DE602004009662T2

DE602004009662T2 - Kontaktstift für einen Prüfkopf

Info

Publication number: DE602004009662T2
Application number: DE602004009662T
Authority: DE
Inventors: Giuseppe Crippa; Stefano Felici
Original assignee: Technoprobe SpA
Current assignee: Technoprobe SpA
Priority date: 2004-03-24
Filing date: 2004-03-24
Publication date: 2008-08-28
Anticipated expiration: 2024-03-25
Also published as: DE602004009662D1; US7227368B2; US20050270044A1; EP1580562A1; EP1580562B1; CN100510755C; PL1580562T3; WO2005091000A8; CN1934453A; ATE376679T1; JP2007530931A; TW200540427A; WO2005091000A1

Description

Technisches Anwendungsgebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Prüfkopf zum Prüfen mehrerer integrierter elektronischer Halbleitereinrichtungen, die mehrere sogenannte Kontaktfelder umfassen.
Insbesondere betrifft die Erfindung einen Prüfkopf zum Prüfen mehrerer integrierter elektronischer Halbleitereinrichtungen, wobei der Prüfkontakt einen stangenartigen Prüfkörper mit einem rechteckigen Querschnitt umfasst, und in Zuordnung mit mindestens einem Ende mit einer exzentrischen Kontaktspitze versehen ist.
Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Prüfkontakts des Typs, der wenigstens einen stangenartigen Prüfkörper mit einem rechteckigen Querschnitt umfasst, und in Zuordnung mit mindestens einem Spitzenabschnitt mit einer exzentrischen Kontaktspitze versehen ist.
Die Erfindung betrifft insbesondere, aber nicht ausschließlich, einen Prüfkopf mit vertikalen Prüfkontakten zum Prüfen von integrierten elektronischen Halbleitereinrichtungen, wobei die nachfolgende Beschreibung allein aus Gründen der Anschaulichkeit unter Bezugnahme auf dieses Anwendungsgebiet erfolgt.
Stand der Technik
Wie allgemein bekannt, handelt es sich bei einem Prüfkopf im Wesentlichen um eine Einrichtung zum elektrischen Verbinden mehrerer Kontaktfelder einer integrierten elektronischen Halbleitereinrichtung mit zugeordneten Kanälen einer Prüfvorrichtung, die die Prüfung der Einrichtung durchführt.
Die Prüfung, die an integrierten elektronischen Einrichtungen ausgeführt wird, kann bereits während des Fertigungsvorgangs fehlerhafte Einrichtungen detektieren und isolieren. Normalerweise werden Prüfköpfe daher zum elektrischen Prüfen der integrierten elektronischen Halbleitereinrichtungen benutzt, oder auf einem Silizium-Wafer integriert, bevor dieser geschnitten und in einer Verkapselung zum Aufnehmen von Chips untergebracht wird.
Die Verbindung zwischen der Prüfvorrichtung und den Kontaktfeldern der geprüften integrierten elektronischen Einrichtung wird unter Verwendung mehrerer Kontaktelemente oder Prüfkontakte ausgeführt.
Diese Prüfkontakte sind dabei normalerweise durch Drähte aus einer speziellen Legierung mit guten elektrischen und mechanischen Eigenschaften ausgebildet.
Die gute Verbindung zwischen den Prüfkontakten und den Kontaktfeldern wird überdies durch Andrücken jedes Prüfkontakt an das zugeordnete Kontaktfeld sichergestellt.
Ein Prüfkopf mit vertikalen Prüfkontakten umfasst mindestens ein Paar Matrizen oder plattenartige parallele Haltevorrichtungen, die in einem bestimmten Abstand voneinander angeordnet sind, um Raum für einen Luftspalt sowie für mehrere Prüfkontakte zu lassen.
Jede plattenartige Haltevorrichtung, die auf dem vorliegenden technischen Gebiet sowie in der nachfolgenden Beschreibung als Matrize bezeichnet wird, ist jeweils mit mehreren durchgehenden Führungslöchern versehen, wobei jedes Loch in der einen Matrize einem Loch in der anderen Matrize zugeordnet ist, in das jeweils ein Prüfkontakt mit Gleiteingriff eingeführt wird. Dabei kommt es im Luftspalt zwischen den zwei Matrizen zu einem elastischen Verbiegen der beweglichen Prüfkontakte.
