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DE3108018A1 - "telezentrisches projektionsobjektiv" - Google Patents

"telezentrisches projektionsobjektiv"

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DE3108018A1
DE3108018A1 DE19813108018 DE3108018A DE3108018A1 DE 3108018 A1 DE3108018 A1 DE 3108018A1 DE 19813108018 DE19813108018 DE 19813108018 DE 3108018 A DE3108018 A DE 3108018A DE 3108018 A1 DE3108018 A1 DE 3108018A1
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DE
Germany
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lens
lens group
group
object field
field side
Prior art date
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DE19813108018
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English (en)
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Masamichi Tokyo Tateoka
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Canon Inc
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Canon Inc
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Publication date
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Priority claimed from JP2773680A external-priority patent/JPS56123511A/ja
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of DE3108018A1 publication Critical patent/DE3108018A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3108018C2 publication Critical patent/DE3108018C2/de
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/22Telecentric objectives or lens systems

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)

Description

Telezentrisches Proj ektionsobjektiv
Die Erfindung bezieht sich auf ein telezentrisches Projektionsobjektiv, das für eine Benutzung bei einem Abbildungsraaßstab von etwa 1/10 ausgelegt, "hell" in Bezug auf die Blendenzahl ist und gut korrigierte Bildfehler hat.
In der Vergangenheit sind Vorlagen-Abtastverfahren entwickelt und verwendet worden, bei denen Festkörper-Bildaufnahmeelemente als Abtasteinrichtung für Lesegeräte verwendet werden und Festkörper-Bildaufnahmeelemente in der Bildebene als Abtast-Fotoempfängerelemente angeordnet sind, um die Vorlage abzutasten.
Zur Durchführung dieser bekannten Abtastverfahren muß ein Projektionsobjektiv verwendet werden, um das Vorlagenbild auf die Festkörper-Bildaufnahmeelemente zu übertragen; ferner muß ein Farbtrennprisma zwischen dem Projektionsobjektiv und der die Elemente enthaltenden Brennebene angeordnet sein, um die Farbsignale der Vorlage auf die Fest-
Mü/22
130052/0673
deutsche Bank (München) KIo 51/61070
Dresdner Bank (München) KIo. 3939844
Posischeck (München) Klo. 670-43-804
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körper-Bildaufnahmeelemente zu übertragen. Wenn ein gewöhnliches nicht telezentrisches Objektiv in diesem Falle als Projektionsobjektiv verwendet wird, fallen die Außerachs-Strahlen schräg auf das Farbtrennprisma ein; hierdurch wird eine Abschattung verursache. Zur Lösung des Abschattungsproblems wird ein Projektionsobjektiv mit telezentrischer Eigenschaft verwendet. Bei Verwendung eines derartigen Objektives gehen die Hauptstrahlen des einfallenden Lichtes durch den Brennpunkt auf der Seite des Objektfeldes; deshalb können die Hauptstrahlen des Austrittslichtes einschließlich der Außerachs-Strahlen auf der Seite des Bildfeldes parallel zu der optischen Achse verlaufen. Dies ist eine wirksame bekannte Methode zur Lösung des Abschattungsproblems, das durch das Farbtrennprisma verursacht wird.
Die Projektionsobjektive, die zur Verwendung des vorstehend erläuterten Abtastverfahrens nützlich sind, haben jedoch gleichzeitig eine Vielzahl von Erfordernissen zu erfüllen. im allgemeinen sollen derartige Projektionsobjektive die folgenden Erfordernisse erfüllen:
1.) Die Blendenzahl (F-Zahl) des Objektivs sollte relativ " hell" sein. Um eine Hochgeschwindigkeitsabtastung unter Verwendung von Festkörper-Bildaufnahmeelementen auszuführen, wird es gewünscht, die Belichtungalichtmenge für die Elemente pro Zeiteinheit so groß wie möglich zu machen. Andererseits wird es gewünscht, als Vorlagen-Beleuchtungslampe eine Lichtquelle zu verwenden, deren Beleuchtungs-
ow stärke so niedrig wie möglich ist. Aus diesem Grunde ist es erforderlich, daß das Projektionsobjektiv eine relativ "helle" Blendenzahl hat.
2.) Um die Größe des Geräts zu verringern, d.h. den Ab-
stand zwischen der Vorlagenfläche und der Brennebene zu
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verkleinern, sollte das Objektiv ein Weitwinkel-Bildfeld haben.
3.) Das Objektiv sollte ein großes Auflösungsvermögen haben, da die Größe des Festkörper-Bildaufnahmeelements, die in der Größenordnung von 15μπι ist, sehr klein ist.
4.) Das Objektiv sollte für eine Verwendung mit einer Öffnungsausbeute für den Bereich außerhalb der Achse von 100 % geeignet sein. Diese Forderung rührt daher, daß die Verteilung der Lichtintensität über alle Festkörper-Bildauf nahmeelemente gleichförmig sein sollte.
5.) Das Objektiv sollte in der Lage sein, die Vorlagenfläche gleichförmig zu projizieren. Anders ausgedrückt, die Verzeichnung des Objektivs sollte gering sein.
6.) Da ein Farbtrennprisma zwischen dem Objektiv und dem Festkörper-Bildaufnahmeelement angeordnet sein muß, sollte das Objektiv eine relativ lange hintere Brennweite haben.
Demgemäß ist es Aufgabe der Erfindung, ein telezentrisches Projektionsobjektiv zu schaffen, das die obigen Erfordernisse erfüllt. Hierzu soll ein telezentrisches Objektiv geschaffen werden, das hell in Bezug auf die Blendenzahl ist, das sowohl ein hohes Auflösungsvermögen als auch einen hohen Kontrast als Ergebnis einer gut korrigierten sphärischen Aberration, Koma, Bildfeldkrümmung und Verzeichnung hat, und das zur Verwendung bei einer öffnungsausbeute von 100 % und einem Abbildungsmaßstab von etwa 1/10 geeignet ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird gemäß einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung ein Projektionsobjektiv geschaffen, das eine am Brennpunkt auf der Seite des Objektfeldes des
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. DE 1067
gesamten Linsensystems angeordnete Pupille hat und eine aus einer positiven Einfachlinse aufgebaute erste Linsengruppe, eine aus einer doppelt konkaven Einfachlinse aufgebaute zweite Linsengruppe und eine aus zwei positiven Linsen aufgebaute dritte Linsengruppe aufweist, die in dieser Reihenfolge in Richtung von der Objektfeldseite angeordnet sind, wobei eine der beiden positiven Linsen in der dritten Gruppe eine Kitt fläche hat, deren Krümmungsmittelpunkt auf der Seite des Objektfeldes liegt, und wobei das Projektionsobjektiv so ausgelegt ist, daß es die folgenden Bedingungen erfüllt:
(1) 1 .69 VlI If i/fzl < 2 .55
(2) -O .33 < f < -0 .19
< <
(3) 0.41 = f3/f = 0.59
wobei f-, f- und f3 die Brennweiten der ersten, zweiten bzw. dritten Linsengruppen und f die Brennweite des Gesamt systems sind.
