DE2942192A1

DE2942192A1 - Elektrisches verbundteil

Info

Publication number: DE2942192A1
Application number: DE19792942192
Authority: DE
Inventors: Spaeter Genannt Werden Wird
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1978-10-18
Filing date: 1979-10-18
Publication date: 1980-04-30
Also published as: JPS5562035U; DE2942192C2; JPS5750731Y2; US4302736A

Description

Die Erfindung betrifft ein elektrisches Verbundteil und insbesondere ein scheibenartiges Kapazitäts-Viderstands- oder CW-Verbundteil zur Verwendung in einem elektrischen oder elektronischen Gerät, Einrichtung oder Vorrichtung, beispielsweise in einem Fernsehempfänger ohne Transformator.

Fig. 1 zeigt eine bekannte Konstruktion eines Fernsehempfängers ohne Transformator, bei dem ein scheibenartiges CV-Verbundteil Verwendung findet. Die Fernsehempfängereinriohtung G weist allgemein ein Gehäuse H, eine Rückwand Ha, eine auf der Vorderseite des 10 Gehäuses H montierte Kathodenstrahlröhre CRT zum Zwecke der Betrachtung, eines am Boden des Gehäuses E angeordnetes inneres Chassis Ch, das zum Erden der elektrischen Schaltkreise dient,

030018/0 8-5 V-

einen am vorderen Abschnitt des inneren Chassis Ch angeordneten Tuner T mit einem Knopf K, der eich naoh außen zur Vorderseite des Gehäuses H hin erstreckt, ein unsymmetrisches Koaxialkabel U, das von der Innenseite des Tuner T aus nach außen verläuft βοvie ein Antennen-Verbindungsteil J auf, das an der Rückwand Ha zusammen mit einem Abschirmgehäuse S angebracht ist, an dessen unterem Teil ein scheibenartiges CV-Verbundteil D angebracht ist. Dabei verläuft das Ende des Koaxialkabels U duroh eine Durchgangsöffnung SO im CV-Verbundteil D hinduroh und ist daran angebracht, um das innere Chassis und das Verbindungsteil J bei niedrigen Frequenzen im Zustand gegenseitiger Isolation und bei hohen Frequenzen im Zustand gegenseitiger Kopplung zu halten.

Die Konstruktion des im Fernsehempfänger verwendeten herkömmlichen scheibenartigen CV-Teils D wird im nachfolgenden anhand der F±g.2(A) bis 2(C) beschrieben. Das CW-Verbundteil D weist auf t Eine scheibenartige Grundplatte oder Substrat Db aus keramischem elektrischem Material mit einer in ihrem Mittelabschnitt ausgebildeten Durchgangsöffnung DO, eine erste und zweite Elektrodenschioht E1 und E2, die jeweils am Randabschnitt bzw. um die DurchgangsSffnung DO herum des Substrats Db auf dessen einer Oberfläche ausgebildet sind, ein Paar Viderstandsteile R, die in Richtung des Substratdurohmessers angeordnet sind, wie es in Fig. 2(a) dargestellt ist, um die Elektrodenschichten E1 und E2 brückenartig miteinander zu verbinden, sowie eine dritten Elektrodenschicht E3 auf

Ü30018/0857

der anderen Oberfläche (Flg. 2(B)) dee Substrata Db. Sie Elektrode E3 und die erste Elektrodenachioht E1 oder svelte Elektrodenaohioht E2 werden über eine geeignete Kurzachlußeinriohtung miteinander kurzgeschlossen. Beispielsweise iat dafür eine Kurzschlußelektrode Ea in der Durchgangaöffnung DO Yorgeaehen, wie ea in den Fig. 2(a) bis 2(c) dargestellt iat, oder aber eine andere Kurzschlufielektrode (nicht dargestellt), die am Außenrand dea Substrats vorgesehen iat. Die Kurzeohlufieinrichtung kann auch duroh Anbringen einea getrennten Netallatückea (nioht dargeateilt) svisohen den Elektrodenachichten realiaiert sein, ua daβ CV-Verbundteil su bilden, deaaen Eraatzaohaltung in Fig. 3 dargestellt iat. Für die tataäehliche Verwendung sind weiterhin elektrisch iaolierende Deokachiohten N aua bekannte· Material, wie etwa

Epoxydkunetharz und dgl., auf dem Subatrat Db aufgebracht,

und zwar mindeatena auf der einen Oberfläche dea Substrata Db, auf dem die ersten und zweite Elektrodensohicht E1 und E2 sowie die Viderstandateil R ausgebildet sind.

