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DE2410010A1 - Biegeschwinger aus einkristall-lithiumtantalat - Google Patents

Biegeschwinger aus einkristall-lithiumtantalat

Info

Publication number
DE2410010A1
DE2410010A1 DE19742410010 DE2410010A DE2410010A1 DE 2410010 A1 DE2410010 A1 DE 2410010A1 DE 19742410010 DE19742410010 DE 19742410010 DE 2410010 A DE2410010 A DE 2410010A DE 2410010 A1 DE2410010 A1 DE 2410010A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
single crystal
lithium tantalate
crystal lithium
flexural
plane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19742410010
Other languages
English (en)
Inventor
Kunimoti Itoh
Shegeyuki Miyazaki
Morio Onoe
Toshio Shinada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KINSEKISHA LAB Ltd
Original Assignee
KINSEKISHA LAB Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KINSEKISHA LAB Ltd filed Critical KINSEKISHA LAB Ltd
Publication of DE2410010A1 publication Critical patent/DE2410010A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02007Details of bulk acoustic wave devices
    • H03H9/02015Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles
    • H03H9/02031Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles consisting of ceramic

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Description

  • Biegeschwinger aus Einkristall-Lithiumtantalat.
  • Die Erfindung betrifft Biegeschwinger aus Einkristall-Lithiumtantalat, wobei unter dem Begriff "Biegeschwinger" auch"Stimmgabeloszillatoren" zu verstehen sind.
  • Im allgemeinen haben Lithiumtantalat-Elemente Resonanzfrequenzen mit einer gegenüber Schwingquarzen weniger günstigen Temperaturemfpindlichkeit, wobei sich Schwierigkeiten bei der Erzielung eines korrekten Temperaturausgleiches ergeben.
  • Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, einen Biegeschwinger aus Einkristall-Lithiumtantalat in der Weise auszubilden, daß dieser Nachteil ausgeschaltet wird.
  • Gekennzeichnet ist ein erfindungsgemäßer Biegeschwinger aus Einkristall-Lithiurntantalat durch eine Biegeschwingungsebene in der x-y'-Ebene und einen zyw (e)-Schnitt mit e als Schnittwinkel zwischen 20 und 600 sowie durch einen Null-Temperaturkoeffizienten der Resonanzgrequenz innerhalb eines Temperaturbereiches von -20°C bis +80qC.
  • Eine genauere Erläuterung der Erfindung ergibt sich aus der nachfolgenden Beschreibung anhand der beiliegenden Zeichnungen; es zeigen: Figur 1 einen entgegen dem Uhrzeigersinn um e0 verdrehten Biegeschwinger aus Einkristall-Lithiumtantalat; Figur 2 eine perspektivische Draufsicht auf einen erfindungsgemäßen Biegeschwinger mit geteilten Elektroden; Figur 5 in einer Graphik die Beziehung zwischen dem Schnittwinkel und dem zugehörigen Temperaturkoeffizienten, berechnet aufgrund des Elastizitätsmoduls und seines Temperaturkoeffizienten, des linearen Dehnungskoeffizienten und des räumlichen Ausdehnungskoeffizienten; und Figur 4 in einer Graphik die Temperaturempfindlichkeit der Resonanzfrequenz.
  • Figur 1 zeigt den zyw (e)-Schnitt (zyw(e)-cutl entnommen den IRE-Standards) in einem Biegeschwinger 1 aus Einkristall-Lithiumtantalat, der von der y-Achse entgegen dem Uhrzeigersinn um e verdreht ist, während Figur 2 einen BiegeschwSnger 2 aus dem vorgenannten Kristall zeigt, der mit in der z'-Ebene geteilten Elektroden 5 bestückt ist.
  • Im allgemeinen ergibt sich die- Grund-Resonanzfrequenz eines Biegeschwingers mit rechteckigem Querschnitt aus nachstehender Formel (1) bei einem ausreichend hohen Wert für l/w, wobei 1 die Länge des Biegeschwingers bedeutet und w die Abmessung einer zur Ebene der Biegeschwingung parallelen Seite: Hierin sind: E = Young'scher Modul p = Dichte m = 4,73* Es ist bekannt, daß ein Lithiumtantalat-Einkristall der Spitzengruppe 5 m mit einem zyw(e)-schnitt gemäß Figur 1 mit einer piezoelektrischen Konstante d'52 elektrisch erregt werden kann, um in Biegeschwingungen parallel zur x-y'-Ebene versetzt zu werden, indem in der z'-Ebene geteilte Elektroden gemäß Figur 2 vorgesehen und quer zu den Elektrodenpaaren elektrische Felder gegenseitig entgegengesetzter Phase angelegt werden. Die Resonanzfrequenz eines derartigen Biegeschwingers aus Einkristall-Lithiumtantalat läßt sich durch Substitution nachstehender Gleichung (2) in obige Gleichung (1) bestimmen: 1 E = S11E . cos4# + (2 . S 44E) . sin²# . cos ²# - 2 . S14E . cos³# . sin# + S33E . sin4# ....... (2) Der Temperaturkoeffizient Tf der Resonanzfrequenz ergibt sich aus Gleichung ()) df dw dl dE .....(3) Tf = 1/f = 1/w - 2/l + 1/2 ß + 1/2 1/E ..... (3) dT dT dT dT wobei: ß = räumlicher Ausdehnungskoeffizient, dl dw 1/l = α11.cos²# + α33 . sin²#, 1/w = α11, und dT dT α11 sowie α33 = lineare Ausdehnungskoeffizienten.
  • Bei Berechnung des Wertes der Gleichung (3) für einen Bereich von # zwischen -90° und +90° unter Einsatz spezifischer Werte für die Federung (compliance) bei 25°C, den Temperaturkoeffizienten der Federung sowie den linearen und den räumlichen Ausdehnungskoeffizienten stellt sich heraus, daß es zwei Schnitte neben e = 300 und 500 gibt, welche einen Temperaturkoeffizienten von Null liefern.
  • Aus vorstehender Gleichung zeigt sich, daß ein Biegeschwinger aus Einkristall-Lithiumtantalat einen Temperaturkoeffizienten NULL innerhalb eines Temperaturbereiches von 200C bis +8000 haben kann, wenn seine Biegeschwingungsebene in der x-y'-Ebene liegt und sein Schnittwinkel im Bereich von 200 bis 600 für einen zyw(e)-Schnitt.
  • Figur 4 zeigt in einer Graphik die Temperaturempfindlichkeit der Resonanzfrequenz bei mehreren Biegeschwingern.
  • Dabei zeigt insbesondere Kurve 5, daß ein zyw(300)-Schnitt von 16,8 KHz einen Temperaturkoeffizienten NULL bei 200C, Kurve 6, daß ein zyw(30°)-Schnitt von 28,) KHz einen temperaturkoeffizienten NULL bei 300C und Kurve 7, daß ein zyw(500) Schnitt von )0,4 KHz einen Temperaturkoeffizienten NULL bei 280C ergibt.
  • Die Erfindung schafft somit einen Biegeschwinger aus Einkristall-Lithiumtantalat mit einem hohen Kopplungsfaktor, einen hohen Gütefaktor und einer niedrigen Impedanz sowie mit verbesserter Temperaturempfindlichkeit, da der Temperaturkoeffizient NULL der Resonanzfrequenz innerhalb eines Temperaturbereiches von 200 bis +800C vorliegt. Da eine Biegeschwingung naturgemäß Niederfrequenzsch;zingungen ergibt, läßt sich mit einem im Vergleich zu einem Scherungs-oder Längsschwinger kleineren Schwinger sehr vorteilhaft eine Schwingung mit einer gegebenen Frequenz erzielen.

