in mehreren Reihen oder Lagen so angeordnet werden, dass sie eine diagonale oder gerade Konfiguration haben, und zwar im Falle von parallelen und radialen Tastköpfen, wie sie in 6A gezeigt sind.
6B zeigt beispielhaft eine Anordnung der Tastköpfe 4 in drei Reihen mit einer radial-diagonalen Konfiguration, und 6C zeigt eine Anordnung der Tastköpfe 4 in drei Reihen mit einer radial-geraden Konfiguration.
Darüber hinaus ist es eine bekannte Tatsache, dass bestimmte elektronische Bauelemente, zum Beispiel Speicherbausteine, Kontaktflecken haben, die nur entlang zwei Seiten angeordnet sind. Dementsprechend kann eine Anzahl derartiger Bauelemente parallel geprüft werden, wenn sie in einer Einzelreihe angeordnet werden.
Eine Reihe von Bauelementen kann durch geeignete Kalibrierung bzw. Dimensionierung der inneren Abmessungen des Trägerrings 2 geprüft werden.
Wenn mehrere Reihen von Bauelementen parallel geprüft werden sollen – in der Regel zwei Reihen mit acht Bauelementen oder vier Reihen mit acht Bauelementen – werden Mehrfachbrücken-Trägerringe verwendet, die schematisch in 7A und 7B gezeigt sind.
Genauer gesagt umfasst ein Mehrfachbrücken-Trägerring 2b mehrere Brücken 2c mit einem Breitenmaß P innerhalb des Umfangs des Rings 2b, welche Brücken dazu geeignet sind, Tastköpfe für mehrere parallel zu prüfende Bauelemente zu tragen. Es gibt verschiedene Techniken, die eingesetzt werden können, um die gewünschte Gleichmäßigkeit des von den Tastköpfen 4 auf die entsprechenden Kontaktflecken 7 ausgeübten Drucks zu erzielen.
Bei einer ersten bekannten Technik wird ein Mehrfachbrücken-Trägerring 2b verwendet, der mehrere Brücken 2c innerhalb seine Umkreises aufweist, so dass mehrere Bauelementereihen (FILA1, FILA2, ...) definiert sind, wie in 7A und 7B schematisch gezeigt ist.
Die Form und die Abmessungen des Mehrfachbrücken-Trägerrings 2b und die inneren Brücken 2c sind so gewählt, dass die vorspringenden Abschnitte oder freien Längen FL1, FL2, FL3, FL4, ... aller Tastköpfe einander angeglichen sind. Auf diese Weise ist sichergestellt, dass die Tastköpfe 4 auf den Kontaktflecken 7 mit der gleichen Kraft anliegen.
Tastkopfkarten dieses bekannten Typs sind in den US-Patenten Nr. 5 926 028 an Mochizuki und Nr. 4 480 223 an Aigo sowie in der auf den Namen von Mitsubishi Electric Corp. lautenden, japanischen Patentzusammenfassung Nr. 59108324 beschrieben.
Eine Einschränkung erfährt diese Vorgängertechnik durch die minimale Breite Lmin eines zu prüfenden Bauelements, die nicht geringer sein darf als die Summe der minimalen Länge FLmin des vorspringenden Abschnitts oder der minimalen freien Länge FL1, FL2, ... der Tastköpfe 4 und der minimalen theoretischen Breite Pmin jeder inneren Brücke 2c, d.h.: Lmin ≥ FLmin + Pmin (1)wie schematisch in 7A gezeigt ist.
Bei einer zweiten Vorgängertechnik werden Tastköpfe verschiedener Bauarten verwendet, die am selben Trägerring 2 gebündelt sind, wie schematisch in 8A und 8B gezeigt ist.
