DE3843369C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Gerät für die horizontale Überführung von Silizium­ plättchen von einem Korb in einen anderen, bei welchem die genannten Körbe auf einem Auflageteil in axial gleicher Ausrichtung angeordnet sind.

Es ist bekannt, bei der Behandlung von Siliziumplättchen Körbe zu verwenden, die innen so eingerichtet sind, daß sie eine Vielzahl von Plättchen auf gleichmäßige und geordnete Weise in seitlichen Einschnitten in den Seiten des Korbes aufnehmen und vertikal anordnen können. Im Hinblick auf die chemischen und sonstigen Behandlungen, die die Plättchen erfahren müssen, ist es manchmal erforderlich, im Verlauf des Behandlungszyklus die Aufnahmekörbe zu wechseln, weil die Art des Werkstoffes, aus dem sie hergestellt sind, mit der Behandlung nicht mehr verträglich ist.

Daher nimmt man eine Überführung aller in einem Korb enthaltenen Plättchen in einen anderen Korb vor.

Diese Überführung erfolgt sehr häufig von Hand durch Umkehren der Körbe. Es ist klar, daß dieses Verfahren Partikel erzeugt und die Plättchen erheblich versprödet. Außerdem ist es angesichts der Größe der Körbe schwierig, diese auf diese Weise zu handhaben.

Es wurden Geräte zur Erleichterung dieser Überführung vorgeschlagen. Allerdings stellen diese Geräte aufgrund ihrer Bauweise nicht voll zufrieden. Im allgemeinen wird einer der Körbe in Richtung auf den anderen bewegt, wodurch der Bediener ihn von Hand halten muß, da keinerlei Führungsmittel vorgesehen ist. Außerdem gibt es ein Problem der Überführung, wenn es zwischen den Körben einen Unterschied in der Höhe gibt.

In der US-PS 45 34 695 ist eine Verschiebevorrichtung beschrieben, bei der die Plättchen schrittweise mittels einer Übertragungsstation von einem Korb zum anderen durchgeführt wird. Die Körbe sind dabei in axial gleicher Ausrichtung angeordnet.

In der US-PS 47 44 715 wurde eine eingangs beschriebene Vorrichtung angegeben, bei der die Verschiebung des Korbes gegenüber einem anderen Korb bewirkt wird, womit die Gefahr der Verunreinigung und des Bruchs der Plättchen besteht.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Nachteile der bekannten Vorrichtungen zu vermeiden und die Überführung der Plättchen von einem Korb in den anderen Korb auf rationelle und sichere Weise unter Vermeidung jeglicher Gefahr der Verunreinigung der Plätt­ chen bei Unbeweglichkeit der Körbe auf einmal durchzuführen.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst.

Mit der Vorrichtung gemäß der Erfindung wird der wesentliche Vorteil erreicht, daß die Übertragung der Plättchen in ihrer Gesamtheit in einem einzigen Verfahren von einem Korb in einen anderen Korb erfolgt. Dies geschieht durch die besondere Ausbildung des Überführungsorganes in Form eines Kamms, der durch Verstellung quer durch den Korb eine Schub­ wirkung auf die Kante sämtlicher Plättchen gleichzeitig ausübt, um diese in horizontaler Ebene in den anderen Korb zu überführen. Die Überführung aller Plättchen geschieht somit, im Gegensatz zum vorbe­ kannten Stand der Technik, gleichzeitig und in einer einzigen Operation.

Die Unteransprüche enthalten wertvolle Erweiterungen und Bereicherungen der Vorrichtung gemäß Anspruch 1.

Die Erfindung wird anschließend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert, wobei die

Fig. 1 eine Perspektivzeichnung des Geräts und eines die Plätt­ chen aufnehmenden Korbes ist; die

Fig. 2 ein Längsschnitt des Geräts ist. Es ist die Position der Körbe dargestellt; die

Fig. 3 ein Grundriß und Querschnitt nach der Linie 3-3 aus Fig. 2 ist; die

Fig. 4 ein Querschnitt nach der Linie 4-4 aus Fig. 2 ist; die

Fig. 5 ein Detail des Überführungsorgans zeigt; die

Fig. 6 eine Teilansicht ist, welche einen Teil des Systems zur Verriegelung des beweglichen Arms in einer Richtung ist; die

Fig. 7 und 8 rein schematische Darstellungen des Prinzips der Überführung der Plättchen sind.

