DE2152797A1

DE2152797A1 - Verfahren zum Aufzeichnen eines Fokussiertbildhologrammes

Info

Publication number: DE2152797A1
Application number: DE19712152797
Authority: DE
Inventors: Michael Thomas Langnau Greenaway David Leslie Birchwü Bassersdorf GaIe, (Schweiz) GOIk 5 50
Original assignee: RCA Corp
Current assignee: RCA Corp
Priority date: 1970-10-23
Filing date: 1971-10-22
Publication date: 1972-04-27
Also published as: BE774370A; SE380366B; CA953966A; GB1366125A; NL7114572A; ES396015A1; AU468167B2; JPS5147348B1; AT325329B; AU3406771A; FR2113154A5

Description

Verfahren zum Aufzeichnen eines Fokussiertbildholograngnes.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufzeichnen eines synthetischen oder künstlichen Fokussiertbildhologrammes auf einem photoempfindlichen Aufzeichnungsträger, bei welchem ein Signal räumlicher Trägerfrequenz unabhängig von einem Objekt erzeugt wird, dessen fokussiertes Bild aufzuzeichnen ist.

Es ist bekannt, einen Bereich der Oberfläche eines photoempfindlichen Aufzeichnungsträgers mit einem ersten Bündel kohärenten Lichtes zu beleuchten, das ein mit diesem Oberflächenbereich des Aufzeichnungsträgers zusammenfallendes fokussiertes Bild eines Objektes bildet, und diesen Bereich außerdem gleichzeitig mit einem unmodulierten zweiten Bündel des kohärenten Lichtes zu belichten, das einen Winkel mit dem ersten Bündel bildet. Die auf diese Weise aufgezeichnete Interferenzfigur nennt man ein Fokussiertbildhologramm. Der Hauptvorteil eines Fokussiertbildhologrammes besteht darin, daß es mit einem

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Wiedergabebündel aus weißem Licht von einer ausgedehnten Lichtquelle wiedergegeben werden kann. Man benötigt für die Wiedergabe eines Fokussiertbildhologrammes also kein kohärentes monochromatisches Wiedergabelichtbündel.

Ein Fokussiertbildhologramm enthält eine räumliche Trägerfrequenz, deren Wellenlänge durch die Wellenlänge des bei der Aufzeichnung des Holograiranes verwendeten Lichtes und der Geometrie der beiden interferierenden Bündel kohärenten Lichtes bezüglich der Ebene des Aufzeichnungsträgers abhängt. Die räumliche Trägerfrequenz ist lediglich entsprechend der Objektinformation, die das erste Bündel kohärenten Lichtes im Bereich des fokussierten Bildes enthält, räumlich amplitudenmoduliert. Offensichtlich müssen die räumliche Trägerfrequenz und das fokussierte Bild beim Aufzeichnen eines konventionellen Fokussiertbildhologrammes gleichzeitig aufgezeichnet werden und zwischen beiden muß Kohärenz herrschen, da die Erzeugung der räumlichen Trägerfrequenz von der Interferenz zwischen dem ersten Bündel kohärenten Lichtes, das das fokussierte Bild liefert, und einem winkelmäßig versetzten zweiten Bündel, also dem Referenzbündel, des kohärenten Lichtes abhängt. Wenn diese beiden Bündel nicht gleichzeitig vorhanden sind oder wenn zwischen diesen beiden Bündeln keine Kohärenz besteht, wird kein räumlich trägerfrequentes Interferenzmuster aufgezeichnet.

Die Wiedergabetreue der bekannten Fokussiertbildhologramme läßt zu wünschen übrig. Insbesondere treten bei der Aufzeichnung komplexer Objektinformation, wie einer bildlichen Szene, im bekannten Falle meist Störflecken oder andere unerwünschte Effekte auf.

Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Aufzeichnen einer Art von Fokussiertbildhologramm anzugeben, das eine genauere und störungsfreiere Wiedergabe der aufgezeichneten Information ermöglicht als die bekannten Verfahren zum Aufzeichnen von Fokussiertbildhologrammen.

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Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe durch ein Verfahren zum Aufzeichnen eines künstlichen Fokussiertbildhologrammes auf einem photoempfindlichen Aufzeichnungsträger gelöst, bei welchem ein Signal räumlicher Trägerfrequenz unabhängig von einem Objekt mit einem aufzuzeichnenden fokussierten Bild erzeugt wird und das dadurch gekennzeichnet ist, daß das trägerfreguente Signal und ein fokussiertes Bild des Objektes verwendet werden, um auf der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers ein holographisches Muster aufzuzeichnen, welches das entsprechend dem fokussierten Bild des Objektes amplitudenmodulierte Signal räumlicher Trägerfrequenz enthält.