Daa oben beaohriebene CV-Verbundteil D weist die Nachteile auf, daß die Stehapannung bzw. die Spannunga-Videratanda-Kennlinie nicht ausreichend gut ist. So betrug beispielsweise bei Messungen des Wechselstrom-Durehbruehsspannungswerts τοη CV-Verbundteil-Prüflingen der oben genannten Art (Kapazität = 1800 pF, Videratandawert = 2MA) mit einem Substratdurchmeaaer

0 30018/0857

29A2192

von 20 nun, einem Abstand von 3,5 nun zwischen erster und zweiter Elektrode E1 und E2 und Isolierschiohten aus Epoxydkunetharz auf den beiden Oberflächen des Substrate der gemessene Wert lediglich 3*0 KV beim Durchsohnitt der zwanzig Prüflinge, was als nicht ausreichend zum Beetehen der Flammversuohe nach den CSA (Canadian Standards Association)· Normen angesehen wird (Anlegen von 3 KV Weeheelstromepannung während einer Minute). Nachdem jeder der CW-Verbundteilprttflinge naoh Anlegen der Vechselstrom-Durohbruchsspannung sorgfältig geprüft wurde, wurde herausgefunden, daß die elektrisohe Ladung bei der angelegten Spannung hauptsächlich an den Viderstandselemente R stattfand, die die erste und zweite Elektrode E1 bzw. E2 in Richtung des Substratdurchmeseers miteinander verbinden. Dies ist darauf zurückzuführen, daß es wohl möglich ist, den Grad der Isolation durch eine vergleichsweise günstige gute Adhäsion zwischen dem Teil des dielektrischen Substrate Db zwisohen der ersten und zweiten Elektrode E1 bzw. E2 und der Isolier-Deoksohioht M zu verbessern, daß aber die Adhäsion zwisohen den Viderstandsteilen und der Isolier-Deckschicht M nieht sehr gut ist, was zur Ausbildung von feinen Spalten dazwiaohen und damit zu einer Verminderung der elektrischen Isolation führt. Insbesondere ist dieses Phänomen darauf zurückzuführen, daß wohl die Oberfläche des dielektrischen Substrats Db vergleichsweise rauh, die Oberflächen der Widerstandselemente R aber meist glatt sind.

- 4 030018/0857

Ba bei dem bekannten CW-Verbundteil die zwischen der ersten Elektrode E1 und der zweiten Elektrode E2 liegenden Wideretandsteile R in Richtung dee Substratdurchmessers und damit der kürzesten Entfernung der beiden Elektrodenschichten verlaufen, ist die Länge d (Fig. 2(A)) von jedem Viderstandsteil folglieh klein, wodurch die Verwendung eines Materials mit hohem Viderstandswert pro Flächeneinheit erforderlich ist. Damit ist es jedoch schwierig, CV-Verbundteile mit stabiler Qualität zu erhalten.

Semgegenüber besteht eine wesentliche Aufgabe der Erfindung darin, ein elektrisches Verbundteil bzw. ein CW-Verbundteil der oben beschriebenen Art zu schaffen, das durch eine verbesserte elektrische Isolation eine bessere Stehspannungskennlinie aufweist.

Eine weitere wesentliche Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein scheibenartiges CW-Verbundteil zu schaffen, bei dem die die erste und zweite Elektrodenschioht verbindenden Wideretandeelemente nicht in Riohtung des Substratdurchmessers verlaufen.

Eine weitere wesentliche Aufgabe der Erfindung besteht

darin, ein CW-Verbundteil der oben genannten Art zu schaffen, das eine einfache Konstruktion aufweist, stabil arbeitet und leioht mit geringen Kosten in Massenproduktion herstellbar ist.

0300 18/0857

-AO'

Eine Aueführungeform dea erfindungsgemäBen scheibenartigen CW-Verbundteile zur Verwendung in einem elektriachen oder elektroniaohen Gerät, Einrichtung oder Vorrichtung, weiat auf t Ein Subatrat aua keramisohem Material mit einer DurchgängeÖffnung in der Mitte, eine erate bzw. zweite Elektrode, die am Rand bzw. um die Öffnung herum auf der einen Oberfläche des Substrate angeordnet sind, eine auf der anderen Oberfläche dea Substrate vorgesehene dritte Elektrode, eine Einrichtung zum wahlweisen Kurzschließen der dritten Elektrode mit der ersten oder zweiten Elektrode, Widerstandeelemente, die sich auf der einen Oberfläche des Substrate erstrecken und die erste und zweite Elektrode miteinander verbinden, und eine elektrisch isolierende Deckschicht, die mindestens auf der einen Oberfläche des Substrats ausgebildet ist, wobei die Viderstandselemente nicht entlang eines Substratdurohmessers verlaufen, sondern so angeordnet sind, daß die elektrisch isolierende Schioht in Richtung des Substratdurchmessers auf dem gesamten Oberflächenabsohnitt des Substrats zwischen ersten und zweiter Elektrode vorgesehen ist.

Bei der tatsächlichen Verwendung des CV-Verbundteils, beispielsweise in einem Fernsehempfänger oder dgl., ist bei einer Ausführungsform das CV-Verbündteil am unteren Teil eines zylindrischen Metallgehäuses an einer Stelle oberhalb einer im Boden des Zylindergehäuses ausgebildeten Öffnung angebracht, wobei die erste Elektrodensohioht an dem als eine Klemme dienenden

0 30018/0857

2 9 A 2 ι S 2

-M-

Zylindergehäuse angelötet ist, während ein duroh die Durchgangsöffnung des Verbundteile und der im Boden des Zylindergehäuses ausgebildeten Öffnung sich erstreckendes Mittenrohr an der Kurzsohlufieinrichtung angelötet ist« um als andere Klemme zu dienen.

Das erfindungsgemäfie CV-Verbundteil weist durch gute elektrische Isolation eine bessere Stehspannungekennlinie auf, wobei im wesentlichen die Nachteile der herkömmlichen CV-Verbundteile vermieden werden.

Damit sieht die ein scheibenartiges Verbundteil tür Verwendung in elektrischen und elektronischen Geräten, Einrichtungen oder Vorrichtungen vor, das aufweist t Ein Substrat aus keramischem dielektrischem Material mit einer in seiner Mitte ausgebildeten Durchgangsöffnung, eine erste und zweite Elektrode, die am Außenrand bzw. um die Durchgangsöffnung herum auf der einen Oberfläche des Substrats ausgebildet sind, eine dritte Elektrode auf der anderen Oberfläche des Substrats, eine Kurzschlußeinrichtung zum wahlweisen Kurzschließen der dritten Elektrode mit der ersten oder zweiten Elektrode, Viderstandsteile zum Überbrücken der ersten und zweiten Elektrode derart, daß sie sich über die eine Oberfläche des Substrats erstrecken, ohne der Richtung eines Substratdurohmessers zu folgen, und eine elektrisch isolierende Deckschicht, die mindestens auf der einen Ober-

030018/0857

fläche des Substrats ausgebildet ist.

Aueführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnungen näher beschrieben« Es zeigen :

Fig. 1 eine sohematisohe Seiteneohnittansicht einer bekannten Konstruktion eines Fernsehempfängers ohne Übertrager,

bei dem das erfindungsgemäße CW-Verbundteil Verwendung findet;

Fig. 2(A) eine Draufsicht auf ein bekanntes scheibenartiges CV-Verbundteili

Fig. 2(b) eine ünteransicht des bekannten CW-Verbundteile nach Fig. 2(A)}

Fig. 2(C) eine Querschnittsansicht des bekannten CW-Verbundteil· nach Fig. 2(a)|

Fig. 3 die Ersatzschaltung des CV-Verbundteils nach Fig. 2(A)j

Fig. 4(A) eine Draufsicht auf eine erste Ausführungefora des erfindungsgemäBen scheibenartigen CW-Verbundteilsj

Fig. 4(B) eine Unteransicht des CV-Verbundteils naoh Fig. 4(l)|

030018/0857

Fig. 4(C) eine Querschnittsansicht des CW-Verbundteile nach Fig. 4(A) ι

Fig. 3 eine fragmentarische Seiteneohnittanaicht einer Anordnung zur tatsächlichen Verwendung des CW-Verbundteils nach Fig. 4(a) und

Fig. 6 eine ähnliche Ansicht wie Fig. 4(a) einer veränderten Ausführung»form des erfindungsgemäBen CW-Verbundteile.

Anhand der Fig. 4(a) bis 4(C) wird nun eine Aueführungeform des erfindungsgemäßen Kapazitäts-Wideretande(CW)-Verbundteils SI näher beschrieben. Das CW-Verbündteil D1 weist auf t Ein scheibenartiges Substrat 10 aus beispielsweise keramischem dielektrischem Material mit einer in seinem Mittelabschnitt ausgebildeten Durchgangsöffnung 11, eine am Außenrand des Substrats 10 -vorgesehene erste Elektrodenschicht 12, eine konzentrisch um die Durchgangsöffnung 11 auf der einen Oberfläche des Substrats 10 ausgebildete zweite Elektrodenschicht 13, eine auf der anderen Oberfläche des Substrats 10 ausgebildete dritte Elektrodensohicht 15 und eine Kurzsohlufielektrode 16, die in der Durohgangsöffnung 11 zum Kurzschließen der dritten Elektrodensohicht 15 und der zweiten Elektrodenschioht 13 vorgesehen ist, wobei diese Teile in ähnlicher Weise wie bei der herkömmlichen Anordnung naoh Fig. 2(a) angeordnet sind. Wie bereits oben bei der Beschreibung von Fig. 2(A) erwähnt wurde, kann die KurzschluBelektrode 16 durch irgendeine andere

3 0018/0857

9 -

Elektrode (nicht dargestellt), die am Außenrand dee Substrate 10 zum Kurzschließen der dritten Elektrode 15 und der ersten Elektrode 12 vorgesehen ist, oder durch ein Metallstück ersetzt werden, das so angebracht ist, daß die Elektroden kurzgeschlossen werden. Das erfindungagemäße CW-Verbundteil D1 weist weiterhin ein Paar von kurvenförmigen langen und dünnen Viderstandselementen 14 auf, die jeweils zum Überbrücken der ersten und zweiten Elektrodenschioht 12 und 13 derart angeordnet sind, daß sie nicht in Richtung des Substratdurchmessers verlaufen, was am deutlichsten aus Fig. 4(A) zu entnehmen ist. Insbesondere ist jedes der langen und dünnen Widerstandeelemente 14 an seinem einen Ende mit einem entsprechenden Abschnitt an einer gegenüberliegenden Stelle der zweiten Elektrode 13 verbunden, erstreckt sich kurvenförmig über die Oberfläche des Substrate 10 zwischen der ersten und zweiten Elektrodensohioht 12 und 13 und ist an seinem anderen Ende mit einem entsprechenden Abschnitt an einer gegenüberliegenden Stelle der ersten Elektrode 12 verbunden. In anderen Worten, jedes der Widerstandselemente 14 ist so angeordnet, daß es sioh etwa über die Hälfte des Außenumfangs hinweg auf der Oberfläche des scheibenartigen Substrate 10 erstreckt. Bei der tatsächlichen Anwendung werden elektrisch isolierende Deckschichten 17_f beispielsweise aus Bpoxydkunstharz und dergleichen, auf das Substrat 10, mindestens auf dessen einer Oberfläche aufgebracht.

- 10 -

n?oni8/nR57

2 9 A 21 9 -AS'

Eb Bollt· hier angemerkt werden, daß bei der tatsächlichen Verwendung des in Fig. 4(a) bis 4(c) dargestellten CV-Verbundteilβ D1 dieeee beispielsweise in einem Metallgehäuse F, wie es in Fig. 5 dargestellt ist, befestigt sein kann, um die gesamte Anordnung des Verbundteile D1 in einen Fernsehempfänger od.dgl. einzubauen. Das Metallgehäuse F nach Fig. 5 weist ein zylindrisches Gehäuse B auf, in dem sich das CV-Verbundteil D1 in einem unteren Teil oberhalb einer im Boden des Gehäuses B ausgebildeten Öffnung BO befindet. Dabei ist das CV-Verbundteil SI am Gehäuse B, wie etwa bei Bs, angelötet, um als Klemme B nach Fig. 5 zu dienen. Das Metallgehäuse F weist weiterhin ein mittig angeordnetes Rohr A auf, das sich duroh die Durchgangsöffnung 11 des Verbundteils D1 und durch die Öffnung BO des Gehäuses B erstreckt und an der KurzSchlußelektrode 16, wie etwa bei As, angelötet ist, um als Klemme A in Fig. 3 zu dienen. Dabei ist die elektrische Isolierschicht 17 mindestens auf der einen Oberfläche des Substrats 10 durch Aufbringen von Epoxydkunsthars oder dgl. durch die öffnung BO hinduroh ausgebildet. Zur Ausbildung der Isolierschicht 17 auch auf der dritten Elektrodensohicht 15 auf der anderen Oberfläche des Substrats 10 wird, falls es erforderlich ist, das Epoxydharz und dgl. von oberhalb der zylindrischen Gehäuseöffnung B aus derart aufgebracht, daß es mit der oberen Kante des Rohres A bündig verläuft, wie es in Fig. 5 dargestellt ist. Selbstverständlich kann auch

- 11 -

030018/0857

-Λ6-

das bereite auf einer oder beiden Oberflächen des Substrats 1O₍ wie etwa in Fig. 4(C), ausgebildete Verbundteil D1 direkt im zylindrischen Gehäuse B befestigt werden, ohne daß zusätzliches Epoxydharz od.dgl. durch die öffnung BO oder von oberhalb des zylindrischen Gehäuses B aufgebracht werden müssen.

Bei der erfindungsgemäeen Anordnung ist in jeden Abschnitt zwisohen der ersten und zweiten Elektrodenschicht 12 und 13 in Richtung des Substratdurchmessers die Isolier-Decksohicht 17 mit enger Adhäsion bzw. Anhaftung an dem Substrat 10 zwischen der ersten und zweiten Elektrodenschicht 12 und 15 angeodnet, wie es aus Fig. 4(c) zu ersehen ist. Insbesondere ist aus den Fig. 4(A) bis 4(C) zu ersehen, daß die Isolierschicht 17 zwischen der ersten Elektrodenschicht 12 und dem Widerstandaelement 14 und zwisohen dem Viderstandselement 14 und der zweiten

Elektrodensohioht 13 und in der Nähe der Endabschnitte der

Viderstandselemente 14 mindestens zwischen dem Yiderstandselement 14 und einer der Elektrodenschichten 12 oder 15 vorhanden ist.

Beim erfindungsgemäBen CW-Verbundteil sind die Abschnitte, bei denen eine enge Adhäsion zwischen dielektrischem Substrat und Isolierschicht 17 möglich ist, d.h. Abschnitte hoher Isolation an jeder Stelle der einen Oberfläche des Substrats 10 zwischen der ersten und zweiten Elektrode 12 und 15 in Richtung des Substratdurohmessers vorgesehen. Damit wird die Stehepannungskennlinie zwischen der ersten und zweiten Elektrodenschicht 12

- 12 -

030018/0857

-Λ-

und 13 merklich verbessert. Bei Vergleichsversuchen zur Bestimmung des Wechselstrom-Durchbruchsspannungswertes bei herkömmlichen CV-Verbundteilen und erfindungsgemäßen CW-Verbundteilen unter den gleichen Bedingungen hielt das erfindungsgemäße CW-Verbundteil eine Wechselstromdurchbruchsspannung ▼on etwa 5,5 KV aus, was für ein Bestehen des Flammversuchee nach den CSA-Normen ausreichend ist. Darüber hinaus wurde auch herausgefunden, daß das erfindungsgemäße CW-Verbundteil auch hinsichtlioh der Widerstandsveränderungsraten nach Entladünge-▼ersuchen bei 5 KV bzw. 10 KV, basierend auf UL (Underwriters¹ Laboratories, lnc.)-Normen oder CSA-Normen, bessere Ergebnisse zeigte, die in der nachfolgenden Tabelle dargestellt sind.

