DE2523009C3 - Zur Bildung stark haftender Leitermuster auf Aluminiumoxidunterlagen geeignete Silbermasse - Google Patents
Zur Bildung stark haftender Leitermuster auf Aluminiumoxidunterlagen geeignete SilbermasseInfo
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 title claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 11
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 6
- 229940100890 silver compound Drugs 0.000 title claims description 3
- 150000003379 silver compounds Chemical class 0.000 title claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 39
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical group [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims description 25
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 17
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 claims description 16
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 15
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005750 Copper hydroxide Substances 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910001956 copper hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010665 pine oil Substances 0.000 description 2
- 229910000108 silver(I,III) oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 2
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GABQNAFEZZDSCM-RMKNXTFCSA-N Cinnamyl anthranilate Chemical compound NC1=CC=CC=C1C(=O)OC\C=C\C1=CC=CC=C1 GABQNAFEZZDSCM-RMKNXTFCSA-N 0.000 description 1
- JJLJMEJHUUYSSY-UHFFFAOYSA-L Copper hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Cu+2] JJLJMEJHUUYSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N Isooctane Chemical compound CC(C)CC(C)(C)C NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N Propionic acid Chemical class CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- -1 aliphatic alcohols Chemical class 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- PALQHNLJJQMCIQ-UHFFFAOYSA-N boron;manganese Chemical compound [Mn]#B PALQHNLJJQMCIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N cadmium oxide Inorganic materials [Cd]=O CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cd+2] CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000009 copper(II) carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- GEZOTWYUIKXWOA-UHFFFAOYSA-L copper;carbonate Chemical compound [Cu+2].[O-]C([O-])=O GEZOTWYUIKXWOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011646 cupric carbonate Substances 0.000 description 1
- 235000019854 cupric carbonate Nutrition 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 229910003480 inorganic solid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- CJJMLLCUQDSZIZ-UHFFFAOYSA-N oxobismuth Chemical class [Bi]=O CJJMLLCUQDSZIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N oxopalladium Chemical compound [Pd]=O HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003445 palladium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 1
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 1
- 238000003878 thermal aging Methods 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
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Description
Die Erfindung betrifft eine Silbermasse, die sich zur Ausbildung von an Aluniiniumoxidunterlagen haftenden
Leitermustern eignet.
Leitermassen, die auf dielektrische Unterlagen (Glas. Glaskeramik und Keramik) aufgetragen und auf diesen
gebrannt werden, werden gewöhnlich von feinteiligen. anorganischen Pulvern (z. B. Metallteilchen und Bindemittelteilchen)
gebildet und normalerweise auf Unterlagen unter Anwendung sogenannter »Dickfilm«-Techniken
— als Dispersion dieser anorganischen Pulver in einem inerten flüssigen Medium oder Träger —
aufgetragen. Beim Brennen oder Sintern des Films übernimmt die metallische Komponente der Masse die
funktionell Aufgabe (Leitfähigkeit), während das anorganische Bindemittel (z. B. Glas, kristalline Oxide
wie Bi2Oj usw.) die Metallteilchen aneinander und an die
Unterlage bindet. Dickfilm-Techniken stehen im Gegensatz zu Dünnfilm-Techniken, bei denen eine
Tcilchenablagerung durch Aufdampfen oder Spritzen erfolgt. Dickfilm-Techniken sind im »Handbook of
Materials and Processes for Electronics«, Herausgeber C. A. Harper, McGraw-Hill, N. Y., 1970, Kapitel 12,
erörtert.
Die gebräuchlichsten Lciiermassen enthalten Edelmetalle,
insbesondere Gold, SiI' ·_·!·, Platin, Palladium und deren Mischungen, Legierungen und Verbindungen, da
ihre relativ inerten Charakteristiken ein Brennen an Luft erlauben. Versuche zum Arbeiten mit Dispersionen
weniger kostspieliger Nichtedelmetalle sind oft auf spezielle Anwendungen beschränkt gewesen oder
haben die erhebliche praktische Unbequemlichkeit und die Kosten bedingt, die mit einem Brennen in
nichtoxidierenden Atmosphären (Stickstoff, Stickstoff/ Wasserstoff, Wasserstoff, Argon usw.) verbunden sind.