Durch die vorliegende Erfindung wird ein Verfahren zum Aufzeichnen eines "künstlichen" Fokussiertbildhologrammes angegeben, bei welchem die Erzeugung der räumlichen Trägerfrequenz unabhängig von einem Objekt mit einem aufzuzeichnenden Bild ist. Hierdurch wird eine getreuere Aufzeichnung von komplexer Objektinformation, z.B. von einem eine Szene darstellenden Transparentbild möglich als sie mit einem konventionellen Fokussiertbildhologramm erreichbar ist. Der Grund für diesen Vorteil besteht darin, daß Verzerrungen und Störungen, wie Störflecken und andere Störsignale im Gegensatz zur Aufzeichnung eines konventionellen Fokussiertbildhologrammes bei der Aufzeichnung eines künstlichen Fokussiertbildhologrammes nach dem Verfahren gemäß der Erfindung nicht auftreten, weil die Objektinformation im Gegensatz zu den bekannten Fokussiertbildhologramm-Aufzeichnungsverfahren nicht durch ein Lichtbündel aufgezeichnet ist, das mit der Erzeugung der räumlichen Trägerfrequenz kohärent ist.

Weiterbildungen und Ausgestaltungen des Verfahrens gemäß der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Der Erfindungsgedanke wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung näher erläutert, es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung;

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Fig. 2A und 2B eine Draufsicht bzw. Schnittansicht eines entwickelten Photolack-Reliefmusters, das mit der Einrichtung gemäß Fig. 1 aufgezeichnet wurde;

Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel einer Einrichtung zur ausschließlichen Aufzeichnung einer räumlichen Trägerfrequenz, .die unabhängig von der Aufzeichnung eines fokussierten Bildes ist, gemäß einem Schritt einer zweiten Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung und

Fig. 4 eine Ausführungsform einer Einrichtung zur ausschließlichen Aufzeichnung eines Fokussiertbildmusters, das unabhängig von der Aufzeichnung der räumlichen Trägerfrequenz ist, entsprechend einem weiteren Schritt des zweiten Ausführungsbeispieles des Verfahrens gemäß der Erfindung.

Die in Fig. 1 schematisch dargestellte Einrichtung enthält ein Elektronenstrahl-Aufzeichnungsgerät 100, das in bekannter Weise ähnlich wie eine Kathodenstrahlröhre aufgebaut sein kann und wie diese eine evakuierte Kammer enthält, in der ein Elektronenstrahler zeugungssystem 102 angeordnet ist, die einen durch ein elektrisches Feld in nicht dargestellter Weise beschleunigten Elektronenstrahl 104 liefert. Die Intensität des Elektronenstrahls 104 kann ebenfalls wie bei einer Kathodenstrahlröhre entsprechend der Augenblicksamplitude eines Videosignales moduliert werden, das einer Intensitätsmodulationvorrichtung 106 zugeführt wird, die die Augenblickswerte der Vorspannung eines Steuergitters im Strahlerzeugungssystem 102 steuert. Das Elektronenstrahl-Aufzeichnungsgerät 100 enthält ferner, wie üblich, eine elektronenoptische Anordnung 108, die den Elektronenstrahl 104 in einen kleinen Brennpunkt in einer in einem gewissen Abstand rechts von der Anordnung 108 gelegenen Brennebene fokussiert und den Elektronenstrahl 104 in Horizontal- und Vertikalrichtung ablenkt, was durch Synchronisiersignale gesteuert wird.

