DE3345050A1

DE3345050A1 - Verfahren zum umweltfreundlichen aetzen von leiterplatten und vorrichtung zur ausuebung des arbeitsverfahrens

Info

Publication number: DE3345050A1
Application number: DE19833345050
Authority: DE
Inventors: Walter 7758 Meersburg Holzer
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1983-12-13
Filing date: 1983-12-13
Publication date: 1985-06-20
Also published as: US4595451A; EP0146798B1; DE3345050C2; JPH0573831B2; DE3481848D1; AU573770B2; JPS61143583A; EP0146798A2; AU3664584A; CA1227111A; EP0146798A3; ATE51648T1

Description

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Verfahren zum umweltfreundlichen Ätzen von Leiterplatten und Vorrichtung zur Ausübung des Arbeitsverfahrens.

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ätzen von Leiterplatten.

Die bisherigen Verfahren mit Sprühätzen sind aufwendig und teuer und daher für Kleinanlagen nicht geeignet.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren mit der entsprechenden Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens zu entwickeln., welches sowohl einwandfrei ätzt, und durch eine einwandfreie Regenerierung dafür sorgt, daß Umweltprobleme, die durch das Wegschütten von Ätzlösung entstehen, vermieden werden. Insbesondere ist es Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und die Vorrichtung so auszubilden, daß man Kleinanlagen erstellen kann, wobei wiederum die umweltfreundliche Regenerierung der Ätzlösung durch Abscheiden des geätzten Kupfers möglich sein muß. Es ist auch Aufgabe der Erfindung, Verfahren und Vorrichtung so auszubilden, daß auch dem Nicht-Fachmann ein betriebssicheres und umweltfreundliches Tauchverfahren an die Hand gegeben wird, welches durch Wegfallen aller Bewegungs-Elemente größte Störungsfreiheit sichert, und die Umweltfreundlichkeit von vornherein dadurch gegeben ist, daß nur geschlossene Kreisläufe vorhanden sind.

Derartige Verfahren und Vorrichtungen kann man z.B. dem NichtFachmann in Elektrogeschäften anbieten, wo z.B. Bastler Leiterplatten entsprechend ihren Vorstellungen und Schaltungen sofort ätzen lassen können.

Die Lösung der Aufgabe nach der Erfindung besteht darin, daß in einem Tauchbehälter der Ätzlösung kinetische Energie, z.B. durch Verwirbelung mittels einer Umwälzpumpe, zugeführt wird.

Um aber beim Tauchätzen eine bessere Intensität, vergleichbar mit dem Sprühätzen zu erreichen/ wird der Ätzlösung kinetische Energie zugeführt, so daß sie gegen die Leiterplatte prallt um dort entsprechend rasch und sicher das Ätzzen durchzuführen.

Wesentlich ist, daß die Ätzlösung regenerierbar ist und das abgeätzte Kupfer in einer Elektrolysezelle abgeschieden wird, um eine Umweltbelastung durch Abfallstoffe zu vermeiden. Da beim Regenerieren einer ammoniakalischen Ätzlösung Sauerstoff und Ammoniak benötigt wird, welches andererseits bei der Elektrolyse anfällt, werden diese beiden entstehenden Gase oberhalb des Flüssigkeitsspiegel aus der Elektrolysezelle abgesaugt und über eine Wasserstrahlpumpe ( Injektor) der Ätzlösung zugeführt, wobei die innige Vermischung der Gase mit dem Ätzmittel in der Wasserstrahlpumpe für eine beschleunigte Regenerierung sorgt.

Um eine kontinuierliche Benutzung der Ätzanlage zu ermöglichen, ist es wichtig, daß die Kupferabscheidungskapazität der Elektrolysezelle höher liegt als die Abatzungskapazität des Ätzbehälters, um eine Überreicherung des Ätzmittels mit Kupfer zu vermeiden. Es soll daher mehr Kupfer abgeschieden werden können als im Ätzbehälter dem Ätzmittel zugeführt wird.