Prüfköpfe dieses Typs werden allgemein als „vertikale Prüfkontakte" bezeichnet. Wie in 1 schematisch gezeigt, umfasst ein Prüfkopf 1 des bekannten Typs mindestens eine obere Matrize 2 und eine untere Matrize 3, die jeweils ein oberes 4 und ein unteres 5 Durchgangsloch aufweisen, in das mindestens ein Prüfkontakt 6 gleitend eingreift.
Der Prüfkontakt 6 weist ein Kontaktende oder eine Kontaktspitze 7 auf. Insbesondere steht die Kontaktspitze 7 in mechanischem Kontakt mit einem Kontaktfeld 8 einer zu testenden integrierten elektronischen Einrichtung, und stellt gleichzeitig den elektrischen Kontakt zwischen der Einrichtung und einer Prüfvorrichtung (nicht dargestellt) bereit, die den Prüfkopf als ein Anschlusselement aufweist.
Die obere 2 und die untere 3 Matrize sind in passender Beabstandung von einem Luftspalt 9 angeordnet, der während des Normalbetriebs ein Verformen oder Neigen der Prüfkontakte 6 des Prüfkopfs zulässt, wenn nämlich dieser Prüfkopf in Kontakt mit der zu prüfenden integrierten elektronischen Einrichtung gelangt. Außerdem sind das obere 4 und untere 5 Führungsloch so abgemessen, dass sie den Prüfkontakt 6 führen.
1 zeigt in schematischer Weise einen Prüfkopf 1 mit locker eingepassten Prüfkontakten, die einem Mikrokontaktstreifen oder Space-Transformer zugeordnet sind, der allgemein mit 10 bezeichnet ist.
In diesem Fall weisen die Prüfkontakte 6 eine weitere Kontaktspitze auf, die auf mehrere Kontaktfelder 11 des Space-Transformer 10 gerichtet ist, wobei der gute elektrische Kontakt zwischen den Prüfkontakten und dem Space-Transformer 10 auf ähnliche Weise sichergestellt wird wie der Kontakt mit der zu prüfenden integrierten elektronischen Einrichtung, nämlich durch Andrücken der Prüfkontakte 6 an die Kontaktfelder 11 des Space-Transformer 10.
Ein schwerwiegendes Problem auf diesem spezifischen technischen Gebiet besteht in der Reduzierung des Abstands zwischen den Kontaktfeldern 8 der geprüften Einrichtung, wobei dieser Abstand auf dem vorliegenden Gebiet als "Pitch" bezeichnet wird.
Dabei verlangen der technische Fortschritt und die Miniaturisierung der Chips eine ständige Reduzierung des Pitch der zu prüfenden integrierten elektronischen Einrichtung und also des Abstands zwischen zwei benachbarten Prüfkontakten 6 des Prüfkopfes, der die Prüfung durchführt.
Der minimale Pitch hängt von der geometrischen Form und der Größe der Prüfkontakte 6 ab, und entspricht dem Verhältnis: Pitchmin = E + 2Amin + Wmin mit Amin =(F – E)/2
Wobei, wie in 2 dargestellt, die eine Schnittansicht eines Teils des Prüfkopfes 1 des Stands der Technik zeigt:
Pitchmin der minimale Pitch ist, d. h. der minimale Abstand zwischen den Mittelpunkten von zwei benachbarten Kontaktflächen 8 der zu prüfenden integrierten elektronischen Einrichtung;
E der Wert der Querschnittsachse des Prüfkontakts 6 ist;
Wmin der Minimalwert der Wanddicke zwischen einem Führungsloch 4 und 5 und dem darauffolgenden Führungsloch ist, um für die Struktur des Prüfkopfes 1 eine bestimmte mechanische Festigkeit zu gewährleisten; und
F der Wert der Querschnittsachse des Führungslochs 4 ist.
Bei gegenwärtigen Vertikaltechniken, die normalerweise Prüfkontakte mit einem kreisförmigen Querschnitt verwenden, wird eine Reduzierung des Pitch-Wertes erzielt, indem die Größe des Prüfkontakts 6 reduziert wird, und zwar insbesondere seiner minimalen Achse E (die im Fall von Prüfkontakten mit kreisförmigem Querschnitt dem minimalen Durchmesser entspricht), da die anderen Faktoren der vorstehenden Relation aufgrund der technischen Fertigungsbeschränkungen der Prüfköpfe praktisch unveränderbar sind.
