DE3125449C2

DE3125449C2 -

Info

Publication number: DE3125449C2
Application number: DE19813125449
Authority: DE
Inventors: Klaus Dipl.-Phys. Dr. 6104 Seeheim-Jugenheim De Blasche; Wolf-Dieter Dipl.-Phys. Dr. 6905 Schriesheim De Weiss
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1981-06-27
Filing date: 1981-06-27
Publication date: 1990-04-19
Also published as: DE3125449A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur steuerbaren Abbildung eines Lichtstrahles auf eine Bildebene mit zwei beweglichen Spiegeln, deren Antriebseinrichtungen mit Steuerspannungen gesteuert werden. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Anordnung zur steuerbaren Abbildung eines Lichtstrahles auf eine Bildebene, mit zwei beweglichen Spiegeln und einer Steuerschaltung, die den Antriebseinrichtungen Spiegelsteuerspannungen bereitstellt.

Verfahren und Anordnungen der genannten Art sind beispielsweise in Zusammenhang mit Einrichtungen zur Bestückung von Schaltungen oder Leiterplatten, sogenannten Bestückungstischen aus der DE-PS 27 51 651 bekannt. Ein Lichtstrahl, vorzugsweise ein Laserstrahl, wird bei einem solchen Bestückungstisch unter Steuerung von zwei beweglichen Spiegeln, auch Schwingspiegel genannt, auf einen bestimmten Punkt in einer Bildebene gerichtet, um der Person, die die Bestückung vornimmt, die Stelle in der Schaltungsanordnung bzw. auf der Leiterplatte zu bezeichnen, an der ein Bauelement als nächstes eingesetzt oder eine sonstie Maßnahme getroffen werden soll.

Bei dem bekannten Verfahren und Anordnungen dieser Art wird eine als Prototyp vorliegende Schaltungsanordnung oder Leiterplatte verwendet, die in der Bildebene an einer definierten Stelle angeordnet ist. Nach Ablenken des Lichtstrahles auf die gewünschten Stellen in der Schaltung oder auf der Leiterplatte in der gewünschten Reihenfolge werden die Winkel bzw. Koordinatenwerte oder sonstige Daten gespeichert, um diese dann für die Steuern der Antriebseinrichtungen der Schwingspiegel bei der Bestückung der nachfolgenden Leiterplatten zu verwenden.

Bei diesem bekannten Verfahren bzw. bei dieser bekannten Anordnung muß die zu bestückende Schaltungsanordnung oder Leiterplatte genau an der Stelle in der Bildebene liegen, in der auch die als Prototyp dienende Schaltungsanordnung oder Leiterplatte bei der Ermittlung der Ablenkwinkel bzw. Ablenkdaten für die Schwingspiegel gelegen hat. Es ist insbesondere nicht möglich, für einen Prototyp die Ablenkdaten für die Schwingspiegel zu ermitteln und davon dann weitere Daten und Ablenkwinkel zu erhalten, um mehrere nebeneinanderliegende Schaltungsanordnungen oder Leiterplatten unter Verwendung der entsprechenden Lichtstrahlkennzeichnung gleichzeitig zu bestücken. Ein sehr wesentlicher Nachteil der bekannten Verfahren und der bekannten Vorrichtungen besteht insbesondere auch darin, daß immer ein Prototyp für die Eingabe der Ablenkwinkel oder entsprechender Daten vorliegen muß; es ist nicht möglich, lediglich Koordinatenwerte der Steuerschaltung einzugeben, aus denen dann die dazu erforderlichen Ablenkwinkel bzw. Steuerspannungen für die Lichtstrahlabbildung auf die Bildebene ermittelt werden.

Aus der DE-OS 28 28 145 ist weiterhin ein Verfahren oder eine Vorrichtung zur steuerbaren Abbildung von Lichtstrahlen auf eine Bildebene mit Hilfe von zwei beweglichen Spiegeln bekannt. Die Antriebseinrichtungen für die beiden beweglichen Spiegel werden jedoch nicht mit Steuerspannungen gesteuert.