Um andererseits eine zu starke Abreicherung des Kupfergehalts zu vermeiden ist es wichtig, daß bei Erreichen eines vorwählbaren minimalen Kupfergehalts pro Liter Ätzlösung die Elektrolysezelle abgeschaltet und bei einem darüber liegenden Wert wieder eingeschaltet wird.

Dies erreicht man erfindungsgemäß in einfacher Weise dadurch, daß von einem Schwimmer, der als Sensor ausgebildet ist, die Wichte der Ätzlösung überwacht wird, so daß bei Erreichen eines unteren Grenzwertes der Wichte der Ätzlösung, ein mit dem Schwimmer verbundener Kontakt die Elektrolysezelle abschaltet. Sowohl für die Messung der Wichte als auch für eine gleichmässige Zuführung der Ätzlösung indie Elektrolysezelle wird vorgeschlagen, eine Beruhigungszone im Ätzmittelkreislauf vorzusehen, die nicht durch die intensive Durchströmung des Ätzmittels erreicht wird.

Eine weitere Erfindung besteht in dem Verfahren, welches unabhängig von der Art wie z.B. das Kupfer von den Leiterplatten abgeätzt wird, darin, eine kontinuierliche, dosierte Zuführung von Elektrolyt (Ätzmittel) durch die Elektrolysezelle, ohne Pumpe oder sonstige Dosierungsmittel, zu erreichen.

Einebesonders einfache Ausführung zur Ausübung des Verfahrens bestehtdarin einen Ätzbehälters mit Elektrolysezelle als kommunizierende Gefasse auszubilden.

Die erfindungsgemäße Lösung ist ein gemeinsamer Behälter, der durcfe eine Trennwand in Ätzkammer und Elektrolysezelle geteilt ist, wobei diese Trennwand noch andere Aufgaben übernehmen kann. Die Trennwand kann erfindungsgemäß aus dem ohnehin erforderlichen•Anodenblech der Elektrolysezelle gebildet werden, das entsprechende Verbindungsöffnungen besitzt. Erfindungsgemäß werden im unteren Teil der Trennwand (Anodenblech) öffnungen vorgesehen, die das Zuströmen von.Ätzmittel in die Elektrolysezelle gestatten. Im oberen Bereich der Trennwand (Anodenblech) aber noch unterhalb des Flüssigkeitsspiegel, sind ebenfalls öffnungen vorhanden, welche das Zurückströmen des Ätzmittels aus der Elektrolysezelle in den Ätzbehälter ermöglichen.

Diese Anordnung führt zu einer kontinuierlichen langsamen Umwälzung des Ätzmittels durch die Elektrolysezelle, wo das Kupfer an der Kathode abgelagert wird. Die Strömung entsteht einerseits durch die Gasblasen, die sich bei der chemischen Reaktion bilden (z.B. Sauerstoff und Ammoniak) und andererseits durch die Thermo-Strömung, da der Elektrolysezelle der zum Abscheiden des Kupfers erforderliche Strom beträchtlicher Intensität zugeführt wird. Unterstützt wird die Strömung durch die Verringerung des Kupfergehalts durch Ablagerung an der Kathode und der daraus resultierenden Verringerung des spezifischen Gewichtes des Elektrolyts.·

Diese erfindungsgemässe Anordnung ist nicht nur ausserordentlich einfach und wirksam, sie macht die Verwendung von Elektrolytpumpen oder andere Umwälzmittel entbehrlich. ■

Bird das Anodenblech als einschiebbare Trennwand ausgebildet, ist es möglich, durch Größe und Anordnung der Verbindungslöcher die Intensität der Strömung den optimalen Bedingungen anzupassen, und sogar durch Auswechseln der Anodenbleche mit verschiedenen Loch- Größen, die Durchflutung der Elektrolysezelle optimal an die Betriebsverhältnisse der Anlage anzupassen.

Da für das Spülen der geätzten Leiterplatten ähnliche Gesichtspunktegelten wie beim Ätzen, nämlich ein intensives Einwirken der Spülflüssigkeit auf die Oberfläche der Leiterplatten wird vorgeschlagen , auch im Spülbehälter der Spülflüssigkeit kinetische Energie mittels einer Umlaufpumpe zuzfuhren.