Zum Stand der Technik zu Leitermassen gehört der Einsatz von Glasbindemitteln für Edelmetalle wie auch
die Verwendung glasfreier Bindemittel, wie des von Guckei und Treptow (Am. Ceram. Sc. Bull, 46,789,1967)
und in US-PS 37 99 890 erwähnten Kupferoxid-Bindemittels (für Gold). Die US-PS 37 99 891 beschreibt die
, Verwendung von glasfreiem Kupferoxid/Cadmiumoxid-Bindemittel
bei Gold. Die US-PS 37 63 409 beschreibt glasfreie Massen in Form von Palladium oder
Palladiumoxid zuzüglich Kupferoxid. Silber/Kupferoxid- und Silber/Kupferoxid/Glas-Massen stehen seit
■■ etwa 15 jähren im Handel zur Verfügung.
Die US-PS 32 93 501 beschreibt leitfähige Filme aus Gläsern, die Kupfer und Wismutoxide enthalten. In
US-PS 37 76 769 sind Massen aus Edelmetall, Kupferoxid und Glas beschrieben, die in reduzierenden
Atmosphären brennbar sind. Die GB-PS 8 55 625 beschreibt leitfähige Filme aus Silber, Kupferoxid und
einem »inerten« Material wie Aluminiumoxid, Magnesiumoxid, Zirkoniumdioxid, Titandioxid, Chrom(III)-oxid
oder Aluminiumoxidsilicat. In US-PS 28 19 170 sind
ι Massen aus Silber und einem verglasbaren Flußmittel
aus Wismutoxid und Cadmiumborat beschrieben.
Die kostspieligeren Edelmetalle (Au, Pt, Pd) ergeben stabilere gebrannte Leiter. Silber ist trotz seiner im
Vergleich mit den anderen Edelmetallen relativen Instabilität allein oder zusammen mit Pt oder Pd zur
Bildung weniger kostspieliger Leiter verwendet worden. Zur Erhöhung der Haftung solcher Silber-Leitermassen
an der Unterlage wird der relative Anteil an anorganischem Bindemittel erhöht. Jedoch ist oft die
Leitfähigkeit um so geringer, je höher der Bindemittelanteil ist. Es besteht ein Bedarf au wohlfeilen Massen auf
Silbergrundlage, die sich bei derart niedrigen Temperaturen wie 8500C an Luft zur Bildung von Leitern
brennen lassen, die gealtert nach Löten eine gute Haftung an der Unterlage zeigen, und zwar nach sowohl
Alterung von 1 oder 2 Tagen Dauer bei Raumtemperatur als auch bei 1500C, und auch gute Löteigenschaften
haben. Von besonderem Interesse sind Leitermassen mit einem Metallgehalt von mindestens 95% (5Yo oder
weniger Bindemittel), die trotz geringer Bindemittelanteile gegenüber Schwankungen der Brenntemperatur
relativ weniger empfindlich sind und einen größeren Spielraum b.i der Verarbeitung bieten. Besonders
erwünscht ist auch die Möglichkeit eines Brennens bei 85O°C; Massen des Standes der Technik werden oft bei
derart hoher Temperatur wie 950°C gebrannt.
Die vorliegende Erfindung stellt Silbermasscn bzw. -Stoffzusammensetzungen zur Verfügung, bei denen nur
kleine Mengen eines bestimmten Bindemittels (1 bis 5%) eingesetzt werden und die somit die Leitfähigkeit
von mit ihnen hergestellten, gebrannten Mustern nicht wesentlich herabsetzen. Trotz der kleinen Bindemittelmenge
können niedrige Brenntemperaturen Anwendung finden (z.B. 8750C oder darunter, vorzugsweise
etwa 8500C). Ferner ist das Bindemittel so geartet, daß
die Massen gegenüber Brenntemperatur-Schwankungen weniger empfindlich sind. Die Bindemittel gemäß
der Erfindung vermögen gebrannte und gelötete Leiter zu ergeben, die eine ausgezeichnete Haftung (z. B.
entsprechend einer Kraft von 1,8 kg) haben, und zwar sowohl anfänglich (z. B. nach 48stündiger Lagerung bei
Raumtemperatur) als auch nach thermischer Alterung (gewöhnlich 48 Stunden bei 15O0C).
Die Silbermassen gemäß der Erfindung eignen sich zur Bildung stark haftender Leitermuster oder -züge auf
Aluminiumoxidunterlagen bzw. -Substraten. Die Massen werden von einer glasfreien Mischung feinteiliger,
anorganischer Pulver gebildet, die in einem flüssigen
Träger dispergiert sind, und kennzeichnen sich dadurch, daß die anorganischen Pulver, bezogen auf das
Gesamtgewicht der in der Masse vorliegenden, anorganischen Piuver, 1 bis 5% eines kristallinen,
anorganischen Bindemittels und 95 bis 99% Metallpulver enthalten. Das Metallpulver besteht aus Ag
zuzüglich Pt, Pd oder Aa Das Gewichtsverhältnis des Silbers (in jeglicher Form) zu diesen anderen Elementen
beträgt mindestens 17:1, vorzugsweise mindestens 19:1.
Das anorganische Bindemittel besteht aus 0,3 bis 6 Gewichtsteilen Kupferoxid je Gewichtsteil Wismutoxid.
Andererseits kann das Bindemittel von 1 bis 6 Gewichtsteilen Kupferoxid, 0,5 bis 4 Gewichtsteilen
Wismutoxid und 0,5 bis 2 Gewichtsteilen MnB2 und/oder MnO^ gebildet werden.
Bevorzugte Massen enthalten etwa 1 Teil Kupferoxid und 1 Teil Wismutoxid. Noch andere bevorzugte
Massen enthalten etwa 6 Teile Kupferoxid, 1 Teil Wismutoxid und 1 Teil MnB2, MnO2 oder Mischungen
derselben.
Bei besonders bevorzugten Massen liegt anorganisches Bindemittel in einer Menge, bezogen auf die
gesamten anorganischen Stoffe, von 1,5 bis 4% vor.
Die Erfindung ist nachfolgend im einzelnen beschrieben.
Die Massen gemäß der Erfindung werden von feinteiligen, anorganischen Teilchen gebildet, die in
einem inerten flüssigen Medium oder Träger dispergiert sind. Der Begriff »feinteilig« bezeichnet in der
Dickfilm-Technik Teilchen genügender Feinheit, damit diese ein Sieb von 0,037 mm lichter Maschenweile
passieren. Vorzugsweise liegt bei im wesentlichen allen Teilchen die größte Abmessung im Bereich von 0,001 bis
15 Mikron, wobei die größte Abmessung vorzugsweise 5
Mikron nicht überschreitet.
Zu bevorzugten Silberteilchen gehören die im Handel verfügbaren »polierten« Silberscliuppenteilchen und
gefälltes Pulver, wobei die größte Abmessung bei beiden Materialien im Bereich von 0,1 bis 15 Mikron
liegt.
Während als Zusatzmetall Pt bevorzugt wird, kann man auch mit einem oder mehreren der anderen
obengenannten Metallpulver arbeiten.
Den Kern der Erfindung bildet das anorganische Bindemittel.
Zur Ausbildung einer brauchbaren Haftung liegt mindestens etwa 1 Gew.-% Bindemittel (bezogen auf
die gesamten anorganischen Komponenten) vor. Im Hinblick auf eine gute Leitfähigkeit liegen nicht mehr
als etwa 5% Bindemittel vor; derart geringe Mengen wie 1 bis 5% liefern eine brauchbare Haftung.
Das anorganische Bindemittel gemäß der Erfindung ist ein (glasfreies) kristallines Bindemittel auf Basis von
Kupferoxid (Cu2O und/oder CuO) zuzüglich Wismutoxid
(Bi2Oj). Gegebenenfalls-Bestandteile des Bindemittels
sind MnB2, MnO2 und Mischungen derselben. Auch
Vorläufer dieser Materialien (wie Kupfer(II)-carbonat) können Verwendung finden. In dem anorganischen
Bindemittel liegen 0,3 bis 6 Gewichtsteile Kupferoxid je Teil B12O3 vor, wobei 0,5 bis 2 Gewichtsteile Kupferoxid
je Teil. Bi2O3 bevorzugt werden. Wenn auch einer oder
mehrere der Gegebenenfalls-Zusätze MnB2 und MnOi
vorliegen, liegen 1 bis 6 Teile Kupferoxid, 0,5 bis 4 Teile
Wismutoxid und 0,5 bis 2 Teile Zusatz vor.
Die anorganischen Teilchen werden durch mechanisches Mischen (z. B. auf einem Walzenmahlwerk) mit
einem inerten, flüssigen Träger zur Bildung einer pastenartigen Masse gemischt. Die letztgenannte wird
in herkömmlicher Weise als »Dickfilm« auf herkömmliche dielektrische Unterlagen aufgedruckt Als Träger
kann jede inerte Flüssigkeit verwendet werden. So kann ■>
man als Träger Wasser oder irgendeine der verschiedenen organischen Flüssigkeiten mit oder ohne Dickungs-
und/oder Stabilisier- und/oder andere gewöhnliche Zusatzmittel verwenden. Beispiele für die organischen
Flüssigkeiten sind die aliphatischen Alkohole, Ester
in solcher Alkohole, z. B. die Acetate und Propionate,
Terpene, wie Pine-Öl, Terpineol und dergleichen. Lösungen von Harzen wie der Polymethacrylate
niederer Alkohole oder Lösungen von Äthylcellulose in Lösungsmitteln wie Pine-Öl und dem Monobutyläther
!"■ von Äthylenglykolmonoacetau Der Träger kann auch
flüchtige Flüssigkeiten enthalten oder von solchen gebildet werden, um ein rasches Erstarren nach der
Auftragung auf die Unterlage zu fördern.
Das Verhältnis des Trägers zu Feststoffen in den
2(i Dispersionen kann sehr verschieden gewählt werden
und hängt von der Art und Weise, in der die Dispersion aufgetragen ist, und der Art des eingesetzten Trägers ab.
Normalerweise werden die Dispersionen zur Erzielung einer guten Deckung 60 bis 90% Feststoffe und die
>i entsprechende, auf 100% ergänzende Menge im Bereich
von 10 bis 40% an Träger enthalten. Die Massen gemäß der Erfindung können naturgemäß auch durch Zusatz
anderer Materialien modifiziert werden, die ihre vorteilhaften Eigenschaften nicht nachteilig beeinfiussen.
Nach Trocknung zur Entfernung des Trägers werden die Massen gemäß der Erfindung bei Temperaturen und
Zeiten gebrannt, die zum Sintern der anorganischen Materialien und zur Bildung an der Aluminiumoxidiin-
r. terlage haftende Leitermuster genügen. Die Brenndauer
und -Scheiteltemperatur werden in Abhängigkeit voneinander gewählt, wobei eine längere Brennzeit
niedrigere Temperaturen erlaubt (solange Sinterung iintritt). Im allgemeinen wird man im Bereich von 800
w sis 93O0C mit 5 bis 30 Minuten bei der Scheiteltcmpcraur
brennen, vorzugsweise bei 830 bis 875°C und in besonders bevorzugter Weise etwa 8500C, mit 8 bis 10
Minuten bei S:heite!temperatur.
Die folgenden Beispiele und Vergleichsversuche
4"> dienen der weiteren Erläuterung der Erfindung,
einschließlich der Bedeutung des anorganischen Bindemittels gemäß der Erfindung. In den Beispielen wie auch
der sonstigen Beschreibung und den Ansprüchen beziehen sich Teil-, Prozent- und Verhältnisangaben,
ι» wenn nicht anders gesagt, auf das Gewicht.
Mit Ausnahme von Pt und Pd hatten alle bei diesen Versuchen eingesetzten anorganischen Materialien eine
durchschnittliche Teilchengröße im Bereich von 0,1 bis 3 Mikron, wobei im wesentlichen keine Teilchen vorlagen,
">") die größer als 15 Mikron waren. Das Pt hatte eine
durchschnittliche Teilchengröße im Bereich von 0,001 bis 0,01 Mikron und das Pd im Bereich von 0,001 bis 0,03
Mikron. Der Träger setzte sich aus 9 Teilen Äthylcellulose und 1 Teil /J-Terpineol oder 2,2,4-Trimethylpentan-
M) diol-l,3-monoisobutyratzusammen.
Nachdem die anorganischen Feststoffe und der Träger gründlich nach herkömmlichen Walzenmahltechniken
gemischt worden waren, wurde die anfallende Dispersion durch ein gemustertes Sieb von 0,074 mm
br> lichter Maschenweite, das neun in einer 3x3-Anordnting
vorliegende 2-mm-Öffnungen aufwies, auf eine si !gebrannte Aluminiumoxid-Unterlage gedruckt. Der
Druck wurde zur Bildung eines trocknen Drucks von
etwa 0,036 mm Dicke bei etwa 150°C getrocknet. Der
getrocknete Druck wurde in einem herkömmlichen Bandofen im 45 —60-Minuten-Heizzyklus mit etwa 8 bis
10 Minuten bei der in den Tabellen genannten Scheiteltemperatur erhitzt Der gebrannte Druck hatte
eine Dicke von etwa 0,018 mm.
Die Haftung wurde wie folgt geprüft: An die gebrannten Leiterauflagen wurden durch Auflegen von
vorverzinntem Kupferdraht (Durchmesser 0.81 mm) über drei der gebrannten Metallisierungsauflagen und
dann Tauchen in einen Lotbehälter (62/36/2-Sn/Pb/Ag) von 220° C Drahtleitungen befestigt. Dann wurde durch
Zugbelastung der angelöteten Leitungen mit einem handelsüblichen Prüfgerät die Bindungsfestigkeit gemessen.
Zur Gewinnung einer repräsentativen Bindungsfestigkeit wurden bei jeder Probe mehrere
Auflagen zugbelastet. Unter »kg« ist die Kraft in Kilogramm zu verstehen.
Die Anfangshaftung des gebrannten Drucks wurde bestimmt, nachdem das gebrannte P-odukt 24 bis 48
Stunden bei Raumtemperatur stehengelassen worden war. Die Haftung im gealterten Zustand wurde
bestimmt, nachdem das gebrannte Produkt 48 Stunden bei 150°C thermisch gealtert worden war. In Beispiel 1
und 2 und in Vergleichsversuch A wurde die Anfangshaftung nach 24 Stunden und die Haftung im
gealterten Zustand nach 24 Stunden bei 150°C bestimmt. Auf die folgenden Ausführungen sei verwie-Die
Beständigkeit gegen Auslaugung durch geschmolzenes Lot wurde bei einer Reihe von Beispielen
und Vergleichsversuchen durch Eintauchen gebrannter Teile in ein Lotschmelzbad (2300C) der Zusammensetzung
62/36/2-Sn/Pb/Ag unter Verwendung eines schwach aktiven Flußmittels bestimmt In jedem Zyklus
wurde in Flußmittel getaucht, 10 Sekunden in Lot getaucht und Flußmiuelrückstand abgewaschen. Die
Zahl der Zyklen, die die verschiedenen Proben vertrugen, ist nachfolgend genannt Die Lotannahme
wurde durch eine Einzeltauchung in das gleiche, auf 220° C gehaltene Lot bestimmt.
Beispiele 1 und 2
Vergleichsversuche A und B
Vergleichsversuche A und B
Diese Beispiele zeigen den Einsatz eines Kupferoxid/ Wismutoxid/Manganoxid-Bindemittels mit Platinzusatz.
