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DE2531821B2 - Differenzdruck-Meßumformer - Google Patents

Differenzdruck-Meßumformer

Info

Publication number
DE2531821B2
DE2531821B2 DE19752531821 DE2531821A DE2531821B2 DE 2531821 B2 DE2531821 B2 DE 2531821B2 DE 19752531821 DE19752531821 DE 19752531821 DE 2531821 A DE2531821 A DE 2531821A DE 2531821 B2 DE2531821 B2 DE 2531821B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
differential pressure
measuring cell
movable wall
strain gauges
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19752531821
Other languages
English (en)
Other versions
DE2531821A1 (de
Inventor
Wilhelm Dipl.-Ing. 7500 Karlsruhe Nuernberger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19752531821 priority Critical patent/DE2531821B2/de
Priority to JP8446476A priority patent/JPS5212872A/ja
Publication of DE2531821A1 publication Critical patent/DE2531821A1/de
Publication of DE2531821B2 publication Critical patent/DE2531821B2/de
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/006Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of metallic strain gauges fixed to an element other than the pressure transmitting diaphragm

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Differenzdruck-Meßumformer, im wesentlichen bestehend aus einer Meßzelle mit einer von zwei gegeneinander wirkenden Eingangsdrücken beaufschlagten beweglichen Wand, deren differenzdruckproportionale Verschiebung auf eine mit Dehnungsmeßstreifen bestückte Meßfeder übertragen und in ein elektrisches Signal umgeformt wird.
Bei bekannten Meßzellen von Differenzdruck-Meßumformern ist die bewegliche Wand als Membran oder als Balgboden eines Federbalgs ausgebildet, die mit einer im Innern der Meßzelle angeordneten Biegefeder gekoppelt ist Die elektrischen Anschlüsse der auf der Biegefeder angebrachten Dehnungsmeßstreifen sind aus dem Meßzellengehäuse herausgeführt Zum Schutz der Meßeinrichtung vor dem in vielen Anwendungsfällen aggressiven Meßstoff ist es bei Meßzellen vom sogenannten Zweikammertyp üblich, die Druckräume nach außen durch Vorlagemembrane abzuschließen und sie mit einer nicht kompressiblen Flüssigkeit, beispielsweise Silikonöl, zu füllen. Die Übertragung der auf die Vorlagemembrane wirkenden Eingangsdrücke auf die bewegliche Wand im Innern der Meßzelle erfolgt hydraulisch über die Füllflüssigkeit Bei einer anderen Art von Meßzellen vom sogenannten Einkammertyp sind zwei einander gegenüberliegende Wände der Meßzelle beweglich ausgeführt und mechanisch miteinander gekoppelt Auch bei diesem Typ ist in der Regel eine Füllung mit einer inkompressiblen Flüssigkeit vorgesehen, um die Stabilität der Meßanordnung auch bei hohen Eingangsdrücken zu gewährleisten.
Die Durchführungen der elektrischen Anschlüsse der im Innern der Meßzelle befindlichen Dehnungsmeßstreifen bereiten jedoch Schwierigkeiten hinsichtlich einer ausreichenden Abdichtung bei hohem statischem Innendruck. Fur besondere Anwendungszwecke sind auch leitende Füllflüssigkeiten vorzusehen, z. B. Wasser, oder flüssige Metallegierungen, wie NaK. In diesen Fällen bedarf es noch eines besonders ausgebildeten Schutzes der Dehnungsmeßstreifen und der Anschlüsse bei in der Meßzelle angeordneten Biegefedern.
Um diese Schwierigkeiten zu umgehen, sind andere Meßzellen von Differenzdruck-Meßumformern bekannt, bei denen der Weg der beweglichen Wand auf einen zweiarmigen Waagebalken übertragen wird, dessen Drehpunkt in einer in der Gehäusewand der Meßzelle angeordneten Membran liegt, die also gleichzeitig zur Abdichtung und Lagerung dient Ein hoher statischer Innendruck verursacht jedoch hier eine
ίο Wölbung der Membran nach außen, was einer Verschiebung des Drehpunkts des Waagebalkens in bezug auf den außen liegenden induktiven, kapazitiven oder pneumatischen Abgriff mit sich bringt
Es besteht demgemäß die Aufgabe, einen Differenz-
druck-Meßumformer zu schaffen, dem die Mängel der bekannten Ausführungen nicht anhaften, d. h, Meßfeder, Dehnungsmeßstreifen und deren Anschlüsse sind so auszubilden und anzuordnen, daß auch bei hohen statischen Innendrücken keine Abdichtungsprobleme auftreten und in der Meßzelle auch elektrisch leitende oder hinsichtlich der Dehnungsmeßstreifen und ihrer
Anschlüsse aggressive Füllflüssigkeiten verwendbar
sind.
Eine Lösung der Aufgabe wird in einem Differenz-
druck-Meßumformer der eingangs genannten Art gesehen, der die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 aufweist
Diese Ausführung vereinigt die Vorteile der bekannten Abgriffe, ohne deren Nachteile aufzuweisen. Durch die Möglichkeit, die Biegeplatte bei flüssigkeitsgefüllten Meßzellen in der Wandöffnung druckdicht einzuspannen, ist eine völlige Abdichtung der Zelle auch bei hohem statischem Innendruck möglich, da die Dehnungsmeßstreifen leicht anschließbar auf der Außenfläehe der Biegeplatte angeordnet sind und irgendwelche Durchführungen deshalb nicht benötigt werden. Auch die freie Wahl der Füllflüssigkeit ist gegeben.
Es ist weiterhin möglich, die Dehnungsmeßstreifen auf der Biegeplatte derart anzuordnen und zu schalten, daß bei einer aufgrund des statischen Innendrucks der Meßzelle erfolgten Wölbung der Biegeplatte nach außen kein elektrisches Meßsignal auftritt da die Beanspruchung der Dehnungsmeßstreifen in gleichem Sinne erfolgt und somit keine Verstimmung einer üblichen Meßbrückenschaltung, deren Bestandteile die Dehnungsmeßstreifen sind, verursacht
Zur Erläuterung der Erfindung ist in der Figur ein Ausführungsbeispiel in einer nicht maßstäblichen Prinzipskizze dargestellt und im folgenden beschrieben.
so Die Meßzelle 1 eines Differenzdruck-Meßumformers besteht im wesentlichen aus dem zylindrischen Gehäuse 2, dessen beide Stirnseiten mit gleichartigen Meßmembranen 3 und 3' abgeschlossen sind. Diese Meßmembranen, auf welche von außen die Eingangsdrücke p\ und pi wirken, sind über die Koppelstange 4 mechanisch miteinander verbunden, so daß sie als bewegliche Wand anzusehen sind, deren dem Differenzdruck p\—pi proportionale Auslenkung in ein entsprechendes elektrisches Signal umzuwandeln ist Zu diesem Zweck ist in
einer öffnung 7 der Gehäusewand 2 der Meßzelle 1 parallel zur Verschiebungsrichtung der beweglichen Wand oder hier der Koppelstange 4 als Meßfeder eine vorzugsweise kreisförmige Biegeplatte 6 druckdicht eingespannt An ihrer innen liegenden Fläche und
senkrecht dazu ist im Mittelpunkt ein einarmiger Hebel 5 starr befestigt, dessen anderes Ende in der Mitte der Koppelstange 4 angelenkt ist Auf der außen liegenden Fläche der Biegeplatte 6 sind Dehnungsmeßstreifen 8
angeordnet, die in üblicher und hier nicht gezeichneter Weise zu einer Meßbrücke zusammengeschaltet sind.
Ist z. B. p2>pi, so erfolgt eine differenzdruckproporiionale Auslenkung des an die Meßmembranen 3 und 3' angekoppelten Hebels 5 aus der gezeichneten Nullage nach links und führt zu einer Verbiegung der Biegeplatte 6 in die gestrichelt eingezeichnete Form. Die resultierende, gegensinnige Beanspruchung der Dehnungsmeßstreifen 8 auf der Außenfläche der Biegeplatte 6 führt zu einer in bekannter Weise als elektrische Größe meßbaren Änderung des Dehnungs-' meßstreifen-ivießbrückenabgleichs.
Ist die Meßzelle 1 mit einer inkompressiblen Flüssigkeit gefüllt, wobei, wie aus der Skizze zu ersehen ist, zur Vermeidung von Meßfehlern aus dem Temperaturgang der Füllflüssigkeit das Füllvolumen möglichst klein gehalten ist, so tritt bei hohen absoluten Werten der Eingangsdrücke p\ und pi ein hoher statischer
Innendruck in der Meßzelle 1 auf, welcher die mechanisch als eingespannte Membran anzusehende Biegeplatte 6 mehr oder weniger nach außen wölbt Durch geeignete Anordnung und Schaltung der Dehnungsmeßstreifen 8 auf der Außenfläche der
ίο Biegeplatte 6 wird erreicht, daß bei der gleichsinnigen Belastung der Dehnungsmeßstreifen der DMS-Brükkenabgleich sich nicht ändert, also kein als innendruckabhängige Störgröße anzusehendes elektrisches Meßsignal auftritt
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