Ebenso ist es erforderlich, den Spülkreis als ein geschlossenes System aufzubauen, um das Ableiten von verunreinigten Spülflüssigkeiten nach aussen zu vermeiden.

Daher wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, in den Spülkreislauf einen oder mehrer Ionenaustauscher vorzusehen, welche verschleppte Kupferreste oder Ammoniak aus der Spülflüssigkeit binden. Da es sich auch in diesem Fall um ein geschlossenes System handelt, genügt eine dauernde Abreicherung der verschleppten Schadstoffe und es wird vorgeschlagen, die Ionenaustauscher im drucklosen Rücklauf des Spülmittels zur Pumpe anzuordnen. Zweckmässigerweise werden die ionenaustauscher als Kassetten ausgebildet, die in Kammern des Spülbehälters eingelegt werden, wobei das überschüssige Spülmittel, das im freien Durchlauf nicht durch die Kassetten fliessen kann, direkt zum Rücklauf zur Pumpe gelangt. Damit erübrigt sich auch ein Anschliessen oder Abdichten der Ionenaustauscher in den Kammern des Spülbehälters.

Erfindungsgemäß wird auch vorgeschlagen, dem Flüssigkeitsstand des; Spülmittels ständig über der Zulauföffnung der Ionenaustauscher zu halten. Dies verhindert in erster Lilnie ein Austrocknen der Ionenaustauscherharze bei Stillstand der Anlage.

Eine weitere Verbesserung besteht darin, dass bei abgeschalteter Pumpe der Flüssigkeitsstand im Spülbehälter sich derart einstellt, dass das Ionenaustauscherharz immer von der. Flüssigkeit bedeckt ist. Bei eingeschalteter Pumpe wird der eigentliche Spülbehälter gefüllt und Spülflüssigkeit aus der den Ionenaustauscher umgebenden Kammer abgepumpt. Da die Spülflüssigkeit oben in den Ionenaustauscher eintritt, ergibt sich eine Niveaudifferenz die ein Durchströmen des Ionenaustauschers begünstigt.

Erfindungsgemäß wird ferner empfohlen, die Ionenaustauscher-Kassetten zumindestens teilweise transparent auszuführen und ein Ionenaustauschermaterial zu verwenden, welche bei Sättigung einen Farbumschlag zeigt.

Um ein handliches Gerät in kostensparender zweckmässiger Ausführung zu erhalten, wird ferner.vorgeschlagen, alle Vorrichtungen wie Ätzkammer, Elektrolysezelle, Spülkammer mit Ionenaustauscher und Pumpen einschließlich Stromversorgung für die Elektrolysezelle in einem gemeinsamen Behälter unterzubringen.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Figur 1 dargestellt. Dabei gehen.aus der Zeichnung und der Beschreibung hierfür weitere Erfindungsmerkmale hervor.

In der Zeichnung Figur 1 ist schematisch eine Umwälzpumpe (1) dargestellt, deren Druckseite (13) über einen Injektor (14) in einer Düse (9) 9 mündet. Die Düse (9) ist im Ätz- bzw. Tauchbehälter (5) angeordnet, die Ätzflüssgkeit wird durch diese Düse (9.) so so gegen die Oberfläche einer Leiterplatte (2) geschleudert, daß eine gewisse kinetische Energie den Ätzvorgang unterstützt. Der Injektor (14) hat eine Verbindung von seiner Saugseite (15) über ein Saugrohr (16) zu einer Ansaugöffnung (17), die über dem Flüssigkeitsspiegel (4) einer Elektrolysezelle (3) mündet. Dadurch wird bei der Regenerierung freiwerdender Sauerstoff und Ammoniak der Ätzlösung gut gemischt zugeführt so dass die Ätzlösung mit optimal regenerierter Wirkung mit kinetischer Energie gegen die Oberfläche der Leiterplatte (2) ge-

Figur 1 zeigt überdies wie einfach es ist, alle notwendigen Bauelemente einer derartigen Ätzanlage in einem gemeinsamen Behälter (4o) unterzubringen, der von einem Deckel (2o) abgeschlossen wird.

