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DE3033856A1 - Gehaeuseloses schaltungsmodul und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Gehaeuseloses schaltungsmodul und verfahren zu seiner herstellung

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Publication number
DE3033856A1
DE3033856A1 DE19803033856 DE3033856A DE3033856A1 DE 3033856 A1 DE3033856 A1 DE 3033856A1 DE 19803033856 DE19803033856 DE 19803033856 DE 3033856 A DE3033856 A DE 3033856A DE 3033856 A1 DE3033856 A1 DE 3033856A1
Authority
DE
Germany
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connections
plastic tape
metal pins
semiconductor circuit
circuit module
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE19803033856
Other languages
English (en)
Inventor
Detlef Dipl.-Phys. Dr. 8031 Steinebach Haberland
Herbert Dipl.-Ing. Prussas
Detlev 8000 München Schmitter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Priority to DE19803033856 priority Critical patent/DE3033856A1/de
Publication of DE3033856A1 publication Critical patent/DE3033856A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04MTELEPHONIC COMMUNICATION
    • H04M1/00Substation equipment, e.g. for use by subscribers
    • H04M1/02Constructional features of telephone sets
    • H10W70/093
    • H10W70/688

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

  • Gehäuseloses Schaltungsmodul und Verfahren zu seiner Herstellung.
  • Die Erfindung betrifft eine Weiterentwicklung einer an sich unüblichen Variante eines besonders kompakten elektrischen Schaltungsmoduls. Die Erfindung wurde insbesondere für Kodierer-Dekodierer-Module eines digitalen Fernsprech-Vermittlungssystems entwickelt, sie ist aber an sich darüberhinaus als Kleinbaugruppe in beliebigen Systemen und Geräten anwendbar, insbesondere statt Dualin-line-Modulen mit Gehäuse.
  • Die Erfindung geht nämlich aus von einem gehäuselosen Schaltungsmodul, mit - einem Abschnitt eines gemäß der Kinofilmtechnik dimensionierten Kunststoffbandes als Träger, der Leitungen zwischen Innenanschlüssen und Außenanschlüssen trägt, wobei z.B. ein gemäß DIN 15 851, Teil 2, Form A perforiertes und in S-8-Bänder gesplittetes Kunststoffband aus Polyimid verwendet wird, - einem, bevorzugt ausgestanzten, Fenster im Träger, wobei die Innenanschlüsse am Fensterrand liegen, - einem integrierten gehäuselosen Halbleiterschaltungskörper im Fenster, wobei die AnschlUsse des Halbleiterschaltungskörpers mit den Innenanschlüssen verbunden sind, und - einer einzigen Anschlußkante des Trägers, längs welcher die Außenanschlüsse liegen.
  • Ein solches Schaltungsmodul ist bereits durch - Siemens, bauteile report 16 (1978) Heft 2, S.40-44, insbesondere Fig. 6/unterste Version, bekannt, wenngleich sich bisher eine etwas andere Version solcher, im Prinzip schon 1974 entwickelter Schaltungsmodule, deren Außenanschlüsse nämlich längs mehrerer Außenkanten des Schaltungsmoduls angebracht sind, in der Praxis durchsetzte, vgl. z.B.
  • - VDI-nachr., 29. Aug. 1980, S. 5 links/oben, und - DE-PS 24 14 297.
