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DE3029329A1 - Abstandsmesseinrichtung - Google Patents

Abstandsmesseinrichtung

Info

Publication number
DE3029329A1
DE3029329A1 DE19803029329 DE3029329A DE3029329A1 DE 3029329 A1 DE3029329 A1 DE 3029329A1 DE 19803029329 DE19803029329 DE 19803029329 DE 3029329 A DE3029329 A DE 3029329A DE 3029329 A1 DE3029329 A1 DE 3029329A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
reference line
distance
transducer
measuring device
light beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19803029329
Other languages
English (en)
Inventor
Werner Prof. Dr.-Ing. Leoben Schwenzfeier
Albert Dipl.-Ing. Graz Winterstätter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Priority to DE19803029329 priority Critical patent/DE3029329A1/de
Publication of DE3029329A1 publication Critical patent/DE3029329A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Abstandsmeßeinri chtuna
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Abstandsmeßeinrichtung zum Bestimmen des Abstandes zwischen einer in einem Lichtstrahlengang angenommenen Referenzlinie und einem Meßobjekt, bei der im Lichtstrahlengang ein abstandsabhängig verschiebbarer Meßgeber zur Erfassung der Referenzlinie vorgesehen ist.
  • Mit diesem Oberbegriff wird auf eine Meßvorrichtung Bezug genommen, wie sie beispielsweise aus der Deutschen Offenlegungsschrift 25 05 391 bekannt ist. Zum genauen Nachführen bewegter, durch Kräfte von einer vorgegebenen Sollage abweichender Werkzeugmaschinenteile in die Sollage, z.B. eines unter Bearbeitungskräften des Fräsers stehenden Werkzeugschlittens einer Portalfräsmaschine, wird bei der bekannten Anordnung ein Laserstrahlgeber benutzt, der an einem der Abweichung nicht unterwofenen Maschinenteil angebracht ist und dessen gebündelter Laserstrahl auf einen Konvexspiegel, z.B.
  • in Form eines Kreiszylinders, am nachzuführenden Maschinenteil gerichtet ist. Ein Detektor im Bereich des vom Konvexspiegel reflektierten und durch diesen divergierten Laserstrahls, bestehend aus einer Abbildungsebene mit mehreren in einer Brückenschaltung angeordneten Fotoelementen oder Fototransistoren, gibt bei Abweichung des nachzuführenden Maschinenteils von der Achse des Laserstrahls in positiver oder negativer Richtung elektrische Steuersignale gegensinniger Polarität ab, die unter Zwischenschaltung eines Verstärkers auf eine Nachlaufsteuerung zur Sollistkorrektur des nachzuführenden Maschinenteils einwirken. Mit dieser bekannten Meßvorrichtung sind also Abweichungen erfaßbar, die innerhalb des Bereiches des Lichtstrahlganges liegen, d.h. keinen zu großen Abstand von der Achse (Referenzlinie) haben.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine präzise und einfache Meßeinrichtung zu schaffen, mit der ohne weiteres auch größere Abstandsveränderungen ohne Nachjustierung des Lichtstrahlenganges erfaßt werden können.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mit dem senkrecht zum Lichtstrahlgang in Schwingungen versetzten Meßgeber ein Wegaufnehmer gekuppelt ist, und daß das beim Erfassen der Referenzlinie vorliegende Ausgangssignal des Wegaufnehmers als Maß für den Abstand dient. Durch die Trennung zwischen Erfassung der Referenzlinie und Wegmessung ist es nicht mehr notwendig, den Strahlgang laufend den Veränderungen des Abstandes anzupassen. Man erhält dadurch ein relativ einfaches und zuverlässiges Gerät, das ohne weiteres für die Fraxis tauglich ist.
  • Als Wegaufnehmer können induktive Aufnehmer verschiedenster Bauart, ohmsche oder kapazitive Aufnehmer, inkrementale oder auch codierte Aufnehmer bekannter Bauweise verwendet werden. Als Antrieb für die Schwingbewegung können Exzenterantriebe, magnetische pneumatische, hydraulische undZoder sonstige Schwinger benutzt werden.
  • Zum Erfassen einer Referenzlinie kann eine dem Meßgeber zugeordnete Fotodetektoranordnung im Lichtstrahlgang verwendet werden, die z.B. aus zwei Fotodetektoren besteht, deren Ausgangsspannungen gleich groß werden, wenn die aktiven Flächen beider Elemente gleich beleuchtet sind oder es können sogenannte "positionsabhängige" Fotodetektoren benutzt werden, deren Ausgangssignak proportional zum Abstand des Lichtfleckes vom Mittelpunkt des Detektors sind.
  • Zum Erfassen der Referenzlinie kann zusdtzlich auf in an sich bekannter Weise im Meßgeber ein Strahlteiler für den durch einen Laser erzeugten Lichtstrahl gang angeordnet und dessen Mittelachse über eine Fotodiodenanordnung erfaßt werden.
  • Eine besondere vorteilhafte Ausbildung eines egaufnehmers ist ein linearer Wegaufnehmer, dessen Kern den Strahlteiler trägt. In e ner abgewandelten Variante kann der Abstand zwischen Referenzlinie und Meßobjekt auch über elastische Elemente bestimmt werden, an denen der Meßgeber aufgehängt wird. Die Auslenkung der elastischen Elemente kann dabei über die Dehnung der Elemente oder über die erforderliche Auslenkkraft bestimmt werden.
  • Durch die vorstehend genannte Anordnung ist also ohne weiteres die Entfernung zwischen einer Werkstückoberfläche und einem bestimmten Punkt des Lichtstrahlganges, z.B. der Strahlmitte erfaßbar. Beispiele für derartige Meßaufgaben können z.B. die Bestimmung der Durchbiegung eines Trägers bei Temperaturänderungen oder Walzendurchbiegungen bei Belastung sein.
  • Anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels sei die Erfindung naher erläutert; es zeigen Figur 1 das Prinzip der Meßvorrichtung, Figur 2 das Ausgangssignal des Vegaufnehmers und des Meßgebers, Figur 3 die Anwendung der Anordnung zur Bestimmung der Durchbiegung eines Trägers und Figur 4 eine abgewandelte Wegmessung mit Hilfe von Dehnungsmeßelementen.
  • Es besteht die Aufgabe, den Abstand a zwischen der Oberfläche eines Werkstückes 1 und der Mittelachse 21 (Referenzlinie) eines durch einen nicht gezeigten Laser erzeugten Strahlganges 2 zu bestimmen. Der Laser möge dabei ortsfest justiert sein.
  • Auf der Oberfläche des Werkstückes 1 wird ein Abtastkopf 3 verschoben, auf dem der feststehende Spulenteil 41 eines induktiven Wegaufnehmers 4 angeordnet ist. Der Kern 43 des induktiven Wegaufnehmers 4 ist mit einem Meßgeber 5 zur Erfassung der Mittelachse 21 gekuppelt.
  • Dieser Meßgeber 5 besteht aus einem optischen Strahlteiler 51, der das einfallende Licht in zwei auf die fest angeordneten Fotoelemente 52 fallende Teile zerlegt. Trifft die Mittelachse 21 genau auf die Spitze des Strahlteilers 51, so sind die Ausgangssignale der Fotoelemente 52 gleich groß, so daß sich bei einer Gegeneinanderschaltung dieser Fotoelemente 52 das Ausgangssignal "on ergibt. Dieses Ausgangssignal "O" dient zur Festlegung des Zeitpunkts, in dem Referenzlinie 21 und Spitze des Strahlteilers 51 übereinstimmen.
  • Der Kern 42 des induktiven Wegaufnehmers 4 und damit der Strahlteiler 51 wird nun durch einen Exzenterantrieb 6 in Schwingungen x senkrecht zum Lichtstrahlgang 2 versetzt. Damit ergibt sich beispielsweise die in Figur 2 über die Zeitdauer J der Drehbewegung des Exzenterantriebes 6 dargestellte Ausgangsspannung Ux am Ausgang des feststehenden Spulenteiles 41 des Wegaufnehmers 4. In dem Augenblick, in dem die Spitze des Strahlteilers 51 die Referenzlinie 21 durchläuft, z.B.
  • zu den durch die Foto elemente 52 erfaßten Zeitpunkten t1 und t2 in Figur 2 unten, wird das jeweilige Ausgangssignal des Wegaufnehmers 4 in einer Elektronik 7 erfaßt und der Momentanwert Um gespeichert. Ergibt sich nun infolge einer Verschiebung des Abtastkopfes 3 auf der Werkstückoberfläche eine Veränderung des Abstandes zwischen feststehendem und bewegtem Teil des Meßwertaufnehmers 4, so wird beim tTulldurchgang des Strahlteilers der jeweils auftretende Momentanwert der Ausgangsspannung des Wegaufnehmers sich ebenfalls ensprechend verndern, wie z R.
  • zum Zeitpunkt t2 ersichtlich. Daraus folgt, daß sich zwischen den Zeitpunkten t1 und t2 auch der Abstand a verändert haben muß. Dieser Abstand a setzt sich nämlich zusammen: =Xref +X +X a = wobei Xref und x1 konstant sind.
  • Mit anderen Worten, die über die Veränderung des Abstandes Xm erfaßte änderung kann also aL Maß für die Enderung von a und damit zur Bestimmung des jeweils aktuellen Abstand a verwendet werden.
  • Figur 3 zeigt die beispielsweise Verwendung dieses Meßprinzips zur Bestimmung der Durchbiegung eines Trägers.
  • Wie ersichtlich, ist hier der Abtastkopf 3 auf einem Wagen 9 angeordnet, der auf dem Träger 8 verfahrbar ist.
  • Durch die beschriebene Meßvorrichtung kann nun der jeweilige Abstand a von der Oberfläche des Trägers zur Referenzlinie 21 des Lichtstrahlganges 2 bestimmt werden und zwar mit sehr hoher Genauigkeit.
  • Figur 4 zeigt eine gewisse Abwandlung des Wegaufnehmers und zwar ist hier der Meßgeber 5 über zwei elastische Biegefedern 11 und 12 mit einem Rahmen 10 verbunden, der seinerseits wieder entsprechend den Veränderungen des Abstandes nach oben oder unten verschoben wird. Bei dieser Anordnung wird der Auslenkungsweg beim Erfassen der Referenzlinie über Sensoren 13 zur Bestimmung der elastischen Dehnungen oder über Sensoren 14 zur Bestimmung der für diese Auslenkung erforderlichen Anzugskraft erfaßt.
  • Anhand der vorstehenden Beschreibung wurde das Meßprinzip erläutert; hinsichtlich der Geber,der Schwingungsantriebe und auch der Auswertung und Speicherung des Meßsignals sind verschiedenartige Modifikationen denkbar, wobei das Grundprinzip der vorliegenden Erfindung, nämlich die Trennung zwischen Erfassung einer Referenzlinie und dem dazugehörigen Tffeg beibehalten wird.
  • 4 Figuren 6 Patentansprüche

Claims (6)

  1. Patentansprüche Abstandsmeßeinrichtung zum Bestimmen des Abstandes zwischen einer in einem Lichtstrahlgang angenommenen Referenzlinie und einem Meßobjekt, bei der im Lichtstrahlgang ein ab stands abhängig verschiebbarer Meßgeber zur Erfassung der Referenzlinie vorgesehen ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß mit dem senkrecht zum Lichtstrahlgang in Schwingungen versetzten Meßgeber (5) ein Wegaufnehmer (4) gekuppelt ist und daß das beim Erfassen der Referenzlinie (21) vorliegende Ausgangssignal des Wegaufnehmers (4) als Maß für den Abstand (a) dient.
  2. 2. Abstandsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h gek e n n z e i c h ne t , daß dem Meßgeber (5) Fotodetektoren zur Erfassung der Referenzlinie zugeordnet sind.
  3. 3. Abstandsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß im Meßgeber (5) ein Strahlteiler (51) für den mittels eines Lasers erzeugten Lichtstrahlgang (2) angeordnet ist und als Referenzlinie (21) die über Fotodetektoren erfaßte Strahlgangmitte dient.
  4. 4. Abstandsmeßeinrichtung nach Anspruch 3, d a d u r c h gek e n n z e i c h ne t , daß zur Wegaufnahme (4) ein linearer induktiver Wegaufnehmer vorgesehen ist, dessen Kern (42) den Strahlteiler (51) trägt.
  5. 5. Abstandsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, d a d r r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Auslenkungen des Meßgebers (5) in die Drehbewegung eines Drehwinkelgebers umsetzbar sind.
  6. 6. Abstandsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Meßgeber (5) elastisch aufgehängt ist und die Auslenkungen über die Dehnung der Aufhängungselemente (11, 12) oder über die erforderliche Auslenkkraft bestimmbar sind.
DE19803029329 1980-08-01 1980-08-01 Abstandsmesseinrichtung Withdrawn DE3029329A1 (de)

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DE3029329A1 true DE3029329A1 (de) 1982-03-11

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DE (1) DE3029329A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3426981A1 (de) * 1983-08-03 1985-02-14 VEB Feinmesszeugfabrik Suhl, DDR 6000 Suhl Vorrichtung insbesondere zur wegmessung
DE4132110A1 (de) * 1991-09-26 1993-04-01 Siemens Ag Kraftsensor

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3426981A1 (de) * 1983-08-03 1985-02-14 VEB Feinmesszeugfabrik Suhl, DDR 6000 Suhl Vorrichtung insbesondere zur wegmessung
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