Das Elektronenstrahl-Aufzeichnungsgerät 100 unterscheidet sich von einer Kathodenstrahlröhre darin, daß es einen Elektronenstrahl- oder photoempfindlichen Aufzeichnungsträger, wie eine

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Photolackschicht 110, enthält, die in der Brennebene des aus der elektronenoptischen Anordnung 108 austretenden Elektronenstrahles 104 angeordnet ist. Der Aufzeichnungsträger 110 ist in einer auf der rechten Seite des Geräts 100 angeordneten Kammer angeordnet, welche von den in einer linken Kammer befindlichen Elementen 102, 106 und 108 durch eine Trennwand 112 getrennt ist. Die Trennwand 112 kann aus einer sehr dünnen, elektronendurchlässigen Folie bestehen, sie braucht in diesem Falle dann keine öffnung aufweisen und die rechte Kammer, in der sich der Aufzeichnungsträger 110 befindet, braucht dementsprechend nicht evakuiert zu sein. Vorzugsweise hat die Trennwand 112 jedoch eine kleine öffnung 114 für den Elektronenstrahl 104. In diesem Falle muß die den Aufzeichnungsträger enthaltende rechte Kammer durch eine nicht dargestellte Vakuumanlage evakuiert werden. Das Vakuum in der rechten Kammer braucht jedoch nicht so hoch zu sein wie das in der linken Kammer.

Die Einreichung gemäß Fig. 1 enthält ferner eine Fernsehkamera 116 mit der ein aufzuzeichnendes Objekt 118 aufgenommen wird. Das Objekt 118 kann ein dreidimensionaler Gegenstand oder eine transparente Bildvorlage, z.B. ein Einzelbild eines Kinofilmes sein. Durch die Fernsehkamera 116 wird das Objekt in üblicher Weise abgetastet und ein Videoausgangssignal auf einer Leitung 120 erzeugt, das dem Eingang der Intensitatsmodulationsvorrichtung 106 des Aufzeichnungsgefätes 100 zugeführt wird. Die Fernsehkamera 116 liefert außerdem die Horizontal- und Vertikalsynchronisiersignale über eine Leitung 122 an den Ablenkteil der elektronenoptischen Anordnung 108. Der Elektronenstrahl 104 wird dementsprechend von der elektronenoptischen Anordnung 108 in Horizontal- und Vertikalrichtung synchron mit der Abtastung des Objekts 118 durch die Fernsehkamera 116 abgelenkt. Die Abtastung erfolgt vorzugsweise mit einer so hohen Zeilenfrequenz, daß sich eine höhere Auflösung ergibt als bei konventionellen Fernsehsystemen.

Selbstverständlich kann bei der Einrichtung gemäß Fig. 1 an die Stelle der Fernsehkamera 116, durch die das Objekt 118

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unmittelbar aufgenommen wird, auch ein übliches Videobandgerät treten, die beim Abspielen einer Videobandaufzeichnung sowohl das Videosignal als auch die Synchronisiersignale liefert.

Im Betrieb des Aufzeichnungsgerätes 100 ist der aus dem Strahlerzeugungssystem 102 austretende Elektronenstrahl 104 entsprechend der Augenblicksamplitude des der Intensitätsmodulationsvorrichtung 106 zugeführten Videosignals intensitätsmoduliert. Der Elektronenstrahl 104 wird durch die elektronenoptische Anordnung 108 zu einem Brennfleck mit höchstens einigen wenigen Mikrons Durchmesser in der Brennebene fokussiert, die mit der Ebene der Photolackschicht des Aufzeichnungsträgers 110 zusammenfällt. Der Elektronenstrahl 104 wird durch die elektronenoptische Anordnung 108 außerdem unter Steuerung durch die Horizontal- und Vertikalsynchronisiersignale auf der Leitung synchron mit der Abtastung des Objekts 118 durch die Fernsehkamera 116 in Horizontal- und Vertikalrichtung abgelenkt. Dabei wird ein vorgegebener Bereich 200 (Fig. 2A) der Photolackschicht des Aufzeichnungsträgers 110 durch den Elektronenstrahl 104 abgetastet. Man kann auf diese Weise eine Folge von getrennten Fokussiertbildhologrammen nacheinander als getrennte Einzelbilder auf dem Aufzeichnungsträger 110 aufzeichnen.

Beim Entwickeln des Photolackes, für den Materialien verwendet werden können, wie sie in der Halbleitertechnik für Ätzmasken und dgl. bekannt sind, entwickelt wird, entsteht ein Reliefmuster im Bereich 200 des Aufzeichnungsträgers 110. Die Tiefe des Reliefmusters ist an jedem Punkt des Bereiches 200 eine Funktion der Intensität des ElektronenStrahles 104, mit dem dieser Punkt exponiert worden war.