So werden insbesondere Tastköpfe 4 mit einem größeren Durchmesser für die innersten Kontaktflecken 7 innerhalb des Trägerringumfangs verwendet, damit identische Kräfte auf die Kontaktflecken 7 auch dann ausgeübt werden, wenn die vorspringenden Abschnitte bzw. die freien Längen FL1, FL2, ..., verschieden sein sollten.
Bei der Verwendung dieser Technik ist es jedoch schwierig, die Abmessungen und freien Längen der Tastköpfe 4 für eine gleichmäßige Druckausübung auf alle Kontaktflecken 7 zu kalibrieren bzw. festzulegen. Zudem sind die Tastköpfe 4, die Bauelemente erreichen sollen, die sich weiter innen befinden als die Austrittspunkte der Tastköpfe am Trägerring 2, diejenigen, die die größten Abmessungen sowie die größten vorspringenden Abschnitte bzw. freien Längen 8 haben, was zwangsweise eine reduzierte Dichte der Kontaktflecken 7 auf den Bauelementen mit sich bringt.
Zudem würde keine der oben genannten Vorgängertechniken dort funktionieren, wo Bauelemente in großer Zahl parallel geprüft werden sollen. Insbesondere können die so angeordneten Prüfköpfe nicht mehr als zwei Bauelementereihen prüfen und sie sind definitiv nicht in der Lage, ein Matrixfeld von Bauelementen zu prüfen.
Das dieser Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, einen Prüfkopf für Mikrostrukturen zu liefern, mit einer Konfiguration, die die Vorgänge des Heraussuchens von Tastköpfen und deren Verlötung auf einer Leiterplatte erleichtern kann, besonders bei eng aneinander gedrängten Tastköpfen, und der es ermöglicht, eine unbegrenzte Anzahl von in mehreren Reihen aufgelegten Bauelementen zu prüfen.
Zusammenfassung der Erfindung
Diese Erfindung basiert auf dem Prinzip, die Form der am Trägerring des Tastkopfs befestigten Kunststoffhalterung geeignet zu gestalten, um während der einzelnen Schritte des Verlötens eine bessere Sicht auf jeden einzelnen der Tastköpfe in einem Tastkopfbündel zu bieten, während gleichzeitig eine genaue Steuerung der vorspringenden Abschnitte bzw. freien Längen der Tastköpfe beibehalten wird, wenn mehrere Bauelemente parallel geprüft werden.
Basierend auf oben genanntem Prinzip, wird das technische Problem durch einen wie zuvor aufgezeigten Prüfkopf gelöst, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die Kunststoffhalterung mindestens eine, in Entsprechung mit der Bauelementeseite, geeignet geformte Kontur hat, damit verschiedenen Tastkopfreihen in einseitig eingespannter Art und Weise überhängen können.
Insbesondere umfasst bei dem erfindungsgemäßen Prüfkopf die Kontur der Kunststoffhalterung wenigstens zwei Stufen mit solcher Form, dass verschiedene Tastkopfreihen heraustreten können.
Die Merkmale und Vorteile eines erfindungsgemäßen Prüfkopfs ergeben sich aus der nun folgenden Beschreibung von Ausführungsformen davon, die anhand von nicht einschränkenden Beispielen und mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen erfolgt.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 zeigt eine Draufsicht eines Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen nach dem Stand der Technik;
2 zeigt eine Schnittansicht des Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen aus 1;
3 zeigt eine Schnittansicht eines Details des Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen aus 1;
4 zeigt eine Schnittansicht eines Details einer weiteren Ausführungsform eines dem Stand der Technik entsprechenden Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen;
die 5A, 5B und 5C zeigen schematisch eine Schnittansicht eines Details des Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen aus 4;
die 6A, 6B und 6C zeigen schematische Ansichten einer weiteren Ausführungsform eines dem Stand der Technik entsprechenden Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen;
die 7A und 7B zeigen schematische Ansichten einer weiteren Ausführungsform eines dem Stand der Technik entsprechenden Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen;
die 8A und 8B zeigen schematische Ansichten einer weiteren Ausführungsform eines dem Stand der Technik entsprechenden Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen;
9 zeigt schematisch eine Schnittansicht eines erfindungsgemäßen Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen;
10 zeigt schematisch eine Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform des Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen aus 9; und
11 zeigt schematisch eine Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Prüfkopfs mit einseitig eingespannten Tastköpfen.
Ausführliche Beschreibung
Mit Bezug vor allem auf 9, umfasst ein der Erfindung entsprechender Prüfkopf 10, der zur Prüfung von mindestens einem Bauelement eingesetzt wird, mindestens einen Trägerring 12 mit einer Kunststoffhalterung 13, die dazu geeignet ist, mehrere Tastköpfe 14 zu haltern.
Die Tastköpfe 14 sind in mehreren Reihen L1, L2 ..., Ln angeordnet, um ihre Dichte zu erhöhen, wobei die Tastköpfe in einem Muster mit entweder diagonalen, geraden oder kombinierten Linien, abhängig von den individuellen Anforderungen, angelegt werden können.
Vorteilhaft bei der Erfindung ist, dass die Halterung 13 eine geeignet geformte Kontur 13b hat, die den äußeren Abschnitten 19 der Tastköpfe 14 entspricht, d.h. einem Bereich einer Leiterplatte (nicht abgebildet) entspricht, an dem die Tastköpfe 14 verlötet werden.
Insbesondere zeigt die Kontur 13b mehrere Stufen, die das Erfassen bestimmter Tastköpfe innerhalb eines aus der Kunststoffhalterung 13 heraustretenden Tastkopfbündels unterstützen, und zwar aufgrund der Einschränkung der Tastkopfauswahl auf nur eine oder wenige Tastkopfreihen.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst die Kontur 13b mehrere Stufen, die alle die gleiche Breite und Höhe haben. Insbesondere entspricht die Anzahl der Stufen der Kontur 13b der Anzahl der Reihen der Tastköpfe 14.
Alternativ wäre es auch möglich, eine Kontur 13b mit einer Anzahl von Stufen vorzusehen, die ein Teilvielfaches der Anzahl der Reihen ist, wobei jede Stufe Punkte festlegt, an denen mehr als eine Reihe von Tastköpfen 14 austritt.
Wie anhand des nicht einschränkenden Beispiels in 11 gezeigt ist, hat, mit einer angenommenen Anordnung der Tastköpfe 14 in acht Reihen L1 bis L8, die Kontur 13b der Kunststoffhalterung 13 vier Stufen, wobei jede Stufe die Austrittspunkte von zwei Reihen von Tastköpfen 14 festlegt.
Die Anzahl der Reihen je Stufe kann, selbst innerhalb des gleichen Tastkopfs, variiert werden, um speziellen Anforderungen gerecht zu werden. Es wäre festzuhalten, dass eine Tastkopfreihe Tastköpfe umfassen kann, die verschieden hoch über der Ebene angeordnet sind, die die mehreren zu prüfende Bauelemente 11 enthält.
Auf diese Art kann das Verlöten einer unbegrenzten Anzahl von Tastköpfen in verschiedenen Reihen dadurch erleichtert werden, dass die Kontur 13b mit einer entsprechenden Anzahl von Stufen versehen wird.
Vorteilhaft bei der Erfindung ist, dass es zudem möglich wäre, eine Kunststoffhalterung 13 zu verwenden, die größer ist als der Trägerring 12, und z.B. ein abschließendes Füllharz 20 hinzugefügt wird, um diese Teile miteinander zu verbinden, wie 10 schematisch zeigt.
In 11 ist eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Prüfkopfs 10 gezeigt. Der Prüfkopf 10, der auf mehrere zu prüfende Bauelemente 11 angewendet werden kann, enthält mindestens einen Trägerring 12 mit einer Kunststoffhalterung 13 zur Halterung mehrerer Tastköpfe 14.