  • Dieses bekannte Schaltungsmodul hat, ebenso wie die Erfindung, bereits den Vorteil, - eine kompakte Bauform darzustellen, die also eine besonders hohe Packungsdichte gestattet, - die Länge der Leitungen unmittelbar auf dem Schaltungsmodul bereits ziemlich kurz machen zu können, wodurch das Schaltungsmodul auch mit besonders hohen Frequenzen betreibbar ist, - den auf dem Träger angebrachten integrierten Halbleiterschaltungskörper nun auch unter normalen Umfeldverhältnissen dynamisch, d.h. bei hohen Betriebsfrequenzen, zuverlässig prüfen zu können; der noch auf dem Wafer liegende, noch nicht von seinen Nachbar-Halbleiterschaltungskörpern getrennte Halbleiterschaltungskörper, ebenso wie der zwar bereits getrennte aber noch nicht auf dem Träger angebrachte Halbleiterschaltungskörper, ist, wenn überhaupt, nur mit Einschränkungen dynamisch, unter nicht-normalen Umfeldverhältnissen, prüfbar, - bei Mangelt im integrierten Halbleiterschaltungskörper, die sich erst bei der, bevorzugt dynamischen, Prüfung zeigen, -diesen Halbleiterschaltungskörper für sich vom Träger wieder entfernen und leicht durch einen anderen Halbleiterschaltungskörper ersetzen zu können, der nun (vielleicht) ein besseres dynamisches Verhalten hat, wobei der derentfernte Halbleiterschaltungskörper, weil er selbst auch nämlich kein Gehäuse hat, vor seinem Entfernen bzw. Wegwerfen besonders wenig Aufwand zu seiner Herstellung erforderte, und --- der schließlich angebrachte Halbleiterschaltungskörper mangels eigenen Gehäuses besonders gut kühlbar ist und damit besonders wenig Eigenschaftsänderungen durch wechselnde lokale Uberhitzungen aufweist, - auch den Träger des Schaltungsmoduls leicht, insbesondere durch Schneiden Stanzen und Bohren, herstellen zu können - ohne, z.B. wie bei Glasträgern oder Keramikträgern, Laser zum Bohren verwenden zu müssen, - den Träger platzsparend und materialsparend auch sehr klein und dünn machen zu können, weil er selbst, wenn er besonders dünn ist, im Vergleich zu Glasträgern und Keramikträgern dann weitgehend bruchfest bleibt und damit insbesondere das Schaltungsmodul und der Monteur bzw. Systembetreuer, bei der Anwendung Prüfung bzw. Montage des Schaltungsmoduls, weniger gefährdet ist, - eine Verwendung von handelsüblichen optischen und mechanischen Vorrichtungen für eine automatisierte Herstellung der Schaltungsmodule mit sehr engen Toleranzen der Maße zu ermöglichen, ohne hierfür eigens Vorrichtungen entwickeln zu müssen, wobei wegen der Verwendung perforierter Bänder der Bandvorschub eine außerordentliche Exakth#eit aufweist, welche die Erzeugung von Fein- und Feinststrukturen mittels Photomasken und Phototechnik ermöglicht, und - das Schaltungsmodul besonders handlich, bzw. leicht an äußere Schaltungen anlöten bzw. anbonden,-und besonders raumsparend vor seiner Verbindung mit äußeren Schaltungen stapeln bzw. lagern zu können.
  • Die Erfindung gestattet darüberhinaus zusätzliche Vorteile, nämlich insbesondere - als besondere Variante eines Single-in-line-Moduls senkrecht in eine Lochplatte gesteckt, und dort z.B.
  • zusätzlich verlötet, werden zu können, wodurch die dieVorderseite ebenso wie die Rückseite des Trägers gut -belüftet und damit das Schaltungsmodul bzw.
  • seine Bauteile gut gekühlt werden können (was für einen zuverlässigen Betrieb insbesondere der integrierten Halbleiterschaltungskörper, z.B. von gegen Temperaturschwankungen recht empfindlichen Kodierer-Dekodierer-Chips, oft besonders wichtig ist), also die Bauteile zusätzlich stärker mit Strom belasten zu können, bevor Störungen des Betriebs eintreten, bei beiderart vergleichsweise dünnen Trägern allgemein die Leitungen auf der Vorderseite des Trägers nicht nur von der Luft auf der Vorderseite des Trägers, sondern auch durch den Träger hindurch auch besser als bisher von der Luft auf der Rückseite des Trägers kühlen zu können, sowie in entsprechender Weise Leitungen auf der Rückseite des Trägers auch besser als bisher zusätzlich von der Luft auf der Vorderseite des Trägers kühlen zu können, und bei beiBedarf sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite des Trägers einige zusätzliche diskrete elektrische Bauteile - z.B., zur Glättung von Gleichspannungen, Widerstände und Kondensatoren -mit anbringen zu können.
  • Gegen die Anbringung von Metallstiften-an einer Trägerkante, um das Schaltungsmodul unmittelbar gehäuselos mittels der Metallstifte in die Lochplatte stecken zu können, bestanden zunächst noch rein gefühlsmäßig Hemmungen,alleine schon wegen der Dünnheit bzw. Fragilität des mit dem Halbleiterschaltungskörpers verbundenen Trägers. Diese Hemmungen erwiesen sich als unnötig. Im Gegenteil, U#tera#nng###ei##, , daß die erfindungsgemäß aufgebauten, senkrecht steckbaren Schalt'#gsmodule überraschend stabil und handlich sind.