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Biegeschwinger aus Einkristall-Lithiumtantalat, g e k e n n z e i c h n e t durch eine Biegeschwingungsebene in der x-y' -Ebene und einen zyw(6)-Schnitt mit 8 als Schnittwinkel zwischen 20 und 600 sowie durch einen Null-Temperaturkoeffizienten der Resonanzfrequenz innerhalb eines Temperaturbereiches von -20°C bis +80°C.
    L e e r s e i t e
DE19742410010 1973-03-05 1974-03-02 Biegeschwinger aus einkristall-lithiumtantalat Pending DE2410010A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2586773A JPS49115492A (de) 1973-03-05 1973-03-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2410010A1 true DE2410010A1 (de) 1974-09-19

Family

ID=12177732

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19742410010 Pending DE2410010A1 (de) 1973-03-05 1974-03-02 Biegeschwinger aus einkristall-lithiumtantalat

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JP (1) JPS49115492A (de)
DE (1) DE2410010A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2385259A1 (fr) * 1977-03-22 1978-10-20 Seiko Instr & Electronics Resonateur au tantalate de lithium

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53132987A (en) * 1977-04-25 1978-11-20 Seiko Instr & Electronics Ltd Lithium tantalate vibrator

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2385259A1 (fr) * 1977-03-22 1978-10-20 Seiko Instr & Electronics Resonateur au tantalate de lithium

Also Published As

Publication number Publication date
JPS49115492A (de) 1974-11-05

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