	Vi derstandsveränderungsrat e	Anmeldungsgegenstand
	Stand der Technik	weniger als etwa -5%
5 kv	etwa -159έ	weniger als etwa -2#
10 KV	etwa -17#

Sarüberhinaus ist das erfindungsgemäße Verbundteil bei der tatsäohliohen Verwendung besondere deshalb vorteilhaft, da die Länge der Viderstandselemente beträchtlich vergrößert ist. Damit ist es möglich, Materialien mit niedrigem Widerstandswert pro Flächeneinheit zu verwenden, so daß die CW-Verbundteile eine stabile

- 13 -

0300 18/0857

Qualität erhalten.

In Fig* 6 1st eine weitere Aueführungeform dee erfindungsgemäßen CW-Verbundteils D2 dargeetellt. Babel sind jeweils die beiden Endabschnitte der Videretandselemente 14 so verändert, daß sie durch eine zusätzliche Biegung gearde Abschnitte 14a und 14b liefern, die jeweils mit der ersten bzw. zweiten Elektrodenschicht 12 bzw. 13 praktisch in Richtung eines Substratdurchmessers verbunden sind, wie es aus Fig. 6 zu entnehmen ist, und dies, obwohl der Teil der Viderstandselemente 14 zwischen den geraden Abschnitten 14a und 14b nicht in Richtung eines Substratdurchmessere verläuft. Diese Anordnung ist besondere vorteilhaft für die Verhinderung von sehr kleinen Entladungen zwischen den Viderstandselemente 14 und den entsprechenden Elektrodenschichten 12 und 13» die dann auftreten können, wenn die Verbindungen dazwischen mit spitzen Winkeln schräg ausgebildet sind.

Änderungen und Ausgestaltungen der beschriebenen Ausführungeformen sind für den Fachmann ohne weiteres möglich und fallen in den Rahmen der Erfindung. So kann beispielsweise die Geetalt des keramischen dielektrischen Substrate auch die Form eine Quadrates, Rechteckes oder eine polygonale Form annehmen.Auch die Gestalt, Zahl oder Länge der Wideretandeelemente iet nicht auf die beschränkt, wie sie in den obigen AuefUhrungsformen dargeetellt sind. Es iet lediglich erforderlich, daß die Isolierschicht im gesamten Abschnitt der einen Oberfläche des Substrats zwischen der ersten und zweiten

- 14 -

0300 18/0857

Elektrode In Richtung eines Subetratdurchmeesere vorhanden ist.

- 15 -

030018/0857

Claims

Patentansprüche

1. Elektrisches Verbundteil zur Verwendung in einem elektrischen oder elektronischen Gerät, Einrichtung oder Vorrichtung, mit einem Substrat aus keramischem Material mit einer Surchgangsöffnung in der Mitte, einer ersten bzw. zweiten Elektrode, die am Außenrand bzw. um die Öffnung herum auf der einen Oberfläche des Substrats angeordnet sind, einer auf der anderen Oberfläche des Substrats vorgesehenen dritten Elektrode, einer Einrichtung zum wahlweieen Kurzschließen der dritten Elektrode mit der ersten oder zweiten Elektrode, einer Widerstandeeinrichtung, die sich auf der einen Oberfläche des Substrats erstreckt und die erste und zweite Elektrode miteinander verbindet, und mit einer elektrisch isolierenden Deckschicht, die mindestens auf der einen Oberfläche des Substrats auigebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Viderstandseinrichtung (I4)

Π J 0 0 1 8 / 0 8 5 7

nicht entlang einen Substratdurohmeasers, sondern ao angeordnet ist, daß die elektrisch isolierende Schicht (17) in Richtung des Substratdurohmessers auf dem gesamten Oberflächenabachnitt des Substrats (10) zwischen erster und zweiter Elektrode (12, 15) vorgesehen ist.

2. Scheibenartiges Kapazitäts-Wideretands(CV)-Verbundteil zur Verwendung in einem elektrischen oder elektronischen Gerät, Einrichtung oder Vorrichtung, mit einem Substrat aus keramischem Material mit einer Durchgangsöffnung in der Mitte, einer ersten bzw. zweiten Elektrode, die am AuBenrand bzw. um die öffnung herum auf der einen Oberfläche des Substrats angeordnet sind, einer auf der anderen Oberfläche des Substrats vorgesehenen dritten Elektrode, einer Einrichtung zum wahlweisen Kurzschließen der dritten Elektrode mit der ersten oder zweiten Elektrode· einer Viderstandseinrichtung, die sich auf der einen Oberfläche des Substrats erstreokt und die erste und zweite Elektrode miteinander verbindet, und mit einer elektrisch isolierenden Deckschicht, die mindestens auf der einen Oberfläche des Substrats ausgebildet ist, daduroh gekennzeichnet , daß die Viderstandseinriohtung (14) von Widerstandeelementen gebildet wird, die sioh nicht entlang eines Substratsdurohmessers, sondern in gekrümmter Form auf der einen Oberfläche des Substrats (1O) erstrecken.

5. CW-Verbundteil naoh Anspruch 2 , dadurch gekennzeichnet , daß die Kurzschlußeinrichtung eine KurzSchluß-

Π 30018/085?

29A2192

-Z-

elektrode (16) ist, die an der Durchgangsöffnung (11) zum Kurzschließen der dritten Elektrode (15) mit der zweiten Elektrode (15) vorgesehen ist.

4. CV-Verbündteil naoh Anspruch 2 , dadurch g e k e η η zeiohnet, daß die Kurzsohlußeinrichtung eine Kurzschlußelektrode 1st, die am Außenrand des Substrats zum Kurzschließen der dritten Elektrode mit der ersten Elektrode vorgesehen ist.

5. CV-Verbundteil naoh Anspruch 2 , dadurch g e k e η η zeiohnet, daß die Viderstandselemente (14) an ihren beiden Enden jeweils mit der ersten bzw. zweiten Elektrode verbundene gerade Absohnitte aufweist, die weitgehend in Richtung des Substratdurohmessers verlaufen.

6. CV-Verbundteil nach Anspruch 2 , dadurch g e k e η η zeichnet, daß es ein Metallgehäuse mit einem äußeren zylindrischen Teil und einem inneren rohrförmigen Teil aufweist, daß das CV-Verbundteil im unteren Abschnitt innerhalb des äußeren zylindrischen Teils an einer Stelle oberhalb der unteren öffnung angeordnet ist,die im Bodenabschnitt des äußeren zylindrischen Teils ausgebildet ist, daß die erste Elektrode des CV-Verbundteils am äußeren Zylinderteil befestigt bzw. angelötet 1st, das als eine Klemme des CV-Verbundteils dient, wobei das innere Rohrteil sich

030018/0857

durch die Durehgangaöffnung und die untere öffnung dea äußeren Zylinderteile hinduroh eratreokt, und daß die Kursaehlußeinrichtung an inneren Rohrteil befestigt b«v. angelötet iet, daa ale andere Kleane dea CW-Verbundteila dient.

7* CW-Verbundteil nach einem der Anaprüohe 2 bia 6 , daduroh gekennzeichnet, daß die elektriaoh iaolierende Deokechicht mindeatena auf der einen Oberfläohe dea Subatrata daduroh ausgebildet ist, daß daβ iaolierende Material duroh die untere öffnung dee äußeren Zylinderteile aufgebracht wird.

8. CV-Verbundteil naoh einen der Anaprüche 2 bie 7 , daduroh gekennseiehnet , daß auf der anderen Oberfläche dea Subatrata auoh eine elektriach iaolierende Deckeohicht duroh Aufbringen dea Iaolieraateriala τοη der der unteren öffnung gegenüberliegenden Seite dea äußeren Zylinderteile auegebildet iet.

0 30018/0857