DE29624481U1

DE29624481U1 - Vorrichtung zur Oberflächenvorbehandlung von Werkstücken

Info

Publication number: DE29624481U1
Application number: DE29624481U
Authority: DE
Original assignee: Plasmatreat GmbH
Current assignee: Plasmatreat GmbH
Priority date: 1995-09-01
Filing date: 1996-08-29
Publication date: 2004-03-11
Anticipated expiration: 2006-08-30

Abstract

Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken (36),
– mit einem Strahlgenerator (10) und
– mit einem Spannungsgenerator (26),
– wobei der Strahlgenerator (10)
-- ein Düsenrohr (16),
-- eine Ringelektrode (24) und
-- eine Stiftelektrode (18) aufweist,
– wobei die Spitze der Stiftelektrode (18) in Strömungsrichtung des Arbeitsgases axial gegenüber der Ringelektrode (24) zurückversetzt angeordnet ist und
– wobei der Spannungsgenerator (26) leitend mit der Stiftelektrode (18) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet,
– dass der Spannungsgenerator (26) Mittel zum Erzeugen einer Hochfrequenzwechselspannung aufweist,
– wobei die Hochfrequenzwechselspannung einem Zünden und einer Stabiliserung einer zwischen der Stiftelektrode (18) und der Ringelektrode (24) verlaufenden verlaufenden Bogenentladung dient.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Oberflächenvorbehandlung von Werkstücken mittels elektrischer Entladung.
Wenn Werkstückoberflächen beschichtet, lackiert oder geklebt werden sollen, ist häufig eine Vorbehandlung erforderlich, durch die Verunreinigungen von der Oberfläche entfernt werden und dadurch die – insbesondere bei Werkstücken aus Kunststoff – die Molekülstruktur so verändert wird, dass die Oberfläche mit Flüssigkeiten wie Kleber, Lacken und dergleichen benetzt werden kann.
Ein bekanntes Verfahren zur Vorbehandlung von Kunststofffolien besteht darin, dass man eine Korona-Entlandung auf die Folienoberfläche einwirken lässt. Zu diesem Zweck wird die Folie durch einen schmalen Spalt zwischen den Korona-Elektroden hindurchgeführt. Dieses Verfahren ist jedoch nur bei relativ dünnen Folien anwendbar. Außerdem kann es zu einer unerwünschten Vorbehandlung der Rückseite der Folie kommen, beispielsweise wenn sich zwischen der rückseitigen Elektrode und der Folie eine Luftblase befindet, in der eine weitere Entladung stattfindet.
Zum Vorbehandeln der Oberfläche von dickeren Folien oder massiven Werkstücken wird in DE 43 25 939 C1 eine Korona-Düse beschrieben, bei der zwischen den Elektroden ein oszillierend oder umlaufend geführter Luftstrom austritt, so dass man eine flächige Entladungszone erhält, in der die zu behandelnde Oberfläche des Werkstückes mit den Korona-Entladungsbüschel überstrichen werden kann. Diese Korona-Düse eignet sich jedoch nicht für die Vorhandlung von Werkstücken, die ein verhältnismäßig tiefes Relief aufweisen, da Innenecken, tiefe Nuten und dergleichen mit der flächig ausgedehnten Entladungszone dieser Düse nicht oder nur schwer zu erreichen sind. Außerdem besitzt diese bekannte Korona-Düse eine verhältnismäßig aufwendige und sperrige Konstruktion, da für die Erzeugung des oszillierenden bzw. umlaufenden Luftstroms ein Motorantrieb erforderlich ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Vorhandlung von Werkstückoberflächen anzugeben, die sich auch bei Werkstückoberflächen mit einem relativ komplizierten Relief anwenden lässt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst.
Erfindungsgemäß wird durch Plasmaentladung unter Zufuhr eines Arbeitsgases ein gebündelter Strahl eines reaktiven Mediums erzeugt, und die zu behandelnde Oberfläche wird dem so erzeugten Strahl ausgesetzt.
Die Vorrichtung eignet sich zur Behandlung sowohl von leitenden als auch von nichtleitenden Werkstücken, insbesondere von Werkstücken aus Kunststoff. Weiterhin hat sich gezeigt, dass sich auf die oben beschriebene Weise ein Strahl erzeugen lässt, der einerseits chemisch so aktiv ist, dass eine wirksame Oberflächen-Vorbehandlung erreicht wird, andererseits jedoch eine so niedrige Temperatur besitzen kann, dass auch empfindliche Oberflächen nicht beschädigt werden.
Weitere Vorteile der Vorrichtung bestehen darin, dass eine praktisch ozonfreie Vorbehandlung durchgeführt werden kann und sich eine unerwünschte Vorbehandlung der Rückseite zuverlässig ausschließen lässt. Bei nichtleitenden Werkstücken wird auch eine unerwünschte Oberflächenaufladung vermieden.
Ein Generator zur Erzeugung des Strahls wird durch eine rohrförmige Düse aus elektrisch isolierendem Material gebildet, die von dem Arbeitsgas durchströmt wird. Die Mündung der Düse ist von einer Ringelektrode umgeben, und im Inneren der Düse ist eine Stiftelektrode angebracht, deren Spitze gegenüber der Mündung der Düse axial zurückversetzt ist. Der Plasmabogen verläuft somit von der Spitze der Stiftelektrode im wesentlichen in Axialrichtung des Düsenrohres, also parallel zur Strömung des Arbeitsgases, zu der Ringelektrode. Auf diese Weise lässt sich vor der Mündung der Düse ein intensiver, gerichteter und relativ scharf gebündelter Strahl erzeugen, der eine wirksame und gleichmäßige Vorbehandlung auch schwer zugänglicher Werkstückoberflächen gestattet. Durch geeignete Wahl des Abstands zwischen der Spitze der Stiftelektrode und der Mündung des Düsenrohres lässt sich die Bündelung des Strahls nach Bedarf einstellen.
Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Das Düsenrohr besteht bevorzugt aus Keramikmaterial und ist am äußeren Umfang mit einem elektrisch leitenden Mantel umgeben, der elektrisch mit der Ringelektrode verbunden oder in einem Stück mit dieser ausgebildet ist und sich am entgegengesetzten Ende bis etwa in Höhe der Spitze der Stiftelektrode erstreckt. In diesem Fall kann bereits mit relativ niedriger Spannung durch das Keramikmaterial hindurch eine Korona-Entladung erzeugt werden, durch die die Bogenentladung gezündet wird. Zum Einschalten des Strahls braucht somit nur die Betriebsspannung hochgeregelt zu werden, und es ist keine wesentlich erhöhte Zündspannung erforderlich.
Das Arbeitsgas – beispielsweise Luft oder Argon – wird vorzugsweise in Höhe der Stiftelektrode so in das Düsenrohr eingeleitet, dass es drallförmig durch das Düsenrohr strömt. In dem Düsenrohr bildet sich dann ein einheitlicher Wirbel, dessen Wirbelkern den Lichtbogen kanalisiert. Selbst bei nicht genau koaxialer Ausrichtung der Stiftelektrode in dem Düsenrohr erhält man so einen sehr stabilen Lichtbogen, der sich in Form eines einzigen scharf begrenzten Astes längs der Achse des Düsenrohres von der Spitze der Stiftelektrode bis etwa zur Mündung des Düsenrohres erstreckt und sich erst dann in mehrere Teiläste auffächert, die radial zur Ringelektrode führen. Der Punkt, an dem sich der Lichtbogen in die Teiläste auffächert, bildet eine nahezu punktförmige Quelle für den reaktiven Strahl. Die „Fokussierung" und Divergenz des Strahls lassen sich in diesem Fall auch durch Variieren des Arbeitsgas-Durchsatzes beeinflussen, ohne dass die geometrische Konfiguration des Generators geändert werden muss.
Wenn ein Arbeitsgas mit geeigneten Zusätzen verwendet wird, lässt sich der Generator auch zum „Plasma-Beschichten" von Oberflächen einsetzen.
An die Elektrode wird bevorzugt eine Hochfrequenz-Wechselspannung in der Größenordnung von 10 bis 30 kV angelegt, der zur Stabilisierung der Entladung eine kleine Gleichspannungskomponente überlagert sein kann. Ein zur Erzeugung dieser Wechselspannung geeigneter, einfach regelbarer HF-Generator wird in DE 42 35 766 C1 beschrieben. Vorzugsweise ist die Ringelektrode geerdet, so dass Unfälle oder Beschädigungen elektrisch leitender Werkstücke durch unerwünschte Entladungen vermieden werden können.
Durch den gleichfalls geerdeten Mantel wird eine Abschirmung des Entladungsprozesses gegen äußere Störeinflüsse sowie eine hohe elektromagnetische Verträglichkeit (EMV) der Vorrichtung erreicht.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind mehrere in einer Reihe oder in mehreren Reihen auf Lücke versetzt angeordnete Strahlgeneratoren in einen gemeinsamen Arbeitskopf integriert, so dass flächig ausgedehnte Werkstücke auf rationelle Weise gleichmäßig vorbehandelt werden können. Die Ringelektroden werden in diesem Fall durch einen sämtlichen Generatoren gemeinsamen elektrisch leitenden Block gebildet, in den die einzelnen Düsenrohre eingebettet sind. Die Anordnung der einzelnen Generatoren kann dabei so kompakt sein, dass die Querschnitte der einzelnen Plasmastrahlen sich in Höhe der zu bearbeiten Werkstückoberfläche in der Richtung quer zur Relativbewegung von Arbeitskopf und Werkstück überlappen.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen:
1 einen schematischen Längsschnitt durch einen erfindungsgemäßen Strahlgenerator; und
2 eine Stirnansicht eines Arbeitskopfes mit mehreren Strahlgeneratoren.
Der in 1 gezeigte Strahlgenerator 10 besitzt ein topfförmiges Gehäuse 12 aus Kunststoff, das seitlich mit einem Anschluss 14 zur Zufuhr eines Arbeitsgases versehen ist. In der Öffnung des Gehäuses 12 ist koaxial ein Düsenrohr 14 aus Keramik gehalten. Im Inneren des Gehäuses 12 ist mittig eine Stiftelektrode 18 aus Kupfer angeordnet, deren Spitze in das Düsenrohr 16 hineinragt. Der äußere Umfang des Düsenrohres ist außerhalb des Gehäuses 12 von einem Mantel 20 aus elektrisch leitendem Material umgeben, der am freien Ende des Düsenrohres 16 eine Ringelektrode 22 bildet. Die Ringelektrode 22 begrenzt eine Düsenöffnung 24, deren Durchmesser etwas kleiner ist als der Innendurchmesser des Düsenrohres 16, so am Auslass des Düsenrohres eine gewisse Einschnürung erreicht wird.
Der Mantel 20 und damit die Ringelektrode 22 sind geerdet, und zwischen dieser Ringelektrode und der Stiftelektrode 18 wird mit Hilfe eines Hochfrequenzgenerators 26 eine Wechselspannung mit einer Frequenz in der Größenordnung von 20 kHz angelegt, deren Spannung regelbar ist und während der Betriebs des Strahlgenerators etwa in der Größenordnung von 5 bis 30 kV liegt.
Der Anschluss 14 für das Arbeitsgas ist exzentrisch in Bezug auf das Gehäuse 12 angeordnet, so dass das zugeführte Arbeitsgas drallförmig durch das Düsenrohr 16 strömt, wie durch den Pfeil 28 in 1 angedeutet wird. Unterstützt durch die Einschnürung am Auslass des Düsenrohres bildet sich ein stabiler Gaswirbel, dessen Wirbelkern sich längs der Achse des Düsenrohres erstreckt.
Der elektrisch leitende Mantel 20 erstreckt sich am gehäuseseitigen Ende etwa bis in Höhe der Spitze der Stiftelektrode 18. Beim Hochregeln der Spannung kommt es an der Spitze der Stiftelektrode 18 zunächst zu einer Korona-Entladung. Die bläulich leuchtenden Entladungsbüschel erstrecken sich radial auf die Wand des Düsenrohres 16, und der Transport der Ladungsträger zum Mantel 20 erfolgt durch das Keramikmaterial des Düsenrohres 16 hindurch. Diese Korona-Entladung liefert die notwendigen Ionen, durch die bei steigender Spannung eine Bogenentladung von der Stiftelektrode 18 zur Ringelektrode 22 gezündet wird. Bei Verwendung von Luft als Arbeitsgas entsteht ein weiß-blau leuchtender Lichtbogen 30, der sich von der Spitze der Stiftelektrode 18 aus in einen scharf begrenzten dünnen Kanal längs der Achse des Düsenrohres 16 bis etwa in die Mitte der Austrittsöffnung 24 erstreckt. Erst dort teilt sich der Lichtbogen in mehrere Teiläste 32 auf, die radial zur Ringelektrode 22 führen. Der Punkt, an dem sich axiale Lichtbogen 30 in die einzelnen Teiläste 32 verzweigt, bildet zugleich den Ursprung einer bei Verwendung von Luft als Arbeitsgas schwach goldfarben leuchtenden „Flamme", die vorläufig als Plasmastrahl 34 gedeutet wird.
Dieser Plasmastrahl 34 wird zur Vorbehandlung von Oberflächen genutzt. Im gezeigten Beispiel dient der Plasmastrahl zur Vorbehandlung der Oberfläche eines Werkstückes 36 aus Kunststoff im Bereich einer Nut 38. Man erkannte, dass der Plasmastrahl 34 in die Nut 38 eindringt, so dass auch der ansonsten schwer zugängliche Grund der Nut wirksam vorbehandelt werden kann.
Ob sich hier bei der als Plasmastrahl 34 bezeichneten „Flamme" tatsächlich um ein Plasma im eigentlichen Sinne, d. h. um ein zumindest teilweise ionisiertes Medium handelt, ist nicht vollständig gesichert. Es wurde versucht, die elektrische Leitfähigkeit dieses Mediums nachzuweisen, indem die Enden zweier Leiter, von denen einer direkt und andere über eine Glühbirne mit einer Batterie verbunden war, die Flamme gehalten wurden. Die Glühbirne leuchtete jedoch nur dann auf, wenn einer der Äste 32 des Lichtbogens auf die Leiterenden übersprang und diese verband. Die Leitfähigkeit des Plasmastrahls 34 ist somit wesentlich geringer als die des Plasmas innerhalb des Lichtbogens. Möglicherweise handelt es sich bei der „Flamme" nur um ein schwach ionisiertes Plasma oder um ein Medium, das lediglich freie Radikale oder angeregte Atome oder Moleküle enthält. Es konnte jedoch zweifelsfrei nachgewiesen werden, dass der Plasmastrahl 34 die gewünschte vorbehandelnde Wirkung auf die in den Strahl gebrachten Werkstückoberflächen hat. Es wurden verschiedene Kunststoffoberflächen, die normalerweise nicht mit Wasser benetzbar sind, in den Plasmastrahl 34 gebracht und anschließend mit Wasser bestrichen. Die mit Plasmastrahl 34 behandelten Oberflächenbereiche konnten danach mit Wasser benetzt werden. Dieser Effekt lässt sich auch bei stark fluorierten Polymeren wie etwa PTFE beobachten. Auch Metalloberflächen konnten mit Hilfe des Plasmastrahls 34 wirksam vorhandelt und beispielsweise von Silikonöl-Rückständen und dergleichen befreit werden. Bei Versuchen mit unedlen Metallen zeigte sich darüber hinaus, dass der Plasmastrahl 34 praktisch keine oxidierende Wirkung hat. Selbst bei der Behandlung von Aluminium kam es nicht zur Bildung einer Oxidschicht.
Die Temperatur des Plasmastrahls 34 ist relativ gering. Ähnlich wie bei einer Kerzenflamme kann man den Finger mit mäßiger Geschwindigkeit durch den Plasmastrahl bewegen, ohne dass es zu Verbrennungen kommt.
Das Düsenrohr 16 hat bei den bisher untersuchten Ausführungsbeispielen einen Innendurchmesser von etwa 8 mm, und der axiale Abstand zwischen der Spitze der Stiftelektrode 18 und der Düsenöffnung 24 beträgt etwa 55 mm. Der Innendurchmesser der Düsenöffnung 24 beträgt etwa 5 mm. Unter diesen Bedingungen erhält man einen Plasmastrahl 34, der eine Länge von etwa 30 mm sowie einen maximalen Durchmesser von etwa 5 mm besitzt. Durch Vergrößern des Abstandes zwischen der Stiftelektrode und der Düsenöffnung 24 kann die Bündelung und damit die Reichweite des Plasmastrahls verbessert werden. Auch die Einschnürung an der Düsenöffnung 24 scheint die Bündelung des Plasmastrahls zu begünstigen.
Wenn der Durchsatz des Arbeitsgases durch das Düsenrohr 16 vergrößert wird, verlagert sich der Ursprung des Plasmastrahls weiter nach außen, d. h., in Richtung auf das Werkstück, und die Flamme wird länger und schlanker. Gleichzeitig nimmt die in 1 erkennbare Auswärts-Krümmung der radialen Äste 32 des Lichtbogens zu. Wenn man andererseits die Strömung des Arbeitsgases drosselt oder ganz abschaltet, weitet sich der axiale Lichtbogen 30 auf, bis er schließlich nahezu das gesamte Innere des Düsenrohres ausfüllt. Der Plasmastrahl 34 wird dabei kürzer, und sein Ursprung ist nicht mehr punktförmig, sondern flächig über den Querschnitt der Düsenöffnung 24 verteilt. Bei mäßigem Gasdurchsatz erkennt man, dass der Lichtbogen 30 innerhalb des Düsenrohres der drallförmigen Gasströmung folgt. Bei allmählicher Steigerung des Gasdurchsatzes wird der Lichtbogen 30 in Radialrichtung zunehmend komprimiert und auf der Achse des Düsenrohres fixiert. Der Lichtbogen 30 scheint demnach durch den Kern des Gaswirbels kanalisiert zu werden. Aufgrund dieses Effektes erhält man bei hinreichend hohem Gasdurchsatz einen sehr stabilen Plasmastrahl 34, der von einem punkförmigen Ursprung dicht vor der Mitte der Austrittsöffnung 24 ausgeht. Durch geeignete Wahl der Position des Werkstücks 35 in Bezug auf den Strahlgenerator 10 lassen sich so der Ort und die Ausdehnung des behandelten Oberflächenbereiches sowie die Intensität der Plasmabehandlung präzise steuern.
Aufgrund der relativ großen Länge des Plasmastrahls 34 lässt sich der Abstand zwischen dem Werkstück und der Austrittsöffnung 24 des Plasmabrenners so groß wählen, dass eine Schädigung der Oberfläche durch unmittelbare Einwirkung der Äste 32 des Lichtbogens vermieden wird. Ebenso wird bei elektrisch leitenden Werkstücken eine Übertragung des Lichtbogens auf das Werkstück vermieden.
Wie in 1 zu erkennen ist, hat der Strahlgenerator 10 insgesamt relativ kleine radiale Abmessungen, so dass sich mehrere gleichartige Strahlgeneratoren dicht gepackt in einen Arbeitskopf integrieren lassen, der für die Behandlung größerer Werkstücksoberflächen geeignet ist. Ein Beispiel eines solchen Arbeitskopfes 40 ist in 2 gezeigt. Anstelle des Mantels 20 in 1 ist hier ein einstückiger Metallblock 42 vorgesehen, in dem die Düsenöffnungen 24 der einzelnen Strahlgeneratoren ausgespart sind und der zugleich die zugehörigen Ringelektroden bildet. Die Düsenrohre 16 gemäß 1 sind – in 2 nicht erkennbar – in den Metallblock 42 eingelassen.
Die Düsenöffnungen 24 sind im gezeigten Beispiel in zwei parallelen Reihen auf Lücke versetzt und einander überlappend angeordnet. Wenn der Arbeitskopf 40 in Richtung des Pfeils A in 2 über die zu behandelnde Oberfläche eine ebenen Werkstücks bewegt wird, kann somit die Werkstückoberfläche mit einem weitgehend gleichmäßigen „Plasmavorhang" vorbehandelt werden, dessen Breite sich durch Zu- und Abschalten einzelner Strahlgeneratoren nach Bedarf steuern lässt.

Claims

Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken (36), – mit einem Strahlgenerator (10) und – mit einem Spannungsgenerator (26), – wobei der Strahlgenerator (10) -- ein Düsenrohr (16), -- eine Ringelektrode (24) und -- eine Stiftelektrode (18) aufweist, – wobei die Spitze der Stiftelektrode (18) in Strömungsrichtung des Arbeitsgases axial gegenüber der Ringelektrode (24) zurückversetzt angeordnet ist und – wobei der Spannungsgenerator (26) leitend mit der Stiftelektrode (18) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, – dass der Spannungsgenerator (26) Mittel zum Erzeugen einer Hochfrequenzwechselspannung aufweist, – wobei die Hochfrequenzwechselspannung einem Zünden und einer Stabiliserung einer zwischen der Stiftelektrode (18) und der Ringelektrode (24) verlaufenden verlaufenden Bogenentladung dient.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochfrequenzwechselspannung eine Größe zwischen 5 bis 30 kV, vorzugsweise zwischen 10 und 30 kV aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochfrequenzwechselspannung eine Frequenz in der Größenordnung von 20 kHz aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Spannungsgenerator (26) Mittel zum Erzeugen einer Gleichspannungskomponente zur Überlagerung mit der Hochfrequenzwechselspannung aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsseite des Spannungsgenerators (26) mit der Stiftelektrode (18) verbunden ist und dass die Ringelektrode (24) geerdet ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Stiftelektrode (18) von dem Düsenrohr (16) umgeben ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Düsenrohr (16) elektrisch isolierend ist, vorzugsweise aus einem keramischen Material hergestellt ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringelektrode (22) die Düsenöffnung (24) bildet, wobei die Düsenöffnung (24) einen geringeren Querschnitt als das Düsenrohr (16) aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der axiale Abstand zwischen der Spitze und der Stiftelektrode (18) und der Ringelektrode (22) wenigstens das Zweifache, vorzugsweise mehr als das Vierfache des Innendurchmessers des Düsenrohres (16) beträgt.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Düsenrohr (16) außen von einem elektrisch leitenden Mantel (20) umgeben ist, der an einem Ende mit der Ringelektrode (24) leitend verbunden ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein Anschluss (14) vorgesehen ist, der mit einer Luftquelle verbunden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschluss (14) exzentrisch in Bezug auf das Gehäuse angeordnet ist und eine Dralleinrichtung eine wirbelförmige Strömung des Arbeitsgases durch das Düsenrohr (16) bewirkt.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein Arbeitskopf (40) mit mehreren Strahlgeneratoren (10) vorgesehen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlgeneratoren (10) mit in einer gemeinsamen Ebene liegenden Düsenöffnungen (24) angeordnet sind.
Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlgeneratoren (10) in einer Reihe oder in mehreren parallelen Reihen angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Arbeitskopf (40) einen Metallblock (42) aufweist, der die Ringelektroden (22) sowie ggf. die die Düsenrohre (16) umgebenden Mäntel sämtlicher Strahlgeneratoren (10) bildet.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlgeneratoren (10) einzeln abschaltbar sind.