Insbesondere haben die Tastköpfe 14 einen Endteil oder eine Kontaktspitze 16, der bzw. die in einem geeigneten Winkel von den Tastköpfen weg gebogen ist, um mehrere Kontaktflecken 17 auf den mehreren zu prüfenden Bauelementen 11 zu kontaktieren.
Des weiteren sind die Tastköpfe 14 in mehreren Reihen L1, L2, ..., Ln angeordnet, um ihre Dichte zu erhöhen, wobei die Anordnung der Tastköpfe in der Vorderansicht ein Muster aus diagonalen, geraden oder kombinierten Linien darstellt, je nach den individuellen Anforderungen.
Ein gutes Kontaktieren der Kontaktflecken 17 des zu prüfenden Bauelements durch die Tastköpfe 14 des Prüfkopfs 10 wird gemeinhin durch den Druck des Prüfkopfs 10 auf das Bauelement gewährleistet, wobei sich die Tastköpfe 14 vertikal in die zur Vorwärtsbewegung des Bauelements zum Prüfkopf 10 entgegengesetzte Richtung biegen.
Vorteilhaft gemäß der Erfindung ist, dass die Halterung 13 eine geeignet geformte Kontur 13a hat, die den vorspringenden Abschnitten bzw. freien Längen 18 der Tastköpfe 14 entspricht, d.h. den zu prüfenden Bauelementen.
Insbesondere zeigt die Kontur 13a mehrere Stufen, deren Form und Abmessungen geeigneter Weise so gewählt wurden, dass ein gleichmäßiger Druck der Tastköpfe 14 auf die Kontaktflecken 17 gewährleistet ist, sobald die zu prüfenden Bauelemente mit dem Prüfkopf 10 in Berührung kommen.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Prüfkopfs 10, die schematisch in 11 gezeigt ist, hat die Halterung 13 eine sägezahnförmige Kontur 13a, die eine gleiche Austrittshöhe der Tastköpfe 14 schafft. Anders ausgedrückt liegen die Austrittspunkte 15 der Tastköpfe 14 aus der Kunststoffhalterung 13 auf einer Ebene, die zu der die mehreren zu prüfenden Bauelemente 11 enthaltenden Ebene parallel ist, sind aber von einem zum anderen in der Position verschoben, um die Kontaktflecken 17 auf verschiedenen Bauelementen zu erreichen.
Gemäß der Erfindung ist es vorteilhaft, dass sämtliche Tastköpfe 14 vorspringende Abschnitte bzw. freie Längen 18 haben, die gleichmäßig von den Austrittspunkten 15 abstehen. Dadurch können mehrere, in mehreren parallelen Reihen aufgelegte Bauelemente 11 geprüft werden, indem man identisch dimensionierte und aus demselben Material bestehende Tastköpfe verwendet, und dabei kann auch der richtige Druck auf die Kontaktflecken 17 der in verschiedenen Reihen angeordneten Bauelemente, wie schematisch in 11 gezeigt ist, aufrecht erhalten werden.
Aus 11 ist ersichtlich, dass die Tastköpfe, die mit Kontaktflecken in Berührung sind, die sich in benachbarten, unter einem vorbestimmten Abstand zueinander liegenden Bauelementreihen befinden, die auch als "Ritzlinie" bekannt ist, zu verschiedenen Reihen, aber zur selben Stufe gehören. In diesem Fall sind die vorspringenden Abschnitte bzw. freien Längen 18 unterschiedlich zu gestalten. Jedoch ist diese Veränderung wesentlich geringer als bei herkömmlichen Prüfköpfen und kann leicht durch Änderung der Abmessungen des Tastkopfs, z.B. durch Veränderung der Form der Tastkopfspitze, ausgeglichen werden.
Zudem umgeht der Prüfkopf 10 dieser Erfindung die Unzulänglichkeiten herkömmlicher Prüfköpfe mit einseitig eingespannten Tastköpfen und ermöglicht es, ein Matrixfeld von zu prüfenden Bauelementen zu prüfen, die hintereinander in mehreren Reihen aufgelegt sind.