Diese Lösung steht im Widerspruch zu der Notwendigkeit, Prüfkontakte 6 mit einem ausreichend großen Querschnitt zu benutzen, die auch bei einer weiteren Miniaturisierung der Kontakte gewährleisten können, dass die mit Hilfe dieser Prüfkontakte hergestellten Kontakte stabil sind.
Ferner sind bei den meisten integrierten Einrichtungen an allen vier Seiten der zu prüfenden Einrichtung Kontaktfelder angeordnet. In diesem Fall muss darauf geachtet werden, die Prüfkontakte entsprechend den Winkeln der Einrichtung anzuordnen, damit sie nicht miteinander in Kontakt gelangen, da dies die Testergebnisse unbrauchbar machen würde.
Ein Prüfkontaktsystem zum Prüfen von elektrischen Kontakten einer Reihe eng beabstandeter Drahtbonding-Kontaktfelder ist in der US-Patentschrift 6,411,112 , ausgestellt am 25. Juni 2002 an Das et al. (IBM), beschrieben.
Aus der italienischen Patentanmeldung MI2001A0005 , eingereicht von demselben Anmelder am 19. März 2001, sowie aus der entsprechenden europäischen Patentanmeldung Nr. 1 243 931 vom 15. März 2002 ist außerdem bekannt, Prüfkontakte für Prüfköpfe herzustellen, die mit einem steifen Arm versehen sind, der seitlich von einem Prüfkontaktkörper vorspringt, wie in 3 schematisch gezeigt.
Insbesondere umfasst der Prüfkopf 30 aus 3 eine obere Matrize 12A und eine untere Matrize 12B mit jeweiligen Führungslöchern 13A bzw. 13B, die einen Prüfkontakt 14 aufnehmen können.
Die Prüfkontakte 14 weisen Kontaktspitzen 15 auf, die dazu vorgesehen sind, an mehrere Kontaktfelder 16 einer zu prüfenden integrierten elektronischen Einrichtung anzustoßen, die schematisch mit 17 bezeichnet ist.
Der Prüfkopf 30 aus 3 umfasst locker eingepasste Prüfkontakte, die ein weiteres Ende 18 aufweisen, das in Kontakt mit einem Mikrokontaktstreifen oder Space-Transformer 19 steht.
Ein steifer Arm 20 erstreckt sich mit einem in Bezug auf den Prüfkontakt 14 geeigneten Winkel in senkrechter oder geneigter Richtung, d. h. er weist eine Achse B-E auf, die in Bezug auf eine Achse A-A des Prüfkontakts 14 senkrecht oder geneigt verläuft, und endet in der Kontaktspitze 15 des Prüfkontakts 14 für die Kontaktfelder 16 der zu prüfenden integrierten elektronischen Einrichtung 17.
Auf diese Weise ist der Kontakt zwischen der Spitze 15 des Prüfkontakts 14 und dem Feld 16 mit einem Wert Z in Bezug auf die Achse A-A des Prüfkontaktes 14 selbst beabstandet, weshalb der Wert des minimalen Pitch der Kontaktspitzen 15 reduziert werden kann und ermöglicht wird, integrierte elektronische Einrichtungen mit Kontaktfelder 16 mit nahe beieinander angeordneten Kontaktmittelpunkten C, d. h. mit reduziertem Pitch, zu prüfen, wobei Z der Abstand zwischen der Achse A-a und einer parallelen Achse ist, die durch den Kontaktmittelpunkt des Prüfkontakts hindurch verläuft.
Dies ist zwar in mehrfacher Hinsicht vorteilhaft, doch weist der Prüfkopf 30 gemäß dem Stand der Technik verschiedene Nachteile auf.
Der wichtigste Nachteil liegt in der Notwendigkeit, den Prüfkörper 21 zu verformen, um den steifen Arm 20 herzustellen. Das Verfahren zum Herstellen des Prüfkontakts muss daher einen Verformungsschritt aufweisen, der sehr genau und wiederholbar sein muss, damit die Eignung aller Prüfkontakte eines jeweiligen Prüfkopfes gewährleistet werden kann.
Neben der Hinzufügung eines entscheidenden Schrittes zu dem Verfahren zum Herstellen der Prüfkontakte bringt diese Verformung schwächende Faktoren in den Körper 21 des Prüfkontakts ein.
Außerdem weist der insgesamt eingenommene Raum des in dieser Weise hergestellten Prüfkontakts die nachteilige Längsgröße D auf, die sich durch den steifen Arm 20 ergibt.
