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DE60042298D1 - Sondenkarte und Verfahren zur Prüfung einer Halbleiterscheibe mit einer Vielzahl von Halbleitervorrichtungen - Google Patents

Sondenkarte und Verfahren zur Prüfung einer Halbleiterscheibe mit einer Vielzahl von Halbleitervorrichtungen

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DE60042298D1
DE60042298D1 DE60042298T DE60042298T DE60042298D1 DE 60042298 D1 DE60042298 D1 DE 60042298D1 DE 60042298 T DE60042298 T DE 60042298T DE 60042298 T DE60042298 T DE 60042298T DE 60042298 D1 DE60042298 D1 DE 60042298D1
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DE
Germany
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testing
probe card
semiconductor wafer
semiconductor
semiconductor devices
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
DE60042298T
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeyuki Maruyama
Daisuke Koizumi
Naoyuki Watanabe
Yoshito Konno
Eiji Yoshida
Toshiyuki Honda
Toshimi Kawahara
Kenichi Nagashige
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Semiconductor Ltd
Original Assignee
Fujitsu Semiconductor Ltd
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Publication date
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    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • H—ELECTRICITY
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DE60042298T 1999-08-19 2000-07-10 Sondenkarte und Verfahren zur Prüfung einer Halbleiterscheibe mit einer Vielzahl von Halbleitervorrichtungen Expired - Lifetime DE60042298D1 (de)

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