Der zweite Gesichtspunkt der Erfindung ist auf ein Projektionsobjektiv gerichtet, das eine am Brennpunkt auf der Seite des Objektfeldes des gesamten Linsensystems angeordnete Pupille hat und eine aus einer positiven Einfachlinse aufgebaute erste Linsengruppe, eine aus einer doppelt konkaven Einfachlinse aufgebaute zweite Linsengruppe und eine aus drei oder vier Linsen aufgebaute dritte Linsengruppe umfaßt, die in dieser Reihenfolge von der Objekt feldseite her gesehen angeordnet sind, wobei eine der Linsen in der dritten Linsengruppe eine Kittfläche hat, und das Projektionsobjektiv so ausgelegt ist, daß es die folgenden Bedingungen erfüllt:
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(1·) 1.72 έ |f,/f2|= 2.58 (2·) -0.33 = f2/f = -0.19 (3') 0.41 =
U/i = 0.59
wobei f-, f2 und f_ die Brennweiten der ersten, zweiten bzw. dritten Linsengruppe und f die Brennweite des Gesamtsystems sind.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen:
,c Fig. 1 A einen Querschnitt durch das als
Beispiel 1 beschriebene Objektiv,
Fig. 1 B die Bildfehler dieses Objektivs, Fig. 1 C die Querfehler dieses Objektivs on auf der Gauss'sehen Bildebene,
Fig. 2 A einen Querschnitt durch das Beispiel 2 und
Fig. 2 B dessen Bildfehler,
ITig. 3 Λ einen Querschnitt durch Beispiel 3 und
Fig. 3 B dessen Bildfehler,
Fig. 4 A einen Querschnitt durch Beispiel 4 und
Fig. 4 B dessen Bildfehler, Fig. 5 A einen Querschnitt durch Beispiel 5
und
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-j/-V DE 1067
Fig. 5 B dessen Bildfehler.
Fig. 6 A einen Querschnitt durch Beispiel 6 und
Fig. 6 B dessen Bildfehler.
Fig. 7 A einen Querschnitt durch Beispiel 7
und
Fig. 7 B dessen Bildfehler. 10
Fig. 8 A einen Querschnitt durch Beispiel 8
und
Fig. 8 B dessen Bildfehler.
Fig. 9 A einen Querschnitt durch Beispiel 9
und
Fig. 9 B dessen Bildfehler.
Fig.10 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig.10 B dessen Bildfehler.
Fig.11 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig.11 B dessen Bildfehler.
Fig.12 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig.12 B dessen Bildfehler. 30
Fig.13 A einen Querschnitt durch Beispiel
und
Fig.13 B die Bildfehler dieses Beispiels sowie Fig.13 C die Queraberrationen dieses Beispiels
auf der Gauss'sehen Bildebene,
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Fig. 14 A einen Querschnitt durch Beispiel
und Fig. 14 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 15 Λ einen Querschnitt durch Beispiel
und Fig. 15 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 16 A einen Querschnitt durch Beispiel und Fig. 16 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 17 A einen Querschnitt durch Beispiel und Fig. 17 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 18 B einen Querschnitt durch Beispiel
und
Fig. 18 B die Bildfehler dieses Beispiels, 20
Fig. 19 A einen Querschnitt durch Beispiel
und Fig. 19 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 20 A einen Querschnitt durch Beispiel
und Fig. 20 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 21 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig. 21 B die Bildfehler dieses Beispiels.
Zunächst sollen die Bedingungen (1) bis (3) erläutert werden, die sich auf das Projektionsobjektiv gemäß einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung beziehen.
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Durch Erfüllen der Bedingung (1) kann die sphärische Aberration Cjut korricjiort werden, wobei das Gleichgewicht dor Brechkräfte der ersten und zweiten Linsengruppe gehalten wird. Das erfindungsgemäße Objektiv ist ein telezentrisches System und der Abstand der Hauptpunkte der zweiten und dritten Gruppe ist größer als der Abstand zwischen denen der ersten und zweiten Gruppe. Deshalb sind die Stellen, an denen die paraxialen Strahlen durch die erste Linsengruppe hindurchgehen, weit von der optischen Achse beabstandet, wodurch eine große sphärische Aberration erzeugt wird. Wenn ff /f_ f unterhalb der unteren Grenze 1,69 liegt, wird die Brechkraft der ersten Gruppe hoch und die durch die Oberfläche hindurchgehenden paraxialen Strahlen stark in Richtung auf die optische Achse gebeugt. Als Ergebnis hiervon wird eine große negative sphärische Aberration erzeugt. Wenn andererseits Jf1Zf- I die obere Grenze 2,55 übersteigt, wird die Brechkraft der zweiten Linsengruppe hoch und die zweite Linsengruppe erzeugt eine derart große positive sphärische Aberration, die die in der ersten Gruppe erzeugte negative sphärische Aberration überkompensiert.
Die Bedingung (2) muß zur Korrektur der Bildfeldkrümmung des Linsensystems erfüllt sein.
Wenn f2Zf größer als die obere Grenze -0,19 ist, ist die Petzvalsumme überkompensiert und die Bildfeldkrümmung zu stark korrigiert. Um dies zu korrigieren, muß die Brechkraft der zweiten Linsengruppe in ihrem Absolutwert angehoben werden. Wenn der Absolutwert der Brechkraft der zweiten Gruppe so erhöht wird, wie untenstehend in Verbindung mit der Bedingung (3) beschrieben ist, in der zweiten Gruppe eine große Verzeichnung erzeugt, die schwierig zu korrigieren ist. Wenn andererseits f2Zf kleiner als
die untere Grenze von -0,33 ist, wird es schwierig, die
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Petzvalsumme des gesamten Systems zu korrigieren; hierdurch wird eine Unterkorrektur der Bildfeldkrümmung verursacht.
Bedingung (3) ist zur Korrektur der Bildfeldkrümmung und Verzeichnung notwendig. Da das Objektiv zu den telezentrischen Systemen gehört, sind die Stellen, an denen die Hauptstrahlen durch die dritte Linsengruppe hindurchgehen, weit von der optischen Achse entfernt. Wenn f-,/f kleiner als die untere Grenze von 0,4 ist, wird die Brechkraft der dritten Linsengruppe hoch und die durch die dritte Gruppe hindurchgehenden Hauptstrahlen stark in Richtung auf die optische Achse gebeugt. Hierdurch wird eine große Verzeichnung erzeugt. Wenn andererseits f^/f größer als die obere Grenze 0,59 ist, bekommt die Bildfeldkrümmung ein so großes Ausmaß, daß sie schwer zu korrigieren ist.
Im folgenden sollen die Linsenformen gemäß dem ersten erfindungsgemäßen Gesichtspunkt im einzelnen beschrieben werden.
20
Wie vorstehend beschrieben worden ist, muß das erfindungsgemäße Linsensystem "hell" in Bezug auf die relative Öffnung sein. Um dies zu erreichen, ist es vorteilhaft, die sphärische Aberration der ersten Linsengruppe effektiv zu korrigieren, die die Gruppe ist, in der die paraxialen Strahlen den größten Abstand von der optischen Achse haben. Hierzu ist die Oberfläche der ersten Linsengruppe auf der Seite des Objektfeldes so geformt, daß sie konvex
zu der Objektfeldseite ist.
30
Bei dem erfindungsgemäßen Linsensystem ist die Linsengruppe, die die Petzvalsumme korrigiert, lediglich die zweite Gruppe. Deshalb ist die Bedingung für die Brechkraft für die zweite Gruppe streng. Aus diesem Grunde ist die nega-
txve Linse der zweiten Gruppe als Doppelkonkavlinse aus-
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-yf- DE 1067 gebildet, um die Bildfehler in der zweiten Gruppe zu verringern.
Da ein Farbtrennfilter zwischen die Bildebene und die der Bildebene am nächsten cjelegene Linsenfläche eingeschoben ist, muß das Linsensystem eine große rückwärtige Brennweite haben. Hierzu ist die dritte Linsengruppe aus zwei positiven Linsen zusammengesetzt und derart ausgebildet, daß die von den zwei positiven Linsen gebildete Luftlinse die Form einer Doppelkonkavlinse hat.
Die folgenden Beispiele 1 bis 12 erläutern in Verbindung mit den Fig. 1 bis 12 das vorstehend erläuterte Projektionsobjektiv gemäß dem ersten Gesichtspunkt der Erfindung und demonstrieren die erfindungsgemäße Wirkung.
In den Beispielen ist
Ri der Krümmungsradius der i-ten Fläche des Linsensystems, 20
Di die Dicke oder der Luftabstand auf der Achse zwischen der i-ten Oberfläche und der i + 1-ten Oberfläche,
Ca) der Bildwinkel,
P der Abbildungsmaßstab bei scharfer Abbildung, (magnification of
facos)
Ni der Brechungsindex der i-ten Linse für die D-Linie, i die Abbe'sehe Zahl der i-ten Linse,
fi die Brennweite der i-ten Gruppe, und
DO der Luftabstand gemessen an der Achse zwischen der Pu pille SL und der R1-Oberfläche.
Für alle Beispiele 1 bis 12 ist die relative Öffnung 1:5
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4Ϋ.
Rl = f = = 1
R2 = O. ,3986
R3 = -5. ,6178
R4 = -0. ,3958
R5 = 0. ,4543
R6 = -2. 8306
R7 = -0. ,3292
R8 = -0. 6113
R9 = 0. 8726
i/fzl 6073
f = 2. 0161
Rl = Il
U-I
■■ 1
R2 = 0. 4403
R3 = -1. 8559
R4 = -0. 4636
R5 = 0. 5059
R6 = 6321
R7 = -0. 4315
R8 = -0. 5964
R9 = 1. 0092
l/fll -5. 1222
f = 1 .723
Beispiel 1
Bildwinkel s 25.2° B = 0.12343
Dl = 0.134 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.1653
D3 = 0.0701 N2 = 1.80518 v2 = 25.4 D4 = 0.1345
D5 = 0.1384 N3 = 1.697 v3 = 48.5
