DE29708225U1

DE29708225U1 - Reinraumzelt

Info

Publication number: DE29708225U1
Application number: DE29708225U
Authority: DE
Original assignee: Laflow Reinraumtechnik & GmbH
Current assignee: Laflow Reinraumtechnik & GmbH
Priority date: 1996-09-17
Filing date: 1997-05-07
Publication date: 1997-06-26
Anticipated expiration: 2007-05-08

Description

Laflow Reinraumtechnik GmbH + Co. 89143 Blaubeuren

Reinraumzelt

Die Erfindung betrifft ein Reinraumzelt mit einem gegenüber der Umwelt weitgehend abgegrenzten Innenraum, dem über Flowmodule, enthaltend ein Gebläse und eine Filtereinrichtung gereinigte Luft, vorzugsweise in Form einer laminaren Luftströmung, zuführbar ist, wobei in Innenraum ein leichter Luftüberdruck herrscht.

In vielen Bereichen der Technik besteht die Notwendigkeit, unter Reinraumbedingungen zu arbeiten, wobei allerdings in Bezug auf die Reinheit der Luft unterschiedliche Anforderungen gestellt werden. Beispielsweise sind bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen während der nacheinanderfolgenden Herstellungsschritte zu Beginn des Herstellungsprozesses die höchsten Reinheitsanforderungen einzuhalten, die dann bei späteren Montagevorgängen geringer sind. Zur Erfüllung der unterschiedlichen Reinheitsanforderungen sind unterschiedliche Lösungen bekannt geworden.

Eine der Möglichkeiten besteht beispielsweise darin, den gesamten Produktionsraum innerhalb eines Produktionsgebäudes mit Reinraumtechnik auszustatten, was zweifellos besonders aufwendig ist. Ein nachträglicher Einbau von Reinraumtechnik in eine vorhandene Produktionseinrichtung ist allerdings nahezu ausgeschlossen.

Eine andere Möglichkeit besteht darin, den Produktionsraum in kleine Einheiten aufzuteilen, die dann mit gereinigter Luft versorgt werden. Hierzu erfolgt die Aufteilung des Produktionsraumes durch Folien oder andere geeignete Trennwände, die in geeigneten Halterungen an der Decke des Produktionsraumes aufgehängt werden und die die entsprechende Produktionseinheit luftdicht umschließen, wobei im Bodenbereich ein Spalt freigehalten wird. Durch eine geeignete Lufttechnik zur Reinigung der Luft, die im Deckenbereich aufgehängt oder montiert ist, wird dann eine abwärts gerichtete, möglichst laminare Luftströmung erzeugt, wobei die Luft dann über den Spalt im Bodenbereich entweicht. Um ein Einströmen von ungereinigter Umgebungsluft in den Innenraum zu verhindern, muß in diesem ein geringer Überdruck erzeugt werden. Das erfolgt durch eine geeignete Bemessung des Spaltes im Bodenbereich in Verbindung mit der zugeführten Luftmenge.

Bei dieser Variante sind erhebliche Baumaßnahmen zur Abtrennung einer Produktionseinheit erforderlich, wobei beliebige Grundflächen umgrenzt werden können. Außerdem werden durch den Einbau der Folienwände und der Luftreinigungstechnik, die auch als Flowmodule bezeichnet werden können, benachbarte Produktionseinheiten gestört, oder es ist erforderlich, während der Einbauarbeiten die Produktionseinheiten stillzulegen. Eine nachträgliche Änderung der Grundfläche ist nur durch erneute Baumaßnahmen möglich.

Weiterhin sind noch sogenannte Laminarboxen bekannt, bei denen die Luftreinigungseinrichtung innerhalb eines umgrenzten aber einseitig offenen Raumes eine horizontale laminare Luftströmung erzeugt. Auf diese Weise wird das Eindringen von ungereinigter Umgebungsluft in den Arbeitsbereich innerhalb der Laminarbox verhindert. Derartige Laminarboxen lassen sich auch nachträglich und weitgehend ohne Beeinträchtigung benachbarter Arbeitsplätze aufstellen. Von Nachteil ist allerdings, daß nur ein relativ begrenzter Arbeitsbereich mit gereinigter Luft zur Verfügung steht, so daß einem variablen Einsatz dieser Laminarboxen Grenzen gesetzt sind. Außerdem ist die hori-

zontal nach außen gerichtete Luftströmung für eine vor der Laminarbox befindliche Person störend.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Reinraumzelt zu schaffen, mit dem auf einfache Weise Produktionseinheiten mit nahezu beliebiger Größe und mit beliebiger Grundfläche ohne Eingriff in die Bausubstanz und ohne nennenswerte Störung benachbarter Produktionseinheiten umschlossen werden können und welches eine einfache und nachträgliche Anpassung an geänderte Flächenanforderungen erlaubt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Reinraumzelt der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß das Reinraumzelt aus einer beliebigen Nebeneinanderanordnung einer beliebigen Anzahl von einzelnen freistehenden Modulen besteht, die jeweils von einem Rohrgestell umgrenzt werden, daß die Flowmodu-Ie in der Weise auf den Modulen angeordnet sind, daß die Module jeweils nach oben gegenüber der Umgebung dichtend abgegrenzt sind, und daß die Folienabtrennung wenigstens die Außenkontur der Nebeneinanderanordnung der Module lückenlos umgibt.

Das erfindungsgemäße Reinraumzelt läßt sich kostengünstig fertigen und kann in beliebiger Konfiguration zusammengestellt werden. Hierbei ist von besonderem Vorteil, daß das Reinraumzelt ohne Einfluß auf die Bausubstanz und den Produktionsprozeß jederzeit nachgerüstet werden kann. Dadurch, daß jedem Rohrgestell wenigstens ein Flowmodul zugeordnet ist, ist es im Störungsfall, also wenn ein Flowmodul ausfällt, nahezu ausgeschlossen, daß der Produktionsprozeß dadurch nennenswert gestört wird.

In einer Fortbildung der Erfindung ist wenigstens zwischen einigen der Module eine Folienabtrennung vorgesehen, wobei die Folienabtrennung durch eine transparente oder durchsichtige Folie erfolgen kann. Damit wird einerseits eine einfache Unterteilung des Innenraumes der Reinraumzeltes ermöglicht und andererseits eine gute Übersichtlichkeit gewährleistet.

Darüberhinaus wird dadurch die Betriebssicherheit des Reinraumzeltes insgesamt weiter verbessert.

Um eine einfache Montage der Flowmodule zu gewährleisten, werden die Module am oberen Ende jeweils durch einen Rohrrahmen zur Aufnahme der Flowmodule begrenzt.

Im Sinne einer einfachen Montage oder einer leichten Veränderbarkeit der Konfiguration des Reinraumzeltes sind die nebeneinander befindlichen Module lösbar miteinander verbunden. Was bevorzugt durch Verschrauben erfolgen kann.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind die einzelnen Module in der Weise nebeneinander angeordnet sind, daß in jeder Ecke jedes Moduls maximal nur jeweils eine Stütze zur Aufnahme der Rohrrahmen der benachbarten Module angeordnet ist.

Dadurch, daß in einer Variante der Erfindung einige der miteinander verbundenen Module weniger als vier Stützen aufweisen, wird eine erhebliche Gewxchtseinsparung und eine Vereinfachung der Montage erreicht. In diesem Fall übernimmt die Stütze des jeweils benachbarten Moduls die Tragefunktion der fehlenden Stütze. Ein weiterer Vorteil dieser Variante ist darin zu sehen, daß dadurch mehr Freiraum geschaffen wird und dadurch sich im Reinraumzelt befindliche Bearbeitungsstationen o.dgl. auch über mehrere Module erstrecken können.

Weiterhin ist es möglich, zwischen zwei oder mehreren Modulen mit Stützen ein Modul ohne Stützen anzuordnen, wodurch der Freiraum innerhalb des Reinraumzeltes weiter vergrößert wird. Um eine gute Stabilität des Reinraumzeltes zu erreichen und dieses volkommen frei aufstellen zu können, sind die Stützen und die zugehörigen Rohrrahmen über Stabilisierungselemente miteinander verbunden. Hierfür eignen sich besonders Knotenbleche.

Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungsfiguren zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung des Reinraumzeltes;
Fig. 2 eine weitere Ansicht des Reinraumzeltes nach Fig. 1;

Fig. 3 ein Rohrgestell für eine Variante des Reinraumzeltes; und

Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Floweinheit für das Reinraumzelt.