Wie die Fig. 1 zeigt, umfaßt das Gerät im wesentlichen ein Fußteil (1), das so ausgebildet ist, daß es die Zentrierung und das Positionieren von zwei unbeweglichen, mit ihren offenen Einführungsflächen einander gegenüberstehenden Körben (P) und (P1) in gleicher axialer Ausrichtung gewährleistet.

Hierzu weist die obere Fläche des Fußteils (1) über ihre gesamte Länge zwei parallele Rippen (1a) und (1b) auf, deren Abmessungen standardisiert sind. Außerdem sind an jeder Rippe (1a) und (1b) in gleichmäßigem Abstand Einschnitte (1a1), (1b1) ausgebildet, die paarweise das Einfügen des Querstabs der an den Körben vorgesehenen, H-förmigen Profilrippen (PA) ermöglichen.

Sind die beiden Beine der Profilrippen (Pa) beiderseits der beiden Rippen (1a) und (1b) zentriert und der Querstab in die entsprechenden Einschnitte (1a1), (1b1) eingefügt, so ist der Korb (P) längs und seitlich fest axial positioniert.

Die Rippen (1a) und (1b) sind an dem Fußteil bevorzugt in zwei verschiedenen, geringfügig in Richtung der Höhe verschobenen Ebenen (1c) und (1d) ausgebildet. Jede dieser Ebenen bildet einen Bereich für die Aufnahme eines Korbes. Auf die gleiche Weise wie die Ebenen (1c) und (1d) sind die Längsrippen (1a) und (1b) in Richtung der Höhe verschoben. Diese Höhenverschiebung ermöglicht die Berücksichtigung eventueller Maßunterschiede zwischen den Körben und somit das Vermeiden jeglicher Gefahr von Reiben, wodurch die Zuverlässigkeit der Überführung gewährleistet wird, da die Plättchen in der Mitte der Einschnitte des Aufnahmekorbs ankommen.

Ebenso kann das Vorhandensein von Partikeln unter einem der Körbe der Qualität und der Zuverlässigkeit der Überführung nicht schaden, wie dies im folgenden beschrieben wird.

Im dargestellten Beispiel weist einer der so definierten Bereiche (1c) an jeder Rippe einen Einschnitt auf, während der andere Bereich (1d) an jeder Rippe zwei Einschnitte aufweist um zwei verschiedene Positionierungen der Körbe in Abhängigkeit von ihren Maßen vorzunehmen.

Das Fußteil (1) ist mit einem axial beweglichen Arm (2) ausgestattet, der ein Überführungsorgan (2b) aufweist, das gleichzeitig auf die Kante jedes einzelnen Plättchens einwirken kann, um die horizontale Überführung der Plättchen von einem Korb in den anderen zu gewährleisten. Dieser Arm (2) besteht im wesentlichen aus einem Stab (2a), der am Fußteil (1) frei gleitend montiert ist, wobei dieser Stab an seinem Ende, außerhalb des Fußteils (1) ein Tragelement (2c) aufnimmt, dessen eines Ende das kammförmige Überführungsorgan (2b) trägt. Das Tragelement (2c) ist mit einem Betätigungsgriff (2d) ausgestattet.

Der Stab (2a) ist an seinem freien Ende fest mit einem Block (3) verbunden, der bewegbar in einem Schlitz (1e) im Fußteil bewegbar angebracht ist. Dieser Block (3) weist eine Ausnehmung (3a) auf, die einen beweglichen, um eine Achse (5) frei drehbaren Finger (4) aufnimmt. Dieser Finger (4) weist eine die Ausnehmung (3a) überstehende, um rund 45° geneigte Fläche (4a) auf, die mit einem als Zahnstange dienenden Element (6) zusammenwirken kann.