Insbesondere stimmt die Dichte jener Tastköpfe 14, die dazu bestimmt sind, Bauelemente zu prüfen, die sich weiter im Inneren des Trägerrings 12 befinden, mit der Dichte der Tastköpfe 14 überein, die zum Prüfen von Bauelementen verwendet werden, die sich neben dem Trägerring 12 befinden, wodurch eine gleichmäßige Dichte der Kontaktflecken 17 auf den zu prüfenden Bauelementen ermöglicht wird, und zwar unabhängig von deren Position im Matrixfeld.
Kurz gefasst ermöglicht es der Prüfkopf 10 dieser Erfindung, dass Tastköpfe 14, die gleich groß sind und aus demselben Material bestehen, zur Prüfung eines Matrixfelds von Bauelementen verwendet werden können, das eine unbegrenzte Anzahl von Zeilen und Spalten umfasst.

Claims

Prüfkopf (10) mit einseitig eingespannten Tastköpfen, der zumindest einen Trägerring (12) umfasst, an dem eine Kunststoffhalterung (13) befestigt ist, um mehrere Kontakttastköpfe (14) zu haltern, wobei die Tastköpfe mit jeweiligen Kontaktspitzen (16) ausgebildet sind, die dazu geeignet sind, mehrere Kontaktflecken (17) von zumindest einem zu prüfenden Bauelement (11) mechanisch und elektrisch zu kontaktieren, wobei die Kunststoffhalterung (13) mit zumindest einer geeignet geformten Kontur (13b) ausgebildet ist, um das Hervortreten von verschiedenen Tastkopfreihen in einseitig eingespannter Art und Weise zu ermöglichen, wobei die geformte Kontur der Kunststoffhalterung (13) zumindest zwei Stufen umfasst, die so gebildet sind, dass mindestens zwei verschiedene Reihen der Kontakttastköpfe (14) hervortreten können, dadurch gekennzeichnet, dass die geformte Kontur (13b) entsprechend einem Außenabschnitt (19) zum Verlöten der Kontakttastköpfe (14) vorgesehen ist.
Prüfkopf (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Stufe der geformten Kontur (13b) Kontakttastköpfe (14) in derselben Reihe hält.
Prüfkopf (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Stufe der geformten Kontur (13b) Kontakttastköpfe (14) in verschiedenen Reihen hält.
Prüfkopf (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffhalterung (13) eine weitere geformte Kontur (13a) umfasst, die entsprechend dem zu prüfenden Bauelement (11) angeordnet ist.
Prüfkopf (10) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere geformte Kontur (13a) der Kunststoffhalterung (13) eine sägezahnförmige Kontur ist, wodurch die aus der Kunststoffhalterung (13) heraustretenden Spitzen (15) der Kontakttastköpfe (14) auf einer Ebene liegen, die zu der das zu prüfende Bauelement (11) enthaltenden Ebene parallel ist.
Prüfkopf (10) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere geformte Kontur (13a) über die Kunststoffhalterung (13) überstehende Abschnitte (8) der Kontakttastköpfe (14) hervorbringt, die im Wesentlichen einander gleich sind.
Prüfkopf (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass er mehrere in Reihen angeordnete Kontakttastköpfe (14) umfasst, um ein Matrixfeld aus Bauelementen zu prüfen, die nacheinander aufgereiht sind, wobei jedes Bauelement (11) in dem Feld von Kontakttastköpfen (14) aus verschiedenen Reihen erreicht wird.
Prüfkopf (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (13) größer als der Trägerring (12) ist.
Prüfkopf (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein abschließendes Füllharz (20) verwendet wird, um die Kunststoffhalterung (13) und den Trägerring (12) zusammenzuhalten.