DE3612669A1 - Hochfein gefertigte rohrverbindung - Google Patents

Description

Die hier beschriebene Erfindung betrifft eine Rohrverbindung und insbesondere eine extrem fein gefertigte Rohrverbindung für eine Verwendung bei Verrohrungen usw. eines Reinraumes, der eine Reinheit erfordert.

Auf dem Gebiet der Halbleiter werden IC′s und LSI′s in im allgemeinen reinen Räumen behandelt, aus denen feine Partikel und Staub etc. vollständig entfernt sind. Die Behandlung muß so unter sehr strengen umweltmäßigen Herstellungsbedingungen vorgenommen werden. Eine solche Halbleiterherstellung bedarf eines Spezialgases, das von außerhalb des Reinraumes durch ein Rohr- oder Leitungssystem eingeführt wird. Entsprechend sind in einem sehr großen Ausmaß "fremde Gase" so wie etwa Luft und dergleichen unerwünscht in der Beziehung, daß sie mit dem Spezialgas vermischt sind und es ist eine hochfeine Fertigung für das Leitungssystem und auch für die Leitungsverbindungen erforderlich, welche letztere dazu dienen, die Leitungen miteinander zu verbinden.

Eine bekannte Leitungsverbindung dieser Art besitzt eine Abdichtpackung, die zwischen einem Paar von Verbindungsstücken angeordnet ist, wobei eine Überwurfmutter auf eines der Verbindungsstücke von dem anderen her geschraubt ist, um beide Verbindungsstücke zusammenzuklammern. In diesem Fall leidet die Leitungsverbindung an einigen Unzulänglichkeiten, nämlich daß bei Verklammerung durch Drehung der Überwurfmutter das andere Verbindungsstück zusammen mit der Überwurfmutter gedreht wird, was nicht nur bewirkt, daß die Abdichtpackung verdreht wird mit der Gefahr, daß die Abdichtpackung bricht, sondern auch, daß die Leitung, die mit dem anderen Verbindungsstück verbunden ist, gedreht wird, mit der Gefahr, daß die Leitung selbst bricht. Bislang wird häufig ein metallischer C-Ring verwendet, um bezüglich der Abdichtung Abhilfe zu bringen. Jedoch wird der metallische C-Ring verformt wegen der Verdrehung und nimmt in seinen Dichtigkeitseigenschaften sehr stark ab.

Um dieses Problem zu lösen, ist eine Struktur vorgeschlagen, bei der die Endfläche des anderen Verbindungsstückes, wie es zuvor beschrieben worden ist, geeignet ist, viele Kugeln zu lagern, welche Kugeln in Kontakt mit der inneren Endoberfläche der Überwurfmutter gebracht werden, um zu verhindern, daß das andere Verbindungsstück gedreht wird. Jedoch haben das andere Verbindungsstück und die Überwurfmutter flache Flächen, an denen die Kugeln abgestützt sind. Daher drücken sich die Kugeln in die flachen Flächen ein, wenn festgezogen wird, und bilden Eindrückungen darin oder bewirken, daß Bereiche der flachen Oberflächen entsprechend zu den jeweiligen Kugeln ungleichmäßig eingedrückt werden. So kann nicht in geeigneter Weise ein Drehmoment zum Festbringen aufgebracht werden ohne die Gefahr, daß der C-Ring verdreht wird.

Weiterhin muß in Leitungen und Verbindungen, die im Zusammenhang mit Reinräumen usw. auf dem Halbleitergebiet verwendet werden, Spezialgas, daß durch die Leitungen strömt, von Zeit zu Zeit ausgetauscht werden. In diesem Fall verursachen rauhe innere Oberflächen der Leitungen oder eine unzulängliche Abdichtungsstruktur der Verbindung nicht nur, daß ein hoher Strömungswiderstand gegeben ist, sondern auch, daß Gasmoleküle, die zuvor eingebracht worden sind, an unebenen Bereichen der Oberfläche der Leitungen verbleiben oder auf die Rückseite der Dichtungsbereiche der Verbindung strömen. Diese alten Gase werden aus den Abdichtbereichen abgesondert und mischen sich in das neuerlich eingeführte, ausgetauschte Gas. Dies aber hat sehr schlechte Auswirkungen auf die Halbleiterprodukte.

Daher ist eine derartige bekannte Leitungsverbindung nicht geeignet für eine Verwendung bei Leitungen eines Reinraumes.

Die Erfinder haben, um eine gute Abdichtung zwischen den Verbindungsstücken sicherzustellen, ein Experiment durchgeführt, bei dem anstelle des anderen Verbindungsstückes, für die Abstützung der Kugeln, ein Drucklager verwendet worden ist, das hochgehärtete Materialien so wie etwa rostfreien Stahl aufweist und einfach zwischen das andere Verbindungselement und die Überwurfmutter zwischengeschaltet wurde, um zu verhindern, daß die flache Oberfläche der Überwurfmutter verformt wird. Die einfache Zwischenschaltung des Drucklagers hat es aber nicht notwendig ermöglicht, daß der metallische C-Ring an seiner Stelle festgezogen wurde. Der Grund dafür ist gegenwärtig noch nicht recht klar. Es kann aber darauf geschlossen werden, daß die Ringe und Kugeln usw., die Elemente des Drucklagers sind, leicht versetzt werden oder geneigt werden, wenn die Überwurfmutter festgezogen wird und sich dadurch Torsionsspannungen ergeben, die zwischen dem anderen Verbindungsstück und der Überwurfmutter hervorgerufen werden und so eine gewisse Torsion auch zwischen den Verbindungsstücken entsteht, was es ermöglicht, daß der metallische C-Ring in ungewöhnlicher Weise verformt wird.

Entsprechend ist eine Rohrverbindung erwünscht, bei der eine gute Festziehung der Überwurfmutter möglich ist, während so viel wie möglich der Abdichteigenschaften des metallischen C-Ringes erreicht werden.

Es ist ein Ziel der hier beschriebenen Erfindung, eine hochfein gefertigte Rohrverbindung anzugeben, die einen metallischen C-Ring besitzt, der zwischen ein Paar von Verbindungsstücken angeordnet ist, wobei die Rohrverbindungen in der Lage sind, den metallischen C-Ring gut zu befestigen, um dadurch bei einem Leitungssystem für einen Reinraum verwendbar zu sein.

Um dieses Ziel zu erreichen weist die hochrein gefertigte Rohrverbindung, neben einem Paar von ersten und zweiten Verbindungsstücken, eine Überwurfmutter, ein Drucklager, das zwischen einem Basisbereich des zweiten Verbindungsstückes, gerichtet zu der inneren Endfläche der Überwurfmutter, und einer inneren Endfläche der Überwurfmutter angeordnet ist, und einen Rückhalter auf, der dazu dient, Kugeln und Ringe usw. anzubringen, die Elemente des Drucklagers sind, integral mit den zweiten Verbindungsstücken usw., an vorgeschriebenen Stellen.

Mit der zuvor beschriebenen Anordnung ist das zweite Verbindungsdrucklager beschränkt auf gesonderte einzelne Bewegungen entsprechender Komponenten und in Kontakt gebracht mit dem zweiten Verbindungsstück und der Überwurfmutter in einer parallelen Beziehung. Zusätzlich kann, unter Beibehaltung der zuvor erwähnten Anordnung, die Überwurfmutter angezogen werden, um zu verhindern, daß eine Verdrehung erzeugt wird zwischen der Überwurfmutter und dem zweiten Verbindungsstück, d. h. zwischen dem ersten und dem zweiten Verbindungsstück.

Eine integrale Anbringung der jeweiligen Komponenten des Drucklagers hat nicht die Bedeutung, daß sie vollständig miteinander fest befestigt sind, sondern meint, daß freie Bewegungen beschränkt sind. Es ist insbesondere so, daß die jeweiligen Komponenten des Drucklagers unabhängig bewegbar sind, um eine Funktion des Lagers als Ganzes auszuüben.

Diese erwähnten und andere Ziele, Eigenschaften und Vorteile der hier beschriebenen Erfindung werden deutlicher aus der nachstehenden Beschreibung im Zusammenhang mit der beigefügten Zeichnung, auf der eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung beispielsweise dargestellt ist. Auf dieser Zeichnung zeigt:

Fig. 1 eine Querschnittsansicht, die eine Ausführungsform einer hochfein gefertigten Rohrverbindung gemäß der hier beschriebenen Erfindung zeigt;

Fig. 2 und 3 jeweilige Seitenansichten und Querschnittsansichten, die eine Ausführungsform eines Rückhalters für eine Verwendung bei der hier beschriebenen Erfindung verdeutlichen; und

Fig. 4 eine Explosionsdarstellung mit teilweiser Schnittansicht, verdeutlichend einen Endbereich der Ausführungsform gemäß Fig. 1.

Eine Ausführungsform einer hochfein gefertigten Rohrverbindung gemäß der hier beschriebenen Erfindung wird nachstehend mit Bezug auf die beigefügte Zeichnung beschrieben.

Mit Bezug zu Fig. 1 ist eine Gesamtansicht der Ausführungsform dargestellt, wobei ein Hülsenteil 10 ein erstes Verbindungsstück ist und ein Einsteckteil 20 ein zweites Verbindungsstück, die jeweils Durchdringungsöffnungen 11, 21 aufweisen, die hochfein endbearbeitet sind in Bezug auf die Rauhigkeit ihrer inneren Oberfläche und geeignet sind Mittelbereiche zu durchdringen. Endflächen dieser beiden Stücke 10, 20 sind einander zugewandt und besitzen einen konkaven Bereich 12 an der Seite des Hülsenteils, während ein Vorsprungbereich 22 an der Seite des Steckteils 20 vorgesehen ist und mit dem konkaven Bereich 12 in Zusammenwirkung ist. Ein metallischer C-Ring 30 ist zwischen den konkaven Bereich 12 und den Vorsprungbereich 22 zwischengeschaltet.

Ein hexagonaler Flansch 13 ist integral mit dem Hülsenteil 10 in der Mitte dessen vorgesehen, während ein Schraubenteil 14 an dem äußeren peripheren Ende des Hülsenteils 10 ausgebildet ist. Ein inneres peripheres Schraubenteil 41 einer Überwurfmutter 40 ist auf das Schraubteil 14 aufgeschraubt, um einen Grundbereich 23 des Einsteckteils 20 so abzudecken, von der Seite des Einsteckteils 20, wodurch das Hülsenteil 10 und das Einsteckteil 20 festgezogen werden kann.

Ein Drucklager 50 ist zwischen die Endfläche 24 des Grundbereichs 23 des Einsteckteils 20 und die innere Endfläche 42 der Überwurfmutter 40 zwischengeschaltet, genau gesagt die Endfläche des Vorsprungs 43, der an der inneren Endfläche 42 ausgebildet ist. Das Drucklager 50, ein gewöhnliches, kommerziell verfügbares Drucklager, weist eine Kupplung aus scheibenförmigen Ringen 51 und Kugeln 53 auf, die in einer Halterung 52 abgestützt sind, zwischengeschaltet zwischen die Ringe 51, wobei der Ring 51 aus hochhartem rostfreiem Stahl hergestellt ist. Darüber hinaus sind die Ringe 51 und die Kugeln 53 etc., die Elemente des Drucklagers 50 sind, integral durch einen Rückhalter 60 gehalten und an dem Grundbereich 23 des Hülsenteils 20 befestigt, da es das zweite Verbindungsstück ist.

Der Rückhalter 60 ist im wesentlichen insgesamt becherartig ausgebildet, wie in den Fig. 2 und 3 gezeigt, und geeignet eine Durchdringungsöffnung 61 mit großem Durchmesser aufzuweisen und weiterhin geeignet, direkt mit der Endfläche des Ringes 51 des Drucklagers 50 in Kontakt zu kommen. Der äußere Durchmesser des Vorsprungs 43 der Überwurfmutter 40 ist daher geringer als der innere der Durchdringungsöffnung 61. Darüber hinaus sind zungenförmige Stockvorsprungsteile 62 vorgesehen, die jeweils zu der Wellenmitte hin gebogen sind und weiterhin an ihren Spitzen nach außen gebogen sind, und zwar sind sie an drei voneinander gleich um 120° beabstandeten Punkten vorgesehen. Jedes der Stopvorsprungteile 62 ist geeignet federartig zu sein und sicher gestoppt zu sein an dem Grundteil 23 des Einsteckteils 20. Darüber hinaus ist der Rückhalter 60 dadurch gebildet, daß eine federartige dünne Stahlplatte einer Zugverformung unterworfen ist.

Der metallische C-Ring, der zuvor beschrieben worden ist, weist, wie in Fig. 4 gezeigt, ein Ringgehäuse 31 auf, bei dem die Seite der äußeren peripheren Ecke geöffnet ist und etwa C-förmig in der Endfläche ist, und weist weiterhin ein Mittelteil 32 auf, das dadurch hergestellt ist, daß ein Draht in Form eines Ringes gebildet ist, wobei der Draht in das Ringgehäuse 31 eingeführt ist und um ein Mittelmaterial in eine Spulenform gewickelt ist.

Wenn die Teile der Rohrverbindung zusammengebaut werden, in der zuvor beschriebenen Anordnung, wie sie auch in der perspektivischen Ansicht der Fig. 4 gezeigt ist, wird das Drucklager 50 und der Rückhalter 60 an der Seite der Welle des Einsteckstückes 20 angeordnet und die Welle des Einsteckstückes 20 wird in eine Bohrung des Drucklagers 50 eingeführt. Sodann wird das Drucklager 50 mit dem Rückhalter 60 überdeckt und das Stopvorsprungteil 62 des Rückhalters 60 wird an dem äußeren Umfang des Grundbereichs 23 des Einsteckteils 20 angebracht. Damit ist das Drucklager 50 integral an dem Einsteckteil 20 angebracht und die Endfläche des Rings 51 des Drucklagers 50 wird in Kontakt mit der Endfläche 24 des Grundbereichs 23 des Einsteckteils 20 gebracht, ohne eine Neigung etc.

Nachfolgend wird der metallische C-Ring 30 zwischen den Vorsprung 22 des Einsteckteils 20 und den konkaven Bereich 12 des Hülsenteils 10 gebracht, sandwichartig, und wenn die Überwurfmutter 40 von der Seite des Einsteckteils 20 eingeführt wird, was das zweite Verbindungsstück ist, wird der Schraubenteil 41 der Überwurfmutter 40 in den Schraubenteil 14 des Hülsenteils 10 geschraubt, welches das erste Verbindungsstück ist. Eine Drehung der Überwurfmutter 40, die durch Schrauben des Schraubenteils 41 bewirkt wird, wird vollständig durch das Drucklager 50 absorbiert und daher wird keine verdrehende Kraft auf das Einsteckteil 20 übertragen. Das Hülsenteil 10 und das Einsteckteil 20, die jeweils das erste und zweite Verbindungsstück darstellen, werden dadurch befestigt ohne eine Relativdrehung dazwischen und dadurch wird weiter der metallische C-Ring 30 zwischen den konkaven Bereich 12 und den Vorsprung 52 zwischengeschaltet und angezogen ohne eine Torsionskraft, für eine gute Abdichtung. Da das Drucklager 50 durch den Rückhalter 60 gehalten ist, wird daraufhin das Hülsenteil 10 und das Einsteckteil 20 durch die Überwurfmutter 40 angezogen, unter Beibehaltung einer parallelen Stellung dazwischen, ohne daß eine Neigung ausgelöst wird.

Gemäß der hier beschriebenen Ausführungsform, wie zuvor beschrieben, ist das Drucklager 50 zwischen das Einsteckteil 20, das das zweite Verbindungsstück ist, und die innere Endfläche 42 der Überwurfmutter 40 zwischengeschaltet, während das Drucklager 50 durch den Rückhalter 60 in einer vorbestimmten Stellung befestigt ist, nämlich an dem Grundbereich 23 des Einsteckteils 20 bei der hier beschriebenen Ausführungsform. Entsprechend sind die Komponenten des Drucklagers 50 wie etwa die Ringe 51 und die Kugeln 53 usw. auf den Grundbereich 23 des Einsteckteils 20 gepreßt, unter Beibehaltung einer parallelen Stellung dazwischen. Da keine Torsionskräfte usw. zwischen der Überwurfmutter 40 und dem Einsteckteil 20 hervorgerufen werden, wird auch keine Torsionskraft zwischen dem Hülsenteil 10, das das erste Verbindungsstück ist, und dem Einsteckteil 20, das das zweite Verbindungsstück ist, hervorgerufen. Daher wird keine Verdrehung oder dergleichen des metallischen C-Rings 30 bewirkt, der zwischen das Hülsenteil 10 und das Einsteckteil 20 geschaltet ist, um eine Abdichtfunktion des metallischen C-Rings 30 zu ermöglichen, was sicher gegeben ist, ohne daß eine Gefahr besteht, daß ein Gas über den äußeren Umfang etc. des metallischen C-Rings 30 hinausgehen und dort verbleiben kann. Da es darüber hinaus beim Festziehen des Hülsenteils 10 und des Einsteckteils 20 über die Überwurfmutter 40 keine Gefahr gibt des Verdrehens und jegliche Leitungen etc., die mit diesen beiden Teilen 10 und 20 verbunden sind, geformt werden, gibt es in diesem Fall kein Gas, das in der Leitung steht. Da darüber hinaus das Drucklager 50 entsprechende Komponenten hat, die gesondert darin vorgesehen sind, ist es mit der Überwurfmutter 40 überdeckt in einem Zustand, in dem es an dem Einsteckteil 20 durch den Rückhalter 60 befestigt wird, wodurch der Zusammenbau leicht durchgeführt werden kann. Da weiterhin die Endfläche des Vorsprunges 43 der Überwurfmutter 40 direkt in Kontakt ist mit der Endfläche des Rings 51 des Drucklagers 50, kann eine bessere Verdrehung der Überwurfmutter 40 sichergestellt werden, ohne daß die Gefahr besteht, daß Torsionskräfte auf das Einsteckteil 20 usw. übertragen werden. Zusätzlich sind die inneren Oberflächen der Eindringöffnungen 11, 21 in dem Hülsenteil 10 und dem Einsteckteil 20 einer hochfeinen Endbearbeitung unterworfen, ohne die Gefahr, daß die Oberflächenrauhigkeit bremsend auf das Gas wirkt, das durch die Eindringöffnung strömt, was einem Druckverlust des Strömungsweges verursacht. Weiter gibt es keine Möglichkeit, daß das Gas in unebene Bereiche eindringt, die aufgrund der Oberflächenrauhigkeit ausgebildet sind und dort verbleibt und daß sich so altes, verbleibendes Gas mit dem nächsten, unterschiedlichen Gas mischt und dadurch die Qualität der Halbleiterprodukte verschlechtert. Eine Leitungsverbindung gemäß der hier beschriebenen Ausführungsform kann also für eine Verrohrung innerhalb und außerhalb von Reinräumen verwendet werden. Darüber hinaus kann in Bezug auf das Drucklager 50 ein kommerziell verfügbares verwendet werden. Der Rückhalter 60 zur Halterung des Drucklagers 50 kann in einem sehr einfachen Verfahren so wie etwa Pressen oder dergleichen hergestellt werden. Die Gesamtheit der Rohrverbindung kann daher mit niedrigen Kosten hergestellt werden und die Wirkung dessen kann sehr deutlich gemacht werden.

Darüber hinaus ist die hier beschriebene Erfindung, wenn auch in der erläuterten Ausführungsform eine Position zur Befestigung des Rückhalters 60 beschrieben war in Bezug auf den Grundbereich 23 des Einsteckteils 20, darauf nicht beschränkt. Beispielsweise können der Rückhalter 60 und die Mutter 40 jeweils passend geformt werden, wodurch das Drucklager 50 zuvor an der Seite der Überwurfmutter 40 angebracht werden kann. Weiter kann der Rückhalter 60, mit einem Stopvorsprungsteil 20 des Rückhalters 60, das länger ist, an der Seite des Hülsenteils 10 befestigt werden. Kurz ausgedrückt kann die hier beschriebene Erfindung auch zufriedenstellend dadurch vorgesehen sein, daß die jeweiligen Komponenten des Drucklagers 50 integral miteinander befestigt sind an den vorgeschriebenen Stellungen durch den Rückhalter 60. Wenn das Drucklager 50 integral an dem Einsteckteil 20 befestigt ist, wird ein Zusammenbau vorteilhaft erleichtert. Darüber hinaus ist die hier beschriebene Erfindung, wenn auch bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform das Hülsenteil 10 und das Einsteckteil 20 jeweils als erstes Verbindungsteil und zweites Verbindungsteil beschrieben ist, darauf nicht beschränkt. Insbesondere kann das Hülsenteil 10 auch das zweite Verbindungsteil sein, während das Einsteckteil 20 das erste ist. Diese Abänderung ist möglich, in dem die Formungen der Bereiche der beiden Stücke 10, 20 ausgetauscht werden, zur Halterung des metallischen C-Rings 30. Dementsprechend sind diese Bezeichnungen nicht wesentlich. Darüber hinaus ist die Form des Rückhalters 60 nicht auf die der zuvor beschriebene Ausführungsform begrenzt, so daß eine andere Form möglich ist. Wenn es auch wesentlich ist, daß das Drucklager durch den Rückhalter 60 gehalten werden kann, ist die oben beschriebene Anordnung vorteilhaft in Bezug auf die Herstellung der Rohrverbindung zu niedrigen Kosten. Weiterhin ist es ausreichend, wenn auch es umso besser ist, je glatter die Rauhigkeit der inneren Flächen der Eindringöffnungen 11, 21 beider Stücke 10, 20 ist, vorzusehen, daß sie verfahrensmäßig mit einer hochfeinen Endbearbeitung versehen werden, vom Blickpunkt der Verfahrenskosten oder Herstellungskosten her.

Entsprechend der hier beschriebenen Erfindung, wie sie zuvor beschrieben ist, ist es möglich, eine hochfein endbearbeitete Rohrverbindung vorzusehen, bei der der metallische C-Ring sehr genau angezogen werden kann, wobei die hochfein endbearbeitete Rohrverbindung auf Leitungen unter sehr schwierigen Bedingungen, so wie z. B. in einem Reinraum, anbringbar ist. Wenn auch eine gewisse bevorzugte Ausführungsform dargestellt und beschrieben worden ist, ist doch zu verstehen, daß viele Änderungen und Abänderungen möglich sind, ohne daß der Umfang der beigefügten Ansprüche verlassen wird.

• Bezugszeichenliste
  (List of refence numerals) 10 Hülsenteil
  11 Durchdringungsöffnung
  12 konkaver Bereich
  13 Flansch
  14 Schraubenteil
  20 Einsteckteil
  21 Durchdringungsöffnung
  22 Vorsprungbereich
  23 Grundbereich
  24 Endflansch
  30 metallischer C-Ring
  31 Ringgehäuse
  32 Mittelteil
  40 Überwurfmutter
  41 Schraubteil
  42 Endfläche
  43 Vorsprung
  50 Drucklager
  51 Ring
  53 Kugel
  60 Rückhalter
  61 Durchdringungsöffnung
  62 Stopvorsprungsteil

Claims (5)

1. Hochfein endbearbeitete Rohrverbindung, gekennzeichnet durch ein erstes Verbindungsteil (10), ein zweites Verbindungsteil (20) wobei das erste und das zweite Verbindungsteil (10, 20) Durchdringöffnungen (11, 21) besitzen, die die Wellenteile derselben durchdringen, weiter durch einen metallischen C-Ring (30), der zwischen das erste und zweite Verbindungsstück (10, 20) zwischengeschaltet ist, eine Überwurfmutter (40), die von dem zweiten Verbindungsstück (20) erfaßt wird, um einen Grundbereich des zweiten Verbindungsstückes (20) damit von der Seite des zweiten Verbindungsstückes (20) her abzudecken, zur Festziehung des metallischen C-Rings (30), ein Drucklager (50), das zwischen den Grundbereich des zweiten Verbindungsstückes (20) und eine innere Endfläche der Überwurfmutter (40) geschaltet ist, und einen Rückhalter (60) für eine integrale Befestigung der Komponenten des Drucklagers (50), wie etwa Kugeln und Ringe usw., an vorbestimmten Stellungen.

2. Hochfein endbearbeitete Rohrverbindungen nach Anspruch 1, wobei die vorbestimmten Stellungen, an denen die Komponenten des Drucklagers (50) durch den Rückhalter (60) befestigt sind, an dem Grundbereich des zweiten Verbindungsteiles (20) angeordnet sind.

3. Hochfein endbearbeitete Rohrverbindung nach Anspruch 2, wobei der Rückhalter (60) im wesentlichen becherförmig ist mit einer Durchdringungsöffnung (61) mit großem Durchmesser, die in der Bodenfläche dessen ausgebildet ist, während ein Vorsprung (43) an der inneren Endfläche der Überwurfmutter (40) ausgebildet ist und geeignet ist einen Durchmesser aufzuweisen, der geringer ist als der der Eindringöffnung (61) des Rückhalters (60), wobei weiter der Vorsprung (43) die Durchdringöffnung (51) durchdringt und direkt in Kontakt ist mit der Ringendfläche des Drucklagers (50).

4. Hochfein endbearbeitete Rohrverbindung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Rückhalter (60) im wesentlichen becherförmig durch eine Zugumformung eines dünnen Plattenmaterials ist, mit einer Durchdringöffnung (61), die in dem Boden dessen ausgebildet ist, sowie auch mit einer Mehrzahl von federartigen zungenförmigen Stopvorsprungteilen (62), die an der Endfläche des Rückhalters (60) an gegenüberliegenden Seiten des Bodens des Rückhalters (60) integral mit dem Rückhalter (60) ausgebildet sind.

5. Hochfein endbearbeitete Rohrverbindung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die inneren Oberflächen der Durchdringungsöffnungen (11, 21) der ersten und zweiten Verbindungsstücke (10, 20) endbearbeitet sind in Bezug auf eine hochfeine Rauhheit.