Wie aus Fig. 2A und 2B ersichtlich ist, enthält der Bereich 200 des Photolackes des Aufzeichnungsträgers 110 eine Anzahl von zeilenartigen Rippen, die den aufeinanderfolgenden horizontalen Abtastzeilen des Elektronenstrahls 104 entsprechen. Die Querabmessung jeder dieser Rippen ist also im wesentlichen gleich der Brennfleckgröße des Elektronenstrahls 104 in der Brennebene, dessen

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Durchmesser, wie erwähnt, höchstens wenige Mikron beträgt. Das durch den entwickelten Photolack gebildete Reliefmuster im Bereich 200 ist also eine Art Strichgittermuster aus eng benachbarten zeilenartigen Rippen, deren Tiefe im Bereich 200 von Punkt zu Punkt der Intensität des Elektronenstrahls 104 an dem betreffenden Punkt entspricht. Das entwickelte Photolack-Reliefmuster, das in Fig. 2B dargestellt ist, ergibt sich bei Verwendung eines positiv arbeitenden Photolackes. Bei Verwendung eines negativ arbeitenden Photolackes wurden die unbelichteten Teile des Photolackes am stärksten und die der maximalen Intensität des Elektronenstrahles (entsprechend dem Objekt 118) ausgesetzten Teile am wenigsten weggeätzt oder gelöst werden, die Verhältnisse liegen also gerade umgekehrt wie es in Fig. 2B dargestellt ist. In beiden Fällen liegt die maximale Ätztiefe in der Größenordnung von einem /Um oder darunter.

Das entwickelte PhotolacleReliefmuster des Aufzeichnungsträgers 110 eignet sich besonders als Mutteraufzeichnung, mit der durch Pressen Abdruckkopien hergestellt werden können. Bei der Herstellung solcher Abdruckkopien kann man eine Metallkopie der Photolack-Mutteraufzeichnung herstellen und mit dieser Metallkopie dann die gewünschten endgültigen Kopien in ein dimensionsstabiles Kunststoffmaterial, z.B. einen Vinylkunststoff, einpressen.

Die minimale Brennfleckgröße, die mit einem fokussierten Elektronenstrahl erreicht werden kann, ist kleiner als es bei Verwendung von Licht möglich ist, während andererseits die Schärfentiefe eines fokussierten Elektronenstrahlbündels um mehrere Größenordnungen über der eines Lichtbündels liegt. Bei einer ersten Ausfuhrungsform der vorliegenden Erfindung wird daher vorzugsweise ein Elektronenstrahl-Aufzeichnungsgerät des anhand von Fig. 1 beschriebenen Typs verwendet. Bei dem Verfahren gemäß der Erfindung kann man jedoch auch ein Laser-Aufzeichnungsgerät, bei dem die Intensität eines Laser-Lichtbündels durch Objektinformation moduliert wird, beispielsweise mittels eines elektrooptischen Kristalles, oder sogar ein mit intensitätsmoduliertem inkohärentem Licht arbeitendes Aufzeichnungsgerät

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verwendet werden um ein künstliches Fokussiertbildhologramm auf einem Bereich eines strahlungsempfindlichen Aufzeichnungsträgers aufzuzeichnen.

In Fig. 3 und 4 sind zwei Einrichtungen dargestellt, die beide zur Durchführung einer zweiten Ausführungsform des vorliegenden Verfahrens dienen. Ein Photolack-AufZeichnungsträger 100 wird bei diesem Verfahren zuerst mit einem Beugungsgittermuster belichtet, wie es in Fig. 3 dargestellt ist, und dann mit einem Fokussiertbildmuster, wie es in Fig. 4 dargestellt ist.

Wie Fig. 3 zeigt, wird ein von einem Laser 302 erzeugtes Lichtbündel durch einen Bündelteiler 308 in zwei Teilbündel 304 und 306 aufgeteilt. Das Bündel 304 wird durch einen Bündelexpander, der eine Formlinse 312, eine feine Lochblende 314 und eine Kollimatorlinse 316 enthält, in ein Parallelstrahlenbündel 310 größeren Querschnitts umgeformt. Das Teilbündei 306 wird nach Reflexion einer im Spiegel 318 durch einen Bündelexpander mit einer Sammellinse 322 einer feinen Lochblende 324 und einer Kollimatorlinse 326 in ein Parallelstrahlenbündel 320 umgewandelt. Die Parallelstrahlenbündel 310 und 320 fallen mit einem vorgegebenen Winkel in Bezug aufeinander gleichzeitig auf einen Photolack-Aufzeichnungsträger 300 und belichten diesen mit kohärentem Licht einer durch den Laser 302 bestimmten Wellenlänge. Infolge der Interferenz der gleichzeitig auf den Photolack-Aufzeichnungsträger 300 fallenden kohärenten Lichtbündel 310 und 320 wird der Photolack also mit einem beugungsgitterartigen Interferenzmuster belichtet. Der Linien- oder Strichabstand dieses Beugungsgittermusters wird durch die Wellenlänge des vom Laser 302 erzeugten Lichtes und der Geometrie der Bündel 310 und 320 bezüglich der Ebene des Aufzeichnungsträgers bestimmt.

Die miteinander interferierenden Bündelj310 und 320 sind vorzugsweise, wie es bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 dargestellt ist, Parallelstrahlenbündel, dies ist jedoch nicht notwendig. Eines der kohärenten interferierenden Bündel oder auch beide können aus nichtparallelen Strahlen und nichtebenen Wellen

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bestehen. In diesem Falle ist dann der Strichabstand des auf dem Photolack-Aufzeichnungsträger 300 aufgezeichneten Beugungsgittermusters nicht konstant sondern er ändert sich im Bereich des Beugungsgittermusters von Punkt zu Punkt.

Gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der zweiten Variante des vorliegenden Verfahrens wird der Photolack-Aufzeichnungsträger 300 nach der eben in Verbindung mit Fig. 3 beschriebenen Belichtung mit dem Beugungsgittermuster und vor dem Entwickeln ein zweites Mal belichtet und zwar mit einem Fokussiertbildmuster, wie es in Fig. 4 dargestellt ist.

Die Einrichtung gemäß Fig. 4 enthält eine Lichtquelle 400, die im vorliegenden Falle ein inkohärentes Lichtbündel 402 liefert. Lediglich aus Intensitätsgründen könnte man als Lichtquelle 400 auch einen Laser verwenden. Datbei Verwendung von Licht hohen Konvergenzgrades jedoch leicht Bildstörungen auftreten, ist dies im allgemeinen aber nicht zweckmäßig und eine ausgedehnte Quelle für nichtkohärentes Licht, das monochromatisch oder nichtmonochromatisch sein kann, wird bevorzugt.

Das von der Lichtquelle 400 ausgehende Bündel 402 wird durch eine Kondensorlinse 404 in ein konvergentes Bündel 408 umgeformt, dessen Intensität über seinen Querschnitt durch eine transparente Bildvorlage 410, bei der es sich um ein Einzelbild eines Kinofilmes handeln kann, räumlich moduliert wird. Das räumlich modulierte Licht , das aus der transparenten Bildvorlage 410 austritt, wird durch eine Linse 412 zu einem fokussierten Bildmuster der in der transparenten Bildvorlage 410 enthaltenden Objektinformation in einer Bildebene der Linse 412 fokussiert, die sich in einem gewissen Abstand auf der rechten Seite dieser Linse befindet. Der Photolack-Aufzeichnungsträger 300, der bereits mit einem Beugungsgittermuster belichtet worden ist, wie es anhand von Fig. 3 erläutert wurde, liegt mit seiner belichteten Oberfläche im wesentlichen in der Bildebene der Linse 412, so daß die Oberfläche des Photolack-Aufzeichnungsträgers 300 durch das fokussierte Bildmuster ein zweites Mal belichtet wird. Gemäß der ersten Ausführungsform . der zweiten Variante des vorliegenden Verfahrens wird der Auf-

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zeichnungsträger erst nach dieser Doppelbelichtung, die anhand von Fig. 4 erläutert wurde, entwickelt, um ein Reliefmuster zu erzeugen, das sich aus einem räumlichen Träger, der entsprechend einem fokussierten Bild amplitudenmoduliert ist, zusammensetzt.

Da das für die zweite Belichtung verwendete Lichtbündel 402 bei der bevorzugten Ausführungsform inkohärent ist, können im entwickelten Reliefmuster keine Störsignale, wie Fleckenstörungen und dgl., auftreten. Das durch die erste Belichtung erzeugte Beugungsgittermuster, das eine räumliche Trägerfrequenz im endgültigen Reliefmuster umfaßt, ist außerdem bezüglich Frequenz und Phase völlig unabhängig vom fokussierten Bildmuster. Mit anderen Worten gesagt, dient das fokussierte Bild nur zur Amplitudenmodulation der räumlichen Trägerfrequenz, die durch das Beugungsgittermuster definiert wird.

Bei dem oben beschriebenen Ausführungsmuster wurde der Aufzeichnungsträger zuerst mit dem Beugungsgittermuster und dann mit dem fokussierten Bild belichtet; selbstverständlich kann die Reihenfolge auch umgekehrt sein ohne daß dadurch das endgültige entwickelte Reliefmuster in irgendeiner Weise beeinflußt wird.

Gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der zweiten Variante des vorliegenden Verfahrens kann der Photolack-Aufzeichnungsträger anstatt nach beiden Belichtungen ein einziges Mal entwickelt, zu werden, das erste Mal nach der ersten Belichtung, z.B. mit dem Beugungsgittermuster ein erstes Mal entwickelt werden, so daß das Beugungsgittermuster dann für sich allein als Reliefmuster erscheint, anschließend kann dann eine zweite Belichtung des Photolack-Aufzeichnungsträgers 300 mit dem fokussierten Bildmuster erfolgen und der Aufzeichnungsträger kann dann zur Erzeugung des endgültigen holographischen FokussiertbiId-ReIiefmusters ein zweites Mal entwickelt werden.

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Claims

Patentansprüche

Verfahren zum Aufzeichnen eines künstlichen Fokussiertbildhologrammes auf einem strahlungsempfindlichen Aufzeichnungsträger, bei welchem ein Signal räumlicher Trägerfrequenz unabhängig von einem Objekt, dessen fokussiertes Bild aufzuzeichnen ist, erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das trägerfrequente Signal und ein fokussiertes Bild des Objekts verwendet werden um auf der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers (110, 300J ein holographisches Muster aufzuzeichnen, welches das mit dem fokussierten Bild des Objektes amplitudenmodulierte Signal räumlicher Trägerfrequenz enthält.
2.) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß ein Bündel zur Exponierung des Aufzeichnungsträgers geeigneten Strahlung (104) erzeugt wird, daß das Strahlungsbündel in einen Punkt auf der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers (110) fokussiert wird; daß das Strahlungsbündel bezüglich des Aufzeichnungsträgers so bewegt wird, daß ein vorgegebener Bereich (200) durch den Punkt abgetastet und der Aufzeichnungsträger mit einem Muster exponiert wird, welches ein Beugungsgitter umfaßt, das aus einer Vielzahl paralleler Linien, die gleiche Abstände haben, besteht, wobei jeder Punkt dieses Bereiches einen Punkt eines fokussierten Bildes eines Objektes (118) entspricht; und daß die Intensität des den Bereichen (200) abtastenden Strahlungsbündels (104) derart mit Objektinformation moduliert wird, daß die Intensität der Exponierung an jedem Punkt des Bereiches von der Amplitude bzw. Helligkeit des entsprechenden Punktes des fokussierten Bildes abhängt.
3.) Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß als Strahlungsbündel ein Elektronenbündel verwendet wird.
4.) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Bereich des Aufzeichnungsträgers

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ein Interferenzmuster aufgezeichnet wird, das aus zwei räumlich unmodulierten Lichtbündeln (310, 320) die mit ebenen Wellenfronten und mit einem von 0° verschiedenen Winkel in Bezug aufeinander auf den Aufzeichnungsträger (300) fallen, resultiert und ein Beugungsgitter bildet, dessen Strichabstand von der Wellenlänge des' Lichtes und der Geometrie der beiden aus ebenen Wellen bestehendenden Bündel bezüglich der Ebene des Aufzeichnungsträgers abhängt, und daß getrennt und unabhängig davon auf dem Bereich des Aufzeichnungsträgers ein fokussiertes Bild eines Objektes aufgezeichnet wird.
5.) Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Aufzeichnungsträger ein Photolack oder Photoätzschutzschichtmaterial verwendet wird, das nach dem Entwickeln ein Phasenhologramm ergibt,
6.) Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Photolack bei der Aufzeichnung des das Beugungsgitter bildenden Interferenzmusters zuerst mit den beiden Lichtbündeln belichtet und dann ein erstes Mal entwickelt wird und daß der Photolack zur Aufzeichnung des fokussierten Bildes des Objektes nach dieser ersten Entwicklung mit dem fokussierten Lichtbild belichtet und dann ein zweites Mal entwickelt wird.
7.) Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß der Photolack vor jeder Entwicklung mit zwei Strahlungsbündeln sowie getrennt und unabhängig hiervon mit dem fokussierten Bild belichtet wird und daß der Photolack erst nach dieser Doppelbelichtung entwickelt wird.

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