DE29511549U1 - Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Leiterplatten - Google Patents
Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von LeiterplattenInfo
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0085—Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor
- H05K3/0088—Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor for treatment of holes
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Description
G 17 210 - leet 14. Juli 1995
Gertrud Pill, 71549 Auenwald-Mittelbrüden
Die Erfindung betrifft eine
Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Leiterplatten mit
einer Behandlungsflüssigkeit, insbesondere zur Reinigung der
Kontaktierungslöcher von Harzverschmutzungen oder zur Benetzung bzw. Beschichtung, mit einer Behandlungsflüssigkeit enthaltenden
Behandlungswanne, im Bereich deren nach oben weisender Wannenöffnung eine Behandlungsstrecke vorgesehen ist,
die von den zu behandelnden Leiterplatten bei horizontal ausgerichteter Plattenebene mit horizontaler Transportrichtung
durchlaufen wird, mit mehreren unmittelbar der Behandlungsstrecke angeordneten Transportrollkörpern für die Leiterplatten,
die mit rechtwinkelig zur Transportrichtung verlaufenden
Drehachsen in Transportrichtung zueinander beabstandet aufeinanderfolgend angeordnet sind, und mit einer Schwalleinrichtung,
aus der unterhalb der Behandlungsstrecke unter Druck Behandlungsflüssigkeit austritt, die in wenigstens einem
Schwallzwischenraum zwischen zwei in Transportrichtung benachbarten
Transportrollkörpern schwallartig nach oben zur Behandlungsstrecke
strömt, und gegen die dort vorbei laufenden Leiterplatten prallt.
- 2
Eine Vorrichtung dieser Art geht aus der DE 26 06 984 C3 hervor. Diese verfügt über mehrere aufeinanderfolgend angeordnete
Transportrollkörper, die die zu behandelnden Leiterplatten entlang
der Behandlungsstrecke transportieren und dabei als Auflagen für die Leiterplatten fungieren. Die zu behandelnden Leiterplatten
weisen z.B. durch Bohren oder Stanzen hergestellte Kontaktierungslöcher auf, die durch Harz verschmutzt sind und
gereinigt werden müssen. Die hier als Reinigungsflüssigkeit wirkende Behandlungsflüssigkeit wird mittels einer Schwalleinrichtung
von unten her gegen die Leiterplatten geschwallt, so daß sie gegen die Leiterplatten prallt und dabei in die Kontaktierungslöcher
eintritt.
Die allein durch die Schwalleinwirkung erzielte Wirkung der Behandlungsflüssigkeit
ist vielfach nicht ausreichend oder dauert zu lange. Um eine bessere Einwirkung der Behandlungsflüssigkeit
zu gewährleisten, wurde daher in dem deutschen Gebrauchsmuster G 91 00 895.6 bereits vorgeschlagen, die Leiterplatten durch
eine sogenannte stehende Welle hindurchzuleiten, die durch das Anheben des Flüssigkeitsspiegels der in einer zugeordneten Behandlungswanne
befindlichen Behandlungsflüssigkeit erzeugt wird. Auch hier erscheint das Behandlungsergebnis allerdings verbesserungswürdig
.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die in kürzerer Zeit
eine intensivere Behandlung der Leiterplatten ermöglicht.
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Zur Lösung dieser Aufgabe ist vorgesehen, daß Mittel vorhanden sind, um den Flüssigkeitsspiegel der in der Behandlungswanne
befindlichen Behandlungsflüssigkeit zeitweilig auf ein oberhalb der auf der Behandlungsstrecke laufenden Leiterplatten
liegendes Betriebsniveau anzuheben, und daß die beiden den mindestens
einen Schwallzwischenraum begrenzenden Transportrollkörper walzenartig ausgestaltet sind, so daß sie jeweils eine
Auflagefläche für die gesamte Breite der transportierten Leiterplatten
und gleichzeitig eine durchgehende Begrenzungswand für den zugeordneten Schwallzwischenraum bilden.
Auf diese Weise ist eine kombinierte Behandlung der Leiterplatten möglich, bei der die Leiterplatten zeitgleich zum einen
durch eine aus einem erhöhten Flüssigkeitsspiegel resultierende stehende Welle hindurchgeführt werden und zum anderen unter dem
Einfluß schwallartig von unten herangeführter Behandlungsflüssigkeit
stehen. Die dadurch bereits verbesserte Wirksamkeit der Oberflächenbehandlung wird durch die walzenartige Ausbildung der
einen jeweiligen Schwallzwischenraum begrenzenden Transportrollkörper
nochmals gesteigert. Im Gegensatz zu der Vorrichtung gemäß DE 26 06 984 C3, wo als Transportro11 körper einzelne
Rollen geringer Dicke eingesetzt werden, bewirken die walzenförmigen Transportrollkörper im Zusammenwirken mit den großflächig
auf ihnen aufliegenden vorbei laufenden Leiterplatten eine vorderseitige
und rückseitige Begrenzung des Schwallzwischenraumes, so daß die schwallartig herangeführte Behandlungsflüssigkeit an
einem raschen Abfließen gehindert ist. Die nach dem Aufprall an
• · &ogr;
einer Leiterplatte in und entgegen der Transportrichtung abströmende
Behandlungsflüssigkeit wird von den als Begrenzungswänden
fungierenden walzenförmigen Transportrollkörpern gebremst, so
daß ein Flüssigkeitsstau auftritt, der das Hindurchströmen der Behandlungsflüssigkeit durch die Löcher der Leiterplatten unterstützt.
Die Durchflutung der Leiterplatten wird dadurch verbessert, woraus eine Reduzierung der gesamten Behandlungsdauer
resultiert.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen
aufgeführt.
Jedem Schwallzwischenraum ist zweckmäßigerweise ein quer zur
Transportrichtung verlaufendes Schwallrohr zugeordnet, das sich innerhalb und/oder unterhalb des betreffenden Schwallzwischenraumes
befindet. In der Regel wird man versuchen, das Schwallrohr möglichst nahe an der Behandlungsstrecke zu positionieren.
Die durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen in einem Schwallzwischenraum
gestaute Behandlungsflüssigkeit kann unter Umständen ein Abheben nur lose auf den Transportrollkörpern aufliegender
Leiterplatten verursachen. Daher kann es sinnvoll sein, oberhalb gegenüberliegend wenigstens einer der walzenförmigen Transportrollkörper
einen Andrückrollkörper vorzusehen, der ebenfalls walzenförmig ausgebildet sein kann.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung
näher erläutert. In dieser zeigen:
Figur 1 ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Vorrichtung in Seitenansicht und teilweise im Längsschnitt, stark schematisiert,
Figur 2 den in Figur 1 markierten Ausschnitt II in vergrößerter Darstellung, und
Figur 3 den in Figur 2 gezeigten Ausschnitt der beispielsgemäßen
Vorrichtung in Draufsicht mit Blick gemäß Pfeil III aus
Figur 2, wobei die Leiterplatte nur strichpunktiert angedeutet ist.
Die Figur 1 zeigt eine als Modul konzipierte Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Leiterplatten, die zusammen mit weiteren
Behandlungsmodulen sehr flexibel zu einer Gesamtanlage zusammengesetzt werden kann.
Die Vorrichtung enthält ein Auffangbehältnis 1, das bis zu einem
gewissen Füllstand 2 mit einer chemischen Behandlungsflüssigkeit 3 gefüllt ist. Es kann sich dabei z.B. um Permanganate in
wässriger Lösung handeln.
Im Innern des Auffangbehältnisses 1 ist eine unten und seitlich
geschlossene Behandlungswanne 4 angeordnet, die über eine vertikal nach oben orientierte Wannenöffnung 5 verfügt. Auch in der
Behandlungswanne 4 befindet sich Behandlungsflüssigkeit 3.
Innerhalb des Auffangbehältnisses 1 ist auf Höhe der Wannenöffnung
5 eine Mehrzahl von Transportrollkörpern 6 angeordnet. Sie definieren mit ihren nach oben weisenden Auflageflächen 7
eine strichpunktiert angedeutete Transportbahn 8. Zu behandelnde Leiterplatten 9 treten über eine Eintrittsöffnung 12 in das Auffangbehältnis
1 ein und werden von den Transportrollkörpern 6 entlang der Transportbahn 8 durch das Auffangbehältnis 1 hindurchgeschleust,
bis sie an der entgegengesetzten Seite durch eine Austrittsöffnung 13 im Anschluß an eine erfolgte Behandlung
wieder austreten.
Die Transportrollkörper 6 sind motorisch auf nicht näher dargestellte
Weise zu gleichgerichteten Rotationsbewegungen angetrieben (pfeil 10),so daß die Leiterplatten 9 über sie hinweglaufen.
Der die Wannenöffnung 5 überquerende Abschnitt der Transportbahn
8 bildet eine Behandlungsstrecke 14. Die Leiterplatten 9 werden, während sie in Transportrichtung 15 entlang der Behandlungsstrecke
14 bewegt werden, von der Behandlungsflüssigkeit in gewünschter Weise chemisch behandelt.
Wie auch aus Figur 3 hervorgeht, sind die drehbar gelagerten angetriebenen
Transportrollkörper 6 derart ausgerichtet, daß ihre Drehachsen 16 horizontal und rechtwinkelig zu der Transportrichtung
15 verlaufen. Sie sind in Transportrichtung 15 mit Abstand aufeinanderfolgend angeordnet, wobei der Abstand benachbarter
Transportrollkörper 6 geringer ist als die Länge einer jeweili-
gen Leiterplatte 9.
Beim Durchlaufen der Behandlungsstrecke 14 sind die Plattenebenen
der Leiterplatten 9 horizontal ausgerichtet und auch die Transportrichtung 15 verläuft horizontal.
Die beispielsgemäße Vorrichtung ist mit Mitteln ausgestattet, die es ermöglichen, den Flüssigkeitsspiegel der in der Behandlungswanne
4 befindlichen Behandlungsflüssigkeit 3 zeitweilig auf ein Betriebsniveau 17 anzuheben, das höher liegt als die
Oberseite der auf der Behandlungsstrecke 14 laufenden Leiterplatten 9. Ein am Beginn und am Ende der Behandlungsstrecke 14
im Bereich der vorderseitigen und rückseitigen Wand 17 der Behandlungswanne
4 angeordnetes Walzenpaar 18, 19 hat eine Dichtfunktion. Die Walzenpaare 18, 19 bilden praktisch eine Verlängerung
der Wände 17 über die Wannenöffnung 5 hinaus, wobei sie mit ihren Mantelflächen dicht aneinander anliegen. Da die jeweils
obere Walze 18 vertikal beweglich ist, kann sie ausweichen, wenn eine Leiterpaltte 9 hindurchläuft.
An den Längsseiten ist der obere Rand der Wannenöffnung 5 durch
nicht näher dargestellte Dichtleisten oder dergleichen nach oben gezogen.
Das Innere des Auffangbehältnisses 1 und der Behandlungswanne 4
steht über eine Flüssigkeitsleitung 22 miteinander in Verbindung.
In diese Flüssigkeitsleitung 22 ist eine Förderpumpe 23 eingeschaltet.
Auf diese Weise wird im Betrieb Behandlungsflüssigkeit
aus dem Auffangbehältnis 1 in die Behandlungswanne 4 gepumpt
.
Bei nicht in Betrieb befindlicher Förderpumpe 23 liegt das Niveau des Flüssigkeitsspiegels in der Behandlungswanne 4 maximal
geringfügig unterhalb der Behandlungsstrecke 14, d.h. maximal auf Höhe der Wannenöffnung 5. Beim Betrieb der Förderpumpe
23 steigt der Flüssigkeitsspiegel an, bis er durch überlauf der Dichtwalzenpaare 18, 19 und der seitlichen Dichtleisten das bereits
erwähnte Betriebeniveau 17 erreicht. Die dabei aufgestaute
Flüssigkeit wird als stehende Welle bezeichnet. Die die Behandlungsstrecke 14 durchlaufenden Leiterplatten 9 werden somit
durch diese stehende Welle hindurchgeführt.
Die überlaufende Behandlungsflüssigkeit wird vom Auffangbehältnis
1 aufgefangen, so daß insgesamt ein Flüssigkeitskreislauf vorliegen kann.
Die Behandlungsvorrichtung ist des Weiteren mit einer Schwalleinrichtung
24 ausgestattet. Sie umfaßt mehrere Schwallrohre 25, die im Innern der Behandlungswanne 4 unterhalb der Behandlungsstrecke
14 plaziert sind. Sie verlaufen horizontal quer zur Transportrichtung 15, wobei sie zweckmäßigerweise parallel zu
den Transportrollkörpern 6 ausgerichtet sind.
Jedes Schwallrohr 25 ist einem zwischen zwei aufeinanderfolgenden
Transportrollkörpern 6 befindlichen Zwischenraum zugeordnet, der zur Unterscheidung von den anderen Zwischenräumen als
Schwallzwischenraum 26 bezeichnet sei. Das Ausführungsbeispiel
verfügt über sechs Schwallrohre 25 und dementsprechend über sechs Schwalizwischenräume 26, wobei wie abgebildet zwischen jeweils
aufeinanderfolgenden Schwallzwischenräumen 26 ein oder
mehrere Zwischenräume vorgesehen sein können, die von der Schwalleinrichtung 24 nicht beeinflußt werden.
Die Schwallrohre 25 sind zweckmäßigerweise so angeordnet, daß sie ganz oder zumindest teilweise innerhalb des zugeordneten
Schwallzwischenraumen 26 liegen. Der in Transportrichtung 15 gemessene
Abstand zu den benachbarten Transportrollkörpern 6 ist zweckmäßigerweise identisch.
Jedes Schwallrohr 25 verfügt im Bereich seiner nach oben der Behandlungsstrecke
14 zugewandten Mantelfläche über eine Vielzahl von Austrittsöffnungen 27. Sie bilden bevorzugt eine lineare
Lochreihe. Denkbar wäre es auch, nur eine oder eine geringere Anzahl von Austrittsöffnungen 27 vorzusehen, die beispielsweise
schlitzartig ausgebildet sind.
Der Längenbereich eines jeweiligen Schwallrohres 25, der von Austrittsöffnungen
27 besetzt ist, sei als Schwallbreite bezeichnet. Die Schwallrohre 25 sind derart ausgebildet und angeordnet, daß
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S ·
die Schwallbreite zweckmäßigerweise zumindest gleich oder größer
ist als die quer zur Transportrichtung 15 gemessene Breite der Leiterplatten 9.
Die Schwallrohre 25 sind über eine Druckleitung 28 an eine Förderpumpe
23 angeschlossen, bei der es sich um die gleiche Förderpumpe handeln kann, die auch die unmittelbare Befüllung der
Behandlungswanne 4 übernimmt- Im Betrieb strömt aus den Austrittsöffnungen
27 der Schwallrohre 25 unter Druck Behandlungsflüssigkeit aus, wobei man die Art des Austretens als schwallförmiges
Austreten bezeichnen kann. Der Flüssigkeitsschwall ist
in Figur 2 bei 32 angedeutet.
Der Flüssigkeitsschwall ist nach oben gerichtet, so daß er gegen
die jeweils vorbeitransportierte Leiterplatte 9 prallt. Diese Leiterplatte hat eine Vielzahl von quer durchgehenden Kontaktierungslöchern
33, die im vorliegenden Fall gereinigt werden sollen. Die unter Druck in einem Schwall herangeführte Behandlungsflüssigkeit
durchströmt die Kontaktierungslöcher 33, so daß die zu reinigenden Bereiche gut erreicht werden.
Da die Kontaktierungslöcher in der Regel einen sehr geringen Querschnitt aufweisen, dauert es trotz der Schwallbehandlung
meist einige Zeit, bis die gesamte Oberfläche der Kontaktierungsbohrungen
benetzt ist. Daher bedarf es überlicherweise relativ langer Behandlungsstrecken mit einer entsprechend langen Behan-
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lungszeit- Diese Nachteile sind bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung
ausgeräumt, weil die beiden einen jeweiligen Schwallzwischenraum
26 begrenzenden Transportrollkörper 61, 6'1 walzenartig
ausgestaltet sind, so daß sie jeweils eine Auflagefläche
für die gesamte Breite der transportierten Leiterplatten 9 und gleichzeitig eine vorne und hinten durchgehende Begrenzungswand
für den jeweils zugeordneten Schwallzwischenraum 26 bilden.
Auf diese Weise wird verhindert, daß die gesamte, gegen die Unterseite der Leiterplatte 9 geschwallte Flüssigkeit rasch seitwärts
abströmen kann. Die walzenartigen Transportrollkörper 6 bilden zusammen mit der gleichzeitig auf beiden Transportrollkörpern
6 aufliegenden Leiterplatte 9 eine Art Rinne oder Vertiefung bzw. Kammer, wie aus Figur. 2 ohne weiteres zu ersehen ist. Dabei bilden
die walzenförmigen Transportrollkörper 6 ein Hindernis für
die an der Leiterplatte 9 abgepralle Behandlungsflüssigkeit, so daß sich ein Flüssigkeitsstau ergibt, der über die gesamte in
Transportrichtung 15 gemessene Länge des Schwallzwischenraumes 26 für eine Druckerhöhung sorgt, so daß die Kontaktierungslöcher
verstärkt zwangsdurchflutet werden.
Indem die Leiterplatte über ihre gesamte Breite auf den durchgehend
mit gleichen Durchmesser zylindrisch ausgebildeten Transportwalzen
aufliegt, können Abströmkanäle vermieden werden. Insgesamt resultiert aus dieser Anordnung eine intensivere Durchflutung,
so daß die Länge der Behandlungsstrecke 14 und die Behandlungszeit insgesamt verringert werden kann.
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Durch den erhöhten Druck in den Schwallzwischenräumen 26 könnten
die Leiterplatten 9 dazu neigen, von den Transportrollkörpern abgehoben zu werden. In diesem Falle wäre es zweckmäßig, oberhalb
wenigstens eines und zweckmäßigerweise beiden einen jeweiligen Schwallzwischenraum 26 begrenzenden Transportrollkörpern
6 einen in Figur 2 strichpunktiert angedeuteten Andrückrollkörper 34 vorzusehen. Die Andrückrollkörper 34 definieren mit den
Transportrollkörpern 6 einen Durchtrittsspalt für die transportierten
Leiterplatten 9. Derartige Andrückrollkörper 34 können im übrigen an praktisch beliebigen Stellen oberhalb der Behandlungsstrecke
14 angeordnet werden, um ein Aufschwimmen der Leiterplatten 9 zu verhindern. Jeder Andrückrollkörper 34 kann
aus mehreren, koaxial und mit Abstand zueinander angeordneten Einzelrollen zusammengesetzt sein, was auch für diejenigen Transportrol!körper
6 zutrifft, die nicht unmittelbar zur Begrenzung eines Schwallzwischenraumes 26 beitragen. Vorzugsweise sind
allerdings auch diejenigen Andrückrollkörper 34, die mit einem
walzenförmigen Transportrollkörper 6 zusammenarbeiten, walzenartig
ausgebildet.
Obwohl die beispielsgemäße Vorrichtung im Zusammenhang mit einer
Reinigungsbehandlung beschrieben wurde, läßt sie sich ohne weiteres auch bei anderen Behandlungen flachgutartiger Gegenstände
verwenden.
Claims (3)
1. Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Leiterplatten
mit einer Behandlungsflüssigkeit, insbesondere zur Reinigung der
Kontaktierungslöcher von Harzverschmutzungen oder zur Benetzung bzw. Beschichtung, mit einer Behandlungsflüssigkeit enthaltenden
Behandlungswanne, im Bereich deren nach oben weisender Wannenöffnung eine Behandlungsstrecke vorgesehen ist, die von den zu
behandelnden Leiterplatten bei horizontal ausgerichteter Plattenebene mit horizontaler Transportrichtung durchlaufen wird,
mit mehreren unmittelbar unterhalb der Behandlungsstrecke angeordneten Transportrollkörpern für die Leiterplatten, die mit
rechtwinkelig zur Transportrichtung verlaufenden Drehachsen in Transportrichtung zueinander beabstandet aufeinanderfolgend
angeordnet sind, und mit einer Schwalleinrichtung, aus der unterhalb der Behandlungsstrecke unter Druck Behandlungsflüssigkeit
austritt, die in wenigstens einem Schwallzwischenraum zwischen zwei in Transportrichtung benachbarten Transportrollkörpern
schwallartig nach oben zur Behandlungsstrecke strömt
und gegen die dort vorbei laufenden Leiterplatten prallt, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (18, 19, 22, 23) vorhanden sind, um
den Flüssigkeitsspiegel der in der Behandlungswanne (4) befindlichen
Behandlungsflüssigkeit (3) zeitweilig auf ein oberhalb der auf der Behandlungsstrecke (14) laufenden Leiterplatten (9) liegendes
Betriebsniveau (17) anzuheben, und daß die beiden den mindestens einen Schwallzwischenraum (26) begrenzenden Transportrollkörper
(6, 6!, 611) walzenartig ausgestaltet sind, so daß sie
jeweils eine Auflagefläche für die gesamte Breite der transportierten
Leiterplatten (9) und gleichzeitig eine vorne und hinten durchgehende Begrenzungswand für den zugeordneten Schwallzwischenraum
(26) bilden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedem Schwallzwischenraum (26) ein quer zur Transportrichtung
(15) verlaufendes Schwallrohr (25) zugeordnet ist, das innerhalb und/oder unterhalb des betreffenden Schwallzwischenraumes (26)
angeordnet ist und das eine oder mehrere längsverlaufende Austrittsöffnungen (27) für die zu schwallende Behandlungsflüssigkeit
(3) aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einem der einen Schwallzwischenraum (26) begrenzenden
walzenförmigen Transportrollkörper (6) oben ein Andrückrollkörper
(34) gegenüberliegt, der zweckmäßigerweise ebenfalls
walzenförmig ausgebildet ist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE29511549U DE29511549U1 (de) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Leiterplatten |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE29511549U DE29511549U1 (de) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Leiterplatten |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE29511549U1 true DE29511549U1 (de) | 1995-09-07 |
Family
ID=8010640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE29511549U Expired - Lifetime DE29511549U1 (de) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Leiterplatten |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE29511549U1 (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1067830A1 (de) * | 1999-02-22 | 2001-01-10 | Tokyo Kakoki Co., Ltd. | Vorrichtung zur Behandlung mit einer chemischen Lösung |
| EP0967846A3 (de) * | 1998-06-22 | 2001-01-31 | Gebr. Schmid GmbH & Co. | Einrichtung zur Behandlung von Gegenständen, insbesondere Leiterplatten |
-
1995
- 1995-07-20 DE DE29511549U patent/DE29511549U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0967846A3 (de) * | 1998-06-22 | 2001-01-31 | Gebr. Schmid GmbH & Co. | Einrichtung zur Behandlung von Gegenständen, insbesondere Leiterplatten |
| EP1067830A1 (de) * | 1999-02-22 | 2001-01-10 | Tokyo Kakoki Co., Ltd. | Vorrichtung zur Behandlung mit einer chemischen Lösung |
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Effective date: 20011107 |
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