In dem gleichen Behälter (4o) kann auch der Schaltschrank (21) angeordnet werden, der alle elektrischen Bauteile enthält, so z.B. auch die beiden Zeitschalter (28) für die zeitlich begrenzte Einschaltung der Umwälzpumpe (1) und der Umwälzpumpe (29). Der Schaltschrank (21) enthält auch.entsprechende Transformatoren und Gleichrichter um die Elektrolysezelle mit Strom zu versorgen. Dabei wird die Anode (8) an Plus gelegt und die Kathode (31) an Minus.

Um die Abscheidung des Kupfers aus dem Elektrolyt bzw. der Ätzlösung nicht unter einen unteren Grenzwert absinken zu lassen, sorgt ein Sensor (18) für eine automatische Kontrolle der fliehte des Elektrolyten. Im Beispiel Figur 1 ist der Sensor (18) als Schwimmer ausgebildet, der über ein Gestänge direkt den Kontakt (19) betätigt, der zweckmäßigerweise z.B. als Magnetschalter ausgebildet ist. Sobald die Dichte des Elektrolytes durch Abscheidung des Kupfers einen unteren Wert erreicht, sinkt der Schwimmer (18) ab, der Kontakt (19) öffnet und unterbricht die Stromversorgung zur Elektrolysezelle.

Dabei ist wichtig, daß der Schwimmer nicht durch die turbulenten Strömungen im Ätzbehälter (5) in seiner Funktion gestört wird. Dies wird in dem Ausführungsbeispiel dadurch erreicht, daß die Ansaugöffnung des Rohres (34), durch die der Elektrolyt zur Pumpe (1) zurückfliesst, nicht im Boden sondern darüber angeordnet wird. Dadurch entsteht um das Rohr (34) eine Beruhigungszone (22) die auch hilft die Elektrolytströmung durch die Elektro lysezelle durch die öffnungen (7) zu beruhigen.

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schleudert wird, in der Elektrolysezelle (3) ist die Anode (8) (als Trennwand zwischen Ätzbehälter (5) und der Elektrolysezelle (3) dargestellt) und die Kathode (31) angeordnet, die in bekannter Weise der Abscheidung des abgeätzten Kupfers dient. Die Anode (31) kann herausnehmbar in Pfeilrichtung (32) ausgebildet sein, um bei längerem Nichtgebrauch das Abätzen des bereits abgeschiedenen Kupfers zu vermeiden, bzw. das abgeschiedene Kupfer abzunehmen.

Um die Leiterplatte (2.) in Halterung (3o) abzuätzen, genügt es, sie in den Schlitz (25) einzusetzen und einen der Zeitschalter (28) einzuschalten.

NachBeendigung des Ätzvorganges wird die Halterung (3o) mit der Leiterplatte (2) in die Spülkammer (12) durch den Schlitz (27) eingeschoben. Auch hier sorgt eine Umwälzpumpe (29) mit ihrer Druckleitung (35) und Düsen (9) für eine turbulente Durchströmung des Spülbehälters. Der Rückfluß der Spülflüssigkeit erfolgt durch die beiden Kammern (11) mit ihren drucklosen Rückläufen (36) zur Pumpe (29).

In die Kammern (11) kann man Ionenaustauscher-Kassetten (37) einsetzen, die von der rücklaufenden Spülflüssigkeit durchströmt werden. Dabei tritt die Spülflüssigkeit oben in die Zulauföffnung (38) in die Ionenaustauscher-Kassette (37) ein, durchströmt dabei das Ionenaustauschermaterial (39) und gelangt durch den Auslauf (33) wieder zum Rücklauf (36) der Pumpe (29). Die Ionenaustauscher-Kassetten (37) können leicht aus den Kammern (11) herausgenommen werden um das Ionenaustauscher-Material (39) nach erfolgter Sättigung des Materials regenerieren zu lassen.

Auch beim Spülen ist ein umweltfreundlicher, geschlossener Kreislauf realisiert, bei dem keine schädlichen Abwasser nach Aussen gelangen.

Für eine einwandfreie und bessere Funktion der Ionenaustauscher-Kassetten wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, im Ruhezustand, das heisst bei abgeschalteter Umwälzpumpe (29) das Ruheniveau (44) so zu wählen, das gerade noch die Ionenaustauschermasse (39) in den Ionenaustauscher-Kassetten (37) von der Flüssigkeit bedeckt ist. Figur 2 zeigt diesen Ruhezustand.

Figur 3 zeigt den Zustand der Spülkammer (12) bei eingeschalteter Pumpe (29). In diesem Fall steigt das Niveau bis zum Überlauf-Niveau (42) an und die Spülflüssigkeit strömt in die Zulauföffnungen (38) der Ionenaustauscher-Kassetten (37). Dabei wird durchden drucklosen Rücklauf (36) das Wasser in den Kammern (11) z.B. bis auf das Rücklauf-Niveau (43) absinken. Dadurch ergibt sich eine Druckdifferenz von der Höhe des Zulaufs (38) bis zum !Rücklauf -Niveau (43) der die Durchströmung der Ionenaustauscher-Kassetten bestimmt. Dabei verhindern die Trennwände

(41) einen Flüssigkeitsausgleich zwischen dem Oberlauf-Niveau

(42) und dem Niveau (43) in den Kammern (11).

überschüssige Spülflüssigkeit kann, soweit sie nicht die Ionenaustauscher-Kassetten durchströmt, über die Zuläufe (38) direkt in die Zwischenräume der Kammern (11) und den Ionenaustauscher-Kassetten (37) auslaufen.

Claims

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PATENTANSPRÜCHE

"Verfahren zum Ätzen z.B. von Leiterplatten"

./Verfahren zum Ätzen z.B. von Leiterplatten durch Tauchen in einen Behälter mit Ätzlösung, dadurch gekennzeichnet daß der Ätzlösung kinetische Energie, z.B. durch Verwirbelung mittels einer Umwälzpumpe (1), zugeführt wird.
2. Verfahren zum Ätzen z.B. von Leiterplatten durch Tauchen in eine Ätzlösung, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzlösung regenerierbar ist und das abgeätzte Kupfer in einer Elektrolysezelle (3) abgeschieden wird.
3. Verfahren zum Ätzen z.B. von Leiterplatten, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrolysezelle (3) mit dem Ätzbehälter (5) z.B. inArt kommunizierender Behälter derart verbunden ist, daß durch die in der Elektrolysezelle (3) auftretende thermodynamische Strömung (in Pfeilrichtung 26 - 23), diese gegebenenfalls unterstützt durch die im Elektrolyt aufsteigenden Gasblasen und zusätzlich durch die Verringerung des spezifischen Gewichts des Elektrolyts zufolge der Kupferabreicherung, ein Strömungskreislauf (26-23) des Elektrolyten entsteht, der so gerichtet ist, daß er unten, z.B. durch die öffnung (7) , aus dem Äjtz^eiiäJLter_454-^ie3cfcro^

(3) zuführt, der oben z.B. durch eine Rückflußöffnung (24) wieder in den Ätzbehälter (5) zurückkehrt.
4. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der in derElektrolysezelle (3) entstehende Sauerstoff und/oder das gasförmige Ammoniak oberhalb des Flüssigkeit sspiegels (4) abgesaugt und der Ätzlösung zur Regenerierung zugeführt wird.
5. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 1, und/oder 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß im Flüssigkeitskreislauf der Ätzlösung auf der Druckseite der Umwälzpumpe (1) eine Wasserstrahlpumpe (14) (Injektor) angeordnet ist, deren Saugseite (15)mit einem Saugrohr (16) verbunden ist mit einer Ansaugöffnung (17), die über dem Flüssigkeitsspiegel (4) der Ätzlauge angeordnet ist.
6. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die von der Umwälzpumpe (1) in den Ätzbehälter (5) geförderte Ätzlösung Düsen (9) durchströmt, die die ausströmende Flüssigkeit besonders stark verwirbeln.
7. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kupfer-Abscheidungs-Kapazität der Elektrolysezelle (3) höher liegt als die mittlere Abätzungs-Kapazität des Tauchbehälters (5) .
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 6,, dadurch gekennzeichnet, daß bei Erreichen eines vorwählbaren minimalen Kupfergehaltes pro Liter Ätzlösung die Elektrolysezelle (3) abgeschaltet und bei einem darüber liegenden Wert wieder eingeschaltet wird.
9. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein den Kupfergehalt der Ätzlauge messender Sensor (18) mit einem die Kupferabscheidung aus- und ein-schaltendem Schalter (19) verbunden ist.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Beruhigungszone (22) im Strömungsumlauf vorhanden ist, in welcher z.B. ein Sensor (18) (z.B. ein Schwimmer) angeordnet ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 1o, dadurch gekennzeichnet, daß Durchflußöffnungen (7) zur Elektrolysezelle im Bereich der Beruhigungszone (22) angeordnet sind.
12. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 1

bis 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ätzbehälter (5) und die Elektrolysezelle (3) nach Art kommunizierender Röhren miteinander verbunden sind.
13. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 2 dadurch gekennzeichnet, daß Ätzbehalter (5) und Elektrolysezelle (3) aus einer gemeinsamen Kammer bestehen, die durch eine Trennwand (8) mit Durchflußöffnungen (7) geteilt ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Anodenblech als.Trennwand (8) ausgebildet ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Dürchflußöffnungen (7) als Drosselstrecken ausgebildet sind.
16. Vorrichtung nach Anspruch 11 bis 13 dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungen (7) in der Trennwand am unteren Ende im Bereich der Beruhingungszone (22) und die Öffnungen (24) am oberen Ende knapp unter dem Flüssigkeitsspiegel (4) liegen, so daß sich in der Elektrolysezelle (3) unter dem Einfluß der entstehenden Gasblasen bzw. der zugeführten elektrischen Energie eine UmlaufStrömung (2 6-23) ausbildet.
17ο Vorrichtung nach Anspruch 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das als Trennwand (8) dienende Anodenblech ausgewechselt werden kann, wobei die verschiedenen Bleche verschiedene Durchflußöffnungen (7) besitzen.
18. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß auch dem Spülbehälter (12), bzw. der Spülflüssigkeit, kinetische Energie mittels einer Umlaufpumpe (29) zugeführt wird.

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19. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß im drucklosen Rücklauf (36) des Spülmittels zur Pumpe (29) ein oder mehrere Ionenaustauscher (37) z.B. Anionen und/oder Kationenaustauscher angeordnet sind.
20. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenaustauscher (37) als Kassetten ausgebildet sind, diein Kammern des Spülbehälters (12) eingelegt werden.
21. Vorrichtung nach Anspruch 16 und 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsstand (4) des Spülmittels auch bei abgeschalteter Pumpe (29) ständig über der ZulaufÖffnung (38) der Ionenaustauscher (37) steht.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Volumina vom Spülbehälter (12), bzw. Ionenaustauscher (39), bzw. der Rücksaugleitung (36) und anderer Zwischenräume vor der Rücksaugleitung (36) so bemessen sind, daß beim Einschalten der Pumpe (29) der Flüssigkeitsspiegel (4) in den Kammern (11) unter den Flüssigkeitsspiegel der Zulaufe (38) zu den Ionenaustauschern (39) absinkt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenaustauscher-Kassetten (37) zumindest teilweise transparent sind und ein Ionenaustauschermaterial (39) verwendet wird, welches bei Sättigung einen Farbumschlag zeigt.
24. Vorrichtung nach Ansprüchen 1 bis 2o, dadurch gekennezichnet, daß alle Vorrichtungen wie Ätzkammer (5), Elektrolysezelle (3), Spülkammer (12) mit Ionenaustauscher (37) und Pumpen (1 und 29) einschl. Stromversorgung (21) für die Elektrolysezelle (3) in einem gemeinsamen Behälter (4o) untergebracht sind.