Das technische Problem, das der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt, besteht darin, einen Prüfkontakt zu entwerfen, der eine einfache Konfiguration aufweist und keiner Verformung des Prüfkörpers bedarf, und einen guten elektrischen Kontakt zu einer zu prüfenden integrierten elektronischen Einrichtung sicherstellen kann, und gleichzeitig eine Reduzierung des minimalen Abstands zwischen benachbarten Prüfkontakten und also auch des Pitch der Kontaktfelder der zu prüfenden integrierten elektronischen Einrichtung zu ermöglichen.
Kurzdarstellung der Erfindung
Die Lösungsidee, die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt, besteht darin, einen Prüfkopf bereitzustellen, der Prüfkontakte mit einer exzentrischen Kontaktspitze aufweist, die an einer Kante des rechteckigen Querschnitts des Prüfkörpers angeordnet ist.
Auf Grundlage dieser Lösungsidee wird das technische Problem durch einen Prüfkopf des zuvor genannten Typs gelöst, der im kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 definiert ist.
Das technische Problem wird auch durch ein Verfahren zum Herstellen eines Prüfkopfes des zuvor genannten Typs gelöst, das im kennzeichnenden Teil von Anspruch 7 definiert ist.
Die Merkmale und Vorteile des Prüfkopfes und des Verfahrens gemäß der Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsformen derselben hervor, die anhand veranschaulichender und nicht begrenzender Beispiele und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Figuren erfolgt.
Kurze Beschreibung der Figuren
In diesen Figuren:
1 zeigt in schematischer Weise eine Ausführungsform eines Prüfkopfes des Stands der Technik;
2 zeigt eine Schnittansicht eines Abschnitts des Prüfkopfes aus 1;
3 zeigt in schematischer Weise eine zweite Ausführungsform eines Prüfkopfes des Stands der Technik;
4A und 4B zeigen in schematischer Weise einen Prüfkontakt für einen gemäß der Erfindung hergestellten Prüfkopf;
5 zeigt in schematischer Weise eine weitere Ausführungsform eines Prüfkontakts für einen gemäß der Erfindung hergestellten Prüfkopf;
6A und 6B zeigen in schematischer Weise einzelne Konfigurationen der Oberseite mehrerer Prüfkontakte aus 5.
Detaillierte Beschreibung
Unter Bezugnahme auf die Figuren, und insbesondere auf 4A, bezeichnet 40 allgemein und schematisch einen erfindungsgemäßen Prüfkontakt.
4B zeigt eine vergrößerte Ansicht des einzigen End- oder Spitzenabschnitts 42 des Prüfkontakts, der einer Kontaktspitze P zugeordnet ist, die dazu dient, einen Kontakt mit einem Kontaktfeld einer zu prüfenden Einrichtung (nicht dargestellt) herzustellen.
Wie aus der Erörterung des Stands der Technik deutlich geworden, weist der Prüfkontakt 40 einen im Wesentlichen stangenartigen Prüfkörper 41 mit einer Achse XX und einem Querschnitt von im Voraus festgelegtem Umriss auf. Der Prüfkörper 41 ist in Zuordnung mit wenigstens einem Ende mit einer exzentrischen Kontaktspitze P versehen.
Gemäß der Erfindung ist die Kontaktspitze P des Prüfkontakts 40 vorteilhafterweise innerhalb des Umrisses des Querschnittes des Prüfkörpers 41 angeordnet, wie in 4B gezeigt, wobei der Vorsprung P der Kontaktspitze P in Übereinstimmung mit einer Querschnittebene n angezeigt ist.
Es ist zu unterstreichen, dass der „Umriss" des Querschnitts im Allgemeinen die Hüllkurve dieses Bereichs bezeichnet, die den maximalen Raum definiert, den der Prüfkörper einnimmt, wobei diese Hüllkurve im Fall besonderer, gewölbter oder mit konvexen Winkeln versehener Ausformungen nicht mit dem geometrischen Umfang des Bereichs übereinstimmt. Im Fall von Prüfkörpern mit ungleichmäßigem Schnitt bezeichnet der Begriff "Umriss" ebenfalls die Gesamtheit der unterschiedlichen Bereiche, und definiert wiederum den maximal vom Prüfkörper eingenommenen Raum.
