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DE3040489A1 - Aufzeichnungstraeger mit einer aufzeichnung hoher informationsdichte - Google Patents

Aufzeichnungstraeger mit einer aufzeichnung hoher informationsdichte

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DE3040489A1
DE3040489A1 DE19803040489 DE3040489A DE3040489A1 DE 3040489 A1 DE3040489 A1 DE 3040489A1 DE 19803040489 DE19803040489 DE 19803040489 DE 3040489 A DE3040489 A DE 3040489A DE 3040489 A1 DE3040489 A1 DE 3040489A1
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Germany
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inorganic
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Georg Dipl.-Phys. Dr. 8230 Schneizlreuth Flatscher
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Description

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DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBTI Ι7. Oktober 1980
Aufzeichnungsträger mit einer Aufzeichnung hoher Informationsdichte
Die Erfindung betrifft einen Aufzeichnungsträger mit einer Aufzeichnung hoher Informationsdichte, insbesondere mit einem mehrfarbigen Mikrobild, gemäß den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 2.
Ein derartiger Aufzeichnungsträger findet beispielsweise zur Speicherung von Dokumenten, Zeichnungen und insbesondere von mehrfarbigen Landkarten auf sehr kleinem Raum Verwendung.
In der DE-OS 26 58 623 ist ein Aufzeichnungsträger mit einer Aufzeichnung hoher Informationsdichte beschrieben, bei dem die Aufzeichnung mehrfarbig durch mindestens . zttei Interferenzfilter für zwei unterschiedliche Wellenlängenbereiche des sichtbaren Liphts gebildet wird, wobei jedes Interferenzfilter aus piner unstrukturierten Interferenzschicht aus einem anorganischen, im sichtbaren Wellenlängenbereich absorptionsfreien Material besteht, die auf jeder Seite jeweils durch eine, die Struktur der Aufzeichnung bildende, spiegelnde Schicht aus einem anorganischen Material begrenzt wird.
Die Strukturierung eines Interferenzfilters mit einem Farbton, der durch die Dicke der unstrukturierten Interferenzschicht bestimmt ist, wird durch die beiden strukturierten spiegelnden Schichten bewirkt, deren Dicken bzw. deren Reflexionevermögen die jeweilige Sättigung dieses Farbtons bestimmen. Bei der Herstellung einer derartigen Auf-
zeichnung können aber insbesondere bei der Erzeugung sehr feiner Strukturen Schwierigkeiten bei der paßgenauen Justierung der Belichtungsmasken zur Strukturierung der spiegelnden Schichten auf beiden Seiten der Interferenzschicht auftreten, so daß die entsprechende Information verfälscht werden oder verloren gehen kann·
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Maßnahme zur Vermeidung derartiger Justierungsprobleme bei der Herstellung von Aufzeichnungen der oben erwähnten Gattung anzugeben.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1 und 2 gelöst.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß durch die erfindungsgemäße alleinige Strukturierung der einen spiegelnden Schicht bzw. der einen hochbrechenden spiegelnden Schicht auf lediglich einer Seite der jeweiligen Interferenzschicht weitere Strukturierungen durch paßgenaue Justierungen entsprechender Belichtungsmasken für die gegenüberliegende spiegelnde Schicht bzw. für die mindestens eine gegenüberliegende hochbrechende spiegelnde Schicht nicht mehr erforderlich sind. Neben einer erheblichen Zeitersparnis wird damit eine Aufzeichnung hoher Präzision ohne Informationsverfälschung oder Informationseinbuße ermöglicht.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher erläutert.
ORIGINAL !NSPECTED
Es zeigen
Figur 1 eine erste Ausbildung eines Aufzeichnungsträgers mit einer dreifarbigen Aufzeichnung nach der Erfindung und
Figur 2 eine weitere AusbiIdling eines Aufzeichnungsträgers mit einer einfarbigen Aufzeichnung.
Gemäß Figur 1 sind auf einem transparenten Schichtträger (z. B. aus Glas oder Quarzglas) ganzflächig eine unstrukturierte spiegelnde Schicht 2 aus einem anorganischen Material (z. B. Silber) und darüber eine erste unstrukturierte Interferenzechicht 3 aus einem anorganischen, im sichtbaren Wellenlängenbereich absorptionsfreien Material (z. B. MgF2, SiOp, ThF, SiO, TagO_) aufgebracht. Auf der Interferenzschicht 3 befindet sich eine erste strukturierte spiegelnde Schicht ht die mittels der bekannten Mikro-Photollthographie unter Verwendung einer Belichtungsmaske erzeugt wird. Das Interferenzfilter mit dem ersten Farbton ( z, B« "blau"), der durch die Dicke der unstrukturierten Interferenzschicht 3 bestimmt ist, wird im Bereich des Pfeiles 9 durch die spiegelnde Schicht h strukturiert. Die Dicken bzw. das Reflexionsvermögen der strukturierten spiegelnden Schicht k und der gegenüberliegenden unstrukturierten spiegelnden Schicht 2 im Bereich des Pfeile 9 bestimmen die Sättigung des ersten Farbtons.
Zur Erzeugung eines zweiten Farbtons (z. B. "grün") im Bereich des Pfeiles 10 befinden sich auf der Interferenzschicht 3 und der spiegelnden Schicht k eine zweite unstrukturierte Interferenzschicht 5 und darüber ein zweite strukturierte spiegelnde Schicht 6. Das Interferenzfilter mit dem zweiten Farbton, der durch die Dicke der unstrukturierten Interferenzschichten 3 und 5 bestimmt ist, wird durch die spiegelnde Schicht 6 im Bereich des Pfeiles 10 strukturiert.
Die Dicken bzw. das Reflexionsvermögen der strukturierten :
spiegelnden Schicht 6 und der gegenüberliegenden unstruk- ]
turierten spiegelnden Schicht 2 im Bereich des Pfeils 10 j
bestimmen die Sättigung des zweiten Farbtons. Ü
Auf der Interferenzschicht 5 bzw, auf der spiegelnden | Schicht 6 befinden sich eine dritte unstrukturierte ■ Interferenzschicht 7 und darüber eine dritte strukturierte ι spiegelnde Schicht 8 zur Erzeugung eines dritten Farbtons | (z. B· "rot"), der durch die Dicke der unstruktur!erten ; Interferenzschichten 3» 5 und 7 bestimmt wird. Das Inter- j ferenzfilter mit diesem dritten Farbton wird durch die i; spiegelnde Schicht 8 im Bereich des Pfeiles ti strukturiert. Die Dicken bzw. das Reflexionsvermögen der struk- ·, turierten spiegelnden Schicht 8 und der gegenüberliegendem. [ unstrukturierten spiegelnden Schicht 2 im Bereich des I Pfeiles 11 bestimmen die Sättigung des dritten Farbtons. ι
Die unstrukturierte spiegelnde Schicht kann sich an be- [
liebiger Stelle im Schichtaufbau befinden. '
Nach Figur 2 kann beispielsweise der zweite Farbton gemäß \ Figur 1 auch durch eine andere Ausbildung des Aufzeichnungs- :
trägers erzeugt werden. Auf einem transparenten Schicht-
! träger 13 sind übereinander eine unstrukturierte hoch- '
brechende spiegelnde Schicht 1*1, eine unstrukturierte niedrigbrechende spiegelnde Schicht 15» eine weitere unstruk- , turierte hochbrechende spiegelnde Schicht 14, eine unstrukturierte Interferenzschicht 16; eine strukturierte hochbrechende spiegelnde Schicht 17'» eine unstrukturierte
niedrigbrechende spiegelnde Schicht und eine unstrukturierte
hochbrechende spiegelnde Schicht 17 angeordnet. .
Das Interferenzfilter mit dem zweiten Farbton (ζ. Β. "grün"),
der im Bereich des Pfeiles 19 durch die Dicke der unstrukturierten Interferenzschicht 16 bestimmt ist, wird durch
die hochbrechende spiegelnde Schicht 17" strukturiert. Die
Dicken bzw. das Reflexionsvermögen der strukturierten
ORIG/NAL INSPECTED
hochbrechenden spiegelnden Schicht 17' und der unstrukturierten hochbrechenden spiegelnden Schichten ikt 17 sowie der unstrukturierten niedrigbrechenden spiegelnden , Schichten 15» 18 im Bereich des Pfeiles 19 bestimmen die Sättigung des zweiten Farbtons.
Beim Aufzeichnungsträger gemäß Figur 2 ist in nicht gezeigter Weise auf jeder Seite rior Tnterferenzschicht mindestens eine hochbrechende spiegelnde Schicht aus einem anorganischen, im sichtbaren VcllenlHngenbereich absorptionsfreion Material angeordnet, wobei sich bei mehr als einer hochbrechenden spiegelnden Schicht auf jeder Seite der Tnterferenzschicht zwischen je zwei hochbrechenden spiegelnden Schichten eine unstrukturierte niedrigbrechendo spiegelnde Schicht aus einem anorganischen, im sichtbaren Vellenlnngenberoich absorptionsfreien Material befindet. "Von den hochbrechenden spiegelnden. Schichten auf beiden Seiten dc5r Tnterferenzschicht wird nur eine hochbrechende sniegelnde Schicht auf lediglich einer Seite der Tnterferenzschicht strukturiert und bestimmt somit die Struktur dos betreffenden Farbtons, während die übrigen hochbrechenden spiegelnden Schichten unstrukturiert bleiben, so daß sich keine Justierungsprobleme mehr ergeben.
Als Schichtträger kann auch oin undurchsichtiger Träger mit spiegelnder Oberfläche Verwendung finden.
Infolge der Transmissionscharakteristik der unstruktu rierten spiegelnden Schicht 2 in Figur 1 bzw. der unstrukturierten hochbrechenden spiegelnden Schichten 14, 17 und der unstrukturierten niedrigbrechenden spiegelnden Schichten 15» 18 in Figur 2 ändert sich zwar die Transmission in den Weißflächen in den Bereichen der Pfeile 12„ 20, jedoch hat sich gezeigt, daß der Kontrast der einzelnen Farbtöne sich dadurch erhöht·
BAD ORIGINAL
Leerseite

Claims (2)

  1. DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 17. Oktober 1980
    Ansprüche
    Aufzeichnungsträger mit einer Aufzeichnung hoher Informationsdichte, insbesondere mit einem mehrfarbigen Mikrobild, der aus einem Schichtträger mit mindestens zwei darauf aufgebrachten Tnterferenzfiltern für zwei unterschiedliche Vellenlnngenbereiche des sichtbaren Lichts gebildet ist, wobei jedes Interferenzfilter aus einer unstrukturierten Interferenzschicht aus einem anorganischen, im sichtbaren Wellenlängenbereich absorptionsfreien Material besteht, die auf jeder Seite jeweils durch eine spiegelnde Schicht aus einem anorganischen Material begrenzt ist, dadurch gekennzeichnet, daß nur die eine spiegelnde Schicht {ht 6, 8) auf einer Seite der Interferenzschicht (3, 5„ 7) die Struktur der Aufzeichnung bildet.
  2. 2.) Aufzeichnungsträger mit einer Aufzeichnung hoher Informationsdichte, insbesondere mit einem mehrfarbigen Mikrobild, der aus einem Schichtträger mit mindestens zwei darauf aufgebrachten Interferenz filtern für zwei unterschiedliche Wellenlnngenbereiche des sichtbaren Lichts gebildet ist, wobei jedes Interferenzfilter aus einer unstrukturierten Interferenzschicht aus einem anorganischen, im sichtbaren Wellenlängenbereich absorptionsfreien Material besteht, die auf jeder Seite jeweils durch mindestens eine hochbrechende spiegelnde Schicht aus einem anorganischen, im
    v> UH UHU
    sichtbaren Wellenlängenbereich absorptionsfreien Material begrenzt wird, wobei sich bei mehr als einer hochbrechenden spiegelnden Schicht auf jeder Seite der Interferenzschicht zwischen je zwei hochbrechenden spiegelnden Schichten eine unstrukturierte niedrigbrechende spiegelnde Schicht aus einem anorganischen, im sichtbaren Vellenlängenbereich absorptionsfreien Material befindet, dadurch gekennzeichnet, daß nur eine hochbrechende spiegelnde Schicht (171) auf einer Seite der Interferenzschicht (16) die Struktur der Aufzeichnung bildet.
    ORIGINAL INSPECTED"
DE19803040489 1980-10-28 1980-10-28 Aufzeichnungstraeger mit einer aufzeichnung hoher informationsdichte Granted DE3040489A1 (de)

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