Die Ergebnisse sind gegenüberzustellen den Ergebnissen von Vergleichsversuch A, in dem ein ähnliches
Bindemittel verwendet wird, aber ein Platinüberschuß (10% Platin) angewandt wird. Die Ergebnisse der
Beispiele sind ferner gegenüberzustellen denjenigen von Vergleichsversuch B. in dem das Bindemitte! kein
Wismutoxid enthält. Die Ergebnisse sind in Tabelle I zusammengestellt. Die Lotauslaugbeständigkeil lag in
Beispiel 1 über 10 Zyklen.
| Beispiel | 2 | Vergleichsvcrsuch | B | |
| 1 | 76,8 | Λ | 70 | |
| Ag, Gewicht | 78,4 | 4,0 | 72 | — |
| Pt. Gewicht | 2.0 | 10 | ||
| Bindemittel | 1.9 | 1.0 | ||
| Gewicht | 2.0 | 2,3 | 1.8 | 1.4 |
| %, bezogen auf anorganische | 2,4 | 2.1 | ||
| Stoffe | 1,44 | 0.75 | ||
| Cu>O. Gewicht | 1.5 | 0.24 | 1,35 | — |
| BiiOj. Gewicht | 0,25 | 0,24 | 0.23 | 0.25 |
| MnO?. Gewicht | 0,25 | 17,3 | 0,23 | 29 |
| Träger, Gewicht | 17.6 | 16 | ||
| Gewichtsvcrhähnis | 19/1 | 70/1 | ||
| Ag/Pt | 40/1 | 6/1 | 7/1 | — |
| Kupfcroxid/Bi.iOi | 6/1 | 6/1/1 | 6/1 | - |
| Kupferoxid/Bi>Oi/MnÜ2 | b/l/l | b/l/l | ||
| Haftung, kg (Brennen bei 85O0C) | 3,3 | <0,5 | ||
| zu Anfang | 3.5 | 2,7 | 2.7 | <0.5 |
| gealtert | 3.5 | 0.6 | ||
Beispiele 3 bis 5
Vergleichsversuche C und D
Vergleichsversuche C und D
Diese Beispiele (Tabelle II) erläutern, daß unter Verwendung eines Kupferoxid/Wismutoxid/Manganborid-Bindemittels
unter Zusatz von Platin in verschiedenen Anteilen eine ausgezeichnete Haftung erzielbar
ist. Der Vergleichsversuch C erläutert die Verschlechterung der Haftung im gealterten Zustand bei Einsatz von
überschüssigem Platin (10% Platin) und der Vergleichsversuch D die Bedeutung, die dem Einsatz des
Bindemittels gemäß der Erfindung zukommt, da sich die Haftung im gealterten Zustand in Abwesenheit von
Wismutoxid verschlechtert Die Lotauslaugbeständigkeit lag in Beispiel 4 über 10 Zyklen.
| Beispiel | Be | 4 | 5 | Vergleiehsversuch | D |
| 3 | 78,4 | 76,8 | C | 70 | |
| 80 | 2,0 | 4 | 72 | - | |
| I | 2,0 | 1.9 | 10 | 1 | |
| 3 | 2,4 | 2,3 | 1,81 | 1,4 | |
| 3,6 | 1,5 | 1,44 | 2,1 | 0.75 | |
| I | 0,25 | 0,24 | 1,35 | — | |
| I | 0,25 | 0,24 | 0,23 | 0,25 | |
| I | 17,6 | 17,3 | 0,23 | 29 . | |
| 16 | 40/1 | 20/1 | 16,2 | ||
| 80/1 | 6/1 | 6/1 | 7/1 | ||
| 1/1 | 6/1/1 | 6/1/1 | 6/1 | — | |
| 1/1/1 | 3,6 | 3.1 | 6/1/1 | 2.3 | |
| 2,7 | 3.3 | 3.1 | 3,2 | <0.5 | |
| 2,8 | i s ρ ie I 6 | 0.9 | |||
Ag, Gewicht Pl, Gewicht
Bindemittel Gewicht
%, bezogen auf anorganische Stoffe CU2O, Gewicht Bi2O), Gewicht MnB2, Gewicht
%, bezogen auf anorganische Stoffe CU2O, Gewicht Bi2O), Gewicht MnB2, Gewicht
Träger, Gewicht
Gewichtsverhältnis Ag/Pt
Kupferoxid/Bi2Oi
Kupfcroxid/Bi2Oi/MnB2
Haftung, kg (Brennen bei 8500C)
zu Anfang
gealtert
Dieses Beispiel erläutert den Einsatz einer kleinen Menge an Kupferoxid, die weil unter einem Gewichtsverhältnis
von Kupferoxid zu Wismutoxid von 1 :1 liegt (vgl. Tabelle III).
Vergleichsversuche E und F
Diese Versuche (Tabelle III) erläutern den Einsatz eines nicht im Rahmen der Erfindung liegenden
Bindemittels, einmal in Form von Wismutoxid und zum
anderen von MnO2 oder MnB2. aber ohne Kupferoxid.
Die Anfangshaftung wurde nach 100 Stunden und die Haftung im gealterten Zustand nach 48 Stunden
bestimmt.
| Beispiel | Vergleichsversuch | F | |
| 6 | !-: | 80 | |
| Ag, Gewicht | 80 | 80 | 1 |
| Pt, Gewicht | 1 | 1 | 1.5 |
| Bindemittel, Gewicht | 2.0 | 1,5 | |
| Cu2O | 0,5 | — | 1 |
| Bi2O | 1.5 | 1 | 0.5 |
| MnO2 | — | — | — |
| MnB2 | — | 0.5 | 17.5 |
| Träger, Gewicht | 17 | 17.5 | |
| Gewichtsverhältnis | 80/1 | ||
| Ag/Pt | 80/1 | 80/1 | - |
| Cu2O/Bi2Oi | O33/I | - | |
| Haftung, kg | |||
| (Brennen bei 8500C) | 3.4 | ||
| zu Anfang | 3,3 | 2.9 | <0,9 |
| gealtert | 3.0 | 1.7 | 7 |
| Lotauslaugbeständigkeit. | 20 | 7 | |
| Zyklen |
Claims (3)
1. Zur Bildung stark haftender Leitermuster auf Aluminiumoxidunterlagen geeignete Silbermasse,
die von einer glastreien Mischung !"einteiliger, anorganischer Pulver, dispergiert in einem flüssigen
Träger, gebildet wird, dadurch gekennzeichnet,
daß die anorganischen Pulver, bezogen auf das Gesamtgewicht an anorganischen Pulvern in
der Masse, gebildet werden von 1 bis 5% kristallinem, anorganischem Bindemittel und 95 bis
99% Metallpulver aus Ag zuzüglich Pt, Pd, Au, wobei das Gewichtsverhältnis von Ag zu anderen Metallen
mindestens 17:1 beträgt und wobei das kristalline, anorganische Bindemittel aus Wismutoxid und
Kupferoxid besteht und je Gewichtsteil Wismutoxid 0,3 bis 6 Gewichtsteile Kupferoxid vorliegen.
2. Masse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das anorganische Bindemittel zusätzlich
MnB2, MnO2 oder Mischungen derselben enthält,
wobei in dem Bindemittel 0,5 bis 4 Gewichtsteile Wismutoxid, 1 bis 6 Gewichtsteile Kupferoxid und
0,5 bis 2 Gewichtsteile MnB2, MnO2 oder deren
Mischungen vorliegen.
3. Masse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallpulver aus einer
Mischung von Silber- und Platinpulvern besteht.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| DE2523009B2 DE2523009B2 (de) | 1976-12-16 |
| DE2523009C3 true DE2523009C3 (de) | 1981-04-09 |
Family
ID=24209328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2523009A Expired DE2523009C3 (de) | 1975-02-26 | 1975-05-23 | Zur Bildung stark haftender Leitermuster auf Aluminiumoxidunterlagen geeignete Silbermasse |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4001146A (de) |
| CA (1) | CA1050746A (de) |
| DE (1) | DE2523009C3 (de) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |