DE3319311A1

DE3319311A1 - Elektroakustischer wandler und verfahren zu dessen herstellung

Info

Publication number: DE3319311A1
Application number: DE19833319311
Authority: DE
Inventors: Minoru Yokohama Kanagawa Nishizono; Hiroto Yokosyka Kanagawa Wada
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1982-05-29
Filing date: 1983-05-27
Publication date: 1983-12-08
Also published as: GB8314336D0; GB2122842B; KR860000640B1; US4615105A; US4621171A; SG9486G; DE3319311C2; KR840005006A; GB2122842A

Description

Γ 1 cKrool-ust ι ·>( tier Wandler und Verfahren zu dessen Herstel-1 ung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen elektroaku-5stischen Wandler und ein Verfahren zu dessen Herstellung.

Es sind zahlreiche Typen von elektroakustisehen Miniaturwandlern, wie beispielsweise Mikrofone, bekannt. Beispielsweise ist ein el ektroakustisches Mikrofon, wie es in Fig.

1Ou. Fig. 2 gezeigt ist, bekannt. Das elektroakustisehe Mikrofon, welches in Fig. 1 u. Fig. 2 gezeigt ist, ist mit einem elektrisch leitenden, im allgemeinen zylindrischen Gehäuse 10 versehen, das ein offenes Fenster zur Aufnahme von Schallwellen enthält. In dem Gehäuse 10 ist ein Basisteil 14 angeordnet, das eine Vertiefung 16 auf der Seite hat, die dem offenen Fenster 12 des Gehäuses 10 gegenübersteht, und ein Durchgangsloch 18 in seinem Zentrum aufweist. In der Vertiefung 16 des Basisteils.14 ist eine feststehende Elektrode 20 befestigt. Die feststehende Elektrode 20 ist durch Ausbilden eines Films 22 aus einem Plastikmaterial auf einer metallischen Platte 24 und durch Bearbeiten des Films 22 durch ein herkömmliches Verfahren derart, daß dieser einen Elektretfilm mit einer Ladung bildet, hergestellt. Eine elektrisch leitende Membran 26 ist parallel zu dem offenen Fenster 12 des Gehäuses 10 und der feststehenden Elektrode 20 angeordnet, wobei der Rand der Membran 26 zwischen einen isolierenden Abstandshalter 28, welcher auf der feststehenden Elektrode 20 angebracht ist, und einen elektrisch leitenden Ring 30, der an der Innenwand des Gehäuses 10 befestigt ist, eingeklemmt ist. Die Membran 26 ist beispielsweise aus einem metallischen Film oder einem Film aus einem Plastikmaterial, welches mit einer metallischen Schicht bedeckt ist, welcher Film eine Dicke von einigen Mikron aufweist, hergestellt. Die metallische Platte der feststehenden Elektrode 20 hat einen vorstehenden Stift 32, der sich durch das Durchgangsloch 18 des Basisteils 14 erstreckt. Dieser vorstehende Stift 32 der feststehenden Elektrode 20 und das Gehäuse 10 fungieren als Signalaus-

β O fl -t

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gangsanschlüsse, die an eine externe Schaltung (nicht g e zeig-t) anzuschließen sind.

Das in Fig. 1 u. Fig. 2 gezeigte elektroakustische Mikrofon ist indessen in sei η e rti Aufbau kompliziert und es bestehen bestimmte Probleme vom Standpunkt der Arbeitskennlinien, der Kosten, der Größe, der Herstellungsvorgänge usw..

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ei-10nen verbesserten elektroakustisehen Wandler zu schaffen, dem die oben genannten Nachteile nicht anhaften.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird zur Lösung dieser Aufgabe ein elektroakustischer Wandler mit einer Grundplatte, die aus einem elektrisch isolierenden Material besteht, und mit einer feststehenden Elektrode, die auf der einen Seite der Grundplatte ausgebildet ist und aus einem elektrisch leitenden Material besteht, vorgeschlagen, der dadurch gekennzeichnet ist, daß ein ringförmiges Tragteil vorgesehen ist, das auf einer Seite der Grundplatte ausgebildet ist und die feststehende Elektrode umgibt, daß das ringförmige Tragteil aus einem elektrisch leitenden Material hergestellt ist, welches das gleiche wie das elektrisch leitenden Material ist, aus dem die feststehende Elektrode hergestel1t ist, daß sich das ringförmige Tragteil höher als die feststehende Elektrode über die Grundplatte erhebt und daß eine elektrisch leitende Membran vorgesehen ist, die an dem ringförmigen Tragteil befestigt ist und der feststenden Elektrode gegenübersteht.

Erfindungsgemäß wird außerdem ein Verfahren zur Herstellung eines elektroakustisehen Wandlers vorgeschlagen, das dadurch gekennzeichnet ist, daß folgende Verfahrensschritte vorgesehen sind:

Bereitstellen eines Rohmaterials für eine Grundplatte,

die aus einem elektrisch isolierenden Material mit einer Metallf ο lie, die als ein elektrisch leitendes Material

._::; ;' LO* O*J 33 I 93 I I

dient, welches auf eine Seite der isolierenden Grundplatte aufgebracht ist, besteht;

Ausbilden einer feststehenden Elektrode und eines ringförmigen Tragteils, welches die feststehende Elektrode auf einer der Seiten der Grundplatte umgibt, durch selektives Entfernen eines Teils der elektrisch leitenden Schicht in einem Bereich der Grundplatte unter Belassung der betreffenden Schichtbereiche für die feststehende Elektrode und das ringförmige Tragteil;

Verringern der Dicke der feststehenden Elektrode oberhalb der isolierenden Grundplatte verglichen mit der Dicke des ringförmigen Tragteils;

Aufbringen einer elektrisch leitenden Membran auf das ringförmige Tragteil, so daß diese der feststehenden Elektrode gegenübersteht.

Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele für die vorliegende Erfindung anhand von Fig. 3 ... Fig. 8 beschrieben.

Fig. 1 zeigt eine Querschnitts ansicht des zuvor erläuterten bekannten elektroakustischen Wandlers.

Fig. 2 zeigt eine Explosionszeichnung des in Fig. 1 dargestellten bekannten elektroakustischen Wandlers.

Fig. 3 zeigt eine Schnittsansicht eines bevorzugten Aus

führungsbeispiels für einen elektroakustischen Wandler gemäß der vorliegenden Erfindung. 30

Fig. 4 zeigt eine Schnittsansicht des in Fig. 3 gezeig ten elektroakustischen Wandlers längs einer Schnittlinie A-A.

Fig. 5 zeigt.eine Schnittsansicht-eines weiteren Ausfüh rungsbeispiels für die vorliegende Erfindung.

Fig. 6(a) ... Fig. 6(d) zeigen jeweils Querschnittsansich-

it ο ft, -n m

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ten, welche die verschiedenen Schritte zur Herstellung des in Fig. 3 gezeigten elektroakustischen Wandlers verdeutlichen.

Fig. 7 zeigt eine Quer sehnittsansicht einer Vielzahl von

elektroakustisehen Wandlern, die in Übereinstimmung . mit'einem Ausführungsbeispiel für die vorliegende Erfindung hergestellt werden.

Fig. 8 zeigt eine Draufsicht, die die elektroakustischen Wandler gemäß Fig. 7 darstellt.

In allen Figuren sind gleiche oder gleichartige Elemente mit jeweils gleichen Bezugszeichen versehen.

In Fig. 3 bzw. Fig. 4 ist eine Grundplatte 40 gezeigt, die aus einem elektrisch isolierenden Material, beispielsweise Fiberglas hergestellt ist. Auf einer Seite dieser Grundplatte 40 ist eine feststehende Elektrode 42 befestigt, die aus einem elektrisch leitenden Material, beispielsweise Kupfer, besteht. Die Grundplatte 40 hat eine Dicke von etwa 1 mm, und die feststehende Elektrode hat eine ungefähre Dicke von weniger als 1 mm und einen Durchmesser von etwa 4.5 ... 8.5 mm. Ein ElektretfiIm 44 ist auf der Oberseite der feststehenden Elektrode 42 befestigt. Der Elektretfilm 44 hat denselben Durchmesser wie die feststehende Elektrode 42 und eine Dicke von einigen Mikron bis einigen 10 Mikron. Ein ringförmiges Tragteil 46, das aus demselben elektrisch leitenden Material wie die feststehende Elektrode 42 hergestellt ist, ist auf derselben Seite der Grundplatte 40 befestigt und umgibt die feststehende Elektrode 42. Das ringförmige Tragteil 46 hat einen äußeren Durchmesser von etwa 6 ... 10 mm und einen inneren Durchmesser von etwa 5 ... 9 mm sowie eine Dicke von etwa 1 mm, ist jedoch um etwa einige Mikron oder einige 10 Mikron dicker als die Gesamtdicke der feststehenden Elektrode und des Elektretfilm s,

-10-ί Ein erster Anschluß 48, der aus einem elektrisch leitenden Material, beispielsweise Kupfer, hergestellt ist, ist auf der anderen Seite der Grundplatte 40 befestigt und steht der feststehenden Elektrode 42 gegenüber. Der erste Anschluß 48 und die feststehende Elektrode 42 sind elektrisch miteinander über ein erstes Verbindungselement 50, welches aus einer elektrisch leitenden Paste oder einem elektrisch leitenden Kleber , die oder der ein erstes Durchgangsloch 52 ausfüllt, welches sich durch die feststehende Elektrode 42, die Grundplatte 40 und den ersten Anschluß 48 in deren jeweiligem Zentrum erstreckt, besteht. Ein zweiter Anschluß 54, der aus dem gleichen leitenden Material wie der erste Anschluß 48 hergestellt ist, ist auf der anderen Seite der Grundplatte 40 befestigt und steht dem ringförmigen Tragteil 46 gegenüber. Der zweite Anschluß 54 und das ringförmige Tragteil 46 sind miteinander elektrisch über ein zweites Verbindungselement 56 verbunden, das aus derselben elektrisch leitenden Paste oder dem elektrisch leitenden Kleber wie das erste Verbindungselement 50 besteht und ein zweites Durchgangsloch 58 füllt, das sich gemeinsam durch die Grundplatte 40 und den zweiten Anschluß 54 an einem Ort in Nachbarschaft des äußeren Umfangs des ringförmigen Tragteils 46 erstreckt. Der erste Anschluß 48 und der zweite Anschluß 54 haben die gleiche Dicke von etwa einigen 10 Mikron bis zu einigen 100 Mikron.

Eine elektrisch leitende Membran 60, die aus einem Basisfilm 6Oa^ aus einem Plastikmaterial und einer metallischen Schicht 6Ob^ die auf den Basisfilm 60ji aufgebracht ist, besteht, ist auf der Oberseite des ringfömigen Tragteils 46 angeordnet. Die Membran (60) ist parallel zu dem Elektretfilm 44 auf der feststehenden Elektrode 42 orientiert und bildet einen Luftspalt mit einer Stärke von etwa einigen Mikron oder einigen 10 Mikron zwischen sich und dem Elek-

35tretfilm 44. Ein zylindrisches Gehäuse 62, welches aus einei.i elektrisch leitenden Material, beispielsweise Kupfer oder Aluminium, hergestellt ist, ist auf der Grundplatte 40 angebracht und bedeckt das ringförmige Tragteil 46 und die

:_v> 3319311 -πι Membran 60. Das Gehäuse 62 hat zwei Vorsprünge 64, 64, die nach unten von dem unteren Ende des Gehäuses 62 aus weisen, sich durch die Grundplatte 40 erstrecken und mit dem zweiten Anschluß 54 auf der? anderen Seite der Grundplatte 40 verbunden sind. Das Gehäuse 62 hat ein offenes Fenster 66 an seiner Oberseite, das der Membran 60 gegenübersteht. Eine zylindrisehe Wandung 68 des Gehäuses 62 hat einen Durchmesser von etwa 8 ... 12 mm und eine Dicke von etwa ei ni gen. 100 Mi krön .

Fig·. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel für einen elektroakustisehen Wandler gemäß der vorliegenden Erfindung. Dieses in Fig. 5 gezeigte modifizierte Ausführungsbeispiel stimmt mit dem ersten in Fig. 3 u. Fig. 4 gezeigten Ausführungsbeispiel mit der Ausnahme überein, daß ein Impedanztransformationselement 70 anstelle des ersten Verbindungselements 50 vorgesehen ist, daß eine Metallplatte 72 anstelle des zweiten Verbindungselements 56 vorgesehen ist, die das ringförmige Tragteil 46 und den zweiten Anschluß miteinander verbindet und sich quer über den Umfang der Grunplatte 40 erstreckt, und daß das Gehäuse 62 fortgelassen ist.

Fig. 6(a) ... Fig. 6(d) zeigen Herstellungsschritte zur Herste!1ung von elektroakustisehen Wandlern gemäß Fig. 3 u. Fig. 4. Wie in Fig. 6(a) gezeigt, hat ein Rohmaterial 80, das ein Ausgangsmaterial für isolierende Grundplatten 40 darstellt, eine erste und eine zweite Metallfolie 82 u. 84, beispielsweise Kupferfolien, die jeweils auf eine der beiden Seiten der Grundplatte aufgebracht sind. Die erste Metallfolie 82 auf der einen Seite der Grundplatte hat die gleiche Dicke wie das ringförmige Tragteil 46, welches in Fig. 3 gezeigt ist. Die zweite Metallfolie 84 auf der anderen Seite der Grundplatte hat die gleiche Dicke wie der erste Anschluß und der zweite Anschluß 48 bzw. 54, die in Fig. 3 gezeigt sind .

Wie.in Fig. 6(b) gezeigt, wird die erste Metallfolie 82

durch c-1 non ersten Ätzvorgang derart bearbeitet, daß nur jeweils ein runder Scheibenbereich, der die feststehende Elektrode 42 bildet, und ein ringförmiger Bereich, der das ringförmige Tragteil 46 bildet, stehenbleiben. Die zweite Metallfolie 84 wird durch einen zweiten Ätzvorgang gleich dem ersten Ätzvorgang bearbeitet, um nur einen runden Schei benabschnitt, der den ersten Anschluß 48 darstellt, und einen ringförmigen Abschnitt, der den zweiten Anschluß 54 darstellt, zu belassen. Der erste und der zweite Ätzvorgang können gleichzeitig oder in verschiedenen Zeitabschnitten erfolgen. Gemäß dem oben Ausgeführten werden Bereiche der ersten und der zweiten Metallfolie 82 bzw. 84 mit Ausnahme der Teilbeeiche, die jeweils die feststehende Elektrode 42, das ringförmige Tragteil 46 sowie den ersten und den zweiten Anschluß 48 bzw. 54 darstellen, vollständig entfernt.

Die feststehende Elektrode 42 auf der einen Seite der Grund platte 40 wird dann durch einen dritten Ätzvorgang gleich dem ersten und dem zweiten Ätzvorgang bearbeitet, um deren Dicke zu verringern, so daß sie um einen vorbestimmten Dickenbereich von einigen Mikron oder einigen 10 Mikron dünner als das ringförmige Tragteil 46 wird. Der vorbestimm te Dickenbereich wird, wie dem Fachmann bekannt, durch die Ätzzeit usw. bestimmt.

Wie Fig. 6(c) zeigt, wird der ΕΊektretfiIm 44 nach dem dritten Ätzvorgang auf die feststehende Elektrode 42 aufgebracht. Der ElektretfiIm wird durch Einbringen einer stabilen elektrischen Ladung in einen Film aus einem Plastikma-

30terial vor oder nach seiner Aufbringung auf die Elektrode 42 hergestellt. Obgleich das Einbringen der stabilen elektrischen Ladung in den Film nach zahlreichen herkömmlichen Methoden vorgenommen werden kann, wird der Elektretfilm 44 in diesem Ausführungsbeispiel vorzugsweise in Übereinstimrnung mit einem Verfahren, das in US-PS 4,356,049 beschrieben ist, hergestellt.

Das erste Durchgangsloch 52 und das zweite Durchgangsloch

. -13-

58 werden, wie in Fig. 6(d) gezeigt, in der Grundplatte 40 ausgebildet. Das erste Durchgangsloch 52 verläuft durch den Elektretfilm 44, die feststehende Elektrode 42, die Grundplatte 40 und den ersten Anschluß 48. Das zweite Durchgangs-1 och 58 verlauft durch das ringförmige Tragteil 46, die Grundplatte 40' und den zweiten Anschluß 54. Dann werden das erste und das zweite Durchgangsloch 52 bzw. 58 mit der elektrisch leitenden Paste oder dem elektrisch leitenden Kleber gefüllt, um das erste Verbindungselement und das zweite

"IO Verbindungsel ement 50 bzw. 56 zu bilden. Das erste Verbindungselement 50 verbindet die feststehende Elektrode 42. mit dem ersten Anschluß 48, und das zweite Verbindungselement 56 verbindet das ringförmige Tragteil 46 mit dem zweiten Anschluß 54. Nach dem Einfüllen der Paste oder des KIebers in das erste Durchgangsloch 52 und das zweite Durchgangsloch 58 wird die elektrisch leitende Membran 60 an ihrem Umfang an dem ringförmigen Tragteil 46 befestigt. Die Membran 60 wird parallel zu dem Elektretfilm 44 auf der feststehenden Elektrode 42 mit dem zuvor erwähnten Luftspalt zwisehen sich und dem Elektretfilm 44 angeordnet.

Fig. 7 u. Fig. 8 zeigen, wie bereits erläutert, eine modifizierte Ausführungsform des oben beschriebenen Verfahrens für eine Massenherstellung von elektroakustisehen Wandlern gemäß der vorliegenden Erfindung. Fig. 7 u. Fig. 8 zeigen allerdings nur den letzten Schritt der Herstellung von elektroakustischer) Wandlern. Die vorhergehenden Schritte, die in Fig. 7 u. Fig. 8 nicht gezeigt sind, sind gleich denen, die in Fig. 6(a) ... Fig. 6(d) gezeigt sind. Gemäß diesem modifizierten Verfahren wird eine Vielzahl von elektroakustischer) " Wand! ern 90 auf einem einzigen rechteckigen Wafer 92 ausgebildet, der aus einem isolierenden Material, beispielsweise Fiberglas, besteht. Der Wafer 92 liefert eine Vielzahl von Grundplatten-Abschnitten für elektroakustisehe Wandler, die in Längsrichtung und in Querrichtung hinter- bzw. nebeneinander angeordnet sind. Auf jedem dieser Grundplatten-Abschnitte werden eine feststehende Elektrode 42, ein ringförmiges Tragteil 46, erste und zweite Anschlüsse

4ß hivj. t-4 uivj. in Übereinstimmung mit den Herstellungsschritten gftnaß Fig. 6(a) ... Fig. 6(d) gebildet. Dann wird ein einziges rechteckiges Membranblatt 94, das einen Basisfilm 94a aus Plastikmaterial und eine metallische Schicht 94b, die den Basisfilm 94£ bedeckt, aufweist, über die Gesamtheit der Vielzahl der elektroakustischen Wandler 90 gelegt und dann an den betreffenden ringförmigen Tragteilen 46 befestigt. Das Membranblatt 94 wird dann ausgeschnitten,' um Bereiche zu belassen, die den ringförmigen Tragteilen 46

l^'und den feststehenden Elektroden gegenüberstehen, um so die bett off enden Membranen 60 zu bilden. Die elektroakustischen Wandler 90 werden voneinander durch Zonen 96 des rechteckigen Wafers 92 getrennt, welche Zonen 96 durch Perforierungen 98 oder V-förmige Einkerbungen 100 als Sollbruchstellen zum Ausbrechen der elektroakustischen Wandler 90 gebildet sind. Die Perforierungen 98 oder die V-förmigen Einkerbungen 100 können jederzeit vor oder nach dem Aufbringen des Membranblattes 94 hergestellt werden. Die elektroakustischen Wandler 90 werden dann voneinander durch Ausbrechen

TO der Zonen 96 getrennt.

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Claims

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Dipl.-Ing.. H. MITSCHERLI^hI I * ^:..^:«.^: " ^;..' *..' D-MOO MÜNCHEN

Diph-lng. K, GUNSCHMANN St'?insdorfs!rcße10

Dr.rer.nat. W. KÖRBER '^7l' ⁽⁰⁸⁹⁾ *^>9feM DiPL-ItIg-J_-SCHMlDT-EVERS

PATENTANWÄLTE 27.5.1983

DipL-mg- w. ΜθΙζθγ

Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha

72, Horikawa-cho, Saiwai-ku,
Kawasaki-shi, Kanagawa-ken 21 ο Japan

Ansprüche :

1ή Elektroakustischer Wandler mit einer Grundplatte, die aus einem elektrisch isolierenden Material besteht, und mit ei η e r feststehenden Elektrode, die auf einer Seite der Grundplatte ausgebildet ist und aus einem elektrisch leitenden.Material besteht, dadurch g e k e η η ζ e i c h η e t , daß ein ringförmiges Tragteil (46) vorgesehen ist, das auf einer Seite der Grundplatte (40) ausgebildet ist und die feststehende Elektrode (42) umgibt, daß das ringförmige Tragteil (46) aus einem elektrisch leitenden Material hergestellt ist, welches das gleiche wie das elektrisch leitende Material ist, aus dem die feststehende Elektrode (42).hergestellt ist, daß sich das ringförmige Tragteil

(46) hoher als die feststehende Elektrode (42) über die Grundplatte (40) erhebt und daß eine elektrisch leitende Membran (60) vorgesehen ist, die an dem ringförmigen Tragteil (46) befestigt ist und der feststehenden Elektrode (42) gegenübersteht.
2. Elektroakustischer Wandler nach Anspruch 1, dadurch

g e ke η η ζ e i c h η e t , daß die feststehende Elektrode (42) und das ringförmige Tragteil (46) durch Entfernen eines Teils einer elektrisch leitenden Schicht oder einer Metallfolie (82), die auf die betreffende Seite der Grundplatte (40) in dem Bereich der isolierenden Grundplatte (40) aufgebracht ist, unter Belassung der betreffenden Schichtbereiche für die feststehende Elektrode (42) und das ringförmige Tragtei1 (46) gebildet werden.
3. Elektroakustischer Wandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge ke η η ζ e i c h ne t , daß ein erster An-

ξ. * * Λ

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sohluß Mi'.), ⁽'i'i" 'HJf der anderen Seite der Grundplatte (40) ausgebildet ist, vorgesehen ist, welcher erste Anschluß (48) aus einem elektrisch leitenden Material besteht, daß ein erstes Verbindungselement (50) vorgesehen ist, das die feststehende Elektrode (42) mit dem ersten Anschluß (48) verbindet und sich durch die isolierende Grundplatte (40) erstreckt, daß ein zweiter Anschluß (54) vorgesehen ist, der auf der anderen Seite der isolierenden Grundplatte (40) ausgebildet ist, welcher zweite Anschluß (54) aus einem elektrisch leitenden Material hergestellt ist, welches das gleiche wie das elektrisch leitende Material ist, aus dem. der erste Anschluß (48) hergestellt ist, und daß ein zweites Verbindungselement (56) vorgesehen ist, das das ringförmige Tragteil (46) mit dem zweiten Anschluß (54) verbindet.
4. Elektroakustischer Wandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Anschluß (48) und der zweite Anschluß (54) jeweils durch Entfernen eines Teils einer elektrisch leitenden Schicht oder einer Metallfolie (84), die auf die andere Seite der Grundplatte (40) in dem Bereich der isolierenden Grundplatte (40) aufgebracht ist, unter Belassung der betreffenden Schichtbereiche für den ersten Anschluß (48) und den zweiten Anschluß (54) gebildet werden.
5. Elektroakustischer Wandler nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Anschluß (48) und der zweite Anschluß (54) der feststehenden Elektrode (42) bzw. dem ringförmigen Tragteil (46) gegenüberstehen·
6. Elektroakustischer Wandler nach einem der Ansprüche

3 ... 5,dadurch gekennzei chnet ,daßder zweite Anschluß (54) ringförmig ist und den ersten Anschluß (58) umgi bt.
7. Elektroakustischer Wandler nach einem der Ansprüche

3 ... 6, dadurch gekennzei chnet , daß der

* Ct ftl ti i ir P ff

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erste Anschluß (58) und der zweite Anschluß (54) aus -einem elektrisch leitenden Material gebildet sind, welches das gleiche elektrisch leitenden Material ist, aus dem die feststehende Elektrode (42) und das ringförmige Tragteil (46) gebiIdet sind.
8. Elektroakustischer Wandler nach einem der Ansprüche 3 ... 7, dadurch gekennzei chnet , daß ein elektrisch leitendes Gehäuse (62) vorgesehen ist, das auf der isolierenden Grundplatte (40) angebracht ist und die

feststehende Elektrode (42), das ringförmige Tragteil (46) 0*k und die Membran (60) umschließt, und daß das Gehäuse (62) elektrisch mit dem zweiten Anschluß (54) verbunden ist und ein offenes Fenster (66) definiert, welches der Membran

(60) gegenübersteht.
9* Elektroakustischer Wandler nach einem uer Ansprüche 3 ... 8, dadurch g e k en η ζ e i c h η e t , daß das erste bzw. das zweite Verbindungselement (50, 58) jeweils ein erster Leiter bzw. ein zweiter Leiter ist.
10. Elektroakustischer Wandler nach einem der Ansprüche 3 ... 7, dadurch gekennzei chnet,daß das erste elektrische Verbindungselement ein Impedanztranformationselement (70) ist und daß das zweite Verbindungselement ein metallischer Leiter (72) ist.
11. Elektroakustischer Wandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e η η ζ e i c h η e t , daß ein Elektretfilm (44) vorgesehen ist, der auf die feststehende Elektrode (42) aufgebracht ist und von der Membran (60) einen Abstand aufweist.
12. Verfahren zur Herstellung eines elektroakustisehen Wandg₅ Vers, gekennzei chnet durch folgende Schritte:

Bereitstellen eines Rohmaterials (80) für eine Grundplatte, die aus einem elektrisch isolierenden Material mit einer Metallfolie (82), die als ein elektrisch IpHitkIcs Mate-

rial dient, welches auf eine Seite der isolierenden Grundplatte aufgebracht ist, besteht;

Aus.bilden einer feststehenden Elektrode (42) und eines ringförmigen Tragteils (46), welches die feststehende Elektrode (42) auf einer der Seiten der Grundplatte umgibt, durch selektives Entfernen eines Teils der elektrisch leitenden Schicht in dem Bereich der Grundplatte unter Belassung der betreffenden Schichtbereiche für die feststehende Elektrode (42) und das ringförmige Tragteil (46); Verringern der Dicke der feststehenden Elektrode (42) oberhalb der isolierenden Grundplatte (40) verglichen mit der Dicke des ringförmigen Tragteils (46);

Aufbringen einer elektrisch leitenden Membran (60) auf das ringförmige Tragteil (46), so daß diese der feststehenden Elektrode (42) gegenübersteht.
13. Verfahren nach Anspruch-12, gekennzei c h n e t durch folgende Schritte:

Herstellen einer Vielzahl von elektroakustisehen Wandlern (90) auf einer einzigen, eine derartige isolierende Grundplatte bildenden Halbfertigplatte (Wafer) (92), wobei die elektroakustisehen Wandler durch Zonen (96), die Soll- · bruchstellen enthalten, voneinander getrennt sind;

Trennen der Vielzahl von elektroakustisehen Wandlern voneinander durch Brechen der Sol 1bruchstel 1 en, wobei ein Herstellungsschritt aus einem Schritt zum Bilden einer Vielzahl von feststehenden Elektroden (42) und ringförmigen Tragteilen (46) in entsprechenden Bereichen auf der Grundplatte besteht und wobei ein Zusammenbauschritt aus einem Schritt zum Aufbringen eines einzigen Membranblattes (94) auf die Vielzahl von ringförmigen Tragteilen, der zeitlich vor dem Schritt zum Trennen liegt, besteht.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch g e k e η η 35Z e i c h η e t , daß die einzige isolierende, aus einer Halbfertigplatte (Wafer) (92) bestehende Grundplatte eine Metallfolie (84), die als ein elektrisch leitendes Material dient, aufweist, die auf die andere Seite der isolierenden

Ι Grundplatte aufgebracht ist, und daß für das Verfahren vor dem Aufbringen des einzigen Membranblattes (94) folgende Schritte vorgesehen sind:

Bilden einer Vielzahl von ersten Anschhlüssen (48) und zweiten Anschlüssen (54) auf der anderen Seite der isolierenden Grundplatte in den betreffenden Bereichen der Grundplatte für die elektroakustisehen Wandler, wobei der zweite ■Bildungsschritt aus einem selektiven Entfernen von Teilen der elektrisch leitenden Schicht auf der anderen Seite der isolierenden Grundplatte in Bereichen auf der anderen Seite unter Belassung der betreffenden Schichtbereiche für die ersten und zweiten Anschlüsse (48, 54) besteht;

Bilden von ersten und zweiten Durchgangslöchern (52, 58) ■innerhalb-der Bereiche für die betreffenden elektroakustisehen Wandler, wobei die ersten Durchgangslöcher (52) mit ihren jeweiligen Enden von den feststehenden Elektroden (42) bis zu den ersten Anschlüssen (48) in den betreffenden Bereichen für die elektroakustischen Wandler reichen und wobei die zweiten Durchgangslöcher (58) mit ihren jeweiligen Enden von den ringförmigen Tragteilen (46) bis zu den zweiten Anschlüssen (54) in den betreffenden Bereichen für die elektroakustischen Wandler reichen;

elektrisches Verbinden der feststehenden Elektroden (42) und der ringförmigen Tragteile (46) mit den ersten bzw. zweiten Anschlüssen (48 bzw. 54) in den betreffenden Bereichen für die elektroakustischen Wandler durch erste Verbindungselemente (50) bzw. zweite Verbindungselemente (56), die sich durch die ersten bzw. durch die zweiten Durchgangslöcher (52 bzw. 58) erstrecken.
15, Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch g e k e η nz e i c h ne t , daß für die verbindenden Zonen (96) Perforierungen (98) vorgesehen sind.
16. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch g e kennzei chnet , daß für die verbindenden Zonen (96) V-förmige Einkerbungen (100) vorgesehen sind.