DE3719343A1 - Verfahren zur herstellung organischer silazanpolymere und verfahren zur herstellung von keramikmaterialien aus diesen polymeren - Google Patents
Verfahren zur herstellung organischer silazanpolymere und verfahren zur herstellung von keramikmaterialien aus diesen polymerenInfo
- Publication number
- DE3719343A1 DE3719343A1 DE19873719343 DE3719343A DE3719343A1 DE 3719343 A1 DE3719343 A1 DE 3719343A1 DE 19873719343 DE19873719343 DE 19873719343 DE 3719343 A DE3719343 A DE 3719343A DE 3719343 A1 DE3719343 A1 DE 3719343A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mol
- silazane polymer
- organic silazane
- methyldichlorosilane
- methyltrichlorosilane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 title claims description 90
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 title claims description 43
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 60
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 35
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 238000005915 ammonolysis reaction Methods 0.000 claims description 34
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 29
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 26
- KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N dichloro(methyl)silicon Chemical compound C[Si](Cl)Cl KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000005048 methyldichlorosilane Substances 0.000 claims description 23
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 claims description 22
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 17
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 15
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 15
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 2
- 239000012442 inert solvent Substances 0.000 claims 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims 2
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 239000000047 product Substances 0.000 description 28
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 13
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Substances C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 10
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical class Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000002074 melt spinning Methods 0.000 description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 7
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 7
- 238000007380 fibre production Methods 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 5
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- 241001663845 Thelesperma Species 0.000 description 3
- 235000001975 Thelesperma gracile Nutrition 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 3
- YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N chloro(methyl)silane Chemical compound C[SiH2]Cl YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FXMNVBZEWMANSQ-UHFFFAOYSA-N chloro(silyl)silane Chemical class [SiH3][SiH2]Cl FXMNVBZEWMANSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 3
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 3
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N Pentane Chemical compound CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 2
- OEERIBPGRSLGEK-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide;methanol Chemical compound OC.O=C=O OEERIBPGRSLGEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- INQOMBQAUSQDDS-UHFFFAOYSA-N iodomethane Chemical compound IC INQOMBQAUSQDDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 2
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- QABCGOSYZHCPGN-UHFFFAOYSA-N chloro(dimethyl)silicon Chemical compound C[Si](C)Cl QABCGOSYZHCPGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005595 deprotonation Effects 0.000 description 1
- 238000010537 deprotonation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001983 dialkylethers Chemical class 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000012065 filter cake Substances 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 229920000592 inorganic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000000269 nucleophilic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 1
- NTTOTNSKUYCDAV-UHFFFAOYSA-N potassium hydride Chemical compound [KH] NTTOTNSKUYCDAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000105 potassium hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012686 silicon precursor Substances 0.000 description 1
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical class Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/589—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/60—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
- C08G77/62—Nitrogen atoms
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung organischer Silazanpolymere,
die als Vorkeramikmaterialien verwendet werden können und ein Verfahren
zur Herstellung von Keramikmaterialien aus diesen organischen Silazanpolymeren.
Zur Zeit hat sich ein großes Augenmerk auf Keramikmaterialien gelegt, da es
sich hierbei um Materialien handelt, die die erforderlichen Eigenschaften, wie
Hitzebeständigkeit, Abriebbeständigkeit, Hochtemperaturfestigkeit und dergleichen,
aufweisen. Es ist jedoch schwierig, diese Keramikmaterialien aufgrund
ihrer Härte und Sprödigkeit herzustellen. Für die Herstellung eines geformten
Keramikgegenstandes hat man daher hauptsächlich ein Verfahren angewendet,
bei dem man ein feines Keramikmaterialpulver beispielsweise durch
Zusammenpressen in eine beliebige Form formt und den geformten Gegenstand
sintert. Man kann auch ein sogenanntes Vorläuferverfahren wählen, wobei
man ein organisches Polymer als Vorkeramikmaterial schmilzt oder in einem
Lösungsmittel löst, das geschmolzene oder gelöste Polymer dann in eine
beliebige Form überführt und unter Bildung eines anorganischen Polymeren
sintert. Das Hauptmerkmal dieses Vorläuferverfahrens besteht darin, daß man
auf diesem Wege Produkte mit einer bestimmten äußerlichen Gestalt, wie Fasern
oder Bahnen hergestellt werden können, so daß Gegenstände größeren
Ausmaßes bei diesem für feine Pulver bestimmten Sinterverfahren nicht hergestellt
werden können.
Als Keramikmaterial eignen sich SiC und Si3N4 besonders gut, da sie die erforderlichen
Eigenschaften bei hohen Temperaturen besitzen, d. h. daß SiC eine
ausgezeichnete Hitzebeständigkeit und eine Hochtemperaturfestigkeit aufweist,
während Si3N4 eine beachtliche Hitzeschockbeständigkeit und eine hohe Bruchzähigkeit besitzt.
Es sind daher schon verschiedene Verfahren zur Herstellung
von SiC-Si3N4-Keramikmaterialien bekannt. Die Verfahren zur Herstellung
organischer Siliciumvorläufer gemäß dem sogenannten Vorläuferverfahren
werden unter den Punkten (1) bis (5) im einzelnen erläutert. Diese bereits
bekannten Verfahren bergen dennoch eine Vielzahl von Nachteilen.
- (1) Aus der US-PS 38 53 567 ist ein Verfahren zur Herstellung von SiC-Si3N4- Keramikmaterialien beschrieben, worin Chlorsilane und Amine umgesetzt werden und anschließend bei hohen Temperaturen unter Bildung von Carbosilazanen erhitzt werden, wonach dann anschließend die Carbosilazane gesponnen und unschmelzbar gemacht werden und schließlich bei hohen Temperaturen von 800° bis 2000°C gesintert werden. Bei diesem Verfahren müssen jedoch zur Bildung der Carbosilazane hohe Temperaturen von 520° bis 650°C angewendet werden, was das Verfahren als industrielles Verfahren wenig attraktiv macht. Außerdem ist die Ausbeute der Carbosilazankeramikmaterialien recht gering, d. h. etwa 55%. Aus den Beispielen dieser US-Patentschrift ist zu entnehmen, daß als Chlorsilane lediglich Methyltrichlorsilan und Dimethylchlorsilan und als Amin nur Methylamin eingesetzt werden.
- Aus der (2) US-PS 40 97 294 ist ein Verfahren bekannt, worin durch eine Pyrolysereaktion verschiedene Silicium enthaltende Polymere in Keramikmaterialien umgewandelt werden. In dieser Patentschrift wird nur von einem Silazanpolymer ausgegangen, und die Ausbeute an Keramikmaterial ist außerdem sehr gering, nämlich nur höchstens 12%. In dieser US-Patentschrift wird zwar gesagt, daß die darin beschriebenen Keramikmaterialien in Fasern oder dünne Folien geformt werden könnten, wobei jedoch die Bildung von Gegenständen eher als eine Spekulation angesehen werden muß. Es wird tatsächlich nur wenig oder gar nichts über die Verformbarkeit und Verarbeitbarkeit von Polymeren berichtet, was bei dem Vorläuferverfahren ein höchst wichtiger Gesichtspunkt ist.