Das Element (6) ist an einer der Längskanten des Schlitzes (1e) so befestigt, daß seine Zahnung (6a) mit dem Ende der geneigten Fläche (4a) zusammenwirkt. Der Finger (4) wird außerdem durch ein elastisches Rückholorgan (7) betätigt, welches das Festhalten in einer bestimmten Winkelstellung gewährleistet. Die geneigte Fläche des Fingers wirkt mit der Zahnung (6a) in Richtung des Schubs des Arms (2) zusammen und unterbindet seine Rückbewegung nach hinten, wobei diese Phase dem Vorgang der Überführung entspricht. Ist der Vorgang der Überführung beendet, löst sich der Finger (4) von der Zahnstange (6) und dreht automatisch unter der Rückholwirkung des Organs (7), wobei sich die Innenfläche (4a) in einer der vorherigen Richtung entgegengesetzten Richtung einstellt, wodurch die Rückkehr der Einheit des Überführungsarms nach hinten ermöglicht wird.

In dem insbesondere in Fig. 6 dargestellten Beispiel besteht das Rückholorgan (7) aus einer Schnappfeder, deren eines Ende in den Block (3) eingreift, während das andere Ende in den Finger (4) an der Seite seiner geneigten Fläche eingreift.

Es ist ebenfalls vorgesehen, den Block (3) einem Querstab (8) zuzuweisen, der in einem Schlitz (1f) seitlich am Fußteil montiert ist. Dieser Stab (8) ist an seinem Ende mit einem Greifmittel ausgerüstet, damit er von außerhalb des Fußteils leicht betätigt werden kann. Durch Einwirken auf diesen Stab (8) wird das Verstellen des Armes (2) bewirkt.

Zu bemerken ist, daß die Zahnung (6a) des Elements (6) axial an ihrem mittleren Teil und über ihre gesamte Länge eine Nut aufweist, die eine Silikondichtung (9) zur Schalldämpfung während des Durchlaufs des beweglichen Fingers (4) auf der Zahnung (6a) aufnimmt, ohne daß dadurch seine Funktion beeinträchtigt wird.

Das Überführungsorgan (2b) besteht aus einem Kamm, dessen Zahnung in Abhängigkeit vom Abstand zwischen den einzelnen Plättchen im Korb festgelegt ist. Wie die Fig. 5 zeigt, ist zwischen jedem einzelnen Zahn des Kamms (2b1) eine Silikondichtung (10) vorgesehen, um jegliche Gefahr einer Beschädigung der Kanten der Plättchen zu vermeiden.

Die Arbeitsweise und die Handhabung des Geräts für die Überführung der Plättchen ist äußerst einfach:

• - Jeder Korb wird mittels seiner H-förmigen Rippe in Verbindung mit den Rippen und Einschnitten des Fußteils positioniert. Die offenen Seiten der Körbe für die Einführung der Plättchen liegen einander gegenüber, der Korb (P), der sich an der Seite des Überführungsorgans befindet, ist mit Plättchen gefüllt.
• - Zur Überführung der Plättchen (PL) aus dem Korb (P) in den Korb (P1) betätigt der Bediener den beweglichen Arm mittels des Stabs (8) oder des Griffs (2d). Die Verstellung dieses Arms bewirkt die gleichzeitige Verstellung des Kamms (2b) quer durch den Korb (P), der somit eine Schubwirkung auf die Kante der Plättchen ausübt, um diese in horizontaler Ebene in den anderen Korb (P1) zu überführen. Wie angegeben kann der Bediener während des Vorgangs der Überführung den beweglichen Arm (2) aufgrund der Position der geneigten Fläche (4a) des Fingers auf der Zahnung nicht wieder nach hinten führen, wodurch jegliche Gefahr des Bruchs der Plättchen, die sonst nicht mehr festgehalten würden, ausgeschaltet wird.
• - Nach erfolgter Überführung aller Plättchen (PL) in den Korb (P1) kann der Arm (2) wieder nach hinten geführt werden, da der Finger (4) unter Einwirkung der Rückholfeder winklig geschwenkt wird, so daß die Position der geneigten Fläche (4a) in bezug auf die Zahnung (6a) umgekehrt ist.

Zu bemerken ist, daß der Ausgabekorb (P) in bezug auf den Aufnahmekorb um ca. 1 mm angehoben ist, da die Gesamtheit des Bereichs (1d) in höherer Ebene liegt als die des Bereichs (1c). Selbstverständlich kann eine umgekehrte Bauweise des Fußteils (1) vorgesehen werden, wie dies aus den Figuren der Zeichnungen hervorgeht.