Ausgehend von der eingangs genannten Anordnung liegt der vorliegenden Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Anordnung zur steuerbaren Abbildung eines Lichtstrahls auf eine Bildebene mit zwei beweglichen Spiegeln zu schaffen, das oder die eine fehlerfreie Abbildung eines Lichtstrahls ermöglicht, wenn die Steuerschaltung für die beweglichen Spiegel lediglich Daten zum Beispiel Koordinatenwerte oder Ablenkwinkel eingegeben werden.

Diese Aufgabe wird in bezug auf das Verfahren mit den Maßnahmen nach Anspruch 1 gelöst.

Durch die gleichzeitige Berücksichtigung bzw. Korrektur geometrischer Abbildungsfehler bei der Strahlablenkung über zwei Spiegel und der Eliminierung einer asymetrischen Schwingspiegelauslenkung bei gleichem Absolutwert aber unterschiedlichem Vorzeichen, d. h. durch Korrektur der Rechts-/ Links- und Oben-/Unten-Asymmetrie unter gleichzeitiger Berücksichtigung von Temperatureinflüssen im Schwingspiegelsystem und/oder in der Verstärkung der Steuerspannungen wird eine fehlerfreie Abbildung eines Lichtstrahls mittels zweier Spiegel bei Vorliegen rein numerischer Ablenkdaten ermöglicht, die beispielsweise in Form von Koordinaten- und/oder Winkelwerten der Steuerschaltung eingegeben werden. Die vorliegende Erfindung befreit den Benutzer von der Notwendigkeit, die Ablenkdaten empirisch für die jeweilige Anordnung, beispielsweise anhand von Prototypen zu ermitteln.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt auch in der Tatsache, daß die Ablenkung des Lichtstrahls reproduzierbar ist und nicht von Anordnung zu Anordnung Unterschiede aufweist. Die Ablenkdaten können also schnell und mit geringem Aufwand geändert werden, ohne daß Vorlagen wie bei den bekannten Einrichtungen vorhanden sein und ausgemessen oder abgetastet werden müssen.

Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Anordnung können auf verschiedenen Gebieten eingesetzt werden. Besonders vorteilhaft ist die Verwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens und der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Zusammenhang mit den bereits erwähnten Bestückungstischen. Durch das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung, die eine stabile, symmetrische und bildfehlerfreie Ablenkung bzw. Darstellung in der Bildebene ermöglicht, ist die gleichzeitige Bestückung von mehreren nebeneinander in der Bildebene liegenden Leiterplatten oder Schaltungsanordnungen möglich. Denn lediglich durch Eingabe der Koordinaten- und/oder Ablenkungswinkelwerte von zu bezeichnenden Stellen auf den zu bestückenden Leiterplatten läßt sich die Kennzeichnung der einzelnen Stellen oder Bereiche auf den verschiedenen nebeneinander liegenden Leiterplatten in der gewünschten Reihenfolge durchführen, ohne daß zuvor dieselbe Anzahl von Leiterplatten oder deren zu kennzeichnenden Punkte oder Bereiche in der Bildebene abgetastet und die Ablenkwerte empirisch bestimmt werden müssen. Bei Kenntnis der Koordinatenwerte von zu kennzeichnenden Stellen einer Leiterplatte lassen sich rein rechnerisch die Koordinaten- oder Ablenkungswerte für die anderen daneben liegenden Leiterplatten ohne empirische Abtastung ermitteln, wenn die einzelnen Leiterplatten zueinander in einer vorgegebenen Weise ausgerichtet oder angeordnet sind. Die gleichzeitige Bestückung von mehreren Schaltungsanordnungen oder Leiterplatten in einem Arbeitsgang ist insbesondere deshalb so vorteilhaft, weil die die Bestückung vornehmende Person für mehrere Leiterplatten gleichzeitig jeweils gleiche Bauteile verarbeiten kann. Dadurch ergibt sich ein höherer Wirkungsgrad und eine schnellere Bestückung, als wenn die die Bestückung vornehmende Person - wie bei den herkömmlichen Anordnungen - nur eine Leiterplatte vor sich liegen hat, in der hintereinander unterschiedlichste Bauteile eingesetzt werden müssen.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht im Zusammenhang mit Bestückungstischen auch darin, daß die einmal bekannten Koordinaten- oder Abbildungswerte einer bestimmten Art von Leiterplatte mehreren Bestückungstischen eingegeben werden kann, ohne daß vorher an jedem Bestückungstisch die zeitraubende empirische Abtastung zur Ermittlung der Ablenkwerte vorgenommen werden muß. Darüber hinaus ist es auch auf sehr einfache Weise, nämlich lediglich durch Ändern der numerischen Koordinaten- oder Abbildungswerte möglich, auf eine andere Bestückung schnell umzustellen, da Vorlagen, Muster oder Prototypen bei dem erfindungsgemäßen Verfahren oder bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Gegensatz zu den herkömmlichen Verfahren und Einrichtungen zur Ermittlung der Ablenkdaten nicht erforderlich sind.