- (3) Verschiedene Verfahren zur Herstellung von Silazanpolymeren sind bekannt, worin beispielsweise gemäß der US-PS 43 40 619 Chlordisilane und Disilazane, gemäß der US-PS 43 12 970 Chlorsilane und Disilazane, gemäß der US-PS 43 95 460 Chlordisilane und Ammoniak und gemäß der US-PS 45 43 344 Trichlorsilane und Disilazane umgesetzt werden. Aus der US-PS 45 35 007 ist außerdem bekannt, daß Polymere durch Zusatz von Metallhalogeniden zu Chlorsilanen und Disilazanen hergestellt werden, was außerdem aus der US-PS 44 82 689 bekannt ist, worin ebenfalls Metallhalogenide zu Chlordisilanen und Disilazanen hinzugefügt werden. In diesen Druckschriften wird darauf hingewiesen, daß die oben erwähnten Silazanpolymere durch Pyrolyse in Keramikmaterialien umgewandelt werden können. Die Keramikausbeuten dieser Silazanpolymere betragen jedoch höchstens 50 bis 60 Gew.-%. Ähnlich wie in der US-PS 40 97 294 wird in den vorgenannten Druckschriften weder die Verformbarkeit noch die Verarbeitbarkeit der Polymere im einzelnen beschrieben, was ja schließlich das Hauptanliegen bei dem Vorläuferverfahren ist. Keramikfasern sind bei den meisten Druckschriften überhaupt nicht erwähnt oder es sind im Fall, daß Beispiele mit Keramikfasern durchgeführt wurden, keine Werte über die Festigkeit der Keramikfasern angegeben. In der US-PS 44 82 689 sind Angaben über die Festigkeit gemacht worden, wobei jedoch die Keramikfasern eine derart niedrige Zugfestigkeit, wie 520 N/mm2 (53 kg/mm2) oder 618 N/mm2 (63 kg/mm2) aufweisen.
- (4) In der US-PS 44 82 669 wird ein Verfahren zur Herstellung von Silazanpolymeren beschrieben, worin Ammoniak mit einer organischen Siliciumverbindung der Formel unter Bildung eines Ammonolyseproduktes umgesetzt wird und das Produkt durch Dehydrierung mit einem Alkalimetall- oder Erdalkalimetallhydrid unter Bildung von Silazanpolymeren einer Kondensation unterworfen wird. Bei diesem Verfahren wird festgestellt, daß die Eigenschaften der gebildeten Polymere gesteuert werden können, was vom Ausmaß der durch die Deprotonierung verursachten Kondensation abhängig ist. Die Polymere können ausgehend von Ölen bis zu Feststoffen mit undefinierten Schmelzpunkten verschiedene Formen annehmen. Wenn jedoch eine Polymerschmelze zum Beispiel mit dem Schmelzspinnverfahren zu einer kontinuierlichen Faser geformt oder verarbeitet werden soll, ist es notwendig, daß das Polymer einen bestimmten Polymerisationsgrad aufweist und außerdem hitzestabil ist. Mit diesem Verfahren wird das Polymer in Form eines Feststoffes gewonnen, welcher keinen Schmelzpunkt aufweist, falls die Polymerisation nicht während ihres Verlaufs beendet wird. Zur Herstellung eines schmelzbaren Polymeren müssen die Reaktionsdauer, Reaktionstemperatur, die Mengen eines Katalysators und Lösungsmittel genauestens gesteuert werden, was sich als recht schwierig erweist und deshalb schlecht durchzuführen ist. Die mit diesem Verfahren hergestellten Polymere sind thermisch instabil und weisen zusätzlich den Nachteil auf, daß sie zur Bildung gelartiger Substanzen neigen. Unter Zugrundelegung dieser beiden Problempunkte ist daher festzustellen, daß dieses Verfahren als industriell anwendbares Verfahren zur Herstellung von Silazanpolymeren nicht geeignet ist.
- (5) Aus der JP-OS 60-22 84 89 ist ein Verfahren zur Herstellung von Silazanpolymeren bekannt, das darin besteht, daß aus einer Verbindung der Formel und Monomethylamin ein cyclisches Silazan hergestellt wird, wonach das cyclische Silazan mit Ammoniak umgesetzt wird. Es wird in dieser Anmeldung festgestellt, daß dieses Polymer als chemisches Abscheidungsmaterial geeignet ist, wobei jedoch die physikalischen Eigenschaften des Polymeren im einzelnen nicht beschrieben sind. Die Keramikausbeute ist ebenfalls nicht erwähnt.
Aus der vorgangegangenen Betrachtung dürfte wohl hervorgegangen sein, daß
die industrielle Herstellung von als Vorkeramikmaterialien verwendeten Silazanpolymeren
sich bisher als recht schwierig erwiesen hat. Die Polymere weisen
weiterhin eine geringe Verformbarkeit und Verarbeitbarkeit zu Keramikfasern
auf und werden nur unter geringen Keramikausbeuten hergestellt. Keramikprodukte,
zum Beispiel Keramikfasern, die aus bekannten Vorkeramikmaterialien
aus Polysilazan hergestellt worden sind, besitzen verhältnismäßig
mäßige physikalische Eigenschaften, wie Festigkeit, Elastizitätsmodul und dergleichen.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von
Vorkeramikmaterialien zu schaffen, das für industrielle Zwecke geeignet ist
und gute Verformungs- und Verarbeitungseigenschaften sowie hohe Keramikausbeuten
aufweist.
Es ist weiterhin Aufgabe der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Keramikmaterialien
aus SiC-Si3N4 von hoher Qualität aus diesen Vorstufenkeramikpolymermaterialien
zur Verfügung zu stellen.
Die Entwicklung eines Verfahrens zur Herstellung von Keramikprodukten, dem
die Kategorie der Vorläuferverfahren und ein Prozeß zur Herstellung von Vorstufenkeramikpolymermaterialien,
die für die Herstellung von Keramikprodukten
geeignet sind und eine gute Verformbarkeit und Verarbeitbarkeit aufweisen,
zugrundegelegt werden sollte, hat zur SiC-Si3N4 Keramikmaterialien
geführt, die das ausgezeichnete Hochtemperaturverhalten des SiC und Si3N4
aufweisen. Es wurden daher ausgedehnte Forschungsarbeiten auf dem Gebiet
der Herstellung von SiC-Si3N4 Keramikmaterialien unter Zugrundelegung eines
Vorläuferverfahrens durchgeführt.
Man hat schließlich gefunden, daß man Silazanpolymere mit guter Hitzestabilität
und gesteuertem Polymerisationsgrad durch Vermischen von drei Chlorsilanen,
d. h. Methyldichlorsilan, Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan
erhalten kann, indem man die Mischung mit Ammoniak unter Bildung eines
Ammonolyseproduktes umsetzt, das Ammonolyseprodukt durch Dehydrierung
mit einem protonenabspaltenden Katalysator, wie ein Alkalimetall- oder
Erdalkalimetallhydrid, einer Kondensation unterwirft, und die Kondensation
beendet. Wenn man die Silazanpolymere schmilzt, verformt, in Luft erhitzt
oder für das Unschmelzbarmachen mit Elektronenstrahlen bestrahlt und sintert,
kann man Keramikmaterialien von hoher Qualität, die hauptsächlich aus
SiC und Si3N4 bestehen, erhalten.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung
von organischen Silazanpolymeren zur Verfügung gestellt, das darin besteht,
daß man eine Mischung aus Methyldichlorsilan, Methyltrichlorsilan
und Dimethyldichlorsilan und Ammoniak unter Bildung eines Ammonolyseproduktes
umsetzt und das Ammonolyseprodukt in Gegenwart eines Protonen
abspaltenden basischen Katalysators polymerisiert. Mit dem erfindungsgemäßen
oben beschriebenen Verfahren wird also ebenfalls ein organisches Silazanpolymer
zur Verfügung gestellt.
Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung wird ein Verfahren zur
Herstellung von Keramikmaterialien geschaffen, das darin besteht, daß man
eine Mischung aus Methyldichlorsilan, Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan
und Ammoniak unter Bildung eines Ammonolyseproduktes umsetzt,
das Ammonolyseprodukt in Gegenwart eines Protonen abspaltenden basischen
Katalysators unter Bildung eines organischen Silazanpolymeren polymerisiert,
das organische Silazanpolymer schmilzt, verformt und unschmelzbar
macht und das unschmelzbar gemachte Polymer unter Bildung eines Keramikmaterials
sintert. Mit diesem beschriebenen Verfahren ist es also ebenfalls
möglich, ein Keramikmaterial aus SiC-Si3N4 zu erhalten.
Man setzt bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung von organischen
Silazanpolymeren als Ausgangsmaterialien drei Methylchlorsilanarten,
d. h. Methyldichlorsilan, Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan,
ein. Nach der Umsetzung der Mischung mit Ammoniak reagiert der Katalysator
nur mit dem entstandenen Produkt, um in dieser Weise die durch die Dehydrierung
herbeigeführte Kondensation zu bewirken und zu vervollständigen, wobei
ein organisches Silazanpolymer von hoher Qualität mit guten Verformungs-
und Verarbeitungseigenschaften in hohen Keramikausbeuten von beispielsweise
70 bis 80% erhält. Bei diesem Verfahren ist es nicht notwendig, daß man die
Reaktionsdauer, Reaktionstemperatur, Katalysator- und Lösungsmittelmengen
genauestens steuert. Es ist weiterhin nicht erforderlich, daß man die Polymerisation
unterbricht, so daß man also schließlich sagen kann, daß in dieser Weise
ein für industrielle Zwecke geeignetes und leichtes Verfahren zur Herstellung
von Silazanpolymeren geschaffen wurde.
Man verwendet erfindungsgemäß bei dem Verfahren zur Herstellung von Keramikmaterialien
aus SiC-Si3N4 das organische Silazanpolymer in Form eines
Vorläufers oder Vorstufenkeramikmaterials, aus welchem man ohne Schwierigkeiten
Keramikprodukte in jeder beliebigen Form mit ausgezeichneten physikalischen
Eigenschaften erhalten kann.
Wie bereits vorher ausgeführt wurde, ist die Verwendung von Chlorsilanen als
Ausgangsmaterial zur Herstellung von Silazanpolymeren oder Vorkeramikmaterialien
bereits bekannt. Es war jedoch noch nicht bekannt, daß man die
bereits erwähnten drei Chlorsilane, die gezielt aus der großen Anzahl von
Chlorsilanen gewählt wurden, in Kombination einsetzt und nach der Ammonolyse
der Mischung das entstandene Produkt in Gegenwart eines speziellen Katalysators
unter Bildung eines Silazanpolymeren mit den erforderlichen Eigenschaften
einer durch Dehydrierung herbeigeführten Kondensation unterwirft.
Ein solches Verfahren ist bisher einzigartig in seiner Art.
Die erfindungsgemäß verwendeten Chlorsilane setzt man als Kombination aus
Methyldichlorsilan, Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan ein, wobei
die verwendeten Mengen vorzugsweise 55 bis 80 Mol-%, 10 bis 30 Mol-% bzw. 5
bis 25 Mol-% betragen. Wenn man diese Chlorsilane in Kombination einsetzt,
können neue Silazanpolymere gebildet werden. Die Silazanpolymere haben
andere chemische Strukturen als das in der US-PS 44 82 669 beschriebene
Methyldichlorsilan. Die erfindungsgemäß gebildeten Silazanpolymere umfassen
unterschiedliche Wiederholungseinheiten in verschiedenen Brücken dieser
Wiederholungseinheiten in der Struktur. Da man die Silazanpolymere, die sich
aufgrund der neuen Struktur von der herkömmlichen Silazanpolymerstruktur
unterscheidet, als Vorkeramikmaterial verwendet, hat sich die Keramikausbeute
beachtlich gegenüber den Ausbeuten der nach bekannten Vorläuferverfahren
hergestellten Keramikmaterialien gesteigert. Die hergestellten Keramikmaterialien
weisen wesentlich verbesserte physikalische Eigenschaften,
wie Zugfestigkeit, Elastizitätsmodul und dergleichen, auf.
Wie bereits ausgeführt wurde, ist es bevorzugt, daß die als Ausgangsmaterial zur
Herstellung erfindungsgemäßer organischer Silazanpolymere verwendete Mischung
aus Methyldichlorsilan, Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan
eine Zusammensetzung aus 55 bis 80 Mol-% Methyldichlorsilan, 10 bis 30
Mol-% Methyltrichlorsilan und 5 bis 25 Mol-% Dimethyldichlorsilan aufweist.
Außerhalb dieser Bereiche kann es dazu kommen, daß die entstandene
Polymere eine ölige Konsistenz aufweisen oder einen Schmelzpunkt oberhalb
300°C besitzen, so daß man diese nicht mehr schmelzen kann.
Die Herstellung eines Ammonolyseproduktes aus der Methylchlorsilanmischung
ist verfahrensgemäß nicht kritisch. Man kann beispielsweise ein Verfahren
anwenden, bei dem man die Mischung mit gasförmigem Ammoniak in
organischen Lösungsmitteln umsetzt und nach der Entfernung des Ammoniumchloridnebenproduktes
das organische Lösungsmittel abzieht.
Im darauffolgenden Schritt polymerisiert man das Ammonolyseprodukt in Gegenwart
eines Protonen abspaltenden basischen Katalysators. Man unterwirft
das Ammonolyseprodukt vorzugsweise zusammen mit dem Katalysator in einem
Lösungsmittel einer durch Dehydrierung herbeigeführten Kondensation,
um in dieser Weise die Umsetzung zu vervollständigen. Der Protonen abspaltende
basische Katalysator umfaßt Alkalimetall- oder Erdalkalimetallhydride
oder Metallamide, wie KH, NaH, NaNH2, KNH2 und dergleichen. Man setzt als
Lösungsmittel während der Polymerisation Ether, wie THF, Dialkylether und
dergleichen, aliphatische Kohlenwasserstoffe, wie Pentan, Hexan und dergleichen,
und aromatische Kohlenwasserstoffe, wie Benzol, Toluol, Xylol und
dergleichen ein. Obwohl man die Polymerisation in der Regel bei normalen
Temperaturen durchführen kann, kann die Polymerisationstemperatur geeignetenfalls
je nach Art des Lösungsmittels in einem Bereich von 0 bis 200°C liegen.
Nach Beendigung der durch die Dehydrierung herbeigeführten Kondensation
zerstört man den restlichen basischen Katalysator vorzugsweise mit einer
nukleophilen Verbindung, wie beispielsweise Methyliodid. Man entfernt die gebildeten
unlöslichen Bestandteile durch Filtration und destilliert unter reduziertem
Druck das Lösungsmittel ab. Man erhält schließich ein Silazanpolymer
mit einem Schmelzpunkt von 60° bis 200°C und einer Grenzviskositätszahl
von 0,06 bis 0,09. Die vollständige Kondensationsreaktion kann auch
durch Beendigung der Gasentwicklung erkannt werden.
Man kann den Polymerisationsgrad und den Schmelzpunkt der Silazanpolymere
in geeigneter Weise dadurch steuern, indem man die Methylchlorsilanmischungsverhältnisse
verändert.