Gemäß der Erfindung definiert der Spitzenabschnitt 42 daher vorteilhafterweise eine Spitze P, die in Bezug auf die Achse XX des Prüfkontakts außermittig angeordnet ist, aber seinen insgesamt eingenommenen Raum nicht vergrößert.
Es ist daher möglich, durch Herstellen eines Prüfkopfes unter Verwendung mehrerer Prüfkontakte 40 gemäß der Erfindung den Abstand zwischen den Prüfkontakten selbst anhand einer alternierenden Konfiguration zu reduzieren, wie sie jeweils für den Fall, dass Kontaktfelder 50 an einer einzigen Seite oder an mehreren Seiten der zu prüfenden Einrichtung angeordnet sind, in 6A bzw. 6B gezeigt ist.
Tatsächlich nimmt der Prüfkontakt 40 mit der exzentrischen Kontaktspitze P in Bezug auf eine Achse YY parallel zu der Achse XX, die durch die Kontaktspitze P hindurch verläuft, einen unterschiedlichen Raum ein.
Insbesondere definiert, wie in 4B gezeigt, eine Ebene T, die durch eine Achse YY verläuft, einen ersten 40A und einen zweiten 40B Prüfkontaktbereich, wobei diese Bereiche einen unterschiedlichen Raum einnehmen, und insbesondere der erste Bereich 40A einen Gesamtraum einnimmt, der geringer ist als der durch den zweiten Bereich 40B eingenommene Raum.
Es ist daher möglich, die Anordnungsdichte der Prüfkontakte selbst zu erhöhen, indem die Bereiche der Prüfkontakte 40 mit größerem Raumbedarf alternierend angeordnet werden, und so den Pitch der Einrichtung zu senken, die von dem auf diese Weise hergestellten Prüfkopf geprüft werden kann.
5 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform des Prüfkontakts 40, wobei die Kontaktspitze P in den Umriss des Querschnitts des Prüfkörpers fällt.
Auf diese Weise nimmt der Prüfkontakt 40 einen Raum ein, der in Bezug auf die Achse YY vollständig lateral angeordnet ist, so dass die Prüfkontakte mit maximaler Dichte angeordnet sein können, indem ihre Anordnung in Zuordnung zu den Kontaktfeldern alternierend erfolgt, wie in 6A und 6B gezeigt.
Insbesondere weisen die Prüfkontakte 40 in 6A eine Achse ZZ des Querschnitts auf, die in Bezug auf eine Ausrichtungsachse WW der Kontaktfelder 50 geneigt ist.
Außerdem sind die Prüfkontakte 40 gemäß der Erfindung vorteilhafterweise alternierend und mit geeigneter Neigung angeordnet, und zwar insbesondere mit einem Winkel von 45°. Auf diese Weise wird der Abstand zwischen den Prüfkontakten auch in Zuordnung zu den Verteilungswinkeln der Kontaktfelder an den vier Seiten der zu prüfenden integrierten Einrichtung sichergestellt, wie in 6B gezeigt, wobei die Felder Ausrichtungsachsen WW und WV' aufweisen, die orthogonal zueinander sind.
Überdies weisen die Prüfkontakte 40 in den Ausführungsformen aus 4A, 4B und 5 vorteilhafterweise keinen kreisförmigen Querschnitt auf. Indem einander zugeordnete Führungslöcher mit rechteckigem Querschnitt benutzt werden, ist es so möglich, die Prüfkontakte auf einfache und sichere Weise wie gewünscht auszurichten.
Obwohl 4A, 4B und 5 Prüfkontakte mit nicht kreisförmigen Querschnitten zeigen, insbesondere mit rechteckigen, ist die Erfindung nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt, und es können vielmehr auch traditionelle Prüfkontakte mit kreisförmigem Querschnitt sowie mit ovalem Querschnitt benutzt werden.
Daher ist es möglich, einen Prüfkopf zu erzielen, der mehrere Prüfkontakte mit exzentrischen Kontaktspitzen, und also mit Bereichen umfasst, die einen unterschiedlichen Raum einnehmen, und in geeigneter Weise ausgerichtet sind, so dass diese Bereiche mit unterschiedlichem Raum alternieren, wodurch der minimale Sicherheitsabstand zwischen den Prüfkontakten reduziert wird, so dass die zugeordneten Kontaktfelder an der zu prüfenden Einrichtung näher beieinander angeordnet werden können, d. h. der Pitch dieser Einrichtung reduziert werden kann.
