DE3108018A1 - "telezentrisches projektionsobjektiv" - Google Patents
"telezentrisches projektionsobjektiv"Info
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Description
Telezentrisches Proj ektionsobjektiv
Die Erfindung bezieht sich auf ein telezentrisches Projektionsobjektiv,
das für eine Benutzung bei einem Abbildungsraaßstab von etwa 1/10 ausgelegt, "hell" in Bezug auf die
Blendenzahl ist und gut korrigierte Bildfehler hat.
In der Vergangenheit sind Vorlagen-Abtastverfahren entwickelt und verwendet worden, bei denen Festkörper-Bildaufnahmeelemente
als Abtasteinrichtung für Lesegeräte verwendet werden und Festkörper-Bildaufnahmeelemente in der
Bildebene als Abtast-Fotoempfängerelemente angeordnet sind, um die Vorlage abzutasten.
Zur Durchführung dieser bekannten Abtastverfahren muß ein Projektionsobjektiv verwendet werden, um das Vorlagenbild
auf die Festkörper-Bildaufnahmeelemente zu übertragen; ferner muß ein Farbtrennprisma zwischen dem Projektionsobjektiv
und der die Elemente enthaltenden Brennebene angeordnet sein, um die Farbsignale der Vorlage auf die Fest-
Mü/22
130052/0673
deutsche Bank (München) KIo 51/61070
Dresdner Bank (München) KIo. 3939844
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körper-Bildaufnahmeelemente zu übertragen. Wenn ein gewöhnliches
nicht telezentrisches Objektiv in diesem Falle als Projektionsobjektiv verwendet wird, fallen die Außerachs-Strahlen
schräg auf das Farbtrennprisma ein; hierdurch wird eine Abschattung verursache. Zur Lösung des Abschattungsproblems
wird ein Projektionsobjektiv mit telezentrischer Eigenschaft verwendet. Bei Verwendung eines derartigen
Objektives gehen die Hauptstrahlen des einfallenden Lichtes durch den Brennpunkt auf der Seite des Objektfeldes;
deshalb können die Hauptstrahlen des Austrittslichtes einschließlich der Außerachs-Strahlen auf der
Seite des Bildfeldes parallel zu der optischen Achse verlaufen. Dies ist eine wirksame bekannte Methode zur Lösung
des Abschattungsproblems, das durch das Farbtrennprisma verursacht wird.
Die Projektionsobjektive, die zur Verwendung des vorstehend
erläuterten Abtastverfahrens nützlich sind, haben jedoch gleichzeitig eine Vielzahl von Erfordernissen zu erfüllen.
im allgemeinen sollen derartige Projektionsobjektive die folgenden Erfordernisse erfüllen:
1.) Die Blendenzahl (F-Zahl) des Objektivs sollte relativ
" hell" sein. Um eine Hochgeschwindigkeitsabtastung unter Verwendung von Festkörper-Bildaufnahmeelementen auszuführen,
wird es gewünscht, die Belichtungalichtmenge für die Elemente pro Zeiteinheit so groß wie möglich zu machen.
Andererseits wird es gewünscht, als Vorlagen-Beleuchtungslampe eine Lichtquelle zu verwenden, deren Beleuchtungs-
ow stärke so niedrig wie möglich ist. Aus diesem Grunde ist
es erforderlich, daß das Projektionsobjektiv eine relativ
"helle" Blendenzahl hat.
2.) Um die Größe des Geräts zu verringern, d.h. den Ab-
stand zwischen der Vorlagenfläche und der Brennebene zu
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verkleinern, sollte das Objektiv ein Weitwinkel-Bildfeld haben.
3.) Das Objektiv sollte ein großes Auflösungsvermögen haben,
da die Größe des Festkörper-Bildaufnahmeelements, die in der Größenordnung von 15μπι ist, sehr klein ist.
4.) Das Objektiv sollte für eine Verwendung mit einer Öffnungsausbeute
für den Bereich außerhalb der Achse von 100 % geeignet sein. Diese Forderung rührt daher, daß die
Verteilung der Lichtintensität über alle Festkörper-Bildauf nahmeelemente gleichförmig sein sollte.
5.) Das Objektiv sollte in der Lage sein, die Vorlagenfläche gleichförmig zu projizieren. Anders ausgedrückt,
die Verzeichnung des Objektivs sollte gering sein.
6.) Da ein Farbtrennprisma zwischen dem Objektiv und dem Festkörper-Bildaufnahmeelement angeordnet sein muß, sollte
das Objektiv eine relativ lange hintere Brennweite haben.
Demgemäß ist es Aufgabe der Erfindung, ein telezentrisches Projektionsobjektiv zu schaffen, das die obigen Erfordernisse
erfüllt. Hierzu soll ein telezentrisches Objektiv geschaffen werden, das hell in Bezug auf die Blendenzahl
ist, das sowohl ein hohes Auflösungsvermögen als auch einen hohen Kontrast als Ergebnis einer gut korrigierten
sphärischen Aberration, Koma, Bildfeldkrümmung und Verzeichnung hat, und das zur Verwendung bei einer öffnungsausbeute
von 100 % und einem Abbildungsmaßstab von etwa 1/10 geeignet ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird gemäß einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung ein Projektionsobjektiv geschaffen,
das eine am Brennpunkt auf der Seite des Objektfeldes des
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. DE 1067
gesamten Linsensystems angeordnete Pupille hat und eine aus einer positiven Einfachlinse aufgebaute erste Linsengruppe,
eine aus einer doppelt konkaven Einfachlinse aufgebaute zweite Linsengruppe und eine aus zwei positiven
Linsen aufgebaute dritte Linsengruppe aufweist, die in dieser Reihenfolge in Richtung von der Objektfeldseite
angeordnet sind, wobei eine der beiden positiven Linsen in der dritten Gruppe eine Kitt fläche hat, deren Krümmungsmittelpunkt
auf der Seite des Objektfeldes liegt, und wobei das Projektionsobjektiv so ausgelegt ist, daß es die
folgenden Bedingungen erfüllt:
| (1) | 1 | .69 | VlI | If | i/fzl | < | 2 | .55 |
| (2) | -O | .33 | < | f | < | -0 | .19 |
< <
(3) 0.41 = f3/f = 0.59
wobei f-, f- und f3 die Brennweiten der ersten, zweiten
bzw. dritten Linsengruppen und f die Brennweite des Gesamt systems sind.
Der zweite Gesichtspunkt der Erfindung ist auf ein Projektionsobjektiv
gerichtet, das eine am Brennpunkt auf der Seite des Objektfeldes des gesamten Linsensystems angeordnete
Pupille hat und eine aus einer positiven Einfachlinse aufgebaute erste Linsengruppe, eine aus einer doppelt
konkaven Einfachlinse aufgebaute zweite Linsengruppe und eine aus drei oder vier Linsen aufgebaute dritte Linsengruppe
umfaßt, die in dieser Reihenfolge von der Objekt feldseite her gesehen angeordnet sind, wobei eine der
Linsen in der dritten Linsengruppe eine Kittfläche hat, und das Projektionsobjektiv so ausgelegt ist, daß es die
folgenden Bedingungen erfüllt:
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(1·) 1.72 έ |f,/f2|= 2.58
(2·) -0.33 = f2/f = -0.19
(3') 0.41 =
U/i = 0.59
wobei f-, f2 und f_ die Brennweiten der ersten, zweiten
bzw. dritten Linsengruppe und f die Brennweite des Gesamtsystems sind.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben.
Es zeigen:
,c Fig. 1 A einen Querschnitt durch das als
Beispiel 1 beschriebene Objektiv,
Fig. 1 B die Bildfehler dieses Objektivs, Fig. 1 C die Querfehler dieses Objektivs
on auf der Gauss'sehen Bildebene,
Fig. 2 A einen Querschnitt durch das Beispiel 2 und
Fig. 2 B dessen Bildfehler,
ITig. 3 Λ einen Querschnitt durch Beispiel 3
und
Fig. 3 B dessen Bildfehler,
Fig. 4 A einen Querschnitt durch Beispiel 4 und
Fig. 4 B dessen Bildfehler, Fig. 5 A einen Querschnitt durch Beispiel 5
und
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-j/-V DE 1067
Fig. 5 B dessen Bildfehler.
Fig. 6 A einen Querschnitt durch Beispiel 6 und
Fig. 6 B dessen Bildfehler.
Fig. 6 B dessen Bildfehler.
Fig. 7 A einen Querschnitt durch Beispiel 7
und
Fig. 7 B dessen Bildfehler. 10
Fig. 8 A einen Querschnitt durch Beispiel 8
und
Fig. 8 B dessen Bildfehler.
Fig. 8 B dessen Bildfehler.
Fig. 9 A einen Querschnitt durch Beispiel 9
und
Fig. 9 B dessen Bildfehler.
Fig. 9 B dessen Bildfehler.
Fig.10 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig.10 B dessen Bildfehler.
Fig.11 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig.11 B dessen Bildfehler.
Fig.11 B dessen Bildfehler.
Fig.12 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig.12 B dessen Bildfehler. 30
Fig.13 A einen Querschnitt durch Beispiel
und
Fig.13 B die Bildfehler dieses Beispiels sowie Fig.13 C die Queraberrationen dieses Beispiels
Fig.13 B die Bildfehler dieses Beispiels sowie Fig.13 C die Queraberrationen dieses Beispiels
auf der Gauss'sehen Bildebene,
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Fig. 14 A einen Querschnitt durch Beispiel
und Fig. 14 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 15 Λ einen Querschnitt durch Beispiel
und Fig. 15 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 16 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig. 16 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 17 A einen Querschnitt durch Beispiel und Fig. 17 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 18 B einen Querschnitt durch Beispiel
und
Fig. 18 B die Bildfehler dieses Beispiels, 20
Fig. 19 A einen Querschnitt durch Beispiel
und Fig. 19 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 20 A einen Querschnitt durch Beispiel
und Fig. 20 B die Bildfehler dieses Beispiels,
Fig. 21 A einen Querschnitt durch Beispiel und
Fig. 21 B die Bildfehler dieses Beispiels.
Zunächst sollen die Bedingungen (1) bis (3) erläutert werden, die sich auf das Projektionsobjektiv gemäß einem ersten
Gesichtspunkt der Erfindung beziehen.
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Durch Erfüllen der Bedingung (1) kann die sphärische Aberration Cjut korricjiort werden, wobei das Gleichgewicht dor
Brechkräfte der ersten und zweiten Linsengruppe gehalten wird. Das erfindungsgemäße Objektiv ist ein telezentrisches
System und der Abstand der Hauptpunkte der zweiten und dritten Gruppe ist größer als der Abstand zwischen denen
der ersten und zweiten Gruppe. Deshalb sind die Stellen, an denen die paraxialen Strahlen durch die erste Linsengruppe
hindurchgehen, weit von der optischen Achse beabstandet, wodurch eine große sphärische Aberration erzeugt
wird. Wenn ff /f_ f unterhalb der unteren Grenze 1,69 liegt,
wird die Brechkraft der ersten Gruppe hoch und die durch die Oberfläche hindurchgehenden paraxialen Strahlen stark
in Richtung auf die optische Achse gebeugt. Als Ergebnis hiervon wird eine große negative sphärische Aberration erzeugt.
Wenn andererseits Jf1Zf- I die obere Grenze 2,55
übersteigt, wird die Brechkraft der zweiten Linsengruppe hoch und die zweite Linsengruppe erzeugt eine derart
große positive sphärische Aberration, die die in der ersten Gruppe erzeugte negative sphärische Aberration überkompensiert.
Die Bedingung (2) muß zur Korrektur der Bildfeldkrümmung des Linsensystems erfüllt sein.
Wenn f2Zf größer als die obere Grenze -0,19 ist, ist die
Petzvalsumme überkompensiert und die Bildfeldkrümmung
zu stark korrigiert. Um dies zu korrigieren, muß die Brechkraft der zweiten Linsengruppe in ihrem Absolutwert
angehoben werden. Wenn der Absolutwert der Brechkraft der zweiten Gruppe so erhöht wird, wie untenstehend in Verbindung
mit der Bedingung (3) beschrieben ist, in der zweiten Gruppe eine große Verzeichnung erzeugt, die schwierig
zu korrigieren ist. Wenn andererseits f2Zf kleiner als
die untere Grenze von -0,33 ist, wird es schwierig, die
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Petzvalsumme des gesamten Systems zu korrigieren; hierdurch wird eine Unterkorrektur der Bildfeldkrümmung verursacht.
Bedingung (3) ist zur Korrektur der Bildfeldkrümmung und Verzeichnung notwendig. Da das Objektiv zu den telezentrischen
Systemen gehört, sind die Stellen, an denen die Hauptstrahlen
durch die dritte Linsengruppe hindurchgehen, weit von der optischen Achse entfernt. Wenn f-,/f kleiner als
die untere Grenze von 0,4 ist, wird die Brechkraft der dritten Linsengruppe hoch und die durch die dritte Gruppe
hindurchgehenden Hauptstrahlen stark in Richtung auf die optische Achse gebeugt. Hierdurch wird eine große Verzeichnung
erzeugt. Wenn andererseits f^/f größer als die
obere Grenze 0,59 ist, bekommt die Bildfeldkrümmung ein
so großes Ausmaß, daß sie schwer zu korrigieren ist.
Im folgenden sollen die Linsenformen gemäß dem ersten erfindungsgemäßen
Gesichtspunkt im einzelnen beschrieben werden.
20
20
Wie vorstehend beschrieben worden ist, muß das erfindungsgemäße Linsensystem "hell" in Bezug auf die relative Öffnung
sein. Um dies zu erreichen, ist es vorteilhaft, die sphärische Aberration der ersten Linsengruppe effektiv
zu korrigieren, die die Gruppe ist, in der die paraxialen
Strahlen den größten Abstand von der optischen Achse haben. Hierzu ist die Oberfläche der ersten Linsengruppe
auf der Seite des Objektfeldes so geformt, daß sie konvex
zu der Objektfeldseite ist.
30
30
Bei dem erfindungsgemäßen Linsensystem ist die Linsengruppe,
die die Petzvalsumme korrigiert, lediglich die zweite Gruppe. Deshalb ist die Bedingung für die Brechkraft für
die zweite Gruppe streng. Aus diesem Grunde ist die nega-
txve Linse der zweiten Gruppe als Doppelkonkavlinse aus-
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gebildet, um die Bildfehler in der zweiten Gruppe zu verringern.
Da ein Farbtrennfilter zwischen die Bildebene und die der
Bildebene am nächsten cjelegene Linsenfläche eingeschoben ist, muß das Linsensystem eine große rückwärtige Brennweite
haben. Hierzu ist die dritte Linsengruppe aus zwei positiven Linsen zusammengesetzt und derart ausgebildet,
daß die von den zwei positiven Linsen gebildete Luftlinse die Form einer Doppelkonkavlinse hat.
Die folgenden Beispiele 1 bis 12 erläutern in Verbindung
mit den Fig. 1 bis 12 das vorstehend erläuterte Projektionsobjektiv
gemäß dem ersten Gesichtspunkt der Erfindung und demonstrieren die erfindungsgemäße Wirkung.
In den Beispielen ist
Ri der Krümmungsradius der i-ten Fläche des Linsensystems,
20
Di die Dicke oder der Luftabstand auf der Achse zwischen der
i-ten Oberfläche und der i + 1-ten Oberfläche,
Ca) der Bildwinkel,
P der Abbildungsmaßstab bei scharfer Abbildung, (magnification of
facos)
Ni der Brechungsindex der i-ten Linse für die D-Linie, i die Abbe'sehe Zahl der i-ten Linse,
fi die Brennweite der i-ten Gruppe, und
DO der Luftabstand gemessen an der Achse zwischen der Pu pille SL und der R1-Oberfläche.
Für alle Beispiele 1 bis 12 ist die relative Öffnung 1:5
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4Ϋ.
| Rl = | f = | = 1 | |
| R2 = | O. | ,3986 | |
| R3 = | -5. | ,6178 | |
| R4 = | -0. | ,3958 | |
| R5 = | 0. | ,4543 | |
| R6 = | -2. | 8306 | |
| R7 = | -0. | ,3292 | |
| R8 = | -0. | 6113 | |
| R9 = | 0. | 8726 | |
| i/fzl | 6073 | ||
| f | = 2. | 0161 | |
| Rl = |
Il
U-I |
■■ 1 | |
| R2 = | 0. | 4403 | |
| R3 = | -1. | 8559 | |
| R4 = | -0. | 4636 | |
| R5 = | 0. | 5059 | |
| R6 = | 6321 | ||
| R7 = | -0. | 4315 | |
| R8 = | -0. | 5964 | |
| R9 = | 1. | 0092 | |
| l/fll | -5. | 1222 | |
| f | = 1 | .723 | |
Bildwinkel s 25.2° B = 0.12343
Dl = 0.134 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.1653
D3 = 0.0701 N2 = 1.80518 v2 = 25.4 D4 = 0.1345
D5 = 0.1384 N3 = 1.697 v3 = 48.5
D6 = 0.1588 N4 = 1.72825 v4 = 28.5 D7 = 0.0181
D8 = 0.1635 N5 = 1.7725 v5 = 49.6
D8 = 0.1635 N5 = 1.7725 v5 = 49.6
f2/f = -0.2543 f3/f = 0.4971 DO = 0.0213
Bildwxnkel =25.2° β = -0.12343 Dl = 0.1682 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.13
D3 = 0.0329 N2 = 1.80518 v2 = 25.4 D4 = 0.1492
D5 = 0.2362 N3 = 1.697 v3 = 48.5 D6 = 0.0414 N4 = 1.72825 v4 = 28.5
D7 = 0.0528
D8 = 0.0925 N5 = 1.7725 v5 = 49.6
D8 = 0.0925 N5 = 1.7725 v5 = 49.6
f2/f = -0.296 fa/f = 0.5764 DO = 0.1764
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f = 1
Rl = 0.3446 R2 = 4.6621 R3 .= -0.3246 R4 = 0.3854 R5 = 1.3077
R6 = -0.3306 R7 = 0.5451 R8 = 0.9435 R9 = 28.7464 fi/f2I = 2.3587
/is-
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Bildwinkel =25.2° B= -0.12343
Dl = 0.1461 Nl = 1.72 vl = 50.2 D2 = 0.1688
D3 = 0.0205 N2 = 1.80518 v2 = 25.4 D4 s 0.0696
D5 = 0.2144 N3 = 1.674 v3 = 48.5
D6 = 0.2108 N4 = 1.72825 v4 = 28.5 D7 = 0.0697
D8 = 0.1443 N5 = 1.7725 v5 = 49.6
E2/f = -0.216 f3/f = 0.4485 DO = 0.0219
f = 1
Rl = 0.4 822 R2 =-35.0608 R3 = -0.4207 R4 = 0.6509 R5 = -1.3008
R6 = -0.2572 R7 = -0.4887 R8 = 0.8924 R9 = -5.1437 fj/f2I = 2.1135
Bildwinkel =25.2° B= -0.12343 Dl = 0.1456 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.2244
D3 = 0.0325
D3 = 0.0325
N2 = 1.80518 D4 = 0.0834
D5 = 0.1128 N3 = 1.697 D6 = 0.1755
D7 = 0.0625
D7 = 0.0625
N4 = 1.72825
D8 = 0.1618 N5 = 1.7725
v2 = 25.4