Die in dieser Weise erhaltenen organischen Silazanpolymere weisen ausgezeichnete
Verformbarkeits- und Verarbeitbarkeitseigenschaften auf und können
als Vorkeramikmaterialien in beliebige Formen, zum Beispiel in Fasern
oder Bahnen, geformt werden. Die Polymere können ebenfalls als Bindemittel
oder Klebstoffe verwendet werden.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung von Keramikmaterialien
werden die organischen Silazanpolymere geschmolzen, geformt oder verformt,
unschmelzbar gemacht und schließlich gesintert. Zu diesem Zweck sollte
das Polymer vorzugsweise einen Schmelzpunkt von 60° bis 200°C und eine
bei einer Temperatur von 20°C in einer Benzollösung gemessenen Grenzviskositätszahl
von 0,06 bis 0,09 aufweisen, so daß die Polymere in leichter Weise geschmolzen
und geformt werden können.
Die für die organischen Silazanpolymere verwendeten Schmelz-, Verformungs-
und Sinterverfahren sind nicht kritisch. Die Polymere können nach beliebigen
Verfahren geformt oder verformt und gesintert werden, wodurch man auf jeden
Fall keramische Produkte beliebiger Formen aus SiC-Si3N4 erhalten kann.
Man stellt beispielsweise die Keramikfasern in der Weise her, daß man das organische
Silazanpolymer bis zur Schmelze erhitzt und dann mit dem Schmelzspinnverfahren
spinnt. Die Spinntemperatur kann je nach Schmelzpunkt des
Polymeren variieren, wobei sie sich vorzugsweise in einem Bereich von 100° bis
300°C bewegen kann. Als nächstes macht man das fadenartige Material durch
Erhitzen in Luft oder durch Bestrahlen mit Elektronenstrahlen im Vakuum
oder in einem Inertgas, wie N2-Gas, unschmelzbar. Das Erhitzen in Luft wird
vorzugsweise bei einer Temperatur von 50° bis 150°C durchgeführt. Die Bestrahlung
mit Elektronenstrahlen führt man vorzugsweise bei einer Strahlungsdosis
von 50 bis 200 Mrad durch. Man sintert das in dieser Weise unschmelzbar
gemachte fadenartige Material bei hohen Temperaturen unter zugspannungsfreien
oder zuggespannten Bedingungen, wobei man Keramikfasern, die hauptsächlich
aus SiC und Si3N4 bestehen, mit hoher Festigkeit und hohem Elastizitätsmodul
erhält. Man führt das Sintern vorzugsweise im Vakuum oder in einer
aus einem oder mehreren Gasen bestehenden Atmosphäre, wobei die Gase Inertgase,
wie Argon und dergleichen, N2, H2, NH3 und dergleichen sein können, bei
einer Temperatur von 700° bis 2000°C, vorzugsweise 700° bis 1500°C, durch.
Das Sintern unter Zugspannungsbedingungen ist mehr bevorzugt, wodurch
man dann Keramikfasern von hoher Qualität mit einer Zugfestigkeit von 1962
bis 2943 N/mm2 (200 bis 300 kg/mm2) und einem Elastizitätsmodul von
147 150 bis 249 300 N/mm2 (15 bis 30 tons/mm2) erhält.
Aus der vorangegangenen Betrachtung dürfte nun hervorgegangen sein, daß
man die organischen Silazanpolymere erfindungsgemäß auf leichte Weise herstellen
kann. Die Silazanpolymere sind hitzestabil und besitzen einen geeigneten
Polymerisationsgrad sowie gute Verformbarkeits- und Verarbeitbarkeitseigenschaften.
Man kann die Polymere in hohen Keramikausbeuten herstellen,
so daß man also sagen kann, daß diese für die Verwendung als Vorläuferkeramikmaterial
für Keramikfasern in höchstem Maße geeignet sind.
Man kann die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Keramikmaterialien
von ausgezeichneter Qualität, die hauptsächlich aus SiC und Si3N4
bestehen, in hohen Keramikausbeuten erhalten. Aus diesen Keramikmaterialien
kann man Keramikprodukte in beliebigen Formen, wie Keramikfasern
und Bahnen mit hoher Festigkeit und hohem Elastizitätsmodul herstellen.
Die Erfindung wird nachfolgend durch die Beispiele näher erläutert.
Man füllt in einen trockenen mit einem Rührgerät, einen Thermometer, einem
NH3-Gaseinleitungsrohr und einer Trockeneis-Methanol-Kühlvorrichtung
ausgestatteten 1 Liter Vierhalsskolben 850 ml Hexan und fügt dann 43,1 g
Methyldichlorsilan, 11,2 Methyltrichlorsilan und 6,5 Dimethyldichlorsilan
hinzu und kühlt dann auf -20°C ab. Man leitet dann mit einer Geschwindigkeit
von 12 l/h während 4 Stunden einen Überschuß an gasförmigem Ammoniak in
die Lösung, wobei die Gesamtmenge des eingesetzten Ammoniaks 2,1 Mol beträgt.
Man erhitzt die Reaktionsmischung auf Raumtemperatur und ersetzt die
Kühlvorrichtung durch einen Luftkühlungskühler, um in dieser Weise das überschüssige
NH3 zu entfernen. Man entfernt dann in einer Trockenkammer (dry
box) aus der Reaktionsmischung das als Nebenprodukt angefallene Ammoniumchlorid
durch Filtration. Man wäscht den verbleibenden Filterkuchen
mit 200 ml Hexan. Das Hexan zieht man dann unter einem reduzierten Druck
von 133 Pa/60°C (1 mmHg/60°C) ab. Als Rückstand (das Ammonolyseprodukt)
verbleibt eine durchsichtige Flüssigkeit in einer Menge von 26 g.
Man füllt 850 ml Hexan in den gleichen oben beschriebenen Vierhalskolben
und setzt 29,9 g Methyldichlorsilan, 14,9 g Methyltrichlorsilan und 5,2 g
Dimethyldichlorsilan hinzu und kühlt dann auf -20°C ab. Man leitet dann
gasförmiges Ammoniak mit einer Geschwindigkeit von 12 l/h während 4
Stunden
in die Lösung. Man wiederholt die Verfahrensschritte der Ammonolyse (1),
wobei man 20 g einer durchsichtigen Flüssigkeit (Ammonolyseprodukt) erhält.
Man füllt 1500 ml wasserfreies Hexan in einen mit der gleichen Ausrüstung wie
(1) ausgestatteten 2 l Vierhalskolben und setzt 59,8 g Methyldichlorsilan, 23,9 g
Methyltrichlorsilan und 15,5 g Dimethyldichlorsilan hinzu und führt dann die
Reaktion mit gasförmigem Ammoniak in der gleichen schon vorher beschriebenen
Weise durch. Man wiederholt dann nacheinander die einzelnen Verfahrensschritte
von (1), wobei man 42 g einer durchsichtigen Flüssigkeit (Ammonolyseprodukt)
erhält.
Man stattet einen 300 ml Dreihalskolben mit einer Rührvorrichtung, einem
Thermometer und einem Tropftrichter aus, und füllt in einer Trockenkammer
in diesen Kolben 0,2 g (5 mMol) Kaliumhydrid und 125 ml mit NaH entwässertes
THF. Man entfernt den Kolben aus der Trockenkammer und schließt sie an eine
N2-Gasflasche an. Während man die Mischung bei Raumtemperatur unter Dispersion
von KH rühren läßt, fügt man stufenweise während 15 Minuten aus dem
Tropftrichter 10 g des in der Ammonolyse (1) erhaltenen Produktes, welches in
75 ml THF gelöst wurde, hinzu. Während der Zugabe kommt es zu einer starken
Gasentwicklung, wobei jedoch 1 Stunde nach der Zugabe die Gasentwicklung beendet
ist. Nach der Zugabe von 3 g Methyliodid bildet sich ein weißer KI-
Niederschlag.
Nachdem man weiterhin während 30 Minuten gerührt hat, entfernt
man unter reduziertem Druck das meiste THF und fügt zu dem Rückstand 80 ml
Hexan hinzu. Man filtriert die Mischung und entfernt das Hexan aus dem Filtrat
unter einem reduzierten Druck von 133 Pa (1 mmHg) bei 70°C, wobei man
9,1 g eines viskosen Feststoffes (des Silazanpolymeren) enthält. Dieses Produkt
weist eine Grenzviskositätszahl von 0,07 (gemessen in Benzol bei 20°C) und einen
Schmelzpunkt von 90°C auf und ist in organischen Lösungsmitteln, wie Hexan,
Benzol, THF und dergleichen löslich. Bei der IR-Analyse wurden die Absorptionsschwingungen
von NH bei 3400 cm-1, C-H bei 2980 cm-1, Si-H bei 2150
cm-1 und SiCH3 bei 1260 cm-1 gemessen. Das Molekulargewicht wurde kryoskopisch
unter Verwendung von Benzol gemessen und betrug 1020.
Man setzt 10 g des in der Ammonolyse (2) erhaltenen Ammonolyseproduktes
mit 0,2 g KH in THF während 90 Minuten in der gleichen Weise wie bei der Polymerisation
(1) durch. Nach Beendigung der Gasentwicklung fügt man CH3I hinzu
und wiederholt die Verfahrensschritte der Polymerisation (1), wobei man
dann 9,3 g eines viskosen Feststoffes (des Silazanpolymeren) erhält. Das Polymer
weist eine Grenzviskositätszahl von 0,08 und einen Schmelzpunkt bei
120°C auf.
Man setzt 10 g des bei der Ammonolyse (3) erhaltenen Ammonolyseproduktes
mit 0,2 g KH in THF während 90 Minuten in der gleichen Weise wie bei der Polymerisation
(1) durch. Nach Beendigung der Gasentwicklung fügt man CH3I hinzu
und wiederholt die Verfahrensschritte der Polymerisation (1), wobei man 9,1
g eines viskosen Feststoffes (des Silazanpolymeren) erhält. Das Polymer weist
eine Grenzviskositätszahl von 0,07 und einen Schmelzpunkt bei 115°C auf.
Man verarbeitet 30 g des bei der Polymerisation (1) erhaltenen Silazanpolymeren
unter Verwendung einer mit einer Öffnung versehenen Schmelzspinnvorrichtung
nach dem Schmelzspinnverfahren bei einer Temperatur von 130°C.
Man führt das Schmelzspinnverfahren gleichmäßig während 4 Stunden bei einer
Wickelgeschwindigkeit (take-up speed) von 400 m/min durch. Man macht
den entstandenen Faden durch eine Behandlung mit Elektronenstrahlung bei
120 Mrad unschmelzbar. Man sintert anschließend den Faden unter leichter
Zugspannung in einem N2-Strom bei einer Aufheizgeschwindigkeit von
100°C/h bei einer Temperatur von 1100°C während 30 Minuten.
Die Keramikausbeute beträgt 75%. Die entstandene Faser weist einen Durchmesser
von 6 µm, eine Zugfestigkeit von 2453 N/mm2 (250 kg/mm2) und einen
Elastizitätsmodul 245 250 N/mm2 (25 tons/mm2) auf. Die Elementaranalyse
der Faser ergab, daß 58,3% Si, 20,3% C, 19,4% N und 2% O in dem Material enthalten
sind, so daß also die Faser hauptsächlich aus SiC-Si3N4 besteht.
Man spinnt 10 g des bei der Polymerisation (2) erhaltenen Silazanpolymeren,
indem man sich der gleichen wie bei der Faserherstellung (1) verwendeten
Schmelzspinnvorrichtung bedient. Man führt das Spinnen bei einer Wickelgeschwindigkeit
von 420 m/min sehr gleichmäßig durch. Man macht den entstandenen
grünen Faden durch eine Hitzebehandlung unter leichter Zugspannung
in Luft bei einer Temperatur von 90 bis 110°C (5°C/h) unschmelzbar. Man
sintert danach den Faden unter zugspannungsfreien Bedingungen in einem N2-
Strom bei einer Aufheizgeschwindigkeit von 100°C/h bei einer Temperatur von
1200°C während 30 Minuten. Die Keramikausbeute beträgt 80% und die entstandene
Faser weist einen Durchmesser von 8 µm, eine Zugfestigkeit von 1962
N/mm2 (200 kg/mm2) und einen Elastizitätsmodul von 166 770 N/mm2 (17
tons/mm2) auf. Die Elementaranalyse der Faser ergab, daß in der Faser 56,2%
Si, 19,2% C, 15,4% N und 9,2% O enthalten sind, so daß also die Faser hauptsächlich
aus SiC-Si3N4 besteht.
Man spinnt in einer Trockenkammer 20 g des bei der Polymerisation (3) hergestellten
Silazanpolymeren bei150°C bei einer Wickelgeschwindigkeit von 450
m/min, indem man sich der gleichen Schmelzspinnvorrichtung wie bei der Faserherstellung
(1) bedient. Man führt das Spinnverfahren gleichmäßig durch.
Man macht den entstandenen grünen Faden im Vakuum durch Bestrahlung mit
einer Strahlendosis von 90 Mrad unter Verwendung eines Elektronenstrahlengenerators
unschmelzbar. Man sintert danach die entstandene Faser unter
Zugspannung in einem N2-Strom bei einer Temperatur von 1250°C (100°C/h)
während 30 Minuten. Die Keramikausbeute beträgt 77%. Die Faser weist einen
Durchmesser von 6 µm, eine Zugfestigkeit von 2551 N/mm2 (260 kg/
mm2) und
einen Elastizitätsmodul von 225 630 N/mm2 (23 tons/mm2) auf.
Man füllt 850 ml wasserfreies Hexan in einen mit einer Rührvorrichtung,
einem Thermometer, einem NH3-Gaseinleitungsrohr und einer Trockeneis-
Methanol-Kühlvorrichtung ausgestatteten 1 Liter Vierhalskolben und setzt
dann 46 g Methyldichlorsilan hinzu. Man leitet gasförmiges Ammoniak mit einer
Geschwindigkeit von 12 l/h während 3,5 Stunden zu der Lösung ein. Anschließend
wiederholt man die Verfahrensschritte der Ammonolyse (1) und erhält
dann 20 g (85%) einer durchsichtigen Flüssigkeit.
Man rührt 0,2 g KH und 125 ml THF in einem 300 ml Dreihalskolben, um in dieser
Weise das KH in THF zu dispergieren und tropft dann 75 ml THF und 10 g der
oben beschriebenen durchsichtigen Flüssigkeit aus dem Tropftrichter bei
Raumtemperatur während 15 Minuten hinzu. Man rührt nach Beendigung des
Zutropfens weiterhin 30 Minuten und fügt dann 2 g CH3I hinzu, um die Umsetzung
zu beenden. Man wiederholt die Verfahrensschritte der Polymerisation
(1) und erhält 9,0 g eines viskosen Feststoffes. Dieser Feststoff weist eine Grenzviskositätszahl
von 0,06 und einen Schmelzpunkt von 75°C auf. Bei dieser Polymerisation
werden die Temperatur, die Katalysatormenge und die Polymerisationsdauer
zur Erhaltung eines konstanten Polymerisationsgrades
gesteuert. Es konnten jedoch keine reproduzierbaren Ergebnisse erzielt werden.
Man gibt 8 g des entstandenen Silazanpolymeren in eine Schmelzspinnvorrichtung,
die nur eine einzelne Öffnung aufweist (Düsendurchmesser: 0,5 mm)
und führt bei 110°C das Schmelzspinnverfahren durch. Der Gutaustritt aus der
Düse ist anfangs noch brauchbar, so daß der Spinnvorgang durchführbar ist.
Jedoch nach 30 Minuten kommt es zu einer Beendigung des Gutaustritts aus der
Düse. Obwohl man die Temperatur stufenweise erhöht hat, konnte der Gutaustritt
nicht mehr in Gang gebracht werden. Man entfernt nach dem Abkühlen
das Polymer und mißt seinen Schmelzpunkt. Es hat sich herausgestellt, daß
das Polymer selbst nicht bei 300°C schmilzt und in verschiedenen Lösungsmitteln
unlöslich ist. Man bestrahlt dann den anfangs erhaltenen grünen Faden
mit Elektronenstrahlung bei einer Strahlungsdosis von 90 Mrad, und sintert
dann in einem N2-Strom bei einer Aufheizgeschwindigkeit von 100°C/h bei
1110°C während 30 Minuten. Die Keramikausbeute beträgt 58%. Die entstandene
Faser hat einen Durchmesser von 7 µm, eine Zugfestigkeit von 491 N/mm2(50
kg/mm2) und einen Elastizitätsmodul von 49 050 N/mm2 (5 tons/
mm2). Man
kann also sagen, daß die im Vergleichsbeispiel hergestellte Faser wesentlich
schlechtere Eigenschaften als die erfindungsgemäße Faser aufweist.
Claims (22)
1. Verfahren zur Herstellung eines organischen Silazanpolymeren, dadurch
gekennzeichnet, daß man Ammoniak mit einer Mischung aus Methyldichlorsilan,
Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan unter Bildung eines Ammonolyseproduktes
umsetzt und das Ammonolyseprodukt in Gegenwart eines
Protonen abspaltenden basischen Katalysators unter Bildung eines organischen
Silazanpolymeren polymerisiert.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mischungsverhältnisse
des Methyldichlorsilans, Methyltrichlorsilans und Dimethyldichlorsilans
in den Bereichen von 55 bis 80 Mol-%, 10 bis 30 Mol-% bzw. 5 bis
25 Mol-% liegen.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man als basischen
Katalysator KH, NaH, NaNH2 oder KNH2 einsetzt.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Ammonolyse
in einem inerten Lösungsmittel durchführt.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Polymerisation
in einem inerten Lösungsmittel bei einer Temperatur von 0 bis
200°C durchführt.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man nach Beendigung
der Polymerisation weiterhin zur Zersetzung des restlichen basischen
Katalysators eine elektrophile Verbindung hinzufügt.
7. Verfahren zur Herstellung eines Keramikmaterials, dadurch gekennzeichnet,
daß man Ammoniak mit einer Mischung aus Methyldichlorsilan,
Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan unter Bildung eines Ammonolyseproduktes
umsetzt und das Ammonolyseprodukt in Gegenwart eines Protonen
abspaltenden basischen Katalysators unter Bildung eines organischen Silazanpolymeren
polymerisiert, das Silazanpolymer schmilzt, verformt und
unschmelzbar macht und das gebildete Polymer unter Bildung eines Keramikmaterials
sintert.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Mischungsverhältnisse
des Methyldichlorsilans, Methyltrichlorsilans und Dimethyldichlorsilans
in Bereichen von 55 bis 80 Mol-%, 10 bis 30 Mol-% bzw. 5 bis 25
Mol-% liegen.
9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das organische
Silazanpolymer einen Schmelzpunkt von 60° bis 200°C und eine bei 20°C in
Benzol gemessene Grenzviskosität von 0,06 bis 0,09 aufweist.
10. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man das organische
Silazanpolymer in Luft bei einer Temperatur von 50° bis 150°C unschmelzbar
macht.
11. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man das organische
Silazanpolymer im Vakuum oder in einer Stickstoffatmosphäre durch
Bestrahlung mit Elektronenstrahlen bei einer Strahlungsdosis von 50 bis 200
Mrad unschmelzbar macht.
12. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man das organische
Silazanpolymer unter Bildung von Keramikfasern schmilzt und spinnt.
13. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man das Sintern
bei einer Temperatur von 700° bis 2000°C durchführt.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß man das Sintern
im Vakuum oder in einer Atmosphäre aus mindestens einem Gas der Gruppe
der Inertgase, N2-, H2- und NH3-Gas durchführt.
15. Organisches Silazanpolymer, erhältlich durch ein Verfahren, welches
darin besteht, Ammoniak mit einer Mischung aus Methyldichlorsilan,
Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan unter Bildung eines Ammonolyseproduktes
umzusetzen und das Ammonolyseprodukt in Gegenwart eines
Protonen abspaltenden basischen Katalysators zu polymerisieren.
16. Organisches Silazanpolymer nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,
daß die Mischungsverhältnisse des Methyldichlorsilans, Methyltrichlorsilans
und Dimethyldichlorsilans in den Bereichen von 55 bis 80 Mol-%, 10 bis
30 Mol-% bzw. 5 bis 25 Mol-% liegen.
17. Organisches Silazanpolymer nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet,
daß das Silazanpolymer einen Schmelzpunkt von 60° bis 200°C und eine
bei 20°C in Benzol gemessene Grenzviskositätszahl von 0,06 bis 0,09 aufweist.
18. Keramikmaterial aus SiC-Si3N4, erhältlich durch ein Verfahren, welches
darin besteht, Ammoniak mit einer Mischung aus Methyldichlorsilan,
Methyltrichlorsilan und Dimethyldichlorsilan unter Bildung eines Ammonolyseproduktes
umzusetzen, das Ammonolyseprodukt in Gegenwart eines Protonen
abspaltenden basischen Katalysators unter Bildung eines organischen Silazanpolymeren
zu polymerisieren, das Silazanpolymer zu schmelzen, zu verformen
und unschmelzbar zu machen und das gebildete Polymer zu sintern.
19. Keramikmaterial nach 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Mischungsverhältnisse
des Methyldichlorsilans, Methyltrichlorsilans und Dimethyldichlorsilans
in Bereichen von 55 bis 80 Mol-%, 10 bis 30 Mol-% bzw. 5 bis 25
Mol-% liegen.
20. Keramikmaterial nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß das
Keramikmaterial eine Keramikfaser mit einer Zugfestigkeit von 1962 bis 2943
N/mm2 (200 bis 300 kg/mm2) und einem Elastizitätsmodul von 147 150 bis
294 300 N/mm2 (15 bis 30 tons/mm2) ist.
21. Keramikmaterial nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß man
das organische Silazanpolymer in Luft bei einer Temperatur von 50° bis 150°C
unschmelzbar macht.
22. Keramikmaterial nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß man
das organische Silazanpolymer im Vakuum oder in einer Stickstoffatmosphäre
durch Bestrahlung mit Elektronenstrahlung bei einer Strahlungsdosis von
50 bis 200 Mrad unschmelzbar macht.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61135437A JPS62290730A (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 | 有機シラザン重合体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3719343A1 true DE3719343A1 (de) | 1987-12-17 |
| DE3719343C2 DE3719343C2 (de) | 1996-07-25 |
Family
ID=15151699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE3719343A Expired - Fee Related DE3719343C2 (de) | 1986-06-10 | 1987-06-10 | Organische Silazanpolymere, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4771118A (de) |
| JP (1) | JPS62290730A (de) |
| DE (1) | DE3719343C2 (de) |
| FR (1) | FR2599745B1 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3805796A1 (de) * | 1987-02-25 | 1988-09-08 | Shinetsu Chemical Co | Verfahren zur herstellung von organischen silazanpolymeren und keramikmaterialien daraus |
| US5229338A (en) * | 1991-05-01 | 1993-07-20 | Bayer Aktiengesellschaft | Preparation of silazane polymers and ceramic materials therefrom |
| DE4026249A1 (de) * | 1989-08-21 | 1998-02-26 | Dow Corning | Verfahren zum kontinuierlichen Spinnen und Pyrolyse keramischer Fäden aus einem Harz |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5055431A (en) * | 1985-04-26 | 1991-10-08 | Sri International | Polysilazanes and related compositions, processes and uses |
| JPS62290730A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
| US4869854A (en) * | 1986-10-31 | 1989-09-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Process for manufacturing organic silazane polymers and ceramics therefrom |
| DE3639511A1 (de) * | 1986-11-20 | 1988-06-01 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zur herstellung von silazanpolymeren |
| US4828663A (en) * | 1987-01-15 | 1989-05-09 | Dow Corning Corporation | Infusible preceramic silazane polymers via high energy radiation |
| JPH0662775B2 (ja) * | 1987-06-12 | 1994-08-17 | チッソ株式会社 | 新規ポリシラザン及びその製造方法 |
| DE3733728A1 (de) * | 1987-10-06 | 1989-04-20 | Hoechst Ag | Polymere hydridosilazane und verfahren zu ihrer herstellung sowie ihre verwendung |
| JPH01139819A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-01 | Nippon Carbon Co Ltd | セラミックス繊維およびその製造法 |
| DE3741059A1 (de) * | 1987-12-04 | 1989-06-15 | Hoechst Ag | Polysilazane, verfahren zu ihrer herstellung, aus ihnen herstellbare siliziumnitrid enthaltende keramische materialien, sowie deren herstellung |
| JPH01153730A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
| DE68926260T2 (de) * | 1988-02-29 | 1996-08-22 | Toa Nenryo Kogyo Kk | Formkörper aus Keramik auf Siliciumnitrid-Basis und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| US4948763A (en) * | 1988-06-30 | 1990-08-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Preparation of hollow ceramic fibers |
| DE3824614A1 (de) * | 1988-07-20 | 1990-01-25 | Hoechst Ag | Verfahren zur herstellung von siliziumnitrid enthaltendem keramischem material aus polymeren hydridochlorsilazanen |
| DE68921823T2 (de) * | 1988-09-09 | 1995-11-16 | Shinetsu Chemical Co | Verfahren um Polysilazane unschmelzbar zu machen und zur Herstellung von keramischen Hohlfasern. |
| US4962069A (en) * | 1988-11-07 | 1990-10-09 | Dow Corning Corporation | Highly densified bodies from preceramic polysilazanes filled with silicon carbide powders |
| DE3840779A1 (de) * | 1988-12-03 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Polysubstituierte chlorhaltige silazanpolymere, verfahren zu ihrer herstellung, aus ihnen herstellbare, siliziumnitrid enthaltende keramische materialien, sowie deren herstellung |
| DE3840778A1 (de) * | 1988-12-03 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Polysubstituierte oligosilazane und verfahren zu ihrer herstellung |
| US4929704A (en) * | 1988-12-20 | 1990-05-29 | Hercules Incorporated | Isocyanate- and isothiocyanate-modified polysilazane ceramic precursors |
| US5006625A (en) * | 1989-06-30 | 1991-04-09 | Ethyl Corporation | Process for preparing organosilazanes |
| US5010157A (en) * | 1989-06-30 | 1991-04-23 | Ethyl Corporation | Process for preparing organosilazanes |
| AU639645B2 (en) * | 1989-10-10 | 1993-07-29 | Wm. Wrigley Jr. Company | Gradual release structures made from fiber spinning techniques |
| US5155181A (en) * | 1989-11-27 | 1992-10-13 | Hercules Incorporated | (Thio)amide-modified silazane polymer composition containing a free radical generator |
| US5032649A (en) * | 1989-11-27 | 1991-07-16 | Hercules Incorporated | Organic amide-modified polysilazane ceramic precursors |
| JPH06294018A (ja) * | 1993-04-08 | 1994-10-21 | Honda Motor Co Ltd | 結晶質セラミックファイバー及びその製造方法 |
| EP0662463B1 (de) * | 1993-12-17 | 2001-06-13 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Yttrium-enthaltendes Verbundpulver, gesinterter Verbundwerkstoff, und Verfahren zu dessen Herstellung |
| US5905130A (en) * | 1995-12-28 | 1999-05-18 | Tonen Corporation | Process for the production of polysilazane |
| US6403750B1 (en) * | 1999-06-03 | 2002-06-11 | Edward J. A. Pope | Apparatus and process for making ceramic composites from photo-curable pre-ceramic polymers |
| CN108676167B (zh) * | 2018-04-03 | 2020-06-16 | 中国科学院化学研究所 | 一种聚硅氮烷的制备装置与方法 |
| JP7611757B2 (ja) * | 2021-04-26 | 2025-01-10 | 信越化学工業株式会社 | ガラス質接着剤 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3853567A (en) * | 1972-04-19 | 1974-12-10 | Bayer Ag | Production of shaped articles of homogeneous mixtures of silicon carbide and nitride |
| US4097294A (en) * | 1976-08-23 | 1978-06-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Preparation of ceramics |
| US4312970A (en) * | 1981-02-20 | 1982-01-26 | Dow Corning Corporation | Silazane polymers from {R'3 Si}2 NH and organochlorosilanes |
| US4340619A (en) * | 1981-01-15 | 1982-07-20 | Dow Corning Corporation | Process for the preparation of poly(disilyl)silazane polymers and the polymers therefrom |
| US4395460A (en) * | 1981-09-21 | 1983-07-26 | Dow Corning Corporation | Preparation of polysilazane polymers and the polymers therefrom |
| US4482669A (en) * | 1984-01-19 | 1984-11-13 | Massachusetts Institute Of Technology | Preceramic organosilazane polymers |
| US4482689A (en) * | 1984-03-12 | 1984-11-13 | Dow Corning Corporation | Process for the preparation of polymetallo(disily)silazane polymers and the polymers therefrom |
| US4535007A (en) * | 1984-07-02 | 1985-08-13 | Dow Corning Corporation | Silicon nitride-containing ceramics |
| US4537942A (en) * | 1984-02-10 | 1985-08-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Polyhydridosilanes and their conversion to pyropolymers |
| US4543344A (en) * | 1983-11-28 | 1985-09-24 | Dow Corning Corporation | Silicon nitride-containing ceramic material prepared by pyrolysis of hydrosilazane polymers from (R3 Si)2 NH and HSiCl3 |
| JPS60228489A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-11-13 | ヒュルス・アメリカ・インコーポレイテッド | N―メチルヒドリドシラザン及びその製造方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1086932A (fr) * | 1952-09-03 | 1955-02-17 | Dow Corning | Procédé de fabrication de silazanes |
| DE2243527A1 (de) * | 1972-09-05 | 1974-04-18 | Bayer Ag | Formkoerper aus homogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer herstellung |
| US4397828A (en) * | 1981-11-16 | 1983-08-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Stable liquid polymeric precursor to silicon nitride and process |
| CA1241972A (en) * | 1984-09-11 | 1988-09-13 | Dow Corning Corporation | Ceramic materials from silazane polymers |
| CA1245675A (en) * | 1984-09-21 | 1988-11-29 | Ronald H. Baney | Ceramic materials from silazane polymers |
| CA1242461A (en) * | 1984-09-21 | 1988-09-27 | Ronald H. Baney | Ceramic materials with increased crystallinity from silazane polymers |
| US4650837A (en) * | 1985-09-30 | 1987-03-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for converting Si-H containing polycarbosilanes to new and useful preceramic polymers and ceramic materials |
| US4675424A (en) * | 1986-03-19 | 1987-06-23 | Union Carbide Corporation | Method for making polysilazanes |
| JPS62290730A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
| US4720532A (en) * | 1986-08-22 | 1988-01-19 | Massachusetts Institute Of Technology | Organopolysilazane precursors to silicon nitride-rich mixed SiC/Si3 N4 |
-
1986
- 1986-06-10 JP JP61135437A patent/JPS62290730A/ja active Granted
- 1986-09-03 US US06/903,409 patent/US4771118A/en not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-05-21 FR FR878707162A patent/FR2599745B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-10 DE DE3719343A patent/DE3719343C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-06-28 US US07/212,438 patent/US4870035A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3853567A (en) * | 1972-04-19 | 1974-12-10 | Bayer Ag | Production of shaped articles of homogeneous mixtures of silicon carbide and nitride |
| US4097294A (en) * | 1976-08-23 | 1978-06-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Preparation of ceramics |
| US4340619A (en) * | 1981-01-15 | 1982-07-20 | Dow Corning Corporation | Process for the preparation of poly(disilyl)silazane polymers and the polymers therefrom |
| US4312970A (en) * | 1981-02-20 | 1982-01-26 | Dow Corning Corporation | Silazane polymers from {R'3 Si}2 NH and organochlorosilanes |
| US4395460A (en) * | 1981-09-21 | 1983-07-26 | Dow Corning Corporation | Preparation of polysilazane polymers and the polymers therefrom |
| US4543344A (en) * | 1983-11-28 | 1985-09-24 | Dow Corning Corporation | Silicon nitride-containing ceramic material prepared by pyrolysis of hydrosilazane polymers from (R3 Si)2 NH and HSiCl3 |
| US4482669A (en) * | 1984-01-19 | 1984-11-13 | Massachusetts Institute Of Technology | Preceramic organosilazane polymers |
| US4537942A (en) * | 1984-02-10 | 1985-08-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Polyhydridosilanes and their conversion to pyropolymers |
| US4482689A (en) * | 1984-03-12 | 1984-11-13 | Dow Corning Corporation | Process for the preparation of polymetallo(disily)silazane polymers and the polymers therefrom |
| JPS60228489A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-11-13 | ヒュルス・アメリカ・インコーポレイテッド | N―メチルヒドリドシラザン及びその製造方法 |
| US4535007A (en) * | 1984-07-02 | 1985-08-13 | Dow Corning Corporation | Silicon nitride-containing ceramics |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3805796A1 (de) * | 1987-02-25 | 1988-09-08 | Shinetsu Chemical Co | Verfahren zur herstellung von organischen silazanpolymeren und keramikmaterialien daraus |
| DE3805796C2 (de) * | 1987-02-25 | 1995-10-05 | Shinetsu Chemical Co | Verfahren zur Herstellung von organischen Silazanpolymeren und Keramikmaterialien daraus |
| DE4026249A1 (de) * | 1989-08-21 | 1998-02-26 | Dow Corning | Verfahren zum kontinuierlichen Spinnen und Pyrolyse keramischer Fäden aus einem Harz |
| DE4026249C2 (de) * | 1989-08-21 | 1999-05-27 | Dow Corning | Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von keramischen Fasern aus einem harzförmigen Organosiliciumpolymer |
| US5229338A (en) * | 1991-05-01 | 1993-07-20 | Bayer Aktiengesellschaft | Preparation of silazane polymers and ceramic materials therefrom |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0215577B2 (de) | 1990-04-12 |
| US4771118A (en) | 1988-09-13 |
| JPS62290730A (ja) | 1987-12-17 |
| FR2599745A1 (fr) | 1987-12-11 |
| FR2599745B1 (fr) | 1990-06-29 |
| DE3719343C2 (de) | 1996-07-25 |
| US4870035A (en) | 1989-09-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3719343C2 (de) | Organische Silazanpolymere, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung | |
| DE3736914C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von organischen Silazanpolymeren und daraus gebildeten Keramikmaterialien | |
| DE3447411C2 (de) | ||
| DE3805796C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von organischen Silazanpolymeren und Keramikmaterialien daraus | |
| DE2618150C3 (de) | Siliciumcarbidfasern und Verfahren zu deren Herstellung | |
| DE68911261T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Bor und Stickstoff enthaltenden Polymeren, die Bornitridvorläufer sind und die erhaltenen Produkte. | |
| DE3840781A1 (de) | Faserverbundkeramik und verfahren zu ihrer herstellung | |
| DE102009056371A1 (de) | Polysilan-Polycarbonsilane mit reduziertem Kohlenstoffgehalt auf Basis von Methylchlorpolysilanen sowie daraus hergestellte Keramiken | |
| EP0319794B1 (de) | Polysilazane, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid enthaltenden keramischen Materiallen. | |
| EP0375994B1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Polycarbosilanen und neue Polycarbosilane | |
| EP0315907B1 (de) | Polysilazane, Verfahren zu ihrer Herstellung, sowie die Herstellung Siliziumnitrid enthaltender keramischer Materialen. | |
| EP1756201B1 (de) | Polysilan-polycarbosilan-copolymer-lösungen und daraus hergestellte sauerstoffarme keramische formkörper mit zusammensetzungen nahe sic | |
| DE3809180C2 (de) | ||
| EP0659806B1 (de) | Präkeramische Polyborosilazane, Verfahren zu deren Herstellung sowie daraus erhältliches keramisches Material | |
| DE3500962C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers aus Siliciumcarbid | |
| DE69314899T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Polyaminoborazinen | |
| DE3220559C2 (de) | ||
| DE69023320T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Hafnium enthaltenden Polysilazanen und Verfahren zur Herstellung von keramischen Materialien aus diesen Polymeren. | |
| WO2002022624A1 (de) | Siliciumborcarbonitridkeramiken und vorläuferverbindungen, verfahren zu deren herstellung und verwendung | |
| DE4114218A1 (de) | Organische silazanpolymere, verfahren zu ihrer herstellung, sowie ein verfahren zur herstellung von keramikmaterialien daraus | |
| EP2945977B1 (de) | Hochmolekulares polysilan und dessen herstellungsverfahren zur produktion präkeramischer formkörper | |
| DE4320783A1 (de) | Borhaltige Polysilazane, Verfahren zu ihrer Herstellung, aus ihnen herstellbare Bor und Silicium enthaltende keramische Materialien, sowie deren Herstellung | |
| DE69104150T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Polysilazanen und Verfahren zur Herstellung von keramischen Materialien. | |
| DE4302211C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von im wesentlichen polykristallinen Siliciumcarbidfasern | |
| DE3441854A1 (de) | Metamorphe alkalimetalltitanate und verfahren zu ihrer herstellung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |