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DE2304685C3 - Verfahren zur Herstellung mikroskopisch kleiner Metall- oder Metallegierungs-Strukturen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung mikroskopisch kleiner Metall- oder Metallegierungs-Strukturen

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DE2304685C3
DE2304685C3 DE2304685A DE2304685A DE2304685C3 DE 2304685 C3 DE2304685 C3 DE 2304685C3 DE 2304685 A DE2304685 A DE 2304685A DE 2304685 A DE2304685 A DE 2304685A DE 2304685 C3 DE2304685 C3 DE 2304685C3
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Description

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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung mikroskopisch kleiner Metall- oder Metallegierungs-Strukturen, bei dem auf einem Träger eine dünne, geschlossene, insbesondere magnetostriktionsfreie NiFe-Schicht aufgedampft wird, auf die NiFe-Schicht eine Photolackschicht aufgetragen wird, der gewünschten Metall- oder Metallegierungsstruktur entsprechende Kanäle aus der Photolackschicht herausgearbeitet werden, derart, daß in diesen Kanälen die NiFe-Schicht freigelegt ist und bei dem auf die freigelegte NiFe-Schicht eine Metallschicht aufgetragen, die restliche Photolackschicht abgetragen und die darunterliegende dünne NiFe-Schicht entfernt wird.
Strukturen dieser Art und Verfahren zu ihrer Herstellung werden beispielsweise für Manipulationsmu- lter, für Zylinderdomänenspeicher und für die Mikroverdrahtung integrierter Schaltungen benötigt. Beträgt die geforderte Strichbreite der Strukturen, zum Beispiel der magnetostriktionsfreien NiFe-Struktur des Manipulationsmusters eines Zylinderdomanenspeiebers. etwa 3 bis 20μΐη. so hat es sich als äußerst schwierig erwiesen, in diesen Fällen und bei Anwendung des Photoätzverfahrens die Unterätzung, d. h. das seitliche Abtragen der Struktur, an den durch Photolack geschützten Strukturbereichen genügend klein zu halten. Um diese Schwierigkeiten zu umgehen, wird daher eine Reihe anderer bekannter Verfahren angewendet, wie sie beispielsweise in »AlPConference Proceedings«, Να 5,1971, S. 215, in »AppL Phys. Letter«, Band 17, S. 328 (1970) und in »Journal AppL Phys.«, Band 42, S. 1362 (1971) beschrieben sind.
Beim bekannten Verfahren nach der letztgenannten Literaturstelle wird zur Schaffung eines Manipulationsmusters eine etwa 200 A dicke NiFe-Schicht auf einen Glasträger aufgedampft, auf die NiFe-Schicht eine etwa 10 000 A dicke Photolackschicht aufgesprüht und auf die aus dieser Photolackschicht in bekannter Weise freigelegte NiFe-Schicht eine NiCo-P-Legierung stromlos aufgetragen, wonach die restlichen Photolack- und dünnen NiFe-Schichten abgetragen werden.
Auch der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung mikroskopisch kleiner Metall- oder Metallegierungs-Strukturen anzugeben, das die Unterätzung genügend klein hält.
Zur Lösung dieser Aufgabe schlägt die Erfindung bei einem Verfahren der eingangs genannten Art vor, daß auf die freigelegte NiFe-Schicht erst eine dünne Goldschicht und darauf eine dickere NiFe-Schicht galvanisch abgeschieden werden und daß zum Entfernen der zuerst aufgebrachten NiFe-Schicht der beschichtete Träger in ein schwachsaures Goldbad getaucht wird. wobei die dünne NiFe-Schicht abgelöst und durch eine entsprechend dicke Goldschicht ersetzt wird, die durch ein an sich bekanntes Goldätzmittel abgeätzt wird.
Im Bad erfolgt eine Austauschreaktion, die durch die auftretenden Potentialunterschiede zwischen NiFe und Au hervorgerufen wird, wobei NiFe in Lösung geht und durch eine äquivalente Au-Menge ersetzt wird. Die gesamte, üblicherweise 200 A bis 300 A dicke NiFe-Schicht wird in einigen Minuten abgelöst und durch die entsprechend dicke Goldschicht ersetzt. Die Goldschicht läßt sich durch ein geeignetes Goldätzmittel, z. B. eine verdünnte KCN-Lösung wegätzen, ohne daß die galvanisch aufgetragene NiFe-Schicht angegriffen wird.
Im Unterschied hierzu hat sich gezeigt, daß die bisher verwendeten bekannten NiFe-Ätzlösungen, wie z. B. eine FeCb- Lösung, bevorzugt die galvanisch verstärkten NiFe-Schicht angreifen, so daß, wenn die 200 A bis 300 A dicke NiFe-Schicht entfernt ist, auch die dicke NiFe-Schicht weitgehend weggeätzt ist. Beim erfindungsgemäß vorgeschlagenen Goldbad werden hingegen von der dickeren NiFe-Schicht nur die 200 A bis 300 A NiFe weggenommen.
Dieses Verfahren ist einfach durchführbar. Die Kantenschärfe der Strukturen ist sehr groß. Die Abmessungen der Strukturen werden nicht durch Ätzeffekte, d. h. durch Unterätzen wesentlich beeinflußt Zusätzlich stören kleine Inhomogenitäten im Photolack, die sonst zu einem Durchätzen der Schichten führen können, nicht Durch dieses Verfahren ist es möglich, Strukturen in den gewünschten Abmessungen, die vorzugsweise zwischen 5 bis 20 μπι liegen, und den erforderlichen Schichtdicken maskentreu und reproduzierbar herzustellen. Die gleichmäßige Dicke und Kantenschärfe der Strukturen wird, insbesondere durch die dünne Gold-
schicht, gewährleistet
Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich bevorzugt zur Herstellung eines Manipulationsmusters für einen Zylinderdomänenspeicher.
Auf die dickere, mehrere 1000 A , insbesondere etwa 10 000 A dicke NiFe-Schicht wird bevorzugt eine zweite dünne Goldschicht galvanisch abgeschieden, die als Schutzschicht beim wenigstens teilweisen Wegätzen der geschlossenen, dünnen NiFe-Schicht an den nicht verstärkten Stellen wirkt
Das Gold wird vorzugsweise in einer Dicke von jeweils mehreren 100 A, insbesondere 600 A, auf die dünne bzw. dickere NiFe-Schicht galvanisch abgeschieden.
An dieser Stelle sei nochmals darauf hingewiesen, daß sich das vorstehend genannte Verfahren nach der Erfindung nicht nur zur Herstellung eines Manipulationsmusters für Zylinderdomänenspeicher, sondern auch zur Herstellung der Mikroverdrahtung integrierter Schaltungen u. dgL eignet
Das Verfahren nach der Erfindung wird nachstehend an Hand der in der Zeichnung dargestellten Schnittfiguren 1 bis 3 näher erläutert:
Auf einen Träger 1, z. B. aus Glas, Keramik oder sonstigem Isolierstoff, wird eine etwa 200 A bis 300 A dikke NiFe-Schicht 2 aufgedampft und auf diese Schicht eine Photolackschicht 3 aufgetragen. Aus der Photolackschicht 3 werden mit Hilfe der Phototechnik der gewünschten NiFe-Struktur entsprechende Kanäle 7 herausgearbeitet derart daß in diesen Kanälen die NiFe-Schicht freigelegt ist
In einem weiteren Verfahrensschritt wird auf die freigelegte NiFe-Schicht 2 in einem handelsüblichen Goldbad eine etwa 600 A dicke Goldschicht 4 galvanisch abgeschieden, die galvanisch durch eine etwa
ίο 10 000 A dicke NiFe-Schicht 5 verstärkt (s. F i g. 2 und
3) wird. Auf die dicke NiFe-Schicht 5 wird eine zweite, als Schutzschicht dienende Goldschicht 6 galvanisch abgeschieden.
Anschließend wird die restliche Photolackschicht 3 abgetragen und der derart beschichtete Träger in ein schwachsaures Goldbad gelegt wobei nach einigen Minuten die gesamte, im vorliegenden Fall 300 A dicke, unverstärkte NiFe-Schicht 2 entfernt und durch eine entsprechend dicke Goldschicht ersetzt wird, die mühelos durch ein Goldätzmittel, z. B. eine verdünnte KCN-Lösung, weggeätzt werden kann.
Beispielsweise zur Anordnung von Signal-Detektoren für Zylinderdomänenspeicher, empfiehlt es sich, die u:«verstärkte NiFe-Schicht nur bereichsweise durch die Austauschreaktion im Goldbad und die nachfolgende Goldätzung zu entfernen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung mikroskopisch kleiner Metall- oder Metallegierungs-Stnikturen, bei dem auf einem Träger eine dünne, geschlossene, insbesondere magnetostriktionsfreie NiFe-Schicht aufgedampft wird, auf die NiFe-Schicht eine Photolackschicht aufgetragen wird, der gewünschten Metall- oder Metallegierungs-Struktur entsprechende Kanäle aus der Photolackschicht herausgearbeitet werden, derart, daß in diesen Fällen die NiFe-Schicht freigelegt ist und bei dem auf die freigelegte NiFe-Schicht eine Metallschicht aufgetragen, die restliche Photolackschicht abgetragen und die darunterliegende dünne NiFe-Schicht entfernt wird, dadurch gekennzeichnet, daß auf die freigelegte NiFe-Schicht erst eine dünne Goldschicht und darauf eine dickere NiFe-Schicht galvanisch abgeschieden werden und daß zum Entfernen der zuerst aufgebrachten NiFe-Schicht der beschichtete Träger in ein schwachsaures Goldbad getaucht wird, wobei die dünne NiFe-Schicht abgelöst und durch eine entsprechend dicke Goldschicht ersetzt wird, die durch ein an sich bekanntes Goldätzmittel abgeätzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als dünne NiFe-Schicht eine etwa lOOÄ bis 500 A, insbesondere 300 A. dicke NiFe-Schicht auf einen Glasträger aufgedampft wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine jeweils mehrere 100 A dünne Goldschicht auf die dünne und dickere NiFe-Schicht galvanisch abgeschieden wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als dickere NiFe-Schicht eine mehrere 1000 A, insbesondere etwa 10 000 A, dicke NiFe-Schicht galvanisch abgeschieden wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Goldätzmittel eine verdünnte KCN-Lösung verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1 und wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Verwendung zur Herstellung eines Manipulationsmusters für einen Zylinderdomänenspeicher.
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