In der vorausgegangenen und nachfolgenden Beschreibung wurde und wird lediglich von einem Lichtstrahl und von Lichtpunkten oder Abbildungspunkten gesprochen. Selbstverständlich ist es auch möglich, beliebige Symbole, die beispielsweise aus Lichtpunkten und Strichen zusammengesetzt sein können, im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung zu verwenden.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Eliminierung geometrischer Abbildungsfehler durch Korrektur der Steuerspannungen nach den in Anspruch 2 angegebenen Gleichungen. Es ergibt sich dabei eine bildfehlerfreie Darstellung in der Bildebene. Vorzugsweise wird zur Korrektur der Steuerspannung im Hinblick auf geometrische Abbildungsfehler ein Mikroprozessor eingesetzt.

Die Kompensation von Temperatureinflüssen erfolgt vorzugsweise durch Konstantregeln des Schwingspiegelsystems, wobei gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform das Schwingspiegelsystem in einem wärmeisolierenden Gehäuse untergebracht ist, um von vornherein eine gewisse Temperaturkonstanz zu erreichen.

Gemäß einer alternativen Ausführungsform ist es jedoch zur Temperaturkompensation auch möglich, die Temperatur des Schwingspiegelsystems ständig zu messen und in Abhängigkeit von der gemessenen Temperatur oder Temperaturänderung die Spiegelsteuerschaltungen zu ändern. Dabei können den einzelnen Temperaturen zugeordnete Daten in einem Speicher gespeichert sein, die bei Auftreten des entsprechenden Temperaturwerts zur Korrektur oder Änderung der Schwingspiegelsteuerspannungen herangezogen werden.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist die Umschaltstufe zwei Widerstände auf, die mit einem Schalter wahlweise an einen Eingang eines Verstärkers angeschaltet werden. Der Verstärker kann beispielsweise ein Operationsverstärker oder ein Differenzverstärker sein. Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn einstellbare Widerstände hierfür verwendet werden, um einen Abgleich oder eine Anpassung vornehmen zu können.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Bestückungstisches unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beispielsweise erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 die schematische Anordnung eines Bestückungstisches mit einem Laser und einem Schwingspiegelsystem,

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer geometrischen Bildverzerrung,

Fig. 3 geometrische Darstellungen zur Erläuterung geometrischer Bildfehler bei der Abbildung mittels zweier Spiegel,

Fig. 4 eine schematische Darstellung der Steuerschaltung für die Antriebseinrichtung eines Schwingspiegels,

Fig. 5 eine ins einzelne gehende Darstellung der in Fig. 4 dargestellten Schaltungsanordnung und

Fig. 6 ein Blockdiagramm für die Ansteuerung beider Schwingspiegel unter Verwendung eines Mikroprozessors.