In den Fig. 1 und 2 sind zwei unterschiedliche Ansichten eines erfindungsgemäßen Reinraumzeltes 1, bestehend aus vier nebeneinander angeordneten Modulen 2, dargestellt, wobei auf jedem Modul 2, bestehend aus einem Rohrrahmen 3 und zugehörigen Stützen 4, jeweils zwei Flowmodule 5 angeordnet sind. Die Module 2 werden insgesamt durch eine Folienabtrennung 6 0 umgeben, deren Stöße beispielsweise durch Klettverschlüsse miteinander verbindbar sind. Damit kann das Reinraumzelt 1 auch einfach betreten werden. Die Folienabtrennung 6 endet in einem geringen Abstand über dem Boden, so daß die vom Flowmodul 5 erzeugte und zum Boden gerichtete Luftströmung entweichen kann. Durch entsprechende Abstimmung der vom Flowmodul 5 in des Modul 2 eingeblasenen Luftmenge und der am Boden etwas gedrosselten Ableitung der Luft entsteht innerhalb des Modules, bzw. innerhalb des gesamten Reinraumzeltes 1, ein geringer Überdruck. Dieser Überdruck verhindert zuverlässig das Eindringen von verunreinigter Umgebungsluft.

Die Rohrrahmen 3 und die Stützen 4 bestehen bevorzugt aus einem Vierkanthohlprofil und sind am unteren Ende mit einer Höhenverstelleinrichtung 7 versehen. Mit Hilfe dieser Höhenverstelleinrichtung 7 lassen sich ggf. Bodenunebenheiten ausgleichen, oder es kann der Luftspalt im Bodenbereich nach der Montage des Reinraumzeltes 1 geringfügig variiert werden.

Das Vierkanthohlprofil kann aus beliebigen Materialien hergestellt werden, wobei Stahlblech die billigste Variante ist und bei der Verwendung von Aluminium oder Kunststoffen ein besonders niedriges Gewicht erreicht wird. Das kann dann besonders interessant sein, wenn die zulässige Deckenbelastung durch die bereits vorhandenen Einrichtungsgegenstände nahezu ausgelastet ist und dennoch nachträglich ein Reinraumzelt 1 installiert werden soll.

Fig. 3 zeigt ein Rohrgestell für eine Variante des Reinraumzeltes 1, bei der zwischen zwei Modulen 2 mit Stützen 4 ein Modul 2 aus einem Rohrrahmen 3 ohne Stützen eingefügt ist und bei der einige Module 2 weniger als vier Stützen 4 aufweisen. Diese Variante zeigt insbesondere, daß das erfindungsgemäße Reinraumzelt 1 äußerst variabel einsetzbar ist. Beispielsweise können einzelne Flowmodule 5 auch höhenversetzt angeordnet werden, wenn dies die innerhalb des Reinraumzeltes 1 anzuordnenden Fertigungseinrichtungen erfordern.

Aus Fig. 4 ist eine schematische Darstellung eines Flowmodules 5 ersichtlich, innerhalb dessen ein Gebläse 8 angeordnet ist, welches über einen Einlaßfilter 9 und eine Filteranordnung 10 Umgebungsluft ansaugt und über eine Ausströmöffnung 11 gereinigte Luft ausbläst. Das Flowmodul 5 erzeugt eine weitgehend laminare abwärts gerichtete Luftströmung mit geringer Strömungsgeschwindigkeit innerhalb jedes Modules 2.

Im Bereich der Ausströmöffnung 11 ist zusätzlich eine Beleuchtungseinrichtung 12 vorgesehen. Die Filteranordnung 10 ist in einem Einschub 13 angeordnet, der von außen zugänglich ist, so daß die Wartung des Flowmodules 5 ohne Störung des Innenraumes 14 des zugehörigen Modules 2 erfolgen kann. Da in der Regel jedem Modul zwei Flowmodule 5 zugeordnet sind, ist es möglich, während der Wartung eines der Flowmodule 5 innerhalb des Modules, weiterzuarbeiten.

Um eine Aufstellung des Reinraumzeltes 1 ohne zusätzliche Verankerung an Gebäudeteilen zu ermöglichen und eine Stabili-

sierung der gesamten Konstruktion zu erreichen, sind Knotenbleche 15 vorgesehen, die die Stützen 4 mit dem jeweiligen Rohrrahmen 3 eines Modules 2 verbinden. Die Knotenbleche 15 sind zu diesem Zweck mit dem Rohrrahmen 3 und den Stützen 4 verschweißt, wobei prinzipiell auch eine Verschraubung oder Vernietung vorgesehen werden kann. Allerdings sind letztere Möglichkeiten wesentlich aufwendiger.

Lippert, Sfachow, Schmidt & Partner

Patentanwälte Krenkelstraße 6

D-Ol 309 Dresden Hu/hu 5. Mai 1997

Laflow Reinraumtechnik GmbH + Co, 89143 Blaubeuren

Reinraumzelt Bezuaszeichenliste

I Reinraumzelt 2 Modul

3 Rohrrahmen

4 Stütze

5 Flowmodul

6 Folienabtrennung

20 7 Höhenverstelleinrichtung

8 Gebläse

9 Einlaßfilter

10 Filteranordnung

II Ausströmöffnung

25 12 Beleuchtungseinrichtung

13 Einschub

14 Innenraum

15 Knotenblech

Claims

Lippert, Stachow, Schmidt Hu/hu & Partner 5. Mai 19 9 7 Patentanwälte Krenkelstraße 6 D-01309 Dresden Laflow Reinraumtechnik GmbH + Co. 89143 Blaubeuren Reinraumzelt Ansprüche

1. Reinraumzelt mit einem gegenüber der Umwelt durch eine Folienabtrennung weitgehend abgegrenzten Innenraum, dem über Flowmodule, enthaltend ein Gebläse und eine Filtereinrichtung gereinigte Luft, vorzugsweise in Form einer laminaren Luftströmung, zuführbar ist, wobei in Innenraum ein leichter Luftüberdruck herstellbar ist, dadurch gekennzeichnet,

daß das Reinraumzelt (1) aus einer beliebigen Nebeneinanderanordnung einer beliebigen Anzahl von einzelnen freistehenden Modulen (2) besteht, die jeweils von einem Rohrgestell umgrenzt werden,

daß die Flowmodule (5) in der Weise auf den Modulen (2) angeordnet sind, daß diese jeweils nach oben gegenüber der Umgebung dichtend abgegrenzt sind, und 30

daß die Folienabtrennung (6) wenigstens die Außenkontur der Nebeneinanderanordnung der Module (2) lückenlos umgibt.

2. Reinraumzelt nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwischen einigen der Module (2) eine Folienabtrennung (6) vorgesehen ist.

3. Reinraumzelt nach Anspruch 1 und 2,dadurch gekennzeichnet, daß die Folxenabtrennung (6) durch eine transparente oder durchsichtige Folie erfolgt.

4. Reinraumzelt nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch

gekennzeichnet, daß die Module (2) am oberen Ende jeweils durch einen Rohrrahmen (3) zur Aufnahme der Flowmodule (5) begrenzt sind.

5. Reinraumzelt nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch

gekennzeichnet, daß die nebeneinanderbefindlichen Module (2) lösbar miteinander verbunden sind.

6. Reinraumzelt nach Anspruch 5, dadurch g e kennzeichnet, daß die Module (2) miteinander verschraubt sind.

7. Reinraumzelt nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Module (2) in der Weise nebeneinander angeordnet sind, daß in jeder Ecke jedes Moduls (2) maximal nur jeweils eine Stütze (4) zur Aufnahme der Rohrrahmen (3) der benachbarten Module (2) angeordnet ist.

8. Reinraumzelt nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch

gekennzeichnet, daß einige der miteinander verbundenen Module (2) weniger als vier Stützen (4) aufweisen.

9. Reinraumzelt nach den Ansprüchen 1 bis 8, dadurch

gekennzeichnet, daß zwischen zwei oder mehren Modulen (2) mit Stützen (4) ein Modul (2) ohne Stützen (4) angeordnet ist.

10. Reinraumzelt nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch

gekennzeichnet, daß die Stützen (4) und die zugehörigen Rohrrahmen (3) über Stabilisierungselemente miteinander verbunden sind.

11. Reinraumzelt nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Stabilisierungselemente als Knotenbleche (15) ausgebildet sind.