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DE3861889D1 - Verfahren zum herstellen von loechern in integrierten halbleiterschaltungen. - Google Patents

Verfahren zum herstellen von loechern in integrierten halbleiterschaltungen.

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Publication number
DE3861889D1
DE3861889D1 DE8888105978T DE3861889T DE3861889D1 DE 3861889 D1 DE3861889 D1 DE 3861889D1 DE 8888105978 T DE8888105978 T DE 8888105978T DE 3861889 T DE3861889 T DE 3861889T DE 3861889 D1 DE3861889 D1 DE 3861889D1
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DE
Germany
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integrated semiconductor
semiconductor circuits
producing holes
holes
producing
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
DE8888105978T
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro C O Patent Divisi Abe
Yasukazu C O Patent Divis Mase
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE3861889D1 publication Critical patent/DE3861889D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • H10W72/071—
    • H10W20/082—
    • H10P50/283—
DE8888105978T 1987-04-16 1988-04-14 Verfahren zum herstellen von loechern in integrierten halbleiterschaltungen. Expired - Lifetime DE3861889D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62091876A JPS63258021A (ja) 1987-04-16 1987-04-16 接続孔の形成方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3861889D1 true DE3861889D1 (de) 1991-04-11

Family

ID=14038761

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DE8888105978T Expired - Lifetime DE3861889D1 (de) 1987-04-16 1988-04-14 Verfahren zum herstellen von loechern in integrierten halbleiterschaltungen.

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US (1) US4857141A (de)
EP (1) EP0287096B1 (de)
JP (1) JPS63258021A (de)
KR (1) KR910006370B1 (de)
DE (1) DE3861889D1 (de)

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EP0287096A1 (de) 1988-10-19
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US4857141A (en) 1989-08-15
EP0287096B1 (de) 1991-03-06
KR910006370B1 (ko) 1991-08-21
KR880013239A (ko) 1988-11-30

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