1 Patentansprüche:
1. Differenzdruck-Meßumformer, im wesentlichen bestehend aus einer Meßzelle mit einer von zwei gegeneinander wirkenden Eingangsdrücken beaufschlagten beweglichen Wand, deren differenzdruckproportionale Verschiebung auf eine mit Dehnungsmeßstreifen bestückte Meßfeder übertragen und in ein elektrisches Signal umgeformt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfeder als eine in einer Öffnung (7) der Gehäusewand (2) der Meßzelle (1) etwa parallel zur Verschiebungsrichtung der beweglichen Wand (3, 3') angeordnete Biegeplatte (6) ausgebildet ist, an deren innen liegender Fläche und senkrecht zu dieser ein mit der beweglichen Wand gekoppelter einarmiger Hebel (5) starr befestigt ist und daß auf deren außen liegender Fläche die Dehnungsmeßstreifen (8) angeordnet sind.
2. Differenzdruck-Meßumformer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei flüssigkeitsgefüllter Meßzelle (1) die Biegeplatte (6) in der Öffnung (7) eingespannt ist und diese druckdicht verschließt
DE19752531821 1975-07-16 1975-07-16 Differenzdruck-Meßumformer Ceased DE2531821B2 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752531821 DE2531821B2 (de) 1975-07-16 1975-07-16 Differenzdruck-Meßumformer
JP8446476A JPS5212872A (en) 1975-07-16 1976-07-15 Differential pressure measurement converter

Applications Claiming Priority (1)

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DE19752531821 DE2531821B2 (de) 1975-07-16 1975-07-16 Differenzdruck-Meßumformer

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DE2531821A1 DE2531821A1 (de) 1977-02-03
DE2531821B2 true DE2531821B2 (de) 1978-06-22

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2623994B2 (de) * 1976-05-26 1980-04-30 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Druck- oder Druckdifferenz-Meßgerät
HU182406B (en) * 1981-10-19 1984-01-30 Magyar Optikai Muevek Measuring cell, preferably for measuring small pressures or differences of pressures
CN105628291A (zh) * 2016-03-10 2016-06-01 威卡自动化仪表(苏州)有限公司 一种双膜片差压测量装置

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Publication number Publication date
JPS5212872A (en) 1977-01-31
DE2531821A1 (de) 1977-02-03

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