v3 = 48.5 v4 = Z8.5
v5 = 49.6
= -0.3131 f3/f = 0.4966 DO = 0.0399
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-Λ7-
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f = 1 Bildwinkel =25.2° Q= -0.12343
Rl = 0.3052 Dl = 0.1736 Nl = 1.72 vl = 50.2
R2 = -1.5021 D2 = 0.089
R3 = -0.3001 D3 = 0.0837 N2 = 1.80518 v2 = 25.4
R4 = 0.3522 D4 = 0.1376
D5 = 0.1725 D6 = 0.167
D7 = 0.0713 D8 = 0.0988
D7 = 0.0713 D8 = 0.0988
R5 = 3.8193 R6 = -0.5969 R7 = -0.7671 R8 = 0.6312 R9 = 4.6414 fi/fzl = 1.9285 f2/f =-0.1904 £3/f = 0.4961 DO = 0.04
N3 = 1.697
N4 = 1.72825
N4 = 1.72825
N5 = 1.7725
v3 = 48.5 v4 = 28.5
v5 = 49.6
| f = 1 | Beispiel | Bildwinkel | 0.0891 | = 25 | 6 | -0. | 3-/f = 0.5261 | 12343 | |
| = 0.4186 | Dl = | 0.197 | Nl | .2° 3 = | vl | = 50.2 | |||
| Rl | = -9.096 | D2 = | 0.0279 | = 1.72 | |||||
| R2 | = -0.4351 | D3 = | 0.1493 | N2 | v2 | = 25.4 | |||
| R3 | = 0.4955 | D4 = | 0.1956 | = 1.80518 | |||||
| R4 | = -1.6863 | D5 = | 0.1151 | N3 | v3 | = 48.5 | |||
| R5 | = -0.3195 | D6 = | 0.0153 | N4 | = 1.697 | v4 | = 28.5 | ||
| R6 | = -0.5561 | D7 = | 0.0852 | = 1.72825 | |||||
| R7 | = 0.9878 | D8 = | N5 | v5 | = 49.6 | ||||
| R8 | = -4.6263 | = -0.284 | = 1.7725 | ||||||
| R9 | f 2 j = 1.96552 | f,/f | 14 f | DO = 0.0437 | |||||
| / | |||||||||
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Rl = R2 = R3 = R4 = R5 = R6 = R7 = R8 =
R9 = fi/ U N2 = 1.80518 v2 = 25.4
f = 1 Bildwinkel =25.2° 3 = -0.12343 0.4165 Dl = 0.1912 Nl = 1.72 vl = 50.2
-3.39
-0.3872 0.4866
-0.7668
-0.251
-0.4241 0.7723 D2 = 0.1481 D3 = 0.0785 D4 = 0.1315 D5 = 0.0804 D6 = 0.1176
D7 = 0.0631 D8 = 0.1651 N5 = 1.7725
N3 = 1.697 N4 = 1.72825
v3 = 48.5 v4 = 28.5
V5 = 49.6 -6.2772 = 2.0437 fz/f = -0.2571 f3/f = 0.4901 DO = 0.0373
Bxldwinkel = 25.2° 3 = -0.12343 Dl = 0.1182 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.1449
N2 = 1.80518
f =
Rl = 0.3482 R2 = -4.0406 R3 = -0.3748 R4 = 0.3816 R5 = 1.7347
R6 = -0.4603 R7 = -0.7049 R8 = 0.8119 R9 = 8.081
|fi/f2| = 2-.0039 fz/f = -0.2247 f3/f = 0.4957 DO = 0.Q344
|fi/f2| = 2-.0039 fz/f = -0.2247 f3/f = 0.4957 DO = 0.Q344
D3 = 0.0764 D4 = 0.1265 D5 = 0.2061 N3 =1.697
D6 = 0.1757 N4 = 1.72825 D7 = 0.0618 D8 = 0.1439 N5 = 1.7725
v2 = 25.4
v3 = 48.5 v4 = 28.5
v5 = 49.6
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Rl =
R2 =
R3 =
R4 =
R5 =
R6 =
R7 =
R8 =
R9 = ι/ f2
f = 1 Bildwinkel »25.2° β = -0.12343 0.4429 Dl = 0.0335 Nl = 1.72 vl = 50.2
-4.1849 D2 = 0.204
-0.5629 0.4844
-2.4032
-0.4017
-0.6186 1.0314 D3 = 0.0209 D4 = 0.2198 D5 = 0.2335 D6 = 0.0267 D7 = 0.0515
D8 = 0.0917
N2 = 1.80518 v2 = 25.4
Ν3 = 1.697 Ν4 = 1.72825
V3 = 48.5 v4 = 28.5
Ν5 = 1.7725 v5 = 49.6 -6.7698
= 1.741 f2/f = -0.3205 f3/f = 0.5832 DO = 0.0585
= 1.741 f2/f = -0.3205 f3/f = 0.5832 DO = 0.0585
Rl = R2 = R3 = R4 = R5 = R6 = R7 = R8 =
R9 =
f = 0.3693 2.5301
-0.2971 0.4745 1.9365
-0.2642
-0.4824 0.9622
-9.8269 I= 2.5728
Bildwinkel =25.2° β = -0.12343 Dl = 0.1981 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.1765
N2 = 1.80518
D3 = 0.0161 D4 = 0.0643 D5 = 0.1127 D6 = 0.2305
D7 = 0.07 D8 = 0.1526
N3 = 1.697 N4 = 1.72825
N5 = 1.7725
v2 = 25.4
v3 = 48.5 v4 = 28.5
v5 = 49.6
= -0.2248 f3/f = 0.4199 DO = 0.0248
130052/0673
-^d- *" "DE "Ϊ067
Λ.
Beispiel 11
f = 1
Rl - 0.3879 R2 = -9.0167 R3 = -0.3786 R4 = 0.4629
R5 = 21.2811 R6 = -0.3036 R7 = -0.5721 R8 = 0.7612
Bildwinkel =25.2° β = -0.12343
Dl = 0.1531 Nl = 1.72 vl = 50.2
D2 = 0.165
D3 = 0.0698 N2 = 1,80518 v2 = 25.4
D4 = 0.1477
D5 = 0.1962 N3 = 1.697 v3 = 48.5
D6 = 0.1701 N4 = 1.72825 v4 = 28.5
D7 = 0.052 D8 = 0.1554
N5 = 1.7725
v5 = 49.6
R9 = 6.2487
fi/f2| = 2.0849 f2/f = -0.2494 f3/f = 0.4834 DO = -0.2064
fi/f2| = 2.0849 f2/f = -0.2494 f3/f = 0.4834 DO = -0.2064
f = 1
Rl = 0.3756 R2 = -3.3599 R3 = -0.3905
R4 = 0.4348 R5 = -2.0321 R6 = -0.578
R7 = 0.8196 R8 = -1.6015 Eildwinkel =25.2° β = -0.12343 Dl = 0.1325 D2 = 0.145 D3 = 0.0774 ■ D4 = 0.1877 D5 = 0.1835 D6 = 0.0618 D7 = 0.1767 D8 = 0.1025
R7 = 0.8196 R8 = -1.6015 Eildwinkel =25.2° β = -0.12343 Dl = 0.1325 D2 = 0.145 D3 = 0.0774 ■ D4 = 0.1877 D5 = 0.1835 D6 = 0.0618 D7 = 0.1767 D8 = 0.1025
R9 - -3.9946
fi/ f2| = 1.9421 f2/f = -0.2452 f3/f = 0.5112 DO = 0.0327
fi/ f2| = 1.9421 f2/f = -0.2452 f3/f = 0.5112 DO = 0.0327
13005 2/0673
Ά.
-γ
DE 1067
In Tabelle 1 sind die ternären Aberrationskoeffizienten
der vorstehend gezeigten Beispiele zusammengefaßt. In der Tabelle ist mit I die sphärische Aberration, mit II die
Koma, mit III der Astigmatismus, mit P die Petzvalsumme und mit V die Verzeichnung bezeichnet.
| H. | ~~"^ Beisnie Kg-r>C |
Beispiel 1 | ""^- Beispie Ko- ~\_ effizient: |
1 ο Beispiel ^ |
Beispiel 2 | Beispiel 3 | Beispiel 4 | Beispiel 6 | Beispiel 7 | Beispiel 8 |
| I | 0.12406 | I | 0.87371 | 0.46004 | -0.14528 | 0.02664-: | 0.16961 | 0.22606 | 0.32845 | |
| It | 0.1735 | H | 0.18237 | 0.1418 | 0.40244 | 0.26765 | 0.24766 | 0.36047 | 0.19517 | |
| v | m | 0.01027 | IH | 0.00096 | 0.03254 | 0.17935 | 0.05713 | 0.05117 | 0.12012 | 0.09247 |
| P | 0.17223 | P | 0.30255 | 0.27954 | 0.09523 | 0.21265 | 0.13695 | 0.1091 | 0.24124 | |
| V | -θ"θ5443 | V | 0.0bl55 | 0.13357 | -0.01235· | -0.02325 | -0.0848 | -0.32938 | 0.04887 | |
| 2C | I | Beispiel 5 | Beispiel 10 | Beispiel 1λ | Beispiel | |||||
| IC | 0.31882 | -0.31711 | 0.08399 | 0.08932 | ||||||
| HE | 0.16566 | 0.45304 | 0.37468 | 0.19056 | ||||||
| P | 0.13201 | 0.22948 | -0.04541 | -0.00143 | ||||||
| 2£ | V | 0.13286 | 0.06921 | 0.2076 | 0.21645 | |||||
| 0.10842 | 0.05192 | 0.01822 | -0.08943 | |||||||
130052/0673
] Im folgenden sollen die Bedingungen (11) bis (31) erläutert
werden, die für das Objektiv gemäß dem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung aufgestellt worden sind.
Die Bedingung (1·) ist notwendig für eine gute Korrektur
der sphärischen Aberration, wozu das Gleichgewicht der Brechkräfte der ersten und zweiten Linsengruppe erhalten
wird. Das erfindungsgemäße Objektiv gehört zu den telezentrischen Systemen und der Abstand zwischen den Hauptpunkten
der zweiten und dritten Gruppe ist größer als der zwischen denen der ersten und zweiten Gruppe. Deshalb
haben die Stellen, an denen die paraxialen Strahlen durch die erste Gruppe hindurchgehen, einen großen Abstand von
der optischen Achse. Hierdurch wird eine große sphärische Aberration erzeugt. Wenn If1Zf7I kleiner als die untere
Grenze 1,72 ist, so ist die Brechkraft der ersten Gruppe hoch; deshalb werden die durch die Oberfläche hindurchgehenden
Paraxialstrahlen stark in Richtung auf die optische Achse gebeugt, so daß eine große negative sphärische
Aberration erzeugt wird. Wenn andererseits If../f2 \ oberhalb
der oberen Grenze 2,58 liegt, so wird die Brechkraft der zweiten Linsengruppe hoch und die zweite Gruppe erzeugt
eine derart große sphärische Aberration', die die von der ersten Linsengruppe erzeugte negative sphärische
Aberration überkompensiert.
Die Bedingung (21) dient zur Korrektur der Bildfeldkrümmung.
Wenn f-i/fo äie obere Grenze -0,19 überschreitet,
ist die Petzvalsumme überkorrigiert und die Korrektur der Bildfeldkrümmung wird zu groß. Um diesen Nachteil zu beseitigen,
muß der Absolutwert der Brechkraft der dritten Gruppe erhöht werden. Wie jedoch später in Verbindung mit
Bedingung (31) beschrieben wird, erzeugt das Anheben des
Absolutwertes der Brechkraft in der dritten Linsengruppe eine starke Verzeichnung, deren Korrektur schwer ist.
130052/0673
DE 1067 3108018 Wenn andererseits f„/f kleiner als die untere Grenze ist,
so wird die Korrektur der Petzvalsumme des Gesamtsystems
schwierig und die Bildfeldkrümmung unterkorrigiert.
Die Bedingung (31) sollte zur Korrektur der Bildfeldkrümmung
und der Verzeichnung erfüllt sein. Dies hat seine Ursache darin, daß das erfindungsgemäße Objektiv zu den telezentrischen
Systemen gehört und die Hauptstrahlen durch die dritte Linsengruppe an Stellen hindurchgehen, die weit
von der optischen Achse entfernt sind. Wenn f-,/f unterhalb
der unteren Grenze von 0,41 liegt, so ist die Brechkraft der dritten Gruppe hoch und die durch die dritte Gruppe
hindurchgehenden Hauptstrahlen werden stark in Richtung auf die optische Achse gebeugt. Hierdurch wird eine große
Verzeichnung erzeugt. Wenn andererseits f^/f oberhalb der
oberen Grenze von 0,59 liegt, nimmt die Bildfeldkrümmung ein so großes Ausmaß an, daß es nicht länger möglich ist,
den Bildfehler zu korrigieren.
!m folgenden soll die Form des Projektionsobjektivs gemäß
dem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung erläutert werden.
Wie bereits erläutert, ist es erforderlich, daß das erfindungsgemäße
Projektionsobjektiv "hell" in Bezug auf die Blendenzahl bzw. die relative öffnung ist. Um dieses
Erfordernis zu erfüllen ist es vorteilhaft, daß die sphärische Aberration in der ersten Gruppe korrigiert wird, in
der die paraxialen Strahlen den größten Abstand von der optischen Achse des Objektivs haben. Hierzu ist die Linsenfläche
auf der Seite des Objektfeldes der ersten Gruppe konvex hin zur Objektfeldseite.
Bei dieser Art von Objektiv wird die Petzvalsumme zuallererst durch die Brechkraft der zweiten Gruppe korrigiert.
Deshalb wird die Bedingung für die Brechkraft der zweiten
130052/06 7 3
23- ^JÖ'Kr^-'C
Gruppe oft außerordentlich streng und die zweite Gruppe kann die verschiedensten Bildfehler erzeugen. Um die Bildfehler
so weit wie möglich zu verringern, ist die zweite Gruppe als Doppelkonkavlinse ausgebildet.
5
Da das erfindungsgemäße Objektiv zu den telezentrischen
Objektiven gehört, sollten die außeraxialen Hauptstrahlen mit einer bestimmten Höhe von der optischen Achse durch
die dritte Linsengruppe beabstandet sein. Es ist vorzuziehen, daß die dem Objektfeld nächste Linse der dritten
Gruppe als positive Meniskuslinse ausgebildet ist, deren konkave Fläche zur Objektfeldseite hin liegt. Weiter ist
es vorzuziehen, daß die im Bildfeld nächste Linse der dritten Gruppe als Meniskuslinse ausgebildet ist, deren
konkave Fläche hin zur Bildfeldseite liegt. Wenn man so verfährt, sind die Hauptstrahlen von der optischen Achse
durch die zuerst erwähnte Meniskuslinse beabstandet und die Aberrationen werden durch die konkave Fläche der an
zweiter Stelle erwähnten Meniskuslinse korrigiert. Da zusätzlich die Linse keine negative Brechkraft hat, kann
das Erfordernis, die rückwärtige Brennweite des Gesamtsystems
zu vergrößern, gleichzeitig erfüllt werden.
Die folgenden Beispiele 13 bis 21 erläutern zusammen mit
den Figuren 13 bis 21 den Entwurf des Projektionsobjektivs
gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung. In den folgenden Beispielen ist die Brennweite f auf 1 numiert,
die Blendenzahl 5,0, der Bildfeldwinkel G>25,2° und die Vergrößerung β bei Scharfeinstellung (focuc magnification y
0,12343. Erneut ist
Ri der Krümmungsradius der i-ten Fläche,
Di die Dicke auf der Achse oder der Luftabstand auf der Achse zwischen der i-ten und der i + 1-ten Oberfläche,
Ni der Brechungsindex der i-ten Linse für die D-Linie,
130052/0673
Vi die Abbe'sehe Zahl der i-ten Linse,
fi die Brennweite der i-ten Linsengruppe, und
DO der Luftabstand auf der Achse zwischen der Pupille SL und der R1-Oberfläche.
130052/0673
| f = 1 1 | : 5 | Beispiel | 13 | |
| = 0.4235 | Dl = | Bildwinkel | ||
| Rl | = -2.934 | D2 = | 0.1596 | Nl |
| R2 | = -0.4137 | D3 = | 0.156 | |
| R3 | = 0.5172 | D4 = | 0.0658 | N-2 |
| R4 | = -0.5814 | D5 = | 0.1378 | |
| R5 | = -0.5646 | D6 = | 0.1784 | N3 |
| R6 | = 1.7452 | D7 = | 0.0037 | |
| R7 | = -1.0784 | D8 = | 0.1295 | N4 |
| R8 | = 2.934 | D9 = | 0.0037 | |
| R9 | = -1.6199 | DlO = | 0.1099 | N5 |
| RIO | = 7.2159 | DIl = | 0.141 | N 6 |
| RIl | = 0.68 34 | D12 = | 0.1119 | |
| R12 | = 1.0343 | 0.1345 | N7 | |
| R13 | ||||
= 25.2°- β = -0.12343
= 1.72 vl = 50.2
= 1.80518 v2 = 25.4
= 1.60311 v3 = 60.7
= 1.757
v4 = 47.9
1.697 v5 =48.5 1.72825 v6 = 28.5
= 1.7725
v7 = 49.6
= 1.895 f2/f = -0.2767 f,/f = 0.5216 DO = 0.0291
| f = 1 1 .: | 5 | Beispiel | 14 | Bildwinkel | Nl | = 25.2° | β = -0 | .12343 | |
| 0.4309 | Dl = | 0.1372 | = 1.72 | vl = | 50.2 | ||||
| Rl = | -3.3104 | D2 = | 0.1659 '·. | N2 | |||||
| R2 = | -0.4118 | D3 = | 0.068 | - | = 1.80518 | v2 = | 25.4 | ||
| R3 = | 0.5596 | D4 = | 0.1133 | N3 | |||||
| R4 = | -0.5297 | D5 = | 0.1596 | = 1.60311 | v3 = | 60.7 | |||
| R5 = | -0.4196 | D6 = | 0.0948 | N4 | |||||
| R6 = | 1.2334 | D7 = | 0.1282 | N5 | = 1.697 | v4 = | 48.5 | ||
| R7 = | -0.7865 | D8 = | 0.1423 | = 1.72825 | v5 = | 28.5 | |||
| R8 = | -1.5704 | D9 = | 0.0168 | N6 | |||||
| R9 = | 0.8342 | DlO = | 0.1341 | = 1.7725 | v6 = | 49.6 | |||
| RlO = | 1.4571 | ||||||||
| RIl = | |||||||||
= 1.8826 f2/f = -0.2857 f3/f = 0.5303 DO = 0.0069
130052/0673
ΩΕ 1JC67
| f = 1 | 1 : 5 | Bildwinkel | Nl | • = 25.2° 3 | = -0 | .12343 | |
| Rl = | = 0.4227 | Dl | = 0.1398 | = 1.72 | vl = | 50.2 | |
| R2 = | = -3.6537 | D2 | = 0.1709 | N2 | |||
| R3 = | = -0.402 | D3 | = 0.0714 | = 1.80518 | v2 = | 25.4 | |
| R4 = | = 0.5558 | D4 | = 0.0827 | N3 | |||
| R5 = | = -0.5313 | D5 | = 0.0414 | N4 | = 1.76182 | v3 = | 26.6 |
| R6 = | = -1.0604 | D6 | = 0.1282 | = 1.60311 | v4 = | 60.7 | |
| R7 = | = -0.414 | D7 | = 0.1031 | N5 | |||
| R8 = | = 1.335 | D8 | = 0.2223 | = 1.697 | v5 = | 48.5 | |
| R9 = | = -1.5253 | D9 | = 0.0315 | N6 | |||
| RlO = | = 0.7952 | DlO | = 0.1356 | = 1.7725 | v6 = | 49.6 | |
| RIl = | = 1.5874 | fa/f | |||||
| /f2 | = 1.904 | f2/f = | -0.2804 | 16 | = 0.5184 DO | = 0. | 0195 |
| 3eispiel |
Rl = R2 = R3 = R4 = R5 = R6 = R7 = R8 = R9 = RlO = RIl =
R12 = R13 =
f = 1
0.3957
2.4014 -0.3159
0.5107 -1.0159 -0.4331
2.5196 -0.5692 -0.6627 -0.4418 -0.5971
0.71
0.7761
Bildwinkel = 25.2°
Nl = 1.72
Dl = 0.1939 D2 = 0.1921 D3 = 0.0303
D4 = 0.0846 D5 = 0.0546 D6 = 0.0037 D7 = 0.1745
D8 = 0.0037 D9 = 0.1387 DlO= 0.14 77 DIl= 0.0856 D12= 0.1196
g β -0.12343 Vl = 50.2
N2 = 1.80518
N3 = 1.60311
N4 = 1.757
N3 = 1.60311
N4 = 1.757
N5 = 1.697
N6 = 1.72825
N6 = 1.72825
N7 = 1.7725
v2
25.4
v3 = 60.7 v4 = 47.9
v5 = 48.5 v6 = 28.5
v7 = 49.6
Ifι/f2] = 2.6519 f?/f = -0.2385 f3/f = 0.4206 DO = 0.0158
130052/0673
JS-
DE 106 7
Beispiel 17
| f = 1 1 | : 5 | Bildwinkel | ■ -. | = 25.2° | 3 = -0. | 1234 | |
| Rl = | 0.4103 | Dl | = 0.0989 | Nl = | 1.72 | vl = | 50.2 |