D6 = 0.1588 N4 = 1.72825 v4 = 28.5 D7 = 0.0181
D8 = 0.1635 N5 = 1.7725 v5 = 49.6
f2/f = -0.2543 f3/f = 0.4971 DO = 0.0213
Beispiel 2
Bildwxnkel =25.2° β = -0.12343 Dl = 0.1682 Nl = 1.72 vl = 50.2 D2 = 0.13
D3 = 0.0329 N2 = 1.80518 v2 = 25.4 D4 = 0.1492
D5 = 0.2362 N3 = 1.697 v3 = 48.5 D6 = 0.0414 N4 = 1.72825 v4 = 28.5 D7 = 0.0528
D8 = 0.0925 N5 = 1.7725 v5 = 49.6
f2/f = -0.296 fa/f = 0.5764 DO = 0.1764
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f = 1
Rl = 0.3446 R2 = 4.6621 R3 .= -0.3246 R4 = 0.3854 R5 = 1.3077 R6 = -0.3306 R7 = 0.5451 R8 = 0.9435 R9 = 28.7464 fi/f2I = 2.3587
/is-
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Beispiel 3
Bildwinkel =25.2° B= -0.12343
Dl = 0.1461 Nl = 1.72 vl = 50.2 D2 = 0.1688
D3 = 0.0205 N2 = 1.80518 v2 = 25.4 D4 s 0.0696
D5 = 0.2144 N3 = 1.674 v3 = 48.5
D6 = 0.2108 N4 = 1.72825 v4 = 28.5 D7 = 0.0697
D8 = 0.1443 N5 = 1.7725 v5 = 49.6
E2/f = -0.216 f3/f = 0.4485 DO = 0.0219
f = 1
Rl = 0.4 822 R2 =-35.0608 R3 = -0.4207 R4 = 0.6509 R5 = -1.3008 R6 = -0.2572 R7 = -0.4887 R8 = 0.8924 R9 = -5.1437 fj/f2I = 2.1135
Beispiel 4
Bildwinkel =25.2° B= -0.12343 Dl = 0.1456 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.2244
D3 = 0.0325
N2 = 1.80518 D4 = 0.0834
D5 = 0.1128 N3 = 1.697 D6 = 0.1755
D7 = 0.0625
N4 = 1.72825
D8 = 0.1618 N5 = 1.7725
v2 = 25.4
v3 = 48.5 v4 = Z8.5
v5 = 49.6
= -0.3131 f3/f = 0.4966 DO = 0.0399
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-Λ7-
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Beispiel
f = 1 Bildwinkel =25.2° Q= -0.12343
Rl = 0.3052 Dl = 0.1736 Nl = 1.72 vl = 50.2
R2 = -1.5021 D2 = 0.089
R3 = -0.3001 D3 = 0.0837 N2 = 1.80518 v2 = 25.4
R4 = 0.3522 D4 = 0.1376
D5 = 0.1725 D6 = 0.167
D7 = 0.0713 D8 = 0.0988
R5 = 3.8193 R6 = -0.5969 R7 = -0.7671 R8 = 0.6312 R9 = 4.6414 fi/fzl = 1.9285 f2/f =-0.1904 £3/f = 0.4961 DO = 0.04
N3 = 1.697
N4 = 1.72825
N5 = 1.7725
v3 = 48.5 v4 = 28.5
v5 = 49.6
f = 1 Beispiel Bildwinkel 0.0891 = 25 6 -0. 3-/f = 0.5261 12343
= 0.4186 Dl = 0.197 Nl .2° 3 = vl = 50.2
Rl = -9.096 D2 = 0.0279 = 1.72
R2 = -0.4351 D3 = 0.1493 N2 v2 = 25.4
R3 = 0.4955 D4 = 0.1956 = 1.80518
R4 = -1.6863 D5 = 0.1151 N3 v3 = 48.5
R5 = -0.3195 D6 = 0.0153 N4 = 1.697 v4 = 28.5
R6 = -0.5561 D7 = 0.0852 = 1.72825
R7 = 0.9878 D8 = N5 v5 = 49.6
R8 = -4.6263 = -0.284 = 1.7725
R9 f 2 j = 1.96552 f,/f 14 f DO = 0.0437
/
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Rl = R2 = R3 = R4 = R5 = R6 = R7 = R8 = R9 = fi/ U N2 = 1.80518 v2 = 25.4
Beispiel 7
f = 1 Bildwinkel =25.2° 3 = -0.12343 0.4165 Dl = 0.1912 Nl = 1.72 vl = 50.2
-3.39
-0.3872 0.4866
-0.7668
-0.251
-0.4241 0.7723 D2 = 0.1481 D3 = 0.0785 D4 = 0.1315 D5 = 0.0804 D6 = 0.1176 D7 = 0.0631 D8 = 0.1651 N5 = 1.7725
N3 = 1.697 N4 = 1.72825
v3 = 48.5 v4 = 28.5
V5 = 49.6 -6.2772 = 2.0437 fz/f = -0.2571 f3/f = 0.4901 DO = 0.0373
Beispiel 6
Bxldwinkel = 25.2° 3 = -0.12343 Dl = 0.1182 Nl = 1.72 vl = 50.2 D2 = 0.1449
N2 = 1.80518
f =
Rl = 0.3482 R2 = -4.0406 R3 = -0.3748 R4 = 0.3816 R5 = 1.7347 R6 = -0.4603 R7 = -0.7049 R8 = 0.8119 R9 = 8.081
|fi/f2| = 2-.0039 fz/f = -0.2247 f3/f = 0.4957 DO = 0.Q344
D3 = 0.0764 D4 = 0.1265 D5 = 0.2061 N3 =1.697 D6 = 0.1757 N4 = 1.72825 D7 = 0.0618 D8 = 0.1439 N5 = 1.7725
v2 = 25.4
v3 = 48.5 v4 = 28.5
v5 = 49.6
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Rl =
R2 =
R3 =
R4 =
R5 =
R6 =
R7 =
R8 =
R9 = ι/ f2
Beispiel 3
f = 1 Bildwinkel »25.2° β = -0.12343 0.4429 Dl = 0.0335 Nl = 1.72 vl = 50.2
-4.1849 D2 = 0.204
-0.5629 0.4844
-2.4032
-0.4017
-0.6186 1.0314 D3 = 0.0209 D4 = 0.2198 D5 = 0.2335 D6 = 0.0267 D7 = 0.0515 D8 = 0.0917
N2 = 1.80518 v2 = 25.4
Ν3 = 1.697 Ν4 = 1.72825
V3 = 48.5 v4 = 28.5
Ν5 = 1.7725 v5 = 49.6 -6.7698
= 1.741 f2/f = -0.3205 f3/f = 0.5832 DO = 0.0585
Rl = R2 = R3 = R4 = R5 = R6 = R7 = R8 = R9 =
f = 0.3693 2.5301
-0.2971 0.4745 1.9365
-0.2642
-0.4824 0.9622
-9.8269 I= 2.5728
Beispiel
Bildwinkel =25.2° β = -0.12343 Dl = 0.1981 Nl = 1.72 vl = 50.2 D2 = 0.1765
N2 = 1.80518
D3 = 0.0161 D4 = 0.0643 D5 = 0.1127 D6 = 0.2305 D7 = 0.07 D8 = 0.1526
N3 = 1.697 N4 = 1.72825
N5 = 1.7725
v2 = 25.4
v3 = 48.5 v4 = 28.5
v5 = 49.6
= -0.2248 f3/f = 0.4199 DO = 0.0248
130052/0673
-^d- *" "DE "Ϊ067
Λ.
Beispiel 11
f = 1
Rl - 0.3879 R2 = -9.0167 R3 = -0.3786 R4 = 0.4629 R5 = 21.2811 R6 = -0.3036 R7 = -0.5721 R8 = 0.7612
Bildwinkel =25.2° β = -0.12343
Dl = 0.1531 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.165
D3 = 0.0698 N2 = 1,80518 v2 = 25.4
D4 = 0.1477
D5 = 0.1962 N3 = 1.697 v3 = 48.5
D6 = 0.1701 N4 = 1.72825 v4 = 28.5
D7 = 0.052 D8 = 0.1554
N5 = 1.7725
v5 = 49.6
R9 = 6.2487
fi/f2| = 2.0849 f2/f = -0.2494 f3/f = 0.4834 DO = -0.2064
Beispiel
f = 1
Rl = 0.3756 R2 = -3.3599 R3 = -0.3905 R4 = 0.4348 R5 = -2.0321 R6 = -0.578
R7 = 0.8196 R8 = -1.6015 Eildwinkel =25.2° β = -0.12343 Dl = 0.1325 D2 = 0.145 D3 = 0.0774 ■ D4 = 0.1877 D5 = 0.1835 D6 = 0.0618 D7 = 0.1767 D8 = 0.1025
R9 - -3.9946
fi/ f2| = 1.9421 f2/f = -0.2452 f3/f = 0.5112 DO = 0.0327
13005 2/0673
Ά.
DE 1067
In Tabelle 1 sind die ternären Aberrationskoeffizienten der vorstehend gezeigten Beispiele zusammengefaßt. In der Tabelle ist mit I die sphärische Aberration, mit II die Koma, mit III der Astigmatismus, mit P die Petzvalsumme und mit V die Verzeichnung bezeichnet.
Tabelle 1
H. ~~"^ Beisnie
Kg-r>C
Beispiel 1 ""^- Beispie
Ko- ~\_
effizient:
1 ο
Beispiel ^
Beispiel 2 Beispiel 3 Beispiel 4 Beispiel 6 Beispiel 7 Beispiel 8
I 0.12406 I 0.87371 0.46004 -0.14528 0.02664-: 0.16961 0.22606 0.32845
It 0.1735 H 0.18237 0.1418 0.40244 0.26765 0.24766 0.36047 0.19517
v m 0.01027 IH 0.00096 0.03254 0.17935 0.05713 0.05117 0.12012 0.09247
P 0.17223 P 0.30255 0.27954 0.09523 0.21265 0.13695 0.1091 0.24124
V -θ"θ5443 V 0.0bl55 0.13357 -0.01235· -0.02325 -0.0848 -0.32938 0.04887
2C I Beispiel 5 Beispiel 10 Beispiel Beispiel
IC 0.31882 -0.31711 0.08399 0.08932
HE 0.16566 0.45304 0.37468 0.19056
P 0.13201 0.22948 -0.04541 -0.00143
V 0.13286 0.06921 0.2076 0.21645
0.10842 0.05192 0.01822 -0.08943
130052/0673
] Im folgenden sollen die Bedingungen (11) bis (31) erläutert werden, die für das Objektiv gemäß dem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung aufgestellt worden sind.
Die Bedingung (1·) ist notwendig für eine gute Korrektur der sphärischen Aberration, wozu das Gleichgewicht der Brechkräfte der ersten und zweiten Linsengruppe erhalten wird. Das erfindungsgemäße Objektiv gehört zu den telezentrischen Systemen und der Abstand zwischen den Hauptpunkten der zweiten und dritten Gruppe ist größer als der zwischen denen der ersten und zweiten Gruppe. Deshalb haben die Stellen, an denen die paraxialen Strahlen durch die erste Gruppe hindurchgehen, einen großen Abstand von der optischen Achse. Hierdurch wird eine große sphärische Aberration erzeugt. Wenn If1Zf7I kleiner als die untere Grenze 1,72 ist, so ist die Brechkraft der ersten Gruppe hoch; deshalb werden die durch die Oberfläche hindurchgehenden Paraxialstrahlen stark in Richtung auf die optische Achse gebeugt, so daß eine große negative sphärische Aberration erzeugt wird. Wenn andererseits If../f2 \ oberhalb der oberen Grenze 2,58 liegt, so wird die Brechkraft der zweiten Linsengruppe hoch und die zweite Gruppe erzeugt eine derart große sphärische Aberration', die die von der ersten Linsengruppe erzeugte negative sphärische Aberration überkompensiert.
Die Bedingung (21) dient zur Korrektur der Bildfeldkrümmung. Wenn f-i/fo äie obere Grenze -0,19 überschreitet, ist die Petzvalsumme überkorrigiert und die Korrektur der Bildfeldkrümmung wird zu groß. Um diesen Nachteil zu beseitigen, muß der Absolutwert der Brechkraft der dritten Gruppe erhöht werden. Wie jedoch später in Verbindung mit Bedingung (31) beschrieben wird, erzeugt das Anheben des Absolutwertes der Brechkraft in der dritten Linsengruppe eine starke Verzeichnung, deren Korrektur schwer ist.
130052/0673
DE 1067 3108018 Wenn andererseits f„/f kleiner als die untere Grenze ist, so wird die Korrektur der Petzvalsumme des Gesamtsystems schwierig und die Bildfeldkrümmung unterkorrigiert.
Die Bedingung (31) sollte zur Korrektur der Bildfeldkrümmung und der Verzeichnung erfüllt sein. Dies hat seine Ursache darin, daß das erfindungsgemäße Objektiv zu den telezentrischen Systemen gehört und die Hauptstrahlen durch die dritte Linsengruppe an Stellen hindurchgehen, die weit von der optischen Achse entfernt sind. Wenn f-,/f unterhalb der unteren Grenze von 0,41 liegt, so ist die Brechkraft der dritten Gruppe hoch und die durch die dritte Gruppe hindurchgehenden Hauptstrahlen werden stark in Richtung auf die optische Achse gebeugt. Hierdurch wird eine große Verzeichnung erzeugt. Wenn andererseits f^/f oberhalb der oberen Grenze von 0,59 liegt, nimmt die Bildfeldkrümmung ein so großes Ausmaß an, daß es nicht länger möglich ist, den Bildfehler zu korrigieren.
!m folgenden soll die Form des Projektionsobjektivs gemäß dem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung erläutert werden.
Wie bereits erläutert, ist es erforderlich, daß das erfindungsgemäße Projektionsobjektiv "hell" in Bezug auf die Blendenzahl bzw. die relative öffnung ist. Um dieses Erfordernis zu erfüllen ist es vorteilhaft, daß die sphärische Aberration in der ersten Gruppe korrigiert wird, in der die paraxialen Strahlen den größten Abstand von der optischen Achse des Objektivs haben. Hierzu ist die Linsenfläche auf der Seite des Objektfeldes der ersten Gruppe konvex hin zur Objektfeldseite.
Bei dieser Art von Objektiv wird die Petzvalsumme zuallererst durch die Brechkraft der zweiten Gruppe korrigiert. Deshalb wird die Bedingung für die Brechkraft der zweiten
130052/06 7 3
23- ^JÖ'Kr^-'C
Gruppe oft außerordentlich streng und die zweite Gruppe kann die verschiedensten Bildfehler erzeugen. Um die Bildfehler so weit wie möglich zu verringern, ist die zweite Gruppe als Doppelkonkavlinse ausgebildet. 5
Da das erfindungsgemäße Objektiv zu den telezentrischen Objektiven gehört, sollten die außeraxialen Hauptstrahlen mit einer bestimmten Höhe von der optischen Achse durch die dritte Linsengruppe beabstandet sein. Es ist vorzuziehen, daß die dem Objektfeld nächste Linse der dritten Gruppe als positive Meniskuslinse ausgebildet ist, deren konkave Fläche zur Objektfeldseite hin liegt. Weiter ist es vorzuziehen, daß die im Bildfeld nächste Linse der dritten Gruppe als Meniskuslinse ausgebildet ist, deren konkave Fläche hin zur Bildfeldseite liegt. Wenn man so verfährt, sind die Hauptstrahlen von der optischen Achse durch die zuerst erwähnte Meniskuslinse beabstandet und die Aberrationen werden durch die konkave Fläche der an zweiter Stelle erwähnten Meniskuslinse korrigiert. Da zusätzlich die Linse keine negative Brechkraft hat, kann das Erfordernis, die rückwärtige Brennweite des Gesamtsystems zu vergrößern, gleichzeitig erfüllt werden.
Die folgenden Beispiele 13 bis 21 erläutern zusammen mit den Figuren 13 bis 21 den Entwurf des Projektionsobjektivs gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung. In den folgenden Beispielen ist die Brennweite f auf 1 numiert, die Blendenzahl 5,0, der Bildfeldwinkel G>25,2° und die Vergrößerung β bei Scharfeinstellung (focuc magnification y 0,12343. Erneut ist
Ri der Krümmungsradius der i-ten Fläche,
Di die Dicke auf der Achse oder der Luftabstand auf der Achse zwischen der i-ten und der i + 1-ten Oberfläche,
Ni der Brechungsindex der i-ten Linse für die D-Linie,
130052/0673
Vi die Abbe'sehe Zahl der i-ten Linse, fi die Brennweite der i-ten Linsengruppe, und
DO der Luftabstand auf der Achse zwischen der Pupille SL und der R1-Oberfläche.
130052/0673
f = 1 1 : 5 Beispiel 13
= 0.4235 Dl = Bildwinkel
Rl = -2.934 D2 = 0.1596 Nl
R2 = -0.4137 D3 = 0.156
R3 = 0.5172 D4 = 0.0658 N-2
R4 = -0.5814 D5 = 0.1378
R5 = -0.5646 D6 = 0.1784 N3
R6 = 1.7452 D7 = 0.0037
R7 = -1.0784 D8 = 0.1295 N4
R8 = 2.934 D9 = 0.0037
R9 = -1.6199 DlO = 0.1099 N5
RIO = 7.2159 DIl = 0.141 N 6
RIl = 0.68 34 D12 = 0.1119
R12 = 1.0343 0.1345 N7
R13
= 25.2°- β = -0.12343
= 1.72 vl = 50.2
= 1.80518 v2 = 25.4
= 1.60311 v3 = 60.7
= 1.757
v4 = 47.9
1.697 v5 =48.5 1.72825 v6 = 28.5
= 1.7725
v7 = 49.6
= 1.895 f2/f = -0.2767 f,/f = 0.5216 DO = 0.0291
f = 1 1 .: 5 Beispiel 14 Bildwinkel Nl = 25.2° β = -0 .12343
0.4309 Dl = 0.1372 = 1.72 vl = 50.2
Rl = -3.3104 D2 = 0.1659 '·. N2
R2 = -0.4118 D3 = 0.068 - = 1.80518 v2 = 25.4
R3 = 0.5596 D4 = 0.1133 N3
R4 = -0.5297 D5 = 0.1596 = 1.60311 v3 = 60.7
R5 = -0.4196 D6 = 0.0948 N4
R6 = 1.2334 D7 = 0.1282 N5 = 1.697 v4 = 48.5
R7 = -0.7865 D8 = 0.1423 = 1.72825 v5 = 28.5
R8 = -1.5704 D9 = 0.0168 N6
R9 = 0.8342 DlO = 0.1341 = 1.7725 v6 = 49.6
RlO = 1.4571
RIl =
= 1.8826 f2/f = -0.2857 f3/f = 0.5303 DO = 0.0069
130052/0673
ΩΕ 1JC67
Beispiel
f = 1 1 : 5 Bildwinkel Nl • = 25.2° 3 = -0 .12343
Rl = = 0.4227 Dl = 0.1398 = 1.72 vl = 50.2
R2 = = -3.6537 D2 = 0.1709 N2
R3 = = -0.402 D3 = 0.0714 = 1.80518 v2 = 25.4
R4 = = 0.5558 D4 = 0.0827 N3
R5 = = -0.5313 D5 = 0.0414 N4 = 1.76182 v3 = 26.6
R6 = = -1.0604 D6 = 0.1282 = 1.60311 v4 = 60.7
R7 = = -0.414 D7 = 0.1031 N5
R8 = = 1.335 D8 = 0.2223 = 1.697 v5 = 48.5
R9 = = -1.5253 D9 = 0.0315 N6
RlO = = 0.7952 DlO = 0.1356 = 1.7725 v6 = 49.6
RIl = = 1.5874 fa/f
/f2 = 1.904 f2/f = -0.2804 16 = 0.5184 DO = 0. 0195
3eispiel
Rl = R2 = R3 = R4 = R5 = R6 = R7 = R8 = R9 = RlO = RIl = R12 = R13 =
f = 1
0.3957
2.4014 -0.3159
0.5107 -1.0159 -0.4331
2.5196 -0.5692 -0.6627 -0.4418 -0.5971
0.71
0.7761
Bildwinkel = 25.2°
Nl = 1.72
Dl = 0.1939 D2 = 0.1921 D3 = 0.0303 D4 = 0.0846 D5 = 0.0546 D6 = 0.0037 D7 = 0.1745 D8 = 0.0037 D9 = 0.1387 DlO= 0.14 77 DIl= 0.0856 D12= 0.1196
g β -0.12343 Vl = 50.2
N2 = 1.80518
N3 = 1.60311
N4 = 1.757
N5 = 1.697
N6 = 1.72825
N7 = 1.7725
v2
25.4
v3 = 60.7 v4 = 47.9
v5 = 48.5 v6 = 28.5
v7 = 49.6
Ifι/f2] = 2.6519 f?/f = -0.2385 f3/f = 0.4206 DO = 0.0158
130052/0673
JS-
DE 106 7
Beispiel 17
f = 1 1 : 5 Bildwinkel ■ -. = 25.2° 3 = -0. 1234
Rl = 0.4103 Dl = 0.0989 Nl = 1.72 vl = 50.2
R2 = -2.1886 D2 = 0.1497
R3 = -0.4378 D3 = 0.0595 N2 = 1.80518 v2 = 25.4
R4 = 0.5473 D4 = 0.1499
R5 = -0.5567 D5 = 0.1904 N3 β 1.60311 v3 = 60.7
R6 = -0.5263 D6 = 0.0036
R7 = 5.6929 D7 = 0.1218 N4 = 1.757 v4 = 47.9
R8 = -1.368 D8 = 0.0036
R9 = 3.3639 D9 = 0.1172 N5 = 1.697 v5 = 48.5
RlO = -1.539 DlO = 0.1 N6 = 1.72825 v6 = 28.5
RU = 35.1532 DIl = 0.0915
R12 = 0.6849 D12 = 0.0815 N7 = 1.7725 v7 = 49.6
R13 = 1.4832
fi/f2| = 1.6578 f2/f = -0.2941 f 3/f = 0.5815 DO = 0. 02
Beispiel Iff
Rl =
R2 =
R3 =
R4 =
R5 =
R6 =
R7 =
R8 =
R9 =
RlO=
RIl=
Rl 2=
R13=
f = 1
0.4616 -2.5065 -0.4707
0.6353 -0.5035 -0.5187
3.1351 -1.4508
2.1422 -1.3417 27.4187
0.7259
1.2478 = 1.6798
Dl : D2 ■■ D3 : D4 : D5 : D6 = D7 = D8 = D9 = DlO= DIl= D12=
Bildwinkel , = 25.2° 3 = -0.12343 = 0.1423 Nl = 1.72 vl = 50.2
■- 0.1625
N2 = 1.80518
0.0522 0.1537 0.1863 0.0037 0.1227 0.0037 0.1286 0.1032 0.0895 0.1182
N3 = 1.60311 N4 = 1.757
N5 = 1.697 N6 = 1.72825
N7 = 1.7725
v2 = 25.4 v3 = 60.7 v4 = 47.9
v5 = 48.5 v6 = 28.5
v7 = 49.6
f2/f = -0.3289 f3/f = 0.5736 DO = 0.Q156
130052/0673
Zt-
Beispiel
f = 1 1 0.5951 : 5 Bildwinkel 0. 1798 χ = 25.2° 72 β = -0 .12343 2
Rl = 0.3092 2.425 Dl = 0. 0857 Nl = 1. vl = 50.
R2 = -1.3737 = 1.9288 D2 = 0. 085 80518 4
R3 = -0.2973 D3 = 0. 1288 N2 = 1. v2 = 25.
R4 = 0.3564 D4 = 0. 0897 60311 7
R5 = -0.5992 D5 = 0. 0037 N3 = 1. v3 = 60.
R6 = -0.6701 D6 = 0. 138 757 9
R7 = 2.6866 D7 = 0. 0037 N4 = 1. v4 = 47.
R8 = -0.6575 D8 = 0. 0833 697 5
R9 = -2.5082 D9 = 0. 101 N5 = 1. 72825 v5 = 48. 5
RlO= -3.5115 DlO= 0. 089 N6 = 1. v6 = 28.
Rll=-11.326 DIl= 0. 0767 7725 6
R12= D12= N7 = 1. v7 = 49.
R13 = -0 .1903 .496
/f2 tt/t = Beispiel 20 f3/f = 0 DO = 0. 3152
f = 1
Rl = 0.29 8
R2 = -1.3058 R3 = -0.2875 R4 = 0.3573 R5 = -0.5748 R6 = -0.4784 R7 = 1.1557 R8 = -1.383
R9 = -1.6648 RlO= 0.7112 RIl= 2.7318
Bildwinkel . = 25.2°
Nl = 1.72
Dl = 0.188
D2 = 0.0778 D3 = 0.0574 D4 = 0.1482 D5 = 0.0653 D6 = 0.1083 D7 = 0.1496 D8 = 0.1051 D9 = 0.0158 DlO= 0.1017
N2 = 1.80518
N3 = 1.60311
N4 = 1.697
N5 = 1.72825
N6 = 1.7725
β = -0.12343 vl = 50.2
v2 = 25.4 v3 = 60.7
v4 = 48.5 v5 = 28.5
v6 = 49.6
Ifi
= 1.8621 f2/f = -0.1903 f3/f = 0.5096 DO = 0.0099
130052/0673
Rl =
R2 =
R3 =
R4 =
R5 =
R6 =
R7 =
R8 =
R9 =
RlO=
RIl=
f = 1
0.4133 -2.4883 -0.4097
0.5148 -0.5332 -0.4298
1.1578 -2.0472
0.9246 -24.8952
2.4866
-3Ö- DE 1067
Beispiel 21
Bildwinkel = 25.2° Nl =» 1.72
Dl = 0.1413 D2 = 0.1479 D3 = 0.0848 D4 = 0.1134 D5 = 0.1512 D6 = 0.1092 D7 = 0.1559 D8 = 0.1053 D9 = 0.0956 DlO= 0.1017
N2 - 1.80518
N3
N4
1.60311
1.697
N5 = 1.7725 N6 * 1.80518
β = -0.12343 vl = 50.2
v2 = 25.4 v3 = 60.7 v4 = 48.5
v5 = 49.6 v6 = 25.4
I = 1.8463 f2/f = -0.2722 f3/f = 0.5321 DO = 0.0079
20 Die ternären Aberrationskoeffizienten der vorstehenden Beispiele sind in der folgenden Tabelle 2 zusammengefaßt, wobei I die sphärische Aberration, II die Koma, III der Astigmatismus, P die Petzvalsumme und V die Verzeichnung ist.
Tabelle
\ Beispiel
Ko-^\^
effizxeht^
Beispiel 13 Beispiel 14 Beispiel 15 Beispiel 16
I 0.02847 -0.08302 0.06864 -0.3336
IE 0.09015 0.1896 0.15269 0.49706
m -0.00516 -0.00769 -0.01428 0.12913
P 0.14767 0.21517 0.19111 0.13869
V 0.18112 0.01496 0.0142 -0.0607
130052/0873
Beispiel 17 -'M- DE 1 067 spiel 19 3108018
r-4.Jeispiel
Ko-""---..
[.effiziente
0.15339 Beispiel 18 Bei .13221 Beispiel 20
I 0.09323 0.09436 0 .2282 0.15643
H -0.01272 0.10385 0 .17019 0.17737
m 0.25299 0.00036 0 .07882 0.07046
P 0.14735 0.25626 0 .203:53 0.11143
V 0.20489 0 0.12851
'Beispiel 21
"^ ^-Beispiel
κο- ~\f
effizient-« ■
0.0236
I 0.15886
IE -0.03366
in 0.24261
P -0.02899,
V
130052/0673
df 1067 3108Q1i
Beschrieben worden iolezentrische Projektiomjobjektivo, die folgende Merkmale aufweisen: "Hülle" K-Zahl., hohes Auflösungsvermögen und hoher Kontrast; d.h. sie sind gut korrigiert in Bezug auf die sphärische Aberration, die Koma, die Bildfeldkrümmung und die Verzeichnung und sind dazu gedacht, bei einer Öffnungsausbeute von 100 % und einem Abbildungsmaßstab von etwa 1/10 verwendet zu werden. Das telezentrische Projektionsobjektiv umfaßt gesehen von
,,. der Objektfeldseite eine erste Linsengruppe, die aus einer positiven Einzellinse besteht, eine zweite Linsengruppe, die aus einer negativen Einzellinse besteht, sowie eine dritte Linsengruppe, die aus zwei positiven Linsen besteht. Die Linse der zweiten Gruppe ist eine Doppelkon-
ic kavlinse; eine der positiven Linsen in der dritten Gruppe hat eine Kittfläche, deren Krümmungsmittelpunkt auf dor Objektfeldseite liegt. Die Brennweiten f., f- und f^ der ersten, zweiten und dritten Gruppe und die Brennweite f des Gesamtsystems erfüllen die folgenden Bedingungen:
1.69 < |fi/fz| < 2.55
-0.33 1 f2/f < -0.19 0.41 < f3/f < 0.59
130052/0673
Zt.
Leerseite

Claims (5)

Patentansprüche
1. Telezentrisches Projektionsobjektiv, gekennzeichnet durch eine aus einer Einzellinse positiver Brechkraft bestehende erste Linsengruppe (I) , eine aus einer Doppelkonkavlinse negativer Brechkraft bestehende zweite Linsengruppe (II), eine aus zwei positiven Linsen, von denen eine eine Kittfläche hat, deren Krümmungsmittelpunkt von dieser Fläche in Richtung auf die Objektfeldseite beabstandet ist, bestehende dritte Linsengruppe (III), wobei die erste, zweite und dritte Linsengruppe in dieser Reihenfolge gesehen von der Objektfeldseite her angeordnet sind und die folgenden Bedingungen erfüllen:
1.69 4 -0.33 < 0.41 £
fz/f f3/f
£ 2·55
< -0.19
< 0.59
wobei f
1'
_ und f, die Brennweiten der ersten, zweiten und dritten Linsengruppe und f die Brennweite des Gesamtsystems ist.
130052/0673
Deutsche Bank (München) Kto. 51/61070
DE 1067
2. Telezentrisches Projektxonsobjektxv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche der ersten Linsengruppe auf die Objektfeldseite konvex hin zur Objektfeldseite ist und die Form der durch die zwei positiven Linsen in der dritten Linsengruppe gebildeten Luftlinse doppelkonkav ist.
3. Telezentrisches Projektionsobjektiv, gekennzeichnet durch eine aus einer Einzellinse positiver Brechkraft bestehende erste Linsengruppe (I), eine aus einer Doppelkonkavlinse negativer Brechkraft bestehende zweite Linsengruppe (II), und eine aus drei oder vier Linsen, von denen eine eine Kippfläche hat, bestehende dritte Linsengruppe (III), wobei die erste, zweite und dritte Linsengruppe in dieser Reihenfolge gesehen von der Objektfeldseite her angeordnet sind und die folgenden Bedingungen erfüllen:
1.72 £ |fi/f2| < 2.58
-0.33 £ f2/f <, -0.19
0.41 <: f3/f <_ 0.59
wobei f.. , f - und f _ die Brennweite der ersten, zweiten und dritten Linsengruppe und f die Brennweite des Gesamtsystems ist.
4. Telezentrisches Projektionsobjektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die der Objektfeldseite nächste Fläche der ersten Linsengruppe konvex zur Objektfeldseite ist.
5. Telezentrisches Projektionsobjektiv nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die der Objektfeldsexte nächste Linse der dritten Linsengruppe eine Meniskus-
OJ linse ist, deren konkave Fläche hin zur Objektfeldseite
130052/0673
DE 1067
liegt und die der Bildfeldseite nächste Linse der dritten Linsengruppe eine Meniskuslinse ist, deren konkave Fläche hin zur Bildfeldseite zeigt.
130052/0673
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