Insbesondere umfasst ein erfindungsgemäßer Prüfkopf mindestens eine obere Matrize und eine untere Matrize, die jeweils ein oberes und ein unteres Durchgangsloch aufweisen, in das mindestens ein Prüfkontakt 40 mit einer exzentrischen Kontaktspitze P gleitend eingreift.
Im Allgemeinen umfasst der Prüfkopf mehrere Prüfkontakte 40, die derart angeordnet sind, dass benachbarte Prüfkontakte Achsen ZZ aufweisen, die in Bezug auf eine Ausrichtungsachse WW der Kontaktfelder 50 der zu prüfenden Einrichtung geneigt sind.
In einer bevorzugten Ausführungsform bilden die Achsen ZZ der Prüfkontakte 40 und die Ausrichtungsachse WW der Kontaktfelder einen Winkel von 45°, wie in 6A und 6B gezeigt.
Es ist auch möglich, vorzusehen, dass der Prüfkopf mindestens einen Luftspalt aufweist, der zwischen den Matrizen angeordnet ist, und erlaubt, dass sich der Prüfkontakt 40 verformt, wenn die Kontaktspitze P an das zugeordnete Kontaktfeld der zu prüfenden Einrichtung anstößt.
In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Prüfkopfes weisen die Prüfkontakte 40 mindestens einen vorverformten Bereich auf. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Prüfkontakts des Typs, der mindestens einen Prüfkörper und einen Spitzenabschnitt 30 umfasst, wobei eine exzentrische Kontaktspitze des Prüfkontakts definiert ist, wobei das Verfahren mindestens einen Schritt umfasst, in dem der Spitzenabschnitt des Prüfkontakts entsprechend mehreren Schnittebenen geschnitten wird, die in Bezug auf die Querschnittebene n geneigt sind, und durch die exzentrische Kontaktspitze P verlaufen.
Falls die Prüfkontakte einen rechteckigen Querschnitt aufweisen, wie z. B. in 5 gezeigt, umfasst das Verfahren zum Herstellen eines Prüfkontakts gemäß der Erfindung vorteilhafterweise die folgenden Schritte:

– Schneiden an einer ersten Schnittebene α, die in Bezug auf die Querschnittebene π geneigt ist, und durch die Kontaktspitze P verläuft, und
– Schneiden an einer zweiten Schnittebene β, die in Bezug auf die Querschnittebene geneigt π ist, und durch die Kontaktspitze P verläuft.

Insbesondere sind diese Schnittebenen α und β in Bezug auf die Querschnittebene π um 45° geneigt, und sind zueinander um 90° gedreht, und definieren so die exzentrischen Kontaktspitze P, die im Inneren des Umrisses des Querschnitts des Prüfkörpers angeordnet ist.
Abschließend ermöglicht der vorgestellte erfindungsgemäße Prüfkontakt mit der exzentrischen Spitze in vorteilhafter Weise, einen Prüfkopf herzustellen, der den Wert des minimalen Pitch der Kontaktspitzen P reduzieren kann, und es so erlaubt, integrierte elektronische Einrichtungen mit Kontaktfeldern mit sehr nah beieinander angeordneten Kontaktmittelpunkten C, d. h. ist stark reduziertem Pitch, zu prüfen.
Die Exzentrizität der Kontaktspitze P und der Längsachse A-A des Prüfkontakts und ihre Anordnung innerhalb des Umrisses des Querschnitts des Prüfkörpers, sowie eine geeignete Ausrichtung der Prüfkontakte lassen in der Tat zu, die Prüfkontakte 40 in Bezug auf die Kontaktfelder in einer alternierend einander gegenüberliegenden Position anzuordnen, und so den verfügbaren Raum zum Ausbilden der Führungslöcher wesentlich zu erhöhen, und auf diese Weise die Benutzung von Prüfkontakten mit größerem Durchmesser zu ermöglichen, als sie gemäß dem Stand der Technik benutzt werden können. Es wird auf diese Weise ein Prüfkopf erzielt, der integrierte elektronische Einrichtungen mit sehr kleinem Pitch zuverlässiger prüfen kann.
Außerdem wird die exzentrische Kontaktspitze P gemäß der Erfindung vorteilhafterweise mit Hilfe von Schneideschritten an Schnittebenen hergestellt, die in Bezug auf die Querschnittebene π geneigt sind und durch die Kontaktspitze P hindurch verlaufen.