| R2 = | -2.1886 | D2 | = 0.1497 | ||||
| R3 = | -0.4378 | D3 | = 0.0595 | N2 = | 1.80518 | v2 = | 25.4 |
| R4 = | 0.5473 | D4 | = 0.1499 | ||||
| R5 = | -0.5567 | D5 | = 0.1904 | N3 β | 1.60311 | v3 = | 60.7 |
| R6 = | -0.5263 | D6 | = 0.0036 | ||||
| R7 = | 5.6929 | D7 | = 0.1218 | N4 = | 1.757 | v4 = | 47.9 |
| R8 = | -1.368 | D8 | = 0.0036 | ||||
| R9 = | 3.3639 | D9 | = 0.1172 | N5 = | 1.697 | v5 = | 48.5 |
| RlO = | -1.539 | DlO | = 0.1 | N6 = | 1.72825 | v6 = | 28.5 |
| RU = | 35.1532 | DIl | = 0.0915 | ||||
| R12 = | 0.6849 | D12 | = 0.0815 | N7 = | 1.7725 | v7 = | 49.6 |
| R13 = | 1.4832 | ||||||
| fi/f2| | = 1.6578 | f2/f | = -0.2941 f | 3/f | = 0.5815 | DO = 0. | 02 |
| Beispiel Iff |
Rl =
R2 =
R3 =
R4 =
R5 =
R6 =
R7 =
R8 =
R9 =
RlO=
RIl=
Rl 2=
R13=
R2 =
R3 =
R4 =
R5 =
R6 =
R7 =
R8 =
R9 =
RlO=
RIl=
Rl 2=
R13=
f = 1
0.4616 -2.5065 -0.4707
0.6353 -0.5035 -0.5187
3.1351 -1.4508
2.1422 -1.3417 27.4187
0.7259
1.2478 = 1.6798
Dl : D2 ■■ D3 :
D4 : D5 : D6 = D7 = D8 =
D9 = DlO= DIl= D12=
Bildwinkel , = 25.2° 3 = -0.12343 = 0.1423 Nl = 1.72 vl = 50.2
■- 0.1625
N2 = 1.80518
0.0522 0.1537 0.1863 0.0037 0.1227 0.0037 0.1286 0.1032 0.0895 0.1182
N3 = 1.60311 N4 = 1.757
N5 = 1.697 N6 = 1.72825
N7 = 1.7725
v2 = 25.4 v3 = 60.7 v4 = 47.9
v5 = 48.5 v6 = 28.5
v7 = 49.6
f2/f = -0.3289 f3/f = 0.5736 DO = 0.Q156
130052/0673
Zt-
| f = 1 1 | 0.5951 | : 5 Bildwinkel | 0. | 1798 | χ = | 25.2° | 72 | β = -0 | .12343 | 2 | |
| Rl = | 0.3092 | 2.425 | Dl = | 0. | 0857 | Nl = | 1. | vl = | 50. | ||
| R2 = | -1.3737 | = 1.9288 | D2 = | 0. | 085 | 80518 | 4 | ||||
| R3 = | -0.2973 | D3 = | 0. | 1288 | N2 = | 1. | v2 = | 25. | |||
| R4 = | 0.3564 | D4 = | 0. | 0897 | 60311 | 7 | |||||
| R5 = | -0.5992 | D5 = | 0. | 0037 | N3 = | 1. | v3 = | 60. | |||
| R6 = | -0.6701 | D6 = | 0. | 138 | 757 | 9 | |||||
| R7 = | 2.6866 | D7 = | 0. | 0037 | N4 = | 1. | v4 = | 47. | |||
| R8 = | -0.6575 | D8 = | 0. | 0833 | 697 | 5 | |||||
| R9 = | -2.5082 | D9 = | 0. | 101 | N5 = | 1. | 72825 | v5 = | 48. | 5 | |
| RlO= | -3.5115 | DlO= | 0. | 089 | N6 = | 1. | v6 = | 28. | |||
| Rll=-11.326 | DIl= | 0. | 0767 | 7725 | 6 | ||||||
| R12= | D12= | N7 = | 1. | v7 = | 49. | ||||||
| R13 = | -0 | .1903 | .496 | ||||||||
| /f2 | tt/t = | Beispiel 20 | f3/f = | 0 | DO = 0. | 3152 | |||||
f = 1
Rl = 0.29 8
R2 = -1.3058 R3 = -0.2875 R4 = 0.3573 R5 = -0.5748 R6 = -0.4784 R7 = 1.1557 R8 = -1.383
R9 = -1.6648 RlO= 0.7112 RIl= 2.7318
R2 = -1.3058 R3 = -0.2875 R4 = 0.3573 R5 = -0.5748 R6 = -0.4784 R7 = 1.1557 R8 = -1.383
R9 = -1.6648 RlO= 0.7112 RIl= 2.7318
Bildwinkel . = 25.2°
Nl = 1.72
Nl = 1.72
Dl = 0.188
D2 = 0.0778 D3 = 0.0574 D4 = 0.1482 D5 = 0.0653 D6 = 0.1083 D7 = 0.1496 D8 = 0.1051 D9 = 0.0158 DlO= 0.1017
D2 = 0.0778 D3 = 0.0574 D4 = 0.1482 D5 = 0.0653 D6 = 0.1083 D7 = 0.1496 D8 = 0.1051 D9 = 0.0158 DlO= 0.1017
N2 = 1.80518
N3 = 1.60311
N3 = 1.60311
N4 = 1.697
N5 = 1.72825
N5 = 1.72825
N6 = 1.7725
β = -0.12343 vl = 50.2
v2 = 25.4 v3 = 60.7
v4 = 48.5 v5 = 28.5
v6 = 49.6
Ifi
= 1.8621 f2/f = -0.1903 f3/f = 0.5096 DO = 0.0099
130052/0673
Rl =
R2 =
R3 =
R4 =
R5 =
R6 =
R7 =
R8 =
R9 =
RlO=
RIl=
R2 =
R3 =
R4 =
R5 =
R6 =
R7 =
R8 =
R9 =
RlO=
RIl=
f = 1
0.4133 -2.4883 -0.4097
0.5148 -0.5332 -0.4298
1.1578 -2.0472
0.9246 -24.8952
2.4866
-3Ö- DE 1067
Bildwinkel = 25.2° Nl =» 1.72
Dl = 0.1413 D2 = 0.1479 D3 = 0.0848 D4 = 0.1134 D5 = 0.1512
D6 = 0.1092 D7 = 0.1559 D8 = 0.1053 D9 = 0.0956 DlO= 0.1017
N2 - 1.80518
N3
N4
1.60311
1.697
N5 = 1.7725 N6 * 1.80518
β = -0.12343 vl = 50.2
v2 = 25.4 v3 = 60.7 v4 = 48.5
v5 = 49.6 v6 = 25.4
I = 1.8463 f2/f = -0.2722 f3/f = 0.5321 DO = 0.0079
20 Die ternären Aberrationskoeffizienten der vorstehenden Beispiele sind in der folgenden Tabelle 2 zusammengefaßt,
wobei I die sphärische Aberration, II die Koma, III der Astigmatismus, P die Petzvalsumme und V die Verzeichnung ist.
| \ Beispiel Ko-^\^ effizxeht^ |
Beispiel 13 | Beispiel 14 | Beispiel 15 | Beispiel 16 |
| I | 0.02847 | -0.08302 | 0.06864 | -0.3336 |
| IE | 0.09015 | 0.1896 | 0.15269 | 0.49706 |
| m | -0.00516 | -0.00769 | -0.01428 | 0.12913 |
| P | 0.14767 | 0.21517 | 0.19111 | 0.13869 |
| V | 0.18112 | 0.01496 | 0.0142 | -0.0607 |
130052/0873
| Beispiel 17 | -'M- DE | 1 | 067 | spiel 19 | 3108018 | |
| r-4.Jeispiel Ko-""---.. [.effiziente |
0.15339 | Beispiel 18 | Bei | .13221 | Beispiel 20 | |
| I | 0.09323 | 0.09436 | 0 | .2282 | 0.15643 | |
| H | -0.01272 | 0.10385 | 0 | .17019 | 0.17737 | |
| m | 0.25299 | 0.00036 | 0 | .07882 | 0.07046 | |
| P | 0.14735 | 0.25626 | 0 | .203:53 | 0.11143 | |
| V | 0.20489 | 0 | 0.12851 | |||
| 'Beispiel 21 | ||||||
| "^ ^-Beispiel κο- ~\f effizient-« ■ |
0.0236 | |||||
| I | 0.15886 | |||||
| IE | -0.03366 | |||||
| in | 0.24261 | — | ||||
| P | -0.02899, | |||||
| V | ||||||
130052/0673
df 1067 3108Q1i
Beschrieben worden iolezentrische Projektiomjobjektivo,
die folgende Merkmale aufweisen: "Hülle" K-Zahl., hohes
Auflösungsvermögen und hoher Kontrast; d.h. sie sind gut
korrigiert in Bezug auf die sphärische Aberration, die Koma, die Bildfeldkrümmung und die Verzeichnung und sind
dazu gedacht, bei einer Öffnungsausbeute von 100 % und einem Abbildungsmaßstab von etwa 1/10 verwendet zu werden.
Das telezentrische Projektionsobjektiv umfaßt gesehen von
,,. der Objektfeldseite eine erste Linsengruppe, die aus einer
positiven Einzellinse besteht, eine zweite Linsengruppe, die aus einer negativen Einzellinse besteht, sowie eine
dritte Linsengruppe, die aus zwei positiven Linsen besteht. Die Linse der zweiten Gruppe ist eine Doppelkon-
ic kavlinse; eine der positiven Linsen in der dritten Gruppe
hat eine Kittfläche, deren Krümmungsmittelpunkt auf dor
Objektfeldseite liegt. Die Brennweiten f., f- und f^ der
ersten, zweiten und dritten Gruppe und die Brennweite f des Gesamtsystems erfüllen die folgenden Bedingungen:
1.69 < |fi/fz| < 2.55
-0.33 1 f2/f <
-0.19 0.41 <
f3/f < 0.59
130052/0673
Zt.
Leerseite
Claims (5)
1. Telezentrisches Projektionsobjektiv, gekennzeichnet
durch eine aus einer Einzellinse positiver Brechkraft bestehende erste Linsengruppe (I) , eine aus einer
Doppelkonkavlinse negativer Brechkraft bestehende zweite Linsengruppe (II), eine aus zwei positiven Linsen,
von denen eine eine Kittfläche hat, deren Krümmungsmittelpunkt
von dieser Fläche in Richtung auf die Objektfeldseite beabstandet ist, bestehende dritte Linsengruppe
(III), wobei die erste, zweite und dritte Linsengruppe in dieser Reihenfolge gesehen von der Objektfeldseite
her angeordnet sind und die folgenden Bedingungen erfüllen:
1.69 4 -0.33 < 0.41 £
fz/f f3/f
£ 2·55
< -0.19
< 0.59
wobei f
1'
_ und f, die Brennweiten der ersten, zweiten
und dritten Linsengruppe und f die Brennweite des Gesamtsystems ist.
130052/0673
Deutsche Bank (München) Kto. 51/61070
DE 1067
2. Telezentrisches Projektxonsobjektxv nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Fläche der ersten Linsengruppe auf die Objektfeldseite konvex hin zur Objektfeldseite
ist und die Form der durch die zwei positiven Linsen in der dritten Linsengruppe gebildeten Luftlinse
doppelkonkav ist.
3. Telezentrisches Projektionsobjektiv, gekennzeichnet
durch eine aus einer Einzellinse positiver Brechkraft bestehende erste Linsengruppe (I), eine aus einer
Doppelkonkavlinse negativer Brechkraft bestehende zweite Linsengruppe (II), und eine aus drei oder vier Linsen,
von denen eine eine Kippfläche hat, bestehende dritte Linsengruppe (III), wobei die erste, zweite und
dritte Linsengruppe in dieser Reihenfolge gesehen von der Objektfeldseite her angeordnet sind und die folgenden
Bedingungen erfüllen:
1.72 £ |fi/f2|
< 2.58
-0.33 £ f2/f <, -0.19
0.41 <: f3/f <_ 0.59
wobei f.. , f - und f _ die Brennweite der ersten, zweiten
und dritten Linsengruppe und f die Brennweite des Gesamtsystems ist.
4. Telezentrisches Projektionsobjektiv nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die der Objektfeldseite
nächste Fläche der ersten Linsengruppe konvex zur Objektfeldseite ist.
5. Telezentrisches Projektionsobjektiv nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die der Objektfeldsexte
nächste Linse der dritten Linsengruppe eine Meniskus-
OJ linse ist, deren konkave Fläche hin zur Objektfeldseite
130052/0673
DE 1067
liegt und die der Bildfeldseite nächste Linse der dritten Linsengruppe eine Meniskuslinse ist, deren konkave
Fläche hin zur Bildfeldseite zeigt.
130052/0673
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2773580A JPS56123510A (en) | 1980-03-04 | 1980-03-04 | Telecentric projection lens |
| JP2773680A JPS56123511A (en) | 1980-03-04 | 1980-03-04 | Telecentric projection lens |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3108018A1 true DE3108018A1 (de) | 1981-12-24 |
| DE3108018C2 DE3108018C2 (de) | 1992-07-23 |
Family
ID=26365702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19813108018 Granted DE3108018A1 (de) | 1980-03-04 | 1981-03-03 | "telezentrisches projektionsobjektiv" |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4441792A (de) |
| DE (1) | DE3108018A1 (de) |
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Also Published As
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|---|---|
| US4441792A (en) | 1984-04-10 |
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