  • Ein mittels Metallstiften an nur einer Modulkante, senkrecht steckbares Schaltungsmodul ist für sich bereits durch - DE-AS 1 912 260, insbesondere Fig. 1 in Verbindung mit Sp. 1, Z. 23 bis 59 bekannt. Dort sind allerdings nicht, jedenfalls nicht ausdrücklich, die erfindungsgemäß vorhandenen integrierten Halbleiterschaltungen angegeben. Soweit dort im Text Mikroschaltungen angegeben seind, machen die dortigen Erläuterungen zu diesen Schaltungen eher#den Eindruck, als sei dort, anders als bei der Erfindung, ausschließlich an die Bestückung mit diskreten, untereinander höchstens über gedruckte ~Leitungen verbundenen elektrischen Bauteilen wie einzelnen Kondensatoren, Widerständen, Transistoren und Dioden gedacht, vgl. Sp. 1, Z. 27 bis 31 und Sp. 4, Z. 20 bis 39. Bei der Erfindung ist aber eine hohe Packungsdichte auf einem anderen, speziell dimensionierten Träger vorausgesetzt, was neben der scheinbaren Fragilität zusätzlich entsprechend hohe Verlustleistungen und Erwärmungsprobleme mit sich bingt.
  • Dementsprechend wurden bei diesem Stand der Technik auch nicht alle die,nun zusätzlich bei der Erfindung mittels der senkrechten Steckbarkeit erreichten, Vorteile ausgenutzt bzw. überhaupt gewürdigt.
  • Die zusätzlichen Vorteile der Erfindung werden dadurch ermöglicht, daß - Metallstifte, die mit den Außenanschlüssen der Leitungen verbunden sind, so an der Anschlußseite angebracht sind, daß die Achsen der Metallstifte senkrecht weg von der Anschlußkante gerichtet sind und gleichzeitig in der, durch die Anschlußkante und der dazu senkrechten Seite des Trägers gebildeten, Ebene liegen.
  • In den Unteransprüchen sind Verfahrensschritte zum Herstellen dieses Schaltungsmoduls angegeben, die für sich weitere Vorteile gestatten. Insbesondere gestatten nämlich die Verfahrensschritte gemäß Patentanspruch 2, eine auch automatisierbare, relativ einfache Herstellung zu ermöglichen, 3, eine bis zu einem gewissen Grade elastische, damit thermisch belastbarere, Verbindung zwischen dem Träger und den hier relativ dicken Leitungen zuzulassen, 4, Leitungen mit ausreichend massiven freitragenden Innenanschlüssen, mit dene#n unmittelbar. die Anschlüsse des Halbleiterschaltungskörpers (statt über zusätzliche Anschlußdrähte) verbindbar sind, zuzulassen, 5, ein hitzeloses, auch automatisierbares Verbindungsverfahren für die Herstellung der Verbindungen an den Anschlüssen zuzulassen und damit thermisch alle Teile des Schaltungsmoduls besonders zu schonen, und 6, eine einfache, auch automatisierbare Herstellung der Verbindungen an den Anschlüssen zuzulassen, selbst wenn die Dicke der Leitungen bzw. ihrer Anschlüsse sehr gering ist.
  • Die Erfindung und ihre Weiterbildungen werden anhand der in den Figuren vergrößert schematisch gezeigten Ausführungsbeispiele weiter erläutert, wobei die Figur 1 eine starke Vergrößerung eines auf Super-8-Filmformat hergestellten Schaltungsmoduls, 2 einen noch stärker vergrößerten Ausschnitt im Bereich eines Metallstift-Beispiels, und 3 eine starke Vergrößerung eines, in Vergleich zu Figur 1, die doppelt so hohe Kompaktheit aufweisenden Schaltungsmoduls, darstellen.
  • Bei dem in Fig. 1 gezeigten Beispiel eines gehäuselosen Schaltungsmoduls stellt der Träger jeweils einen Abschnitt eines gemäß der Kinofilmtechnik dimensionierten Kunststoffbandes K dar,wobei hier der Träger K bzw. das Kunststoffband K gemäß den Deutschen Industrienormen DIN 15 851, Teil 3, also nach den Normen für Super-8-Filmformate, dimensioniert ist. Das Kunststoffband K besteht z.B. in bewährter Weise aus Polyimid.
  • Der Träger K trägt die Leitungen L zwischen Innenanschlüssen IA und Außenanschlüssen AA. Im Träger K sind Fenster F, wobei die Innenanschlüsse IA am Fensterrand F liegen, hier freitragend über diesen Fensterrand F etwas hinausragen. Ein integrierter gehäuseloser Halbleiterschaltungskörper (Chip) H ist im Fenster F angebracht, wobei die Anschlüsse AH des Halbleiterschaltungskörpers H mit den Innenanschlüssen IA, z.B.
  • durch Bonden oder Löten, verbunden sind.
  • Die Außenanschlüsse AA der Leitungen liegen nur an einer einzigen Anschlußkante A des Trägers K. Metall stifte M sind mit den Außenanschlüssen AA der Leitungen L verbunden, z.B. durch Aufstecken des gabelförmigen Endes der Metallstifte M und Verbonden oder Verlöten mit den Außenanschlüssen AA. Dieses gabelförmige Ende, vgl.
  • Fig. 2, hat eine obere, hier sichtbare Zinke VZ und eine untere ,gestrichelt eingetragene Zinke HZ. Die Metallstifte M sind so an der Anschlußkante A angebracht, daß die Achsen der Metallstifte M senkrecht weg von der Anschluß kante A gerichtet sind und gleichzeitig in der, durch die Anschluß kante A und der dazu senkrechten Seite des Trägers K gebildeten, Ebene liegen. Dadurch ist das Schaltungsmodul senkrecht in eine Lochplatte steckbar, wobei das scheinbar so fragile Schaltungsmodul sich als brauchbar und handlich erwies.
  • Durch die senkrechte Steckbarkeit ist das Schaltungsmodul' insbesondere auch sein gehäuseloser Halbleiterschaltungskörper H, nun von beiden Seiten gut kühlbar, selbst wenn eine Vielzahl solcher Schaltungsmodule dicht beieinander auf die Lochplatte gesteckt sind. Entsprechend störungsarm ist dann auch der spätere Betrieb der ganzen Anlage bzw. des ganzen Geräts, trotz der Vielzahl und Dichte, d.h. der Kompaktheit der damit auf der Lochplatte untergebrachten Schaltungseinheiten. Dieser Gesichtspunkt ist besonders wichtig bei einem PCM-Fernsprech-Vermittlungssystem, bei dem pro Fernsprechamt oft viele Tausende Schaltungsmodule z.3. als Kodierer-Dekodierer-Einheiten und/oder vollintegrierte 2-Draht-4-Draht-GaDelschaltungseinheiten nötig sind.
  • Das erfindungsgemäße Schaltungsmodul ist an sich mittels verschiedener Varianten von Herstellungsverfahren herstellbar, wobei es im allgemeinen stets günstig ist, zumindest die folgende Reihenfolge von Verfahrensschritten einzuhalten, um eine wenigstens weitgehend automatische Fertigung zu erreichen: a) Auf dem zunächst mit den Fenstern F ausgestatteten sowie mit Perforationslöchern P ausgestatteten Kunststoffband K werden zuerst die Leitungen L angebracht, wonach b) die Anschlüsse AH der Halbleiterschaltungskörper H mit den Innenanschlüsseb IA verbunden, sowie die Metallstifte M auf die Anschlußkante A gesteckt und mit den Außenanschlüssen AA verbunden werden.
  • Auf diese Weise entstand eine Kette von Schaltungsmodulen auf dem Kunststoffband K. Daher wird anschließend# evtl. erst nach vielen Monaten Zwischenlagerung der Filmrolle, c) das Kunststoffband K jeweils zwischen den einzelnen Schaltungsmodulen bei T zerschnitten, wodurch die einzelnen Schaltungsmodule erhalten werden.
  • Wie bereits in der DE-PS 24 14 297 beschrieben ist, ist es oft vorteilhat, den Verfahrensschritt a) in folgender Reihe von Unterschritten -durchzuführen: a1) Auf das Kunststoffband K wird ein Kleber, z.B. ein Epoxidharzkleber, aufkaschiert, der später im Betrieb insbesondere die thermischen Eigenschaften des Schaltungsmoduls verbessert; a2) Aus dem Kunststoffband K werden die Fenster F ausgestanzt, in denen später die Halbleiterschaltungskörper H angebracht werden; a3) Auf die eine Seite des Kunststoffbandes K, bzw. auf den dortigen Epoxidharzkleber, wird eine Kupferfolie angebracht, aus der später insbesondere die Leitungen L gebildet werden; a4) Auf die Kupferfolie wird eine Fotolackschicht aufgebracht und anschließend a5) in dieser Fotolackschicht mittels Fotomasken die den Leitungen L, den Innenanschlüssen IA und den Außenanschlüssen AA entsprechenden Öffnungen in für sich bekannter Weise erzeugt; a6) Auf den nun offen liegenden Kupferfolienteilen wird eine Schutzschicht, z.B. galvanisch abgeschiedenes Zinn, angebracht, welche die darunter liegenden Kupferfolienteile schützt, wenn a7) der restliche Photolack auf der Kupferseite entfernt wird und a8) die restlichen, muntfotoschichtfreien und damit schutzschichtfreien Kupferfolienteile weggeätzt werden.
  • Während des Unterschrittes a4) kann auch auf die von der Kupferfolie abgewandte Kunststoffbandseite eine weitere Schutzschicht, z.B. eine weitere Fotolackschicht, aufgebracht werden, sowie nach dem Unterschritt a8) in einem weiteren Unterschritt a9) die weitere Schutzschicht wieder entfernt werden. Diese Maßnahmen erleichtern die Herstellung freitragender, in das Fenster F frei hineinragender Kupferfinger IA, die als Innenanschlüsse dienen können.i1Der Verfahrenschritt b) kann zur Herstellung der Verbindungen folgende Unterschritte enthalten: b1) Die Anschlüsse AH des Halbleiterschaltungskörpers H werden auf die Innenanschlüssen IA gedrückt und verbondet; und b2) die Metallstifte M werden nach ihrem Aufstekcen auf den Träger K in ähnlicher Weise mit den Außenanschlüssen AA verbondet.
  • Der Verfahrensschritt b) kann statt dessen aber z.B.
  • auch folgende Unterschritte enthalten: b3) Die Anschlüsse AH des Halbleiterschaltungskörpers H bzw. die Innenanschlüsse IA werden mit Lötpaste bedeckt, und nachher oder vorher oder gleichzeitig werden b4) die Metallstifte M außenanschlußseitig mit Lötpaste bedeckt, bzw. die Außenanschlüsse AA selbst werden mit Lötpaste bedeckt; Nach den'Unterschritten und und bzwwerden in einem Unterschritt b5> dieVerbindungen zwischen den Metallstiften M und den Außenanschlüssen AA, sowie zwischen den Innenanschlüssen IA und den Halbleiterschaltungskörper-Anschlüssen AH durch Erhitzen gleichzeitig hergestellt.
  • Die Formate der einzelnen Schaltungsmodule können weitgehend beliebig gewählt werden. Die Anschlußkante A kann z.B. gleich lang oder sogar kürzer als die genormte Breite (z.B. 16 mm) des Kunststoffbandes K sein, wodurch eine besonders hohe Packungsdichte erreicht werden kann.
  • Statt dessen kann man aber auch die Anschlußkante A erheblich länger als die Breite des Kunststoffbandes K wählen; man kann dann insbesondere auch auf der Rückseite des Kunststoffbandes K, statt nur auf der Vorderseite,Leitungen L anbringen; man kann auch zusätzliche diskrete elektrische Bauteile neben dem integrierten Halbleiterschaltungskörper H anbringen und/oder auch mehrere solche integrierte Halbleiterschaltungskörper H pro einzelnes Schaltungsmodul. - Solche Dimensionierungs-, bzw. Herstellungsverfahrens-Variaten senkrecht steckbarer gehäuseloser Single-in-line-Schaltungsmodule und deren jeweilige speziellen zusätzlichen Vorteile sind für sich bereits in den nicht vorveröffentlichten DE-OS .. .. ... und .. .. ...(= 80 E 6051a DE und 80 E 6051 b DE) mit gleichem Prioritätstag wie die vorliegende Anmeldung/das vorliegende Patent beschrieben. Solche Varianten der Erfindung stellen also gleichzeitig Weiterbildungen der in jenen beiden DE-OS beschriebenen Gegenstände dar.
  • 6 Patentansprüche 3 Figuren

Claims (6)

Patentansprüche.