Insbesondere für den Fall von Prüfkontakten mit rechteckigem Querschnitt ist das erfindungsgemäße Verfahren extrem vereinfacht, indem nur zwei Schneidevorgänge an einer ersten α und einer zweiten β Ebene notwendig sind, die in Bezug auf die Querschnittebene π geneigt sind und durch die Kontaktspitze P hindurch verlaufen, die in den Umriss des Querschnitts des Prüfkörpers fällt.

Claims

Prüfkopf mit vertikalen Prüfkontakten derart umfassend mindestens eine erste und eine zweite Matrize, die entsprechend mit mindestens einem Führungsloch zur Aufnahme mindesten eines Prüfkontakts (40) versehen sind, um den mechanischen und elektrischen Kontakt mit einem entsprechenden Kontaktfeld einer zu prüfenden integrierten elektronischen Vorrichtung sicher zu stellen, wobei mindestens ein Prüfkontakt (40) einen stangenartigen Prüfkörper (41) umfasst mit rechteckigem Querschnitt und wobei mindestens ein Ende mit einer exzentrischen Kontaktspitze (P) versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die exzentrische Kontaktspitze (P) an einer Kante des rechteckigen Querschnitts angeordnet ist und erhalten wird durch Schneiden entlang einer ersten (α) und einer zweiten unterschiedlichen Schnittebene (β), die in Bezug auf eine Querschnittsebene (π) geneigt ist, die orthogonal zu einer Achse (XX) des Prüfkörpers (41) ist und durch die exzentrische Kontaktspitze (P) hindurch führt.
Prüfkopf mit vertikalen Prüfkontakten nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnittebenen (α, β) sich um 45° bezüglich der Querschnittsebene (π) neigen und gegeneinander um 90° gedreht sind.
Prüfkopf mit vertikalen Prüfkontakten nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass benachbarte Prüfkontakte (40) Achsen (ZZ) der rechteckigen Querschnitte der Prüfkontaktkörper (41) aufweisen, die parallel zu einer Seite der rechteckigen Querschnitte sind und sich in Bezug auf eine Ausrichtungsachse (WW) der Kontaktfelder (50) neigen.
Prüfkopf mit vertikalen Prüfkontakten nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Achsen (ZZ) der rechteckigen Querschnitte der Prüfkontaktkörper (41) und die Ausrichtungsachse (WW) der Kontaktfelder (50) einen Winkel von 45° ausbilden.
Prüfkopf mit vertikalen Prüfkontakten nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass er mindestens einen Luftspalt aufweist, der zwischen der ersten und zweiten Matrize angeordnet ist und eine Verformung des Prüfkontakts (40) ermöglicht, wenn die exzentrische Kontaktspitze (P) an ein Kontaktfeld anstößt.
Prüfkopf mit vertikalen Prüfkontakten nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Prüfkontakt (40) mindestens einen vorverfomten Gereicht aufweist.
Verfahren zur Herstellung eines Prüfkontaktes der Art, der mindestens einen stangenartigen Prüfkontaktkörper (41) mit einem rechteckigen Querschnitt umfasst und in Zuordnung mit mindestens einem Spitzenbereich mit einer exzentrischen Kontaktspitze (P) versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass es mindestens einen ersten und einen zweiten Schneidschritt des Spitzenbereichs entlang mindestens einer ersten Schnittebene (α) und einer zweiten unterschiedlichen Schnittebene (β) umfasst, die in Bezug auf eine Querschnittsebene (π) geneigt ist, die orthogonal zu einer Achse (XX) des Prüfkontaktkörpers (41) ausgerichtet ist, wobei die Schnittebenen durch die exzentrische Kontaktspitze (P) hindurch führen, die an einer Kante des rechteckigen Querschnitts angeordnet ist und wobei – der erste Schneidschritt entlang der ersten Schnittebene (α) durch geführt wird, die in Bezug auf die Querschnittsebene (π) geneigt ist und durch die exzentrische Kontaktspitze (P) hindurch führt, und – der zweite Schneidschritt entlang der zweiten unterschiedlichen Schnittebene (β) durchgeführt wird, die mit Bezug zu der Querschnittsebene (π) geneigt ist und durch die exzentrische Kontaktspitze (P) hindurch führt.
Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die geneigten Ebenen (α, β) sich um 45° in Bezug auf die Querschnittsebene (π) neigen und das sie um 90° gegeneinander gedreht sind.