Es ist vorgesehen, eine der Serien der zwei seitens der Ebene (1d) ausgebildeten Einschnitte zeitweilig einziehen zu können, um jegliche Gefahr einer unsachgemäßen Positionierung des Korbes durch den Bediener zu vermeiden.

Zur Positionierung von Metallkörben ist vorgesehen, die seitlichen Kanten des Fußteils (1) mit Zentrierstiften (11) zu versehen.

Die Vorteile gehen aus der Beschreibung klar hervor.

Claims (9)

1. Gerät für die horizontale Überführung von Siliziumplätt­ chen von einem Korb in einen anderen, wobei die genannten Körbe auf einem Fußteil (1) in axial gleicher Ausrichtung ausgerichtet sind, dadurch gekennzeich­ net, daß das Fußteil (1) Einrichtungen (1a, 1b) für die Zentrierung und Positionierung der mit komplementären Teilen (PA) versehenen Körbe (P, P1) aufweist, und daß das Fußteil (1) mit einem frei gleitenden, beweglichen Arm (2) versehen ist, der an einem Ende ein Überführungs­ organ in Form eines Kammes (2b) aufweist, dessen Zahnung (2b1) in Abhängigkeit vom Abstand zwischen den einzelnen Plättchen im Korb bestimmt ist, wobei der genannte Kamm (2b) durch Schubeinwirkung auf jedes einzelne Plättchen die Überführung der Gesamtheit der Plättchen von einem zum anderen Korb bewirkt.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß der bewegliche Arm (2) mit einem Block (3) verbunden ist, der verschiebbar im Fußteil (1) montiert ist, wobei der Block (3) einen beweglichen Finger (4) aufweist, der mit der Zahnung (6c) eines als Zahnstange dienenden Elementes (6) zusammenwirkt, wobei der Finger (4) von einem elastischen Rückholorgan (7) betätigt wird.

3. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Einrichtungen zur Positio­ nierung und Zentrierung des Korbes aus am Fußteil (1) angeordneten, parallelen Rippen (1a, 1b) mit in vorbe­ stimmten Abständen vorgesehenen Einschnitten (1a1, 1b1) bestehen, in welche die Querstäbe von H-förmigen, an den Körben vorgesehenen Profilrippen eingreifen.

4. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Rippen (1a, 1b) an zwei verschiedenen, geringfügig in Richtung der Höhe verscho­ benen Ebenen (1c, 1d) an dem Fußteil (1) ausgebildet sind, wobei jede dieser Ebenen einen Korb aufnimmt, um die Überführung der Plättchen ohne jegliche Gefahr des Reibens zu gewährleisten.

5. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zwischen jedem Zahn des Kammes (2b) eine Silikondichtung (10) zur Vermeidung der Be­ schädigung der Kanten der Plättchen vorgesehen ist.

6. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Block (3) mit mindestens einem im Fußteil (1) gleitenden Stab (2a) verbunden ist, der an seinem Ende das Tragelement (2c) aufnimmt, des­ sen eines Ende das Überführungsorgan trägt, und daß das Tragelement (2c) mit einem Bedienungsgriff ausgestattet ist.

7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Finger (4) frei drehend in einer Aufnahme im Block (3) montiert ist und eine ge­ neigte Fläche (4c) aufweist, die über den Block hervor­ steht und mit der Zahnstange zusammenwirken kann.

8. Gerät nach irgendeinem der Ansprüche 1, 2, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Rückholorgan (7) den Finger (4) in einer bestimmten Winkelstellung festhält, wobei die geneigte Fläche (4c) des Fingers in Richtung des Schubes des Arms mit der Zahnung zur Unterbindung seiner Rückführung ein­ wirkt, wobei sich der Finger (4) nach Beendigung des Vor­ gangs der Überführung vom Element (6) löst und unter Einwirkung des Rückholorgans (7) geschwenkt wird, um die geneigte Fläche (4a) in eine die Rückführung des Armes mögliche Stellung zu bringen.

9. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Block (3) mit einem Quer­ stab (8) verbunden ist, welcher in einem Schlitz seit­ lich am Fußteil (1) montiert ist.