DE2364134A1

DE2364134A1 - Elektromechanisches oberflaechenwellenfilter

Info

Publication number: DE2364134A1
Application number: DE2364134A
Authority: DE
Inventors: Francel Genauzeau; Pierre Hartemann
Original assignee: Thomson CSF SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1972-12-22
Filing date: 1973-12-21
Publication date: 1974-06-27
Also published as: US3878407A; FR2212080A5; CA999349A; JPS4991565A; IT1000767B; GB1460036A

Description

Die Irfi,ndung"b©Ei©ht §ieh auf ©lektromiofeanisoh© Ober« fläeh©nw©U©nfilt©r, di© aus ©inera pi©i©gl©ktri§©h©ii Substrat b©it©iiea_? auf das Wt&dl©rgitter aufg©braeht stod» dl© dureh !!©ktroden ia Form von i&©&nand©rgreif©nd©ri Kgiam©n gebildet sind» Unter d©r Einwirkung eines am di© Slektreden angtlegten Signals sendet ©in solches kararaartiges Gitter ein© ©lastische Oberflächenwelle aus, die sich entlang einer freien Seite des Substrats zu einein anderen Gitter ausbreitet, welches die .Welle empfängt und in ein elektrisches Signal umwandelt, dessen Frequenzspektrum gleich dem Produkt aus dem Spektrum des ankommenden Signals und der Übertragungsfunktion des elektromechanischen Filters ist. Die Übertragungsfunktion hängt von der Konfiguration der Wandlerkämme und der Ausbreitungsgeschwindigkeit der Oberflächenwellen ab. Im Fall eines schmalbandigen Bandfilters ist es notwendig, kammartig ineinandergreifende Gitter zu verwenden, die eine beträcht-

Lei/Pe

409826/0905

liehe Länge in der Ausfereitungsrichtung der Oberflächenwellen haben. Die. Übertragungsfunktion ist nämlich cturch die Fourier-Transformation der Xrapulsantwort des Filters bestimmt und es ist bekannt, daS deren Spektrum umso schmäler ist, je größer die Dauer ihrer Hüllkurve ist» Unter Berücksichtigung des vorgegebenen Werts der Ausbreitungsgeschwindigkeit folgt daraus, daß die Impulsantwort zeitlich umso ausgedehnter ist, je größer die Länge der verwendeten Wandlergitter ist.

Es ist somit zu erkennen, daß der Raumbedarf eines elektromechanischen Oberflächenwellenfilters mit seiner Selektivität und mit der gewählten übertragungsgeschwindigkeit zunimmt, wobei die Übertragungsgeschwindigkeit von der Wahl des Substrats und von der Ausbreitungsf orm der Oberflächenwelle» abhängt*

Das Problem des Raumbedarfs elektromechani scher OberfIg?henwellenfilter stellt sich nicht nur in dem Fall, daß die Zähne der Kimme in gleichmäßigen Abständen liegen, sondern auch in dem Fall, daß ein ungleichförmiger Abstand gewählt wird, damit Filter mit dispersiven Kennlinien erhalten werden, welche für die Kompression von frequenzmodulierten Impulsen und ganz allgemein für die Laufzeitfilterung elektrischer Signale bestimmt sind. Bei der Ausbildung von Strukturen mit frequenzabhängiger Laufzeit hingt die Genauigkeit, mit der das Kompressionsgesetz, erhalten wird, von der Anzahl der in jedem Wandlerkamm vorgesehenen Zahnzwischenräume ab, Der Kompressionsgrad ist seinerseits mit der Längsausdehnung der Wandlerkämme verknüpft. Wenn es sich also darum handelt, eine dispersive Struktur mit einem hohen Kompressionsgrad unter Verwendung eines Substrats mit

409826/0905

großer Ausbr.eitungsgeschwindigkeit zu konstruieren, kommt man notwendigerweise zu einem verhältnismäßig großen Raumbedarf und einem verhältnismäßig hohen Herstellungspreis.

Diese Nachteile sind besonders dann störend, wenn die Kompression von langen Impulsen beabsichtigt wird oder wenn das übertragene Frequenzband sehr schmal

Das Ziel der Erfindung ist die Beseitigung dieser Nachteile durch eine bessere Ausnutzung der Außenfläche des piezoelektrischen Substrats, das die Sende- und Empfangswandlergitter trägt. "

Gemäß der Erfindung weist das piezoelektrische Substrat eine im allgemeinen abgeflachte zylindrische Oberfläche auf, damit zwei entgegengesetzte Seiten abgegrenzt werden, von denen die eine Seite die Sende-Wandlergitter und die andere Seite die Empfangs-Wandlergitter trägt.

Die Länge des Filters wird dadurch bei sonst gleichen Eigenschaften auf die Hälfte verringert, doch ergibt die gegenseitige Nähe der Wandlergitter eine unerwünschte elektrostatische Kopplung. Zur Vermeidung dieses Nachteils ist.es erfindungsgemäß vorgesehen, jedes Kammgitter zu verdoppeln und einem der verdoppelten Gitter eine symmetrisch· asymmetrische elektrische Anordnung hinzuzufügen, die es ermöglicht, die sich aus der unerwünschten elektrostatischen Kopplung ergebenden Störsignale zu beseitigen.

Nach der Erfindung ist ein Oberflächenwellenfilter mit einem piezoelektrischen Substrat, einem Eingangsklemmenpaar und einem Ausgangsklemmenpaar, die elektrisch mit

409826/0905

Wandlergittern verbunden sind, die zur Aussendung bzw. zum Empfang von elastischen Oberflächenwellen bestimmt sind, wobei jedes Wandlergitter zwei Elektroden in Form von kammartig ineinandergreifenden Strukturen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß eines der Wandlergitter eine erste und eine zweite kammartige leitende Struktur aufweist, die seitlich nebeneinander auf einer ersten Seite des Substrats angeordnet sind, daß das andere Wandlergitter eine dritte und eine vierte kammartige leitende Struktur aufweist, die seitlich nebeneinander auf einer der ersten Seite entgegengesetzten zweiten Seite des Substrats gegenüber der ersten bzw» der zweiten kammartigen Struktur angeordnet sind, daß die erste und die zweite, kammartige Struktur parallel mit einem Klemmenpaar verbunden sind, und daß eine symmetrisch-asymmetrische elektrische Verbindungsanordnung vorgesehen ist, welche die dritte und die vierte kammartige Struktur derart mit dem anderen Klemmenpaar verbindet, daß die Spannungen unterdrückt werden, welche durch die elektrostatische Kopplung zwischen den die Aussendung der Oberflächenwellen bewirkenden Elektroden sowie zwischen den den Empfang der Oberflächenwellen bewirkenden Elektroden induziert werden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung beispielshalber erläutert. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansteht eines ersten Ausführungsbeispiels eines Oberflächenwellenfilters nach der Erfindung,

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels des Oberflächenwellenfilters nach der Erfindung,

£03826/090 5

Fig* 3 eine erläuternde Darstellung,

Fig. 4 eine Seitenansicht der Vorrichtung von Fig. 2 und

Fig. 5 eine Seitenansicht der Vorrichtung von Fig. 2. bei einer abgeänderten Ausführung*

Öle mechanischen Oberflächenwellenfilter sind durch ineinandergreifende kämmförmige Elektroden gebildet» die bei Anschluß ah eine Weehselspahnühgscjuelle in der Lage sind, in einem darunterliegenden piezoelektrischen Material eine gitterf o'rmige Verteilung des elektrischen Feldes zu induzieren, die elastische Oberflächenwellen, wie Räyleigh-Wellen und Bleustein-Wellen entstehen läßt. Die Aussehdung dieser Öberfrächenwellen erfolgt mit ■einer Riehtwirkühg, denn die strahlenden Elemente, die unter den zwischen den Elektroden gebildeten Kammzwischehräumen liegen, haben eine Breite, die groß gegen die Wellenlänge der von dem piezoelektrischen Material an der Oberfläche übertragenen Schwingungen ist. In der' Praxis werden dergleichen Fläche eines piezoelektrischen Substrats zwei aufeinanderfolgende Gitter zugeordnet, nämlich ein Gitter zur Aussendung der Oberflächenwellen und ein zweites Gitter zum Empfang der Oberflächenwellen in Verlängerung des ersten Gitters. Der Raumbedarf des Substrats in der Längsrichtung ist dann wenigstens gleich der Summe der jeweiligen Längen der beiden Gitter, nämlich des Eingangsgitters und des Ausgangsgitters.

Fig. 1 zeigt ein erstes Beispiel eines elektromechanischen Oberflächenwellenfilters, bei welchem der Raumbedarf in

409826/0905

der Längsrichtung um die Hälfte verringert ist* Dieses Filter enthält ein piezoelektrisches Substrat 1 in Form eines abgeflachten Zylinders und kann beispielsweise eine ebene Oberseite 2 und eine ebene Unterseite 3 haben, die an jedem Ende durch kreiszylindrische Abschnitte miteinander verbunden sind.

Die Oberseite 2 des Substrats trägt drei elektrisch voneinander getrennte Elektroden, nämlich einen ersten Kamm 4 mit einer einfachen Reihe von Zähnen 11, einen zweiten Kamm 5 mit einer doppelten Reihe von Zahnen 10 und 16 und einen dritten. Kamm 6 mit einer einfachen Reihe von Zähnen 17· Diese drei Elektroden bilden zwei seitlich nebeneinander liegende Gitter aus ineinandergreifenden Kämmen, die in Verbindung mit dem Substrat 1 auf jeder Seite der x-Achse elastische Oberflächenweilen aussenden können, wenn sie mit Hilfe eines Wechselstromgenerators 18 erregt werden. Da die äußeren Kämme 4 und 6 mit der Masse M des .Generators 18 verbunden sind und der mittlere Kamm 5 an die andere Klemme des Generators angeschlossen ist, erkennt man aus der Art der gegenseitigen Versetzuag der Zähne, daß die beiden seitlich nebeneinanderliegenden Wandlergitter Oberflächenwellen gleicher Phase sowohl in der positiven als auch in der negativen Richtung der x-Achse aussenden. Diese Wellen laufen parallel vom Mittelpunkt der Oberseite 2 weg, und nachdem sie um die abgerundeten Enden des Substrats 1- herumgegangen sind, treffen sie an der Unterseite 3 des Substrats wieder aufeinander.

Die Unterseite 3 trägt ebenfalls über einen beträchtlichen Teil ihrer Länge drei Elektroden«, nämlich einen einfachen Kamm 7, 13, einen Doppelkamm 8, 12_S 15 und einen einfachen Kamm 9„ i4oDiese in Fig. 1 gestrichelt dargestellten Kämme

409826/0905

liegen senkrecht unter den Kämmen der Oberseite des Substrats; dies gilt für die gemeinsamen Stege und die Finger, doch sind die elektrischen Verbindungen nicht in gleicher Weise ausgebildet.

In Fig. 1. ist folgendes festzustellen: Wenn man die zylindrische Oberfläche des Substrats entlang dem gekrümmten Pfeil durchläuft, liegen die Zähne der Doppelkämme 5 und 8 vor den Zähnen der einfachen Kämme 6 und 9; wenn man dagegen die einfachen Kämme 4 und 7 betrachtet, liegen an der Oberseite die Zähne des Doppelkamms 5 vor den Zähnen des Kamms 4, während an der Unterseite die Zähne des Doppelkamms 8 auf diejenigen des Kamms 7 folgen. Diese Umkehrung in der Reihenfolge der Zähne, die das Wandlergitter 7,8 betrifft, das an der Unterseite des Substrats hinten liegt, erklärt die Tatsache, daß die Spannungen A und B, die in den Gittern 7, 8 und 8, 9 durch die von den Gittern 4,5 und 5»β stammenden Oberflächenwellen induziert werden₅ gleich groß sind und entgegengesetzte Vorzeichen'haben.

Damit sich die Wirkungen dieser induzierten Spannungen stets addieren können, ist die Elektrode 8 mit der Masse M verbunden, und die Spannungen A und B werden mit Hilfe einer symmetrisch-asymmetrischen elektrischen Verbindungsanordnung abgenommen. Diese elektrische Verbindungsanordnung ist beispielsweise durch eine Polaritätsumkehrschaltung 19 gebildet, die eine Spannung -A liefert, die anschließend in einer Summierschaltung 20 zu der Spannung B addiert wird. Die von der Summierschaltung 20 gelieferte Spannung B-A hat den doppelten Wert wie jede der Spannungen A und B, welche von den beiden Wandlergittern geliefert werden, die seitlich nebeneinander auf der Unterseite des Substrats liegen.

409826/0905

-'8 - ■ ■

Die' Notwendigkeit der Verdoppelung der Wandlergitter für die Aussendung und den Empfang der Oberflächenwellen ergibt sich aus dem Vorhandensein einer beträchtlichen elektrostatischen Kopplung zwischen den auf den Seiten 2 und 3 des Substrats liegenden Elektroden.

sei auf Figo 3 Bezug genommen, wo ein Abschnitt des Elektrodensystems von Fig. 1 dargestellt ist, wobei das piezoelektrische Substrat fortgelassen ist. Die Elektroden 4, 6 und 8 sind mit Masse verbunden, und damit sie deutlicher erkennbar sind_s sind sie schraffiert. Die nicht schraffierten Elektroden 5₉ 7 und 9 sind elektrostatisch miteinander gekoppelt _s denn das Substrat ist ein im wesentlichen dielektrisches Material, das nicht als elektrostatische Abschirmung zwischen der Elektrode 5 und jeder der Elektroden 7 und 9 dienen kann.

In Fig» 3 ist zu erkennen, daß die symmetrisch-asymmetrische elektrische Verbindungsanordnung ein Transformator 110 sein kann, der eine Primärwicklung 111 mit einer an Masse liegenden Mittelanzapfung und eine Sekundärwicklung 112 hat. Wegen der zwischen der Elektrode 5 und den Elektroden 7 und 9 vorhandenen Streukapazitäten läßt der Wechselstromgenerator 18 in der Primärwicklung 111 des Transformators gleiche Ströme I₁ und I₂ fließen, die zur Mittelanzapfung hin gerichtet sind. Die aus diesen kapazitiven Strömen resultierende magnetomotorische Kraft hat den Wert NuIl₉ und in der Sekundärwicklung 112 wird keine Spannung unter dem Einfluß dieser Ströme induziert» Dagegen addieren sich die Wirkungen der Spannungen V^ und Vp von entgegengesetzten Vorzeichen, die durch den piezo-

409826/0905

elektrischen Effekt unter dem Einfluß der Oberflächenwellen induziert werden, so daß sie eine induzierte Spannung an den Klemmen der Sekundärwicklung 112 erscheinen lassen.

Es ist somit zu erkennen, daß durch die Verwendung von zwei seitlich nebeneinanderliegenden Wandlergittern auf jeder Seite des Substrats und mit einer symmetrischasymmetrischen Verbindung die elektrostatischen Kopplungen vollständig neutralisiert werden können, ohne daß die Übertragung der Nutzsignale beeinträchtigt wird. Der in Fig. 3 dargestellte Transformator 110 ist an die Ausgangsklemmen des elektromechanischen Filters angeschlossen, doch könnte er auch zur Stromversorgung der Sende-Wandlergitter bei einer anderen Version der gleichen Anordnung dienen. Es ist auch zu bemerken, daß der Transformator 110 durch eine elektrische Brückenschaltung oder durch einen Differenzverstärker mit zwei Eingängen ersetzt werden kann.

Aus Vorstehendem war zu erkennen, daß die Oberflächenwellen sowohl in der positiven Richtung der x-Achse als auch in der negativen Richtung dieser Achse ausgesendet werden. Man kann sich vorstellen, daß die Vorrichtung von Fig. 1 genau symmetrisch in Bezug auf eine senkrecht zur x-Achse stehende Ebene ausgebildet ist; in diesem Fall spricht nichts dagegen, die Oberflächenwellen über die beiden abgerundeten Enden des Substrats zu der Unterseite gehen zu lassen. Diese Lösung würde jedoch zur Entstehung von Mehrfachsignalen und stehenden Wellen führen. Um diesem Nachteil abzuhelfen, ist es erfindungsgemäß vorgesehen, eine Ausbreitungsrichtung der Oberflächenwellen dadurch zu verbieten, daß auf eines

409826/0905

-IG-

der abgerundeten Enden des Substrats ein Streifen aus absorbierendem Material aufgebracht wird.

Dieser Streifen kann durch ein Stück Klebeband gebildet sein, das aus einem Kunststoffilm gefertigt ist; dieses Band wird, auf eines der abgerundeten Enden des Substrats so aufgebracht, daß es die Schwingungsenergie der Oberflächenwellen vernichtet.

Bei der Vorrichtung von Fig. 1 wird eine mittlere Elektrode 5 bzw. 8 in Form eines Kammes mit einer doppelten Zahnreihe verwendet. Man kann jedoch auch annehmen, daß diese Elektrode entlang der x-Achse in der Mitte durchgeschnitten ist, so daß auf jeder Seite des Substrats zwei vollständig getrennte Wandlergitter gebildet werden. Das Substrat selbst könnte durch eine die x-Achse enthaltende Schnittebene in zwei Teile getrennt werden, so daß zwei elektromechanische Strukturen erhalten wurden, die bei gemeinsamer Verwendung die gleichen Vorteile ergeben würden. Ebenso wenig ist es unbedingt notwendig, daß die beiden Wandlergitter, mit denen ,jede Seite des Substrats ausgestattet ist, in parallelen Richtungen strahlen, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist.

Die genaue Unterdrückung der sich aus den kapazitiven Kopplungen ergebenden Störsignale kann eine Einjustierung erforderlich machen, die durch Einstellung der Verstärkungen in den beiden Differenzkanälen erfolgen kann,, denen die vom Filter gelieferten Signale zugeführt werden. Man kann auch eine Einstellung durch eine Zusatzkapazität in einem der Zweige der Vorrichtung vorsehen, wobei diese Zusatzkapazität durch eine Verlängerung einer nicht mit Masse verbundenen Elektrode gebildet sein kann,

409826/0905

die durch Abkratzen so verkleinert wird, daß in jeder fertiggestellten Vorrichtung der kleinste Störsignalanteil erhalten wird.

Bei der Vorrichtung von Fig. 1 sind die Wandlerkämme mit konstantem Zahnabstand dargestellt, denn das betreffende Filter ist insbesondere für die Schmalbandfilterung von elektrischen Signalen bestimmt. Dagegen ist bei der in Fig. 2 dargesbellten Vorrichtung ein ungleichförmiger Abstand der Zähne der Wandlerkämme gewählt, damit eine dispersive Charakteristik erhalten wird, welche die Kompression von frequenzmodulierten Impulsen ermöglicht.

In Fig. 2 sind die gleichen Bezugszeichen wie in Fig. verwendet, jedoch sind die Teile 19 und 20 durch einen Differenzverstärker 104 ersetzt. Ferner ist in Fig. 2 das Klebeband 103 zu erkennen, das zur Absorption der zum Ende 101 des Substrats laufenden Oberflächenwellen dient. Das andere abgerundete Ende 102 ist poliert, damit die Oberflächenwellen ohne Beugung übertragen werden.

Im Fall von dispersiven Verzögerungsleitungen ist die Gesetzmäßigkeit der Änderung der Abstände der Zähne der Kämme nicht gleichgültig. Bei der Herstellung einer Vorrichtung der in Fig. 2 gezeigten Art kann das absorbierende Band 103 entweder auf dem Ende 101 oder auf dem Ende 102 befestigt werden. Man hat somit die Wahl zwischen zwei möglichen Anordnungen, die in Fig. 4 bzw. in Fig. 5 in Seitenansicht dargestellt sind.

409826/0905

In FIg. 4 rücken die Zähne der Kämme 105 und 106 von links nach rechts immer näher zusammen, und wenn man annimmt, daß die Zähne 105 den Sendegittern entsprechen, ist zu erkennen, daß. die Lage des absorbierenden Elements 103 auf der linken Seite zur Folge hat, daß sich die Oberflächenwellen ausschließlich in der Richtung der Pfeile ausbreiten« In Fig« 5 wird die umgekehrte Situation dadurch erhaltens daß das .absorbierende Element 103 an der rechten Seite angebracht wird. Diese Möglichkeit der Wahl hinsichtlich des Vorzeichens der Neigung der Dispersionskennlinie ist ein Vorteils den man nicht erhalten wurde«, wenn die beiden ¥andler in einer Reihe hintereinander auf der gleichen Seite des Substrats angebracht wären»

schließend ist anzugeben, daß der Gewinn "an Raumbedarf, der dadurch erhalten wird, daß die Wandlergitter auf die beiden Selten eines Substrats graviert werden,- vorteilhaft mit dem Raumgewinn kombiniert werden kann, den man dadurch erhält, daß man das-Substrat aus einsm Material bildetρ das die Oberflächenwellen mit geringer Geschwindigkeit überträgt, ' ■ -

Die Materialien, die für die Herstellung des Substrats am besten geeignet sind,' sind in abnehmender Reihenfolge der Bevorzugung? Quarz, Lithlumniobat und Wismutgermanat; dies ergibt sich daraus, daß in dieser Aufzählung die Materialien nach abnehmenden Äusbreitungsgeschwindigkeiten geordnet sind.

409826/0905

Claims

Patentansprüche

y 1.j Oberflächenwellenfilter mit einem piezoelektrischen Substrat, einem Eingangskiemmenpaar und einem Ausgangsklemmenpaar, die elektrisch mit ¥andlergittern verbunden sind, die zur Aussendung bzw. zum Empfang von elastischen Oberflächenwellen bestimmt sind, wobei jedes Wandlergitter zwei Elektroden in Form von kammartig ineinandergreifenden Strukturen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß eines der Wandlergitter eine erste und eine zweite kammartige leitende Struktur aufweist, die seitlich nebeneinander auf einer ersten Seite des Substrats angeordnet sind, daß das andere Wandlergitter eine dritte und eine vierte kammartige leitende Struktur aufweist, die seitlich nebeneinander auf einer der ersten Seite entgegengesetzten zweiten Seite des Substrats gegenüber der ersten bzw. der zweiten kammartigen Struktur angeordnet sind, daß die erste und die zweite kammartige Struktur parallel mit einem Klemmenpaar verbunden sind, und daß eine symmotrisch-asymmetrisehe elektrische Verbindungsanordnung vorgesehen ist, welche die dritte und die vierte kammartige Struktur derart mit dem anderen Klemmenpaar verbindet, daß die Spannungen unterdrückt werden, welche durch die elektrostatische Kopplung zwischen den die Aussendung der Oberflächenwellen bewirkenden Elektroden sowie zwischen den den Empfang der Oberflächenwellen bewirkenden Elektroden induziert werden.

2. Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Absorptionseinrichtungen für die

409826/0905

Oberflächenwellen aof eines der Oberflächenabschnitte des Substrats angeordnet slndU lifaer welche die beiden Seiten des Substrats - miteinander· verbunden sind*

Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnets daß die sipnmetrisch-asymmetrische elektrische Verbindungsanordnung einen Transformator

enthält, der wenigstens eine Wicklung mit Mittelanzapfung aufweistο

Oberflächenwellenfilter nach. Insprach 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daB die syiraetrlseM-asymmetrische elektrische VerblndTangsanordnung einen Differenzverstärker enthält» der zwei Kleamenpaare ■ aufweist, an denen "gleiche Spannungen entgegengesetzten Vor-

Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 4_? dadurch gekennseichnet, daß die Heiamenpaare die Eingangsklemmen des Verstärkers sind_o

Oberflächenwellenfilter nach lnsprach 1' oder 2„ dadurch gekennzeichnet^ daß die sjinetrisch-asymmetrische elektrische Verbin&ngsanordtasmg eine Summierschaltung mit zwei Eingängen und eine ®It einem der Eingänge verbundene PolaritätsOTi&ehrschaltamg enthält.

Oberflächenwellenfilter· nach eines der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichneti, daß wenigstens die erste und die zweite kammartige Strulstur eine durch einen Kamm mit doppelter Zahnrelhe gebildete gemeinsame Elektrode und-zwei -zu beiden Seiten der gemeinsamen Elektrode angeordnete Elektroden mit einfädler Zahnreihe haben.

409826/0305

8. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 7» dadurch gekennzeichnet daß die Zähne der ineinandergreifenden kammartigen Strukturen gleichförmige Abstände haben.

9. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1 bis ?, dadurch gekennzeichnet, daß. die Zähne der ineinandergreifenden kammartigen Strukturen ungleichförmige Abstände haben.

10. Oberflächenwellenfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 9» dadurch gekennzeichnet, daß das piezoelektrische Substrat durch eine Wismutgermanatplaxte gebildet ist.

9826/0905

ι * ·♦ Leerseit