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DE2160052C3 - Vorrichtung zur fotografischen Registrierung in Korpuskularstrahlgeräten - Google Patents

Vorrichtung zur fotografischen Registrierung in Korpuskularstrahlgeräten

Info

Publication number
DE2160052C3
DE2160052C3 DE19712160052 DE2160052A DE2160052C3 DE 2160052 C3 DE2160052 C3 DE 2160052C3 DE 19712160052 DE19712160052 DE 19712160052 DE 2160052 A DE2160052 A DE 2160052A DE 2160052 C3 DE2160052 C3 DE 2160052C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
recording material
carrier
sections
image
film tape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19712160052
Other languages
English (en)
Other versions
DE2160052A1 (de
DE2160052B2 (de
Inventor
Dieter Dipl.-Phys.; Schiewe Bernd Dipl.-Phys.; Rindfleisch Volker; 1000 Berlin Willasch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19712160052 priority Critical patent/DE2160052C3/de
Priority to NL7215105A priority patent/NL7215105A/xx
Priority to GB5516872A priority patent/GB1408029A/en
Priority to US00310877A priority patent/US3823322A/en
Priority to JP47120262A priority patent/JPS4864871A/ja
Publication of DE2160052A1 publication Critical patent/DE2160052A1/de
Publication of DE2160052B2 publication Critical patent/DE2160052B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2160052C3 publication Critical patent/DE2160052C3/de
Expired legal-status Critical Current

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur fotografischen Registrierung von Bildern in Korpuskularstrahlgeräten, insbesondere Elektronenmikroskopen, die in Strahlrichtung gesehen vor einem Bildschirm zur Sichtbarmachung des Bildes angeordnet ist und die eine im Vakuum befindliche Transporteinrichtung aufweist, die Abschnitte eines Aufnahmematerials bei fortlaufender Anordnung der Bildflächen aus einem Vorrat entnimmt und nach der Belichtung einem Speicher zuführt. Eine derartige Vorrichtung ist aus der DT-PS 55 45t bekannt.
Bei Korpuskularstrahlgeräten, insbesondere Elektronenmikroskopen, ist es üblich, das Arbeitsergebnis auf einem Bildschirm zu betrachten und es zusätzlich auf fotografischem Wege festzuhalten. Statt eines normalen Aufsichtleuchtschirms kann bei Elektronenmikroskopen auch die Eintrittsfläche einer Fernsehkamera vorgesehen sein, welche die Wiedergabe der Bilder über einen oder mehrere Fernsehbildschirme gestattet. Um die fotografischen Aufnahmen unmittelbar in dem Korpuskularstrahl zu gewinnen, ordnet man im Vakuumraum eine Transporteinrichtung für fotografisches Aufnahmematerial an, die das Aufnahmematerial einem Vorrat entnimmt und es nach der Belichtung einem Speicher zuführt. Die Transporteinrichtung sowie der Vorrat und der Speicher können als übliche Fotokamera für Filmbänder aais^mmengefaßt sein. Die Bildflächen sind hierbei fqj^Jaufend angeordnet
Diese Anordnunjg^rilaubt es im Prinzip, abwechselnd oder in beliebiger Reihenfolge Objekte auf einem BiIdschirm zu beobachten oder fotografisch abzubilden. Bei einer Registriervorrichtung der obengenannten Art ist eine Bildschirmbetrachtung aber nur dann möglich, wenn sich die fotografische Registriervorrichtung nicht in dem Korpuskularstrahl befindet. Bei der bekannten ίο Anordnung sind daher Mittel vorgesehen, die Registriervorrichtung aus dem Korpuskularstrahl seitlich herauszuschieben oder herauszuschwenken.
Durch die Erfindung soll bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art erreicht werden, daß die BiId- «5 schirmbetrachtung und dia Anfertigung fotografischer Aufnahmen in beliebiger Folge bei einer möglichst einfachen Gestaltung der Registriervorrichtung durchgeführt werden können.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch
*° gelöst, daß zwischen jeweils zwei einem Bild entsprechenden Abschnitten des Aufnahmematerials ein freier Zwischenraum vorhanden ist.
Der Zwischenraum gestattet den Durchtritt zumindest eines Teils des Korpuskularstrahls zum Bildschirm
*5 bzw. zu eine'· Fernsehkamera. Infolgedessen kann die gesamte Registriervorrichtung im wesentlichen ortsfest ausgebildet sein. Der Vakuumraum des Elektronenmikroskops kann dadurch kleiner ausgebildet sein als bei einer verschiebbaren oder schwenkbaren Anordnung der Registriervorrichtung. Da weniger bewegliche Teile vorhanden sind, ist die Konstruktion wesentlich einfacher.
Der freie 21wischenraum zwischen den Aufnahmeflächen des Aufnahmematerials kann im Rahmen der Erfindung auf verschiedene Weise bereitgestellt werden. Beispielsweise kann als Aufnahmematerial ein Filmband mit ausgestanzten Fenstern verwendet werden. Dieses Filmband kann in üblicher Weise über eine Bildbühne geführt werden, deren Bildfenster den Durchtritt zumindest eines Teils des Korpuskularstrahls zu einem Bildschirm oder einer Fernsehkamera gestattet. Wird eine Andruckplatte für das Filmband benutzt, so wird auch diese zweckmäßig mit einem Fenster entsprechend dem Bildfenster der Bildbühne vtrsehen.
In Weiterbildung der Erfindung kann jedoch auch Aufnahmematerial in einer Konfektionierung für Einzelaufnahmen verwendet werden, für das eine Transporteinrichtung mit einem Träger vorgesehen sein kann, der Halterungen für das Aufnahmematerial besitzt. Es können dann sowohl fotografische Platten als auch Planfilme verwendet werden. Der für den Durchtritt des Korpuskularstrahls erforderliche Zwischenraum wird durch einen entsprechenden Abstand der Abschnitte des Aufnahmematerials auf dem Träger erreicht.
Eine raumsparende Unterbringung des Trägers in dem Vakuumraum des Elektronenmikroskops kann in vorteilhafter Weise durch eine Ausbildung des Trägers nach Art einer Gliederkette erzielt werden, deren Gelenke sich in dem Bereich zwischen den Halterungen für das Aufnahmematerial befinden. Werden jeweils zwei Gelenke in geeignetem Abstand voneinander vorgesehen, so läßt sich der Träger in abwechselnder Richtung um jeweils 180° umlegen. Auf diese Weise neh-
6S men sowohl der Vorrat als auch der Speicher für das Aufnahmematerial die Gestalt eines Stapels an.
Die Erfindung wird im folgenden an Hand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele näher er-
läutert. Die
F i g. 1 zeigt in schematischer Darstellung einen Schnitt durch denjenigen Teil des Elektronenmikroskops, der das Projektiv und dea Bildschirm enthält; in
F i g. 2 ist ein Abschnitt eines mit Fenstern versehenen Filmbands dargestellt; die
F i g. 3 zeigt einen der F i g. 1 entsprechenden Schnitt durch ein Elektronenmikroskop, bei dem das fotografische Aufnahmematerial durch einen Träger transportiert wird, der nach Art einer Gliederkette ausgebildet ist. Eine Draufsicht auf den Träger zeigt die F ig. 4.
Im Innern des in F i g. 1 gezeigten Gehäuses 1 eines Elektronenmikroskops befindet sich ein Projektiv 2 zur Abbildung des Elektronenstrahls 3 auf einen Bildschirm 4. Der Bildschirm 4 wird mittels einer Fernsehkamera 5 abgetastet, wobei der eigentlichen Fernsehaufnahmebildröhre ein Bildverstärker 7 und ein Faserobjektiv 6 vorgeschaltet sind.
Oberhalb des Bildschirms 4 befindet sich eine fotografische Registriereinrichtung 10. Diese ist zur Bestükkung mit Filmbändern 11 eingerichtet, die auf einer Vorratsspule 12 bereitgestellt sind und mittels einer nicht dargestellten Antriebseinrichtung über eine Bildbühne 13 abschnittsweise bewegt und einer Speicherspule 14 zugeführt werden. Die Filmbänder 11 werden durch eine Andruckplatte 15 gegen die Bildbühne 13 gedrückt, um die Planlage der Filmbänder sicherzustellen. Die Bildbühne 13 und die Andruckplatte 15 sind mit deckungsgleichen Fenstern versehen, die einem Teil des Elektronenstrahls 3 den Durchtritt zu dem Bildschirm 4 gestatten.
Ein Abschnitt eines Filmbands, wie es bei der Anordnung nach F i g. 1 verwendet wird, ist in F i g. 2 dargestellt. Das Filmband U besitzt Bildflächen 16, die mit gestrichelten Umrissen angedeutet sind. Zwischen den Bildflächen 16 sind ausgestanzte Fenster 17 angeordnet, die kleiner als die Bildflächen 16 sind. Das Filmband ist an seinem einen Rand mit Perforationslöchern 20 versehen, um das Filmband abschnittsweise transportieren zu können. Der Antrieb der Transporteinrichtung kann hierzu zweckmäßig so ausgebildet sein, daß das Filmband zwangläufig abwechselnd um Abschnitte entsprechend den Bildflächen 16 und den Fenstern 17 weitergeschoben wird.
Ein anderes Ausführungsbeispiel einer fotografischen Registriervorrichtung zeigt die F i g. 3. Für die mit F i g. 1 übereinstimmenden Teile sind in F i g. 3 dieselben Bezugszeichen vorgesehen. An Stelle der Registriervorrichtung 10 ist das Eiektronenmikroskop gemäß der F i g. 3 mit einer Registriervorrichtung 30 ausgerüstet, die einen Träger 31 für fotografische Platten oder Planfilme, d. h. Aufnahmematerial in einer Konfektionierung für Einzelaufnahmen besitzt. Der Vorrat 32 und der Speicher 33 haben die Gestalt eines Stapels, der durch Zusammenlegen der Abschnitte eines Trägers gebildet ist. Ähnlich wie in F i g. 1 kann auch bei der Registriervorrichtung 30 eine Bildbühne vorgesehen sein, auf der der Träger aufliegt.
Die Anordnung der Gelenke des Trägers zeigt die Fig.4. Der Träger "U ist nach Art einer Gliederkette ausgebildet und besitzt Halterungen für das Aufnahmematerial, beispielsweise Platten 34. Zwischen den Platten 34 ist ein freier Zwischenraum 35 vorgesehen, der dem Fenster 17 entspricht, jedoch anders bemessen sein kann. Im Bereich dieser Zwischenräume sind an beiden Rändern des Trägers Kettenglieder 36 angeordnet, deren Gelenke 37 einen solchen Abstand voneinander besitzen, daß sich die Abschnitte des Trägers um 180° umlegen lassen. Der Träger 31 kann an einer geeigneten Stelle mit einer Verzahnung versehen sein, um das Zusammenwirken mit einem Antriebsglied zu bewerkstelligen. Für die aus den zusammengelegten Kettenglieder gebildeten Stapel können Schächte bzw. Behälter vorgesehen sein.
Ein besonderer Vorteil des kettenartigen Trägers besteht darin, daß man ihn bei geeigneter Ausbildung mitsamt dem darauf befindlichen Aufnahmematerials in eine fotografische Entwicklungseinrichtung einbringen kann. Es entfällt dann das Abnehmen der Platten oder Planfilme von dem Träger. Auf diese Weise wird auch die Reihenfolge der Aufnahmen festgehalten. Es empfiehlt sich, für diese Anwendung den Träger aus rostfreiem Stahl oder einem für fotochemische Zwecke bewährten Kunststoff herzustellen, der jedoch mit Rücksicht auf die Bedingungen im Elektronenmikroskop leitfähig sein muß.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

  1. ί Patentansprüdie:
    4· Vorrichtung zur fotografischen Registrierung von Bildern in Korpuskularstrahlgeräten, insbesondere Elektronenmikroskopen, die in Strahlrichtung gesehen vor einem Bildschirm zur Sichtbarmachung des Bildes angeordnet ist und die eine im Vakuum befindliche Transporteinrichtung aufweist, die Abschnitte eines Aufnahmematerials bei fortlaufender Anordnung der Bildflächen aus einem Vorrat entnimmt und nach <ier Belichtung einem Speicher zuführt, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen jeweils zwei einem Bild entsprechenden Abschnitten (16,34} des Aufnahmematcrials (11,34) /in freier Zwischenraum (17,36) vorhanden ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch !,dadurch gekennzeichnet, daß als Aufnahmematerial ein Filmband (11) mit ausgestanzten Fenstern (17) vorgesehen ist und daß eine Andruckplatte (15) für das Filmband (11) mit einer dem Bildfenster der Bildbühne entsprechenden öffnung vorgesehen ist (F i g. 1 und 2).
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transporteinrichtung einen Träger (31) mit Halterungen für Aufnahmematerial (34) in einer Konfektionierung für Einzelaufnahmen umfaßt (F i g. 3 und 4).
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (31) nach Art einer Gliederkette ausgebildet ist, deren Gelenke (37) sich in dem Bereich der Zwischenräume zwischen den Abschnitten des Aufnahmematerials (34) befinden.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils zwei Gelenke (37) in solchem Abstand vorgesehen sind, daß der Träger abschnittsweise in wechselnder Richtung um jeweils 180° umlegbar ist.
DE19712160052 1971-11-30 1971-11-30 Vorrichtung zur fotografischen Registrierung in Korpuskularstrahlgeräten Expired DE2160052C3 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19712160052 DE2160052C3 (de) 1971-11-30 Vorrichtung zur fotografischen Registrierung in Korpuskularstrahlgeräten
NL7215105A NL7215105A (de) 1971-11-30 1972-11-08
GB5516872A GB1408029A (en) 1971-11-30 1972-11-29 Recording strips for corpuscular beam apparatus
US00310877A US3823322A (en) 1971-11-30 1972-11-30 Photographic film handling apparatus for charged-particle beam equipment
JP47120262A JPS4864871A (de) 1971-11-30 1972-11-30

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19712160052 DE2160052C3 (de) 1971-11-30 Vorrichtung zur fotografischen Registrierung in Korpuskularstrahlgeräten

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2160052A1 DE2160052A1 (de) 1973-06-07
DE2160052B2 DE2160052B2 (de) 1975-12-04
DE2160052C3 true DE2160052C3 (de) 1976-07-15

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