1. Gehäuseloses Schaltungsmodul mit - einem Abschnitt eines gemäß der Kinofilmtechnik dimen-@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@ anie~s als Träger, #er :Leitun#en zwischen Innenanschlüssen und Außenanschlüssen sein trägt, wobei z.B. ein gemäß DIN 15 851, Teil 2, Form A perforiertes und in S-8-Bänder gesplittetes Kunststoffband aus Polyimid verwendet wird, - einem, bevorzugt ausgestanzten, Fenster im Träger, wobei die Innenanschlüsse am Fensterrand liegen, - einem integrierten gehäuselosen Halbleiterschaltungs körper im Fenster, wobei die Anschlüsse des Halbleiterschaltungskörpers mit den Innenanschlüssen verbunden sind, - einer einzigen Anschlußkante des Trägers, längs welcher die Außenanschlüsse liegen, insbesondere für Kodierer-Dekodierer-Module eines PCM-Fernsprech-Vermittlungssystems, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß - Metallstifte (M), die mit den Außenanschlüssen (AA) der Leitungen (L) verbunden sind, so an der Anschlußkante (A) angebracht sind, daß die Achsen der Metallstifte (M) senkrecht weg von der Anschluß kante (A) gerichtet sind und --- gleichzeitig in der, durch die Anschlußkante (A) und der dazu senkrechten Seite des Trägers gebildeten, Ebene liegen.
2. Verfahren zum serienmäßigen Herstellen des Schaltungsmoduls nach Patentanspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß - der Reihe nach folgende Verfahrensschritte durchgeführt werden: --- a)auf dem mit den Fenstern (F) ausgestatteten Kunststoffband (K) werden die Leitungen (L) angebracht, --- b) die Anschlüsse (AH) des Halbleiterschaltungskörpers (H) werden mit den Innenanschlüssen (IA) verbunden, sowie die Metallstifte (M) auf die Anschlußkante (A) gesteckt und mit den Außenanschlüssen (AA) verbunden, so daß eine Kette von Schaltungsmodulen auf dem Kunststoffband (K) entsteht, --- c) das Kunststoffband (K) wird jeweils zwischen den einzelnen Schaltungsmodulen (bei T) zerschnitten.
3. Verfahren nach Patentanspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß - der Verfahrensschritt a) in folgender Reihe von Unterschritten durchgeführt wird: --- a1) auf das Kunststoffband (K) wird ein Kleber, z.B. ein Epoxidharzkleber, aufkaschiert, --- a2)aus dem Kunststoffband (K) werden die Fenster (F) ausgestanzt, --- a3)auf die eine Seite des Kunststoffbandes (K), bzw. auf den dortigen (Epoxidharz-)Kleber, wird eine Kupferfolie aufgebracht, --- a4)auf die Kupferfolie wird eine Fotolackschicht aufgebracht, --- a5)kupferseitig werden mittels Fotomasken die den Leitungen (L), den Innenanschlüssen (IA) und den Außenanschlüssen (AA) entsprechenden Öffnungen in der Fotolackschicht erzeugt, --- a6)auf den nun offen liegenden Kupferfolienteilen wird eine Schutzschicht, z.B. galvanisch abgeschiedenes Zinn, angebracht, --- a7)der restliche Fotolack auf der Kupferseite wird entfernt, und --- a8) die schutzschichtfreien Kupferfolienteile werden weggeätzt.
4. Verfahren nach Patentanspruch 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß - während des Unterschrittes a4) auch auf die von der Kupferfolie abgewandte Kunststoffbandseite eine weitere Schutzschicht, z.B. eine weitere Fotolackschicht, aufgebracht wird, und - nach dem Unttrschfltt a8) in einem weiteren Unterschritt a9) die weitere Schutzschicht wieder entfernt wird.
5. Verfahren nach einem der Patentansprüche 2 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß - der Verfahrensschritt b) folgende Unterschritte enthält: --- b1) die Anschlüsse (AH) des Halbleiterschaltungskörpers (H) werden mit den Innenanschlüssen (IA) verbondet, --- b2)die Metallstifte (M) werden mit den Außenanschlüssen (AA) verbondet.
6. Verfahren nach einem der Patentansprüche 2 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß - der Verfahrensschritt b) folgende Unterschritte enthält: --- b3)die Anschlüsse (AH) des Halbleiterschaltungskörpers (R) bzw. die Innenanschlüsse (IA) werden mit Lötpaste bedeckt, =-- b4)die Metallstifte (M) werden außenanschlußseitig mit Lötpaste bedeckt, bzw. die Außenanschlüsse (AA) selbst werden mit Lötpaste bedeckt, nach den Unterschritten b3) und b4) werden die Verbindungen zwischen den Metallstiften (M) und den Außenanschlüssen (AA), sowie zwischen den Innenanschlüssen (IA) und den Halbleiterschaltungskörper-Anschlüssen (AH) durch Erhitzen gleichzeitig hergestellt
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