Fig. 1 zeigt die Anordnung eines bekannten Bestückungstisches, bei dem ein von einem Laser 3 abgegebener Strahl auf einen ersten Schwingspiegel 1 für die y-Ablenkung und danach auf einen zweiten Schwingspiegel 2 für die x-Ablenkung fällt, so daß der zweimal abgelenkte Strahl dann entsprechend der Ablenkwinkel bzw. der Schwingwinkel der beiden Schwingspiegel auf einen Punkt in der Bildebene 4 fällt. Der Strahlenweg zwischen dem Laser 3 und dem y- Schwingspiegel 1 und der Strahlenweg zwischen dem y- Schwingspiegel 1 und dem x-Schwingspiegel 2 liegt in einer zur Bildebene 4 parallelen Ebene.

In Fig. 2 ist in der Bildebene eine Bildverzerrung schematisch dargestellt, die bei Abbildung eines Lichtstrahls über zwei Schwingspiegel hervorgerufen wird, wenn keine Bildfehlerkorrektur in der nachfolgend angegebenen Weise vorgenommen wird. Wie aus Fig. 2 zu ersehen ist, ergibt sich als Bildverzerrung eine kissenförmige Verzeichnung in der y-Richtung, d. h. eine Durchbiegung der Parallelen zur x-Achse in Richtung der x-Achse hin, wobei diese Durchbiegung mit größer werdenden y-Koordinatenwerten anwächst. Für diese Bildverzerrung ist insbesondere ein nichtlinearer Zusammenhang der Ablenkwinkel der Schwingspiegel und der resultierenden Koordinaten in der Bildebene verantwortlich.

Der Zusammenhang zwischen den x- oder y-Koordinatenwerten und den Ablenkwinkeln α _x oder α _y geht aus den schematischen Darstellungen von Fig. 3 hervor. Die Beziehungen lauten:

Hierbei ist oder sind

H der Abstand des x-Schwingspiegels 2 zur Bildebene 4,
D der Abstand des y-Schwingspiegels 1 zum x-Schwingspiegel 2,
α _x, α _y die Ablenkwinkel für den x- bzw. y-Schwingspiegel 2 oder 1,
x, y die Koordinaten in der Bildebene.

Fig. 4 zeigt in schematischer Darstellung eine Ausführungsform für die Ansteuerung von einem der Schwingspiegel 1 bzw. 2, wobei diese Ausführungsform in Fig. 5 noch genauer dargestellt wird.

Der Absolutwert eines beispielsweise von einem Mikroprozessor bereitgestellten digitalen Sollwerts gelangt über ein Ausgangstor 41 zu einem Digital-/Analog-Wandler 42, der ein dazu entsprechendes Ausgangssignal einem Verstärker bereitstellt. Über einen weiteren Ausgang des Ausgangstors 41 gelangt ein Vorzeichensignal über die Verbindung 44 ebenfalls an den Verstärker 43, der der in der Figur nicht dargestellten Antriebseinrichtung für den Schwingspiegel 1 oder 2 ein Steuersignal entsprechend dem analogen Signal für den absoluten Sollwert und dem Vorzeichensignal bereitstellt. Ein kapazitiver Positionsgeber 55 stellt die Lage, im wesentlichen die Winkellage des Schwingspiegels 1 oder 2 fest und gibt an den Verstärker 43 ein Rückkoppelsignal ab. Die nicht dargestellte Antriebseinrichtung, der Schwingspiegel 1 bzw. 2 und der kapazitiven Positionsgeber 45 stellen im wesentlichen das Schwingspiegelsystem dar.

Fig. 5 zeigt eine ins einzelne gehende Darstellung insbesondere des Verstärkers 43, bei dem eine Umschaltstufe 51 gemäß einem Merkmal der Erfindung zur Korrektur einer Asymmetrie der Schwingspiegelauslenkung bei gleichem Betrag der Steuerspannung entsprechend dem Vorzeichen vorgesehen ist.

In Abhängigkeit des Vorzeichensignals auf der Leitung 44 legt die Umschaltstufe 51 einen der beiden Widerstände 52 oder 53 wahlweise an Masse. Mit dem dem Masseanschluß abgewandten Ende sind die Widerstände 52 und 53 jeweils mit dem Minus-Eingang eines Operations- oder Differenzverstärkers 54 verbunden, dessen Plus-Eingang das in einem Meßverstärker 55 verstärkte Ausgangssignal des kapazitiven Positionsgebers 45 über einen Widerstand 56 zugeleitet wird. Das Ausgangssignal des ersten Operations- bzw. Differenzverstärkers 54 gelangt über einen Widerstand 57 an den Minus-Eingang des Verstärkers 54, sowie über einen weiteren Widerstand 58 an den Plus-Eingang eines zweiten Operations- oder Differenzverstärkers 59, dessen Minus-Anschluß an Masse liegt. Ein Rückkoppelzweig zwischen dem Ausgang und dem Plus-Eingang des zweiten Verstärkers 59 umfaßt einen Widerstand 60. Der vom Digital-/Analog- Wandler bereitgestellte analoge Absolutwertbetrag des Sollwerts gelangt über einen Widerstand 61 an den Plus- Eingang des zweiten Operations- oder Differenzverstärkers 59, der ein entsprechend verstärktes Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Absolutbetrag des analogen Sollwertsignals und in Abhängigkeit vom Vorzeichen des Sollwertsignals an den Schwingspiegel 1, 2 oder dessen Antriebseinrichtung liefert.

In Abhängigkeit davon, ob das dem steuerbaren Schalter 51 über die Leitung 44 bereitgestellten Vorzeichensignal einem Plus- oder Minus-Vorzeichen entspricht, wird einer der beiden, unterschiedliche Widerstandswerte aufweisenden Widerstände 52, 53 für den ersten Operations- oder Differenzverstärker 54 wirksam gemacht, so daß die Verstärkung dieses Verstärkers 54 vom Vorzeichen des digitalen Sollwerts abhängt. Dadurch erhält man je nach Vorzeichen des Sollwerts oder der Steuerspannung unterschiedliche Einstellwinkel, wodurch die Rechts-/Links- und Oben-/Unten- Asymmetrie bei der Schwingspiegelauslenkung mit gleichen Betrag der Steuerspannung kompensiert wird, die durch den Aufbau des Schwingspiegels mit der kapazitiven Positionsrückmeldung bedingt ist. Die Widerstände 52, 53 zur Einstellung des Verstärkungsgrades des ersten Verstärkers 54 sind vorzugsweise veränderliche Widerstände, um entsprechende Anpassungen und Abgleichungen vornehmen zu können.

Fig. 6 zeigt eine einen Mikroprozessor und entsprechende Speicher verwendende Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung. Schaltungsteile, die bereits anhand der vorausgegangenen Figuren beschrieben wurden, sind mit den selben Bezugszeichen versehen und werden nicht nochmals erläutert.

Über einen Datenübertragungsweg 63 stehen ein Mikroprozessor 64, zwei Random-Access-Speicher 65, 66, sowie ein weiterer Speicher 67 für die Ablaufsteuerung in datenmäßigem Austausch. Gemäß einer bereits früher erläuterten Ausführungsform zur Kompensation von Temperatureinflüssen können zu messenden Temperaturwerten zugeordnete Korrekturdaten in den Speichern 65, 66 oder einem zusätzlichen Speicher tabellenmäßig gespeichert werden, die dann je nach den gemessenen Temperaturwerten zur Korrektur der Steuerspannung verwendet werden. Die Steuerspannungen gelangen über den Übertragungsweg 63 als digitale Sollwerte an das Ausgangstor 41.

Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Anordnung wurden lediglich beispielsweise anhand eines Bestückungstisches mit Schwingspiegeln beschrieben. Die vorliegende Erfindung läßt sich jedoch auch in Zusammenhang mit anderen Anwendungen einsetzen, bei denen optische Elemente zur Strahlablenkung in ihrer Lage verändert werden.

Claims

1. Verfahren zur steuerbaren Abbildung eines Lichtstrahls auf eine Bildebene mit zwei beweglichen Spiegeln, deren Antriebseinrichtungen mit Steuerspannungen gesteuert werden, dadurch gekennzeichnet,
daß die Steuerspannungen zur Eliminierung geometrischer Abbildungsfehler korrigiert werden, die bei der Strahlablenkung über zwei Spiegel auftreten,
daß der Verstärkungsgrad eines Verstärkers für die Steuerspannungen in Abhängigkeit von einem Wechsel des Vorzeichens wenigstens einer Spiegelsteuerspannung geändert wird und
daß durch Temperatureinflüsse hervorgerufene Nullpunktsverschiebungen und Auslenkungsabweichungen bei der Strahlabbildung kompensiert werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerspannungen durch Anwendung der Gleichungen von geometrischen Abbildungsfehlern korrigiert werden, wobei
H der Abstand eines x-Schwingspiegels zur Bildebene,
D der Abstand eines y-Schwingspiegels zum x-Schwingspiegel,
α _x, α _y der Ablenkwinkel für den x- oder y-Schwingspiegel und
x, y die Koordinaten in der Bildebene
ist oder sind.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingspiegelsystem auf eine konstante Temperatur geregelt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Schwingspiegelsystems ständig gemessen und die Spiegelsteuerspannungen in Abhängigkeit von Temperaturänderungen geändert werden.

5. Anordnung zur steuerbaren Abbildung eines Lichtstrahls auf eine Bildebene, mit zwei beweglichen Spiegeln und einer Steuerschaltung, die den Antriebseinrichtungen Spiegelsteuerspannungen bereitstellt, gekennzeichnet durch
einen Korrektur-Schaltungsteil zur Korrektur der Spiegelsteuerspannungen von geometrischen, bei der Strahlablenkung über zwei Spiegel (1, 2) auftretenden Abbildungsfehlern,
eine Umschaltstufe (51), der den Verstärkungsgrad eines Verstärkers in Abhängigkeit von einem Wechsel des Vorzeichens wenigstens einer Spiegelsteuerspannung ändert, und
eine Temperaturkompensationsschaltung, die eine durch Temperaturänderungen hervorgerufene Verschiebung eines Nullpunktes und Abweichungen der Strahlauslenkung kompensiert.

6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Korrektur-Schaltungsteil die Spiegelsteuerspannungen unter Ausnutzung der Gleichungen korrigiert, wobei
H der Abstand eines x-Schwingspiegels zur Bildebene,
D der Abstand eines y-Schwingspiegels zum x-Schwingspiegel,
α _x, α _y der Ablenkwinkel für den x- oder y-Schwingspiegel und
x, y die Koordinaten in der Bildebene
ist oder sind.

7. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Korrektur-Schaltungsteil einen Mikroprozessor (64) umfaßt.

8. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Umschaltstufe (51) zwei Widerstände (52, 53) wahlweise an einem Eingang (-) eines Differenzverstärkers (54) wirksam macht.

9. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstände (52, 53) einstellbar sind.

10. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperaturkompensationsschaltung eine Temperaturregelschaltung zur Regelung der Temperatur des Schwingspiegelsystems auf einen konstanten Wert umfaßt.

11. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingspiegelsystem in einem Wärme isolierenden Gehäuse untergebracht ist.

12. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 9 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperaturkompensationsschaltung einen Temperaturfühler, einen Mikroprozessor (64) und einen Speicher (65, 66, 67) umfaßt, in dem die Daten gespeichert sind, mit denen die Spiegelsteuerspannungen für die jeweiligen gemessenen Temperaturen des Schwingspiegelsystems korrigiert werden.