DE3128099A1 - Verfahren zur herstellung von verdampfertiegeln - Google Patents
Verfahren zur herstellung von verdampfertiegelnInfo
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Description
a) Titel der Erfindung
Verfahren zur Herstellung von Verdampfertiegeln
b) Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Verdampfertiegeln, insbesondere von keramischen Tiegeln,
vorzugsweise für Elektronenstrahlbedampfungsanlagen,
c). Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
Verdampfertiegel sind unter anderem in Anlagen erforderlich,
in welchen im Hochvakuum kontinuierlich durchlaufender Bandstahl mit einer dünnen Schicht eines anderen Metalls mit
Hilfe von Elektronenstrahlen bedampft wird, um bessere Korrosionseigenschaften des Bandstahles zu erreichen· Es
sind mehrere Verdampfertiegel aus unterschiedlichsten Materialien, wie bäspielsweise Kupfer, G-raphit oder keramische
Werkstoffe bekannt«
Keramische Tiegel aus Edelkround (WP 77 385) sind in der
Herstellung relativ billig und chemisch bestens geeignet, um z.B. Aluminium zu verdampfen. Das betreffende Verdampfungsgefäß
wird im Stampfverfahren gefertigt oder in Abhängigkeit von den eingesetzten Bindemitteln auch durch
Gießen, Rütteln oder Pressen geformt und vor der Verwendung getrocknet oder getrocknet und gebrannt.
Die Tiegel haben den Nachteil, daß sie bei großen Temperaturänderungen etwa bei 1500 K / 30 min reißen und nachfolgend
im Betrieb das flüssige Aluminium ausläuft. Eine derartige Temperaturänderung tritt bei Inbetriebnahme einer
Anlage an dem Verdampfertiegel auf. Die Standzeit derartiger Tiegel beträgt 15 bis 30 h.
a) Ziel der Erfindung
Das Ziel der Erfindung ist es, die Standzeit der Verdampfertiegel
und damit die Leistungsfähigkeit einer kompletten Anlage zu erhöhen.
e) Darlegung des Wesens der Erfindung
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung
von Verdampfertiegeln zu schaffen, bei welchem zwischen dem Tiegeleinsatz und der Tiegelmanschette eine wärmeisolierende
Zwischenschicht eingestampft und der komplette Tiegel so
vorbehandelt wird, daß eine unter Betriebsbedingungen bei
hohen Temperaturen an dem Einsatz genau angepaßte und festsitzende
Manschette zur Erhaltung der mechanischen Festigkeit desselben erzielt wird.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der Verdampfertiegeleinsatz in einer Tiegelmanschette aus temperaturbeständigem
und nicht magnetischem Stahl gesetzt und am Boden und den Seitenwänden mit flüssigem Feuerbeton hinterfüttert
wird« Eine derartige Verfahrensweise widerspricht zwar den allgemeinen theoretischen Erkenntnissen über die
Herstellung von Verdampfertiegeln, da die Tiegeleinsätze
bei ca, 2200 K gebrannt werden und danach nicht mehr mit Feuchtigkeit in Berührung kommen sollen. Die erfindungagemäßen
weiteren Behandlungsschritte des komplettierten Tiegels korrigieren derartige Ansichten.
lach dem Hinterfüttern des Tiegeleinsatzes wird der komplettierte Tiegel an der Luft getrocknet und nachfolgend
in einem Ausheizofen langsam in einem periodischen Aufheizregime auf 1200 K erwärmt und gebrannt und bei einer Temperatur*=:
1000 K im Aufheizofen belassen. .
f) Ausführungsbeispiel
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel
näher erläutert werden.
Nachdem der Verdampfertiegeleinsatz in die Tiegelmanschette gesetzt und am Boden und den Seitenwänden mit einer Hinterfütterung
aus flüssigem Feuerbeton als mechanisch stabili-
sierend wirkende und wärmeisolierende Masse, dessen Temperaturbeständigkeit
bei ca. 1500 - 1600 K liegt, versehen wurde, wird der komplettierte Tiegel 150 - 200 h an der
Luft unter relativ hoher und langsam abnehmender Luftfeuchtigkeit getrocknet. Nach dieser Behandlungsstufe schließt
sich in einem Ausheizofen die thermische Behandlung des Tiegels an. In einem periodischen Aufheizregime wird er
bis zu einer Temperatur von 1200 K erwärmt und gebrannt. Die periodischen Brennstufen haben jeweils eine Haltezeit
von 40 - 60 h. Each dem Abschluß des Brennvorganges bei 1200 K wird die Temperatur im Ausheizofen auf einen Wert
unter 1000 K gesenkt und der fertig gebrannte Tiegel verbleibt im Ofen..
Der nach dieser Technologie behandelte Yerdampfertiegel kann sofort in der Produktion eingesetzt werden, ohne daß
Kocherscheinungen, Gasausbrüche oder chemische Reaktionen während der Bedampfung auftreten. Die Standzeiten der nach
diesem Verfahren hergestellten Tiegel betragen 300 - 600 h.
Claims (3)
1. Verfahren zur Herstellung von Verdampfertiegeln, bestehend
aus einem Tiegeleinsatz, einer wärmeisolierenden Masse und einer Ummantelung aus temperaturbeständigem und nicht magnetischem
Stahl, wobei die wärmeisolierende Masse zwischen
Tiegeleinsatz und der Ummantelung eingestampft und der Tiegel anschließend getrocknet und gebrannt wird, dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen der Tiegelmanschette und dem Verdampfertiegeleinsatz dieser mit flüssigem Feuerbeton
hinterfüttert, anschließend der komplettierte Tiegel an der Luft getrocknet und danach im Ausheizofen langsam in einem
periodischen Aufheizregime auf 1200 K erwärmt und gebrannt und bei einer Temperatur-=: 1000 K im Ofen belassen wird.
2. Verfahren zur Herstellung von Verdampfertigeln nach Punkt
1, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Hinterfütterung der komplettierte Tiegel 150 - 200 h an der Luft unter relativ
hoher und langsam abnehmender Luftfeuchtigkeit getrocknet
wird·
3. Verfahren zur Herstellung von Verdampfertiegeln nach Funkt
T und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das periodische Aufheizreg<-ime
Haltestufen von 40 